1和右硅片層架5032分別與安裝在支架502上的氣缸5033和5034的活塞桿連接，并通過氣缸5033和5034分別控制左硅片層架5031和右硅片層架5032的接近和遠離，從而調節硅片層架上的硅片槽的大小，以適應不同硅片安放的需要。
[0030]本實施例還設置與第一儲料中轉機構5結構相同的第二儲料中轉機構6，第一儲料中轉機構5與第二儲料中轉機構6并排放置。
[0031]上述第一石墨舟定位機構10和第二石墨舟定位機構11結構相同，第一石墨舟運輸機構17和第二石墨舟運輸機構18結構相同。
[0032]如圖1所不，娃片盒輸送機構2、娃片盒升降機構3、第一輸送線4、第一儲料中轉機構5、第一石墨舟定位機構10、第一石墨舟運輸機構17與第二儲料中轉機構6、第二輸送線7、吸盤移送機構8、儲料機構9、第二石墨舟定位機構11、第二石墨舟運輸機構18平行設置，取片機械手14設置在第二石墨舟定位機構11的側邊，這樣放置縮短機械手14取片放片的移動距離，可以大大提高工作效率。
[0033]還包括第二儲料中轉機構6、第二輸送線7、吸盤移送機構8、儲料機構9。
[0034]還包括第一石墨舟定位機構10、第二石墨舟定位機構11、石墨舟12、石墨舟抓取機構13、第一石墨舟運輸機構17、第二石墨舟運輸機構18以及運輸小車19。
[0035]工作時，娃片盒15通過娃片盒輸送機構2的輸入傳輸機構21和輔助傳輸機構23被輸送到硅片盒升降機構3上，并被固定好，然后升降機構3使硅片盒最底層硅片的下平面與第一輸送線4的輸送皮帶表面平齊，且第一輸送線4的氣缸405動作使輸送線伸縮座404連同輸送皮帶一起伸入硅片底部，同時第一儲料中轉機構5移動使硅片層架的面5036也與第一輸送線的輸送皮帶表面平齊，而后硅片盒升降機構3使硅片盒一步步下降，同時第一儲料中轉機構5 —步步上升，通過第一輸送線4將硅片盒中的硅片一片片輸送到第一儲料中轉機構5的娃片層架上。
[0036]上述娃片盒中的娃片被取空后，第一輸送線4的氣缸405動作使輸送線伸縮座404連同輸送皮帶一起退出，硅片盒升降機構3下降到位后松開硅片盒，通過輸出傳輸機構22將空的娃片盒輸出，然后娃片盒升降機構3上升到位準備下一娃片盒的輸入。
[0037]上述第一儲料中轉機構5上硅片放置滿后，取片機械手14將其上的硅片全部取出放置在由第一石墨舟定位機構10固定的石墨舟12上，待此石墨舟放滿硅片后，第一石墨舟定位機構10松開石墨舟12，石墨舟12被第一石墨舟運輸機構17運輸到圖1所示的虛線框12a的位置，然后通過石墨舟抓取機構13抓取放滿硅片的石墨舟12并放置在運輸小車19上，運輸小車19會將其運輸到PECVD設備處對硅片進行處理。
[0038]經過PECVD設備處理過的石墨舟會被運輸小車運回，并通過石墨舟抓取機構13被放置在圖1所示的虛線框12b所示位置，然后石墨舟會被第二石墨舟運輸機構18運輸到第二石墨舟定為機構11處，并被夾緊，取片機械手14將被PECVD設備處理過的硅片放置在第二儲料中轉機構6上，通過第二輸送線7輸出，同時吸盤移送機構8會將硅片16逐一吸附并移送到儲料機構9上疊加放置，硅片疊加到一定高度會被再輸出到其他設備中進行其它處理。石墨舟上的硅片被取完之后，第二石墨舟定位機構11松開石墨舟，并通過第二石墨舟運輸機構18退回到12b所示位置。
【主權項】
