專利名稱：用于板式pecvd設備的硅片自動上下料系統的制作方法
技術領域：
本發明涉及太陽能硅片加工自動化設備領域，其涉及減反射膜制備工序的自動化設備領域，具體為用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統。
背景技術：
在現有的減反射膜制備工序中，需要人工將碳板上已經處理過的硅片裝入片盒、 將未處理過的硅片裝進碳板，其缺點在于人工操作易引起硅片的破碎使得生產成本高，同時，人工操作生產效率低、勞動強度大。

發明內容
針對上述問題，本發明提供了用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其能解決現有手工操作存在的硅片破碎率高的問題，從而能夠降低生產成本，并能夠提高勞動生產率、降低工人勞動強度。其技術方案是這樣的，其包括主機架，所述主機架安裝于PECVD設備的進料端側， 其特征在于其包括控制系統、待處理硅片送料機構、已處理硅片出料機構、硅片轉運機構以及硅片的橫向搬運機構，所述待處理硅片送料機構與已處理硅片出料機構沿縱向平行布置于所述主機架的橫向兩側，所述硅片轉運機構沿縱向布置、并安裝于所述待處理硅片送料機構與已處理硅片出料機構之間，所述硅片的橫向搬運機構安裝于所述主機架上、并橫跨于所述待處理硅片送料機構、硅片轉運機構、已處理硅片出料機構的上方，所述待處理硅片送料機構、已處理硅片出料機構、硅片轉動機構、硅片的橫向搬運機構與所述控制系統之間均電控連接。其進一步特征在于
所述待處理硅片送料機構包括硅片盒運輸線一、進料升降臺、排片輸送機、出片機構， 所述硅片盒運輸線一和所述排片輸送機分別沿縱向同軸安裝于進料機架、所述主機架，所述進料升降臺固定于所述進料機架、位于所述硅片盒運輸線一出料端與所述排片輸送機進料端之間；所述出片機構沿縱向安裝于所述排片輸送機的下方；所述排片輸送機的進料端安裝有硅片定位裝置，所述硅片定位裝置固定于所述主機架；所述硅片定位裝置包括縱向定位裝置和橫向定位裝置；所述已處理硅片出料機構包括硅片盒運輸線二、出料升降臺、出片搬運架、出片輸送機，所述硅片盒運輸線二與所述出片輸送機沿縱向同軸布置，所述硅片盒運輸線二、出片輸送機分別沿縱向安裝于出料機架和所述主機架，所述出料升降臺固定于所述出料機架、并位于所述出片輸送機的出料端與所述硅片盒運輸線二的進料端之間； 所述出片搬運架沿縱向固定于所述主機架、所述出料升降臺的側面；所述出片輸送機的出料末端安裝有所述橫向定位裝置；所述硅片轉運機構包括碳板輸送裝卸臺、碳板升降臺和底部機內輸送線，所述碳板升降臺設置有兩組，其中一組安裝于所述主機架的外側且位于所述進料機架與所述出料機架的橫向中間、另一組安裝于PECVD設備出料端側，所述碳板輸送裝卸臺固定于所述主機架、其橫向位置正對PECVD設備的進料口，所述底部機內輸送線沿縱向布置于所述兩組碳板升降臺之間，其包括主機架段輸送線與PECVD段輸送線，所述主機架段輸送線安裝于所述主機架內、并位于所述碳板輸送裝卸臺的下方，所述PECVD 段輸送線安裝于所述PECVD的底部；所述硅片的橫向搬運機構固定于所述主機架、并橫跨于所述排片輸送機、碳板輸送裝卸臺、出片輸送機上方。
其更進一步特征在于
所述硅片盒運輸線一和硅片盒運輸線二均包括進盒線與出盒線，所述進盒線與出盒線均設置有輸送電機，所述輸送電機輸出端通過聯軸器連接轉動軸，所述轉動軸兩端固定有同步帶輪，所述同步帶輪通過同步帶連接輸送同步帶輪；所述進盒線的輸送電機與出盒線的輸送電機旋轉方向相反；所述進盒線與出盒線層疊安裝；所述硅片盒運輸線一的進盒線一與出盒線一沿縱向層疊安裝于所述進料機架上，所述出盒線一位于所述進盒線一的上方；所述硅片盒運輸線二的進盒線二與出盒線二沿縱向層疊安裝于所述出料機架，所述進盒線二位于所述出盒線二的上方；
