環狀屏蔽部件、其構成零件和基板載置臺的制作方法
【專利說明】環狀屏蔽部件、其構成零件和基板載置臺
[0001]本申請是2012年8月24日提出的申請號為201210306041.4的同名申請的分案申請。
技術領域
[0002]本發明涉及適用于在處理室內載置基板的基板載置臺的環狀屏蔽部件、其構成零件和具有環狀屏蔽部件的基板載置臺。
【背景技術】
[0003]在以液晶顯示裝置(LCD)為首的FPD(Flat Panel Display:平板顯示器)制造工序中，已知有對玻璃基板等的各種基板實施等離子體處理的基板處理裝置。
[0004]這種基板處理裝置具有:在處理室(以下稱為‘腔室’)內載置基板的基板載置臺；和隔著處理空間與該基板載置臺相對配置的上部電極，基板載置臺被供給有等離子體生成用的高頻電力(RF)，該基板載置臺作為下部電極發揮功能，利用被導入至腔室內的處理空間的處理氣體生成等離子體，利用生成的等離子體對載置于基板載置臺的基板實施規定的等離子體處理。
[0005]通常，基板載置臺的基板載置面呈矩形，在其外周部配置有作為環狀屏蔽部件的屏蔽環，以提高等離子體的聚焦性以及確保電絕緣性。屏蔽環由氧化鋁(Al2O3)等的絕緣性的陶瓷構成，通過螺栓(bolt)被固定在基板載置臺的基材。由于屏蔽環是將矩形的基板載置面的周圍包圍的矩形的環狀體，另外伴隨近年來產業界的要求，處理基板正在大型化，因此一體成形較為困難，所以屏蔽環通常由多個構成零件(部件)組合形成。
[0006]圖13是表示現有的屏蔽環結構的平面圖。
[0007]在圖13中，以包圍下部電極(基板載置臺)100的矩形的基板載置面106的周圍的方式配置有屏蔽環105。屏蔽環105為在平面圖上大致呈L字狀的四個環構成零件101?104的組合體。各環構成零件101?104各自在L字狀的角部的附近和與該角部連設的長尺寸部的頂端部附近的兩個位置具有螺栓孔107，各環構成零件101?104通過安裝于螺栓孔107的固定螺栓，被固定于構成下部電極100的基板載置面106的周圍的凸緣部。
[0008]然而，屏蔽環105，根據不同的處理目的，通過來自被加熱的下部電極100的傳熱以及等離子體的連續照射等被加熱，產生熱膨脹。此時，在相鄰的環構成零件相互的抵接面中，一個環構成零件在空心箭頭所表示的方向上擠壓另一環構成零件。此時，另一環構成零件在空心箭頭所表示的方向上僅僅位移螺栓孔107與固定螺栓(未圖示)的間隙量，因此，在屏蔽環105和基板處理面106之間會產生間隙。
[0009]當屏蔽環105和下部電極100之間產生間隙時，等離子體進入該間隙，例如下部電極100的陶瓷噴鍍被削減而露出基材，成為在下部電極100產生異常放電(電弧放電)或腐蝕(侵蝕)的原因。
[0010]為了防止產生屏蔽環105和下部電極100之間的間隙，提案設置有以吸引相鄰的環構成零件的方式加力的加力部件的環構成零件、或設置有使各環構成零件朝向下部電極的中心部加力的加力部件的屏蔽環(例如:參照專利文獻I)。
[0011]專利文獻1:日本特開號公報

【發明內容】

[0012]發明想解決的問題
[0013]然而，對構成屏蔽環105的各環構成零件101?104組合施加在特定的方向起作用的作用力的加力部件，未必容易。另一方，為了防止由于熱膨脹引起的變形、移動，而將各環構成零件101?104固定于下部電極的基材100的固定螺栓的連結力加大時，存在對下部電極100的基材的連結時或熱膨脹時，環構成零件101?104容易破損的問題。
[0014]本發明的目的在于:提供防止在環狀屏蔽部件的構成零件和基板載置臺之間產生間隙、并能夠防止構成零件的破損的環狀屏蔽部件、其構成零件和具備環狀屏蔽部件的基板載置臺。
[0015]用于解決問題的方法
[0016]為了達到上述目的，在技術方案I記載的環狀屏蔽部件的構成零件，其在對矩形的基板實施等離子體處理的基板處理裝置的處理室內以包圍載置上述基板的基板載置臺的矩形的載置面的周圍的方式設置，上述環狀屏蔽部件的構成零件的特征在于，包括沿上述矩形的載置面的一邊配置的絕緣性的長尺寸狀物件(長形狀部件)，具有:第一移動限制部，其設置于該長尺寸狀物件的長度方向上的一端，限制上述構成零件的全方向(全方位)上的移動；第二移動限制部，在上述長度方向上與上述第一移動限制部離開地設置，限制上述構成零件的(在)上述長度方向以外的移動；和將上述構成零件連結到上述基板載置臺的至少一個連結部。
