c的中心軸垂直的面上具有長圓形的截面，并且在環構成零件41的長度方向上具有間隙。在本實施方式中，螺栓47c的側面和螺孔47b的側面的間隙在長度方向上設定得大，具體來講，在使夾持螺栓47c的兩側的間隙均等的情況下，該間隙在單側例如設定為3mm，所以環構成零件41能夠在連結部47附近自由移動。
[0096]圖7是表示圖2的屏蔽環的各環構成零件發生了熱膨脹的狀態的平面圖。
[0097]如上所述，雖然屏蔽環15的環構成零件41?44由于熱膨脹以全方向移動限制部45為起點在長度方向(圖中空心箭頭所示的方向)上移動，但是，在屏蔽環15中，環構成零件41的自由端41b的端面被解放，不與環構成零件44的固定端44a抵接，同樣，環構成零件42的自由端42b的端面被解放，不與環構成零件43的固定端43a抵接，環構成零件43的自由端43b的端面被解放，不與環構成零件41的固定端41a抵接，環構成零件44的自由端44b的端面被解放，不與環構成零件42的固定端42a抵接，因此，如圖7所示，各環構成零件41?44不擠壓另一環構成零件。
[0098]圖8是表示圖1中的基座發生了熱膨脹的狀態的平面圖。
[0099]在圖8中，由于屏蔽環15的各環構成零件41?44以與基板載置面13a的各個邊一對一地抵接的方式配置，所以當基座12沿圖中空心箭頭方向發生了熱膨脹時，各環構成零件41?44僅從對應的基板載置面13a的一邊受到按壓力。所以，各環構成零件41?44能夠在與對應的基板載置面13a的一邊移動方向相同的方向上移動，且在各環構成零件41?44和對應的基板載置面13a的一邊之間不產生間隙。
[0100]此外，伴隨著基座12的熱膨脹，在各環構成零件之間，例如在已抵接的固定端41a的端面和自由端43b的側面之間產生間隙(未圖示)，但通過在該抵接部采用迷宮(labyrinth)結構，能夠使得基材13不露出。迷宮結構例如，能夠通過在抵接部中在固定端41a和自由端43b各自設置高低差(臺階差)并組合該高低差的方式構成。
[0101]圖9是表示在圖1中的基座載置有基板的狀態的平面圖。
[0102]在基座12中，當在基板載置面13a載置有基板G時，如圖9所示，基板G相對基板載置面13a偏離，該基板G的角部的作為切口的定向平面49 (orientat1n flat)不覆蓋基板載置面13a的角部，但在基座12的基板載置面13a的各個角部配置有間隙嵌合部件48，因此，基板載置面13a不露出，僅間隙嵌合部件48露出。由此，沒有等離子體引起的基板載置面13a的陶瓷噴鍍被削減的問題，因而能夠防止在基座12產生異常放電或腐蝕。
[0103]另外，在基座12，由于在基板載置面13a的全部的角部配置有間隙嵌合部件48，所以即使在相應于等離子體處理的內容改變了基板G的朝向的情況下，也與定向平面49的位置對應地存在任一間隙嵌合部件48。由此，能夠可靠地防止基板載置面13a的陶瓷噴鍍被削減。即便間隙嵌合部件48由于等離子體而消耗，但是，由于間隙嵌合部件48能夠容易進行交換，所以能夠容易維持基座12的等離子體耐受性。
[0104]根據本發明實施方式的作為環狀屏蔽部件的屏蔽環15，屏蔽環15的構成各環構成零件41?44的長尺寸狀物件通過連結部47連結到基座12，但是通過全方向移動限制部45限制各環構成零件41?44的全方向上的移動，通過單方向移動容許部46限制各環構成零件41?44的長度方向以外的移動，所以為了防止各環構成零件41?44的變形和移動，無需增大連結部件47的連結力。另外，由于各環構成零件41?44能夠以全方向移動限制部45為起點在長度方向上變形和移動，所以沒有因熱膨脹引起的內部應力變大的問題。由此，能夠防止各環構成零件41?44的破損。