1.一種硅片上下料裝置，其特征在于:包括硅片盒、石墨舟、機架、硅片盒輸送機構、硅片盒升降機構、第一輸送線、第一儲料中轉機構、取片機械手，硅片盒輸送機構、硅片盒升降機構、第一輸送線、第一儲料中轉機構、取片機械手依次設置在機架上，硅片盒經硅片盒輸送機構送至硅片盒升降機構上，并由第一輸送線將硅片盒上的硅片輸送到第一儲料中轉機構，再由取片機械手將硅片取出，放置在石墨舟內。2.如權利要求1所述的硅片上下料裝置，其特征在于:所述硅片盒升降機構包括線性滑臺、升降座、下底板、上壓板、氣缸安裝板、氣缸，所述線性滑臺垂直安裝在機架上，所述升降座安裝在線性滑臺的滑臺上，線性滑臺一側下部安裝下底板，所述下底板三個側面安裝限制硅片盒位置的左限位塊、右限位塊以及前后限位塊，對應下底板上方的線性滑臺一側安裝氣缸安裝板，氣缸安裝在氣缸安裝板上，上壓板與氣缸的活塞桿連接。3.如權利要求1所述的硅片上下料裝置，其特征在于:所述第一輸送線包括輸送線座、皮帶驅動機構、輸送線伸縮座、氣缸，輸送線座安裝在機架上，輸送線座上安裝皮帶驅動機構，所述氣缸安裝在輸送線座上，輸送線伸縮座置于氣缸的移動件上，通過氣缸的動作來控制輸送線伸縮座沿著硅片的輸送方向來回移動，輸送線座上平面和輸送線伸縮座上平面在同一平面上，輸送線座上平面上設置傳動機構，輸送線伸縮座上平面上設置另一傳動機構，傳動機構和另一傳動機構通過皮帶與皮帶驅動機構連接。4.如權利要求1所述的硅片上下料裝置，其特征在于:所述第一輸送線包括輸送線座、皮帶驅動機構、輸送線伸縮座、氣缸，所述輸送線座安裝在機架上，輸送線座上安裝皮帶驅動機構，所述氣缸安裝在輸送線座上，輸送線伸縮座置于氣缸的移動件上，通過氣缸的動作來控制輸送線伸縮座沿著硅片的輸送方向來回移動，輸送線座上平面和輸送線伸縮座上平面在同一平面上，輸送線座和輸送線伸縮座兩側面分別安裝有數個滾柱，每測的各滾柱與皮帶驅動機構的輸出滾輪通過皮帶連接。5.如權利要求1所述的硅片上下料裝置，其特征在于:所述第一儲料中轉機構包括線性滑臺、支架、硅片層架；硅片層架上設置放置硅片的多層硅片槽；線性滑臺垂直安裝在機架上，與線性滑臺結構相同，其滑臺上安裝支架，上述硅片層架與支架連接，線性滑臺動作將會帶動支架和硅片層架上下移動。6.如權利要求5所述的硅片上下料裝置，其特征在于:所述硅片層架包括左硅片層架和右硅片層架，所述左硅片層架和右硅片層架分別與安裝在支架上的氣缸的活塞桿連接，并通過氣缸分別控制左硅片層架和右硅片層架的接近和遠離。
【專利摘要】一種硅片上下料裝置，其包括硅片盒、石墨舟、機架、硅片盒輸送機構、硅片盒升降機構、第一輸送線、第一儲料中轉機構、取片機械手，硅片盒輸送機構、硅片盒升降機構、第一輸送線、第一儲料中轉機構、取片機械手依次設置在機架上，硅片盒經硅片盒輸送機構送至硅片盒升降機構上，并由第一輸送線將硅片盒上的硅片輸送到第一儲料中轉機構，再由取片機械手將硅片取出，放置在石墨舟內。本實用新型的優點在于：能夠自動硅片的自動上下，既提高了硅片的移動效率，又防止了移動后硅片質量的下降。
【IPC分類】H01L21/677, H01L21/673, H01L31/18
【公開號】CN205050814
【申請號】CN201520524820
【發明人】鄭良才
【申請人】寧波精達成形裝備股份有限公司
【公開日】2016年2月24日
【申請日】2015年7月20日