[0017]在技術方案2記載的環狀屏蔽部件的構成零件，其特征在于，在技術方案I記載的環狀屏蔽部件的構成零件中，上述第一移動限制部具有:圓筒狀的第一墊圈；第一墊圈孔，其與該第一墊圈動配合，在與動配合的該第一墊圈的中心軸垂直的面上具有圓形的截面；和第一螺栓，其將動配合到該第一墊圈孔中的上述第一墊圈向上述基板載置臺按壓，上述第一墊圈的側面和上述第一墊圈孔的側面的間隙被設置得小，以限制上述構成零件的全方向上的移動，上述第二移動限制部具有:圓筒狀的第二墊圈；第二墊圈孔，其與該第二墊圈動配合，在與動配合的該第二墊圈的中心軸垂直的面上具有橢圓形的截面；和第二螺栓，其將動配合到該第二墊圈孔中的上述第二墊圈向上述基板載置臺按壓，上述第二墊圈孔的上述橢圓形的截面的長徑沿上述長度方向。
[0018]在技術方案3記載的環狀屏蔽部件的構成零件，其特征在于，在技術方案I記載的環狀屏蔽部件的構成零件中，上述第一移動限制部具有:長方體狀的第一導向件，其設置為相對于上述基板載置臺不能移動；和第一導向件孔，其為與該第一導向件動配合的長方體狀的凹部，上述第一導向件的各個側面和上述第一導向件孔的各個側面的間隙設定得小，以限制上述構成零件的全方向上的移動，上述第二移動限制部具有:長方體狀的第二導向件，其設置為相對于上述基板載置臺不能移動；和第二導向件孔，其為與該第二導向件動配合的長方體狀的凹部，上述第二導向件孔的上述長度方向上的長度設定為比上述第二導向件的上述長度方向上的長度大。
[0019]在技術方案4記載的環狀屏蔽部件的構成零件，其特征在于，在技術方案I至3中任一項記載的環狀屏蔽部件的構成零件中，上述長尺寸狀物件沿上述長度方向被分割為第一長尺寸部和第二長尺寸部，上述第一移動限制部設置在上述第一長尺寸部的上述長度方向上的一端，上述第二移動限制部設置在上述第二長尺寸部，上述第一長尺寸部的上述長度方向上的另一端與上述第二長尺寸部的上述長度方向上的一端抵接，上述第一長尺寸部和上述第二長尺寸部各自具有上述連結部。
[0020]在技術方案5記載的環狀屏蔽部件，其特征在于，在權利要求4記載的環狀屏蔽部件的構成零件中，上述第一長尺寸部和上述第二長尺寸部相互接合，在上述第一長尺寸部和上述第二長尺寸部的聯結部具有位置偏離防止機構，該位置偏離防止機構防止上述第一長尺寸部和上述第二長尺寸部的相對位置偏離。
[0021]為了達到上述目的，在技術方案6記載的環狀屏蔽部件，其在對矩形的基板實施等離子體處理的基板處理裝置的處理室內以包圍載置上述基板的基板載置臺的矩形的載置面的周圍的方式配置，上述環狀屏蔽部件的特征在于，包括如權利要求1至5中任一項上述的環狀屏蔽部件的構成零件的組合體，各個上述構成零件以一個上述構成零件的上述長度方向上的一端的端面與相鄰的另一上述構成零件的上述長度方向上的另一端的側面抵接，且上述一個上述構成零件的上述長度方向上的另一端的側面，與不同于相鄰的上述另一上述構成零件不同的、相鄰的又一上述構成零件的上述長度方向上的一端的端面抵接的方式組合。
[0022]在技術方案7記載的環狀屏蔽部件，其特征在于，在在權利要求6記載的環狀屏蔽部件中，上述矩形載置面的各個角部分別被實施平面的倒角處理，除上述構成零件之外，還具備三角柱狀的間隙嵌合部件，上述間隙嵌合部件對由各個上述角部的倒角面和一個上述構成零件的一端的端面以及相鄰的另外的上述構成零件的另一端的端面的接合部構成的三角柱狀的間隙進行填埋。
[0023]為了達到上述目的，在技術方案8記載的基板載置臺，其特征在于，具備在技術方案6或者7記載的環狀屏蔽部件。
[0024]發明效果
[0025]根據本發明，構成環狀屏蔽部件的構成零件的長尺寸狀物件通過至少一個連結部連結到基板載置臺，另一方面，通過第一移動限制部限制構成零件的全方向上的移動，并且通過第二移動限制部限制構成零件長度方向以外的移動，所以不必為了防止構成零件的變形和移動而增大連結部的連結力。另外，由于構