[0105]另外，各環構成零件41?44組合為:一個環構成零件41 (42、43或44)的固定端41a(42a、43a或44a)的端面與相鄰的另一環構成零件43 (44、42或41)的自由端43b (44b、42b或41b)的側面抵接，且一個環構部件41 (42、43或44)的自由端41b (42b、43b或44b)的側面與相鄰的又一環構成零件44 (43、41或42)的固定端44a (43a、41a或42a)的端面抵接，所以，一個環構成零件41 (42、43或44)的自由端41b (42b、43b或44b)的端面不與相鄰的又一環構成零件44(43、41或42抵接，當一個環構成零件41 (42,43或44)因熱膨脹以設置于固定端的全方向移動限制部45為起點在長度方向上變形和移動時，一個環構成零件41(42、43或44)的自由端41b不會擠壓又一環構成零件44 (43、41或42)。由此，又一環構成零件44(43、41或42)不在第一個環構成零件41 (42、43或44)的長度方向上發生移動，其結果，能夠防止在屏蔽環15的各環構成零件41?44和基座12之間產生間隙。
[0106]以上，使用上述實施方式對本發明進行了說明，但是本發明并不限于上述實施方式。
[0107]例如，在上述的屏蔽環15中，為了限制各環構成零件41?44的移動而使用有墊圈45c、46c，但是能夠限制移動的部件不只限于墊圈。
[0108]圖10是示意地表示圖2的本實施方式的屏蔽環的第一變形例的結構的圖，圖10(A)為第一變形例的平面圖，圖10(B)為與第一變形例中的全方向移動限制部的環構成零件的長度方向垂直的方向上的截面圖，圖10(C)為第一變形例中的全方向移動限制部的環構成零件的長度方向上的截面圖，圖10(D)為第一變形例中的與單方向移動容許部的環構成零件的長度方向垂直的方向上的截面圖，圖10(E)為第一變形例中的單方向移動容許部的環構成零件的長度方向上的截面圖。
[0109]在圖10(A)中，屏蔽環50由各環構成零件51?54的組合體構成，其中，上述各環構成零件51?54由沿矩形的基板載置面13a的各邊配置的長方體狀的長尺寸狀物件構成。
[0110]各環構成零件51?54具有:設置于固定端51a?54a的全方向移動限制部55 (第一移動限制部)；單方向移動容許部56 (第二移動限制部)，從該全方向移動限制部55在長度方向上離開地設置；和沿長度方向設置的兩個連結部47。
[0111]在圖10⑶和圖10(C)中，全方向移動限制部55具有:長方體狀的導向件55a(第一導向件)，其設置為一部分埋設于凸緣部13b且相對于基座12不能發生移動；導向件孔55b (第一導向件孔)，其例如設置于環構成零件51的與凸緣部13b的接觸面，并且為與導向件55a動配合的長方體狀的凹部。環構成零件52?54的全方向移動限制部55也具有相同的結構。
[0112]在全方向移動限制部55中，導向件55a的側面和導向件孔55b的側面的間隙在各個方向大體上設定成固定值。在本實施方式中，導向件55a的側面和導向件孔55b的側面的間隙設定得小，以限制環構成零件51的全方向上的移動。具體來講，與第一實施方式中的全方向移動限制部45相同，該間隙大小例如設定為0.01?0.2mm(例如，環構成零件的長度方向上的導向件55a的兩側的合計為0.02?0.4mm)，因此環構成零件51在全方向移動限制部55的附近幾乎不能移動。
[0113]在圖10⑶和圖10(E)中，單方向移動容許部56具有:長方體狀的導向件56a(第二導向件)，其一部分埋設于凸緣部13b且設置為相對于基座12不能發生移動；和導向件孔56b (第二導向件孔)，其例如設置于環構成零件51的與凸緣部13b的接觸面，并且為與導向件56a動配合的長方體狀的凹部。環構成零件52?54的單方向移動容許部56也具有相同的結構。
[0114]在單方向移動容許部56中，如圖10(E)所示，由于導向件孔56b長度方向上的長度設定得比導向件56a的長度方向上的長度大，所以在長度方向上的導向件56a的側面和導向件孔56b的側面之間產生比較大的間隙，例如與第一實施方式中的單方向移動容許部46相同，在使夾持有導向件55a的長度方向上的兩側的間隙為均等的情況下，在單側產生
1.5?2.5mm的間隙，由此，設置有導向件孔56b的環構成零件51能夠相對導向件56a沿長度方向相對移動。另一方面，在垂直方向上，將導向件56a的側面和導向件孔56b的側面的間隙設定得小，以限制環構成零件51的垂直方向上的移動。具體來講，例如與全方向移動限制部55相同，該間隙例如設定為0.01?0.2mm(例如，在垂直方向上的導向件55a的兩側合計為0.02?0.4mm)，因此，環構成零件51在單方向移動容許部56的附