技術編號：9454439
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。專利說明環狀屏蔽部件、其構成零件和基板載置臺本申請是2012年8月24日提出的申請號為201210306041.4的同名申請的分案申請。本發明涉及適用于在處理室內載置基板的基板載置臺的環狀屏蔽部件、其構成零件和具有環狀屏蔽部件的基板載置臺。背景技術在以液晶顯示裝置(LCD)為首的FPD(Flat Panel Display平板顯示器)制造工序中，已知有對玻璃基板等的各種基板實施等離子體處理的基板處理裝置。這種基板處理裝置具有在處理室(以下稱為‘腔室’)內載...
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