所述進料升降臺包括安裝支架、豎向升降機構和水平輸送機一，所述水平輸送機一固定于升降底板，所述升降底板通過連接板一固定于所述豎向升降機構，所述豎向升降機構通過所述安裝支架固定于所述進料機架；所述豎向升降機構包括豎向直線模組和伺服電機一，所述豎向直線模組固定于所述安裝支架、并通過聯軸器連接伺服電機一，所述水平輸送機一安裝于升降底板，所述升降底板通過連接板一安裝于所述豎向直線模組；所述水平輸送機一包括電機，電機安裝于升降底板底部，電機輸出軸連接傳動同步帶輪，傳動同步帶輪通過傳動同步帶與輸送同步帶輪連接，輸送同步帶輪通過輸送同步帶與輸送從動帶輪連接；所述連接板一上端固定有壓緊氣動滑臺，所述壓緊氣動滑臺外側端安裝有壓裝裝置； 所述定位擋塊安裝于所述升降底板的硅片出片側端；所述出料升降臺包括無桿氣缸、絲桿傳動機構和水平輸送機二，所述無桿氣缸通過支撐架豎向安裝于所述出料機架，所述水平輸送機二固定于水平安裝板，所述絲桿傳動機構的上頂板固定于所述水平安裝板的底面， 所述水平輸送機二與所述絲桿傳動機構均通過連接板安裝于移動滑塊，所述移動滑塊連接無桿氣缸輸出端，所述支撐架上與所述無桿氣缸平行安裝有直線導軌，所述移動滑塊嵌裝于所述直線導軌上；所述絲桿傳動機構包括伺服電機五、滾珠絲桿，所述伺服電機五的輸出端連接同步帶輪，所述滾珠絲桿上端通過軸承座一固定于所述水平安裝板、其下端連接有傳動帶輪，所述同步帶輪與傳動帶輪之間通過同步帶連接，所述滾珠絲桿上安裝有絲桿螺母，所述絲桿螺母與導桿連接，所述導桿上端穿過所述水平安裝板、且其上端部安裝有托板；所述水平輸送機二與水平輸送機一結構相同；
所述排片輸送機與出片輸送機結構相同，均包括底板、傳送帶、傳送帶輪、伺服電機八， 所述底板固定于所述主機架，所述傳送帶輪包括主動帶輪與從動帶輪，所述主動帶輪與從動帶輪分別通過帶輪安裝板固定于傳送帶托架的兩端，所述傳送帶托架通過支架沿縱向固定于所述底板，所述伺服電機八通過支架安裝于所述底板的一側，所述伺服電機八的輸出端安裝有驅動帶輪，所述驅動帶輪與主動帶輪通過同步帶連接，所述主動帶輪與從動帶輪之間通過所述傳送帶連接，所述傳送帶繞裝于所述主動帶輪、傳送帶托架以及從動帶輪外部；
所述出片機構包括伺服電機二、縱向直線模組一、豎向氣動滑臺一、出片板，所述出片板通過縱向連接板二裝于所述豎向氣動滑臺一，所述豎向氣動滑臺一通過氣動滑臺支架安裝于底板，所述底板安裝于所述縱向直線模組一，所述縱向直線模組一通過聯軸器與所述伺服電機二連接；
所述縱向定位裝置安裝于所述排片輸送機的進料端，其包括定位塊、移動塊一、伺服電機三、減速器一，所述伺服電機三與所述減速器一軸接，所述減速器一固定于固定板一下端、其輸出軸穿過所述固定板一，所述減速器輸出軸端安裝有齒輪一，所述固定板一的橫向兩端安裝有縱向直線導軌，所述移動塊一下部橫向兩端設置有滑塊一，所述滑塊一卡裝于所述縱向直線導軌，所述移動塊一下部還固定有齒條一，所述齒輪一與齒條一嚙合，所述定位塊設置有兩塊、分別對稱安裝于連接板三的橫向兩端部，所述連接板三固定于所述移動塊一上部；所述縱向定位裝置的伺服電機三、減速器一穿過所述主機架、并通過所述固定板一固定于所述主機架，所述兩塊定位塊分別位于所述排片輸送機的橫向兩側；
所述橫向定位裝置沿所述排片輸送機的進料方向、安裝于所述縱向定位裝置的后端， 其包括定位輪一、移動塊二、減速器二、伺服電機四，所述伺服電機四與減速器二軸接，所述減速器二固定于固定板二下端、其輸出軸穿過所述固定板二，所述減速器輸出端安裝有齒輪二，所述移動塊二設置有兩塊，所述兩塊移動塊二均為L形，所述兩塊移動塊相互嵌合， 所述兩塊移動塊的縱向下端均安裝有滑塊二，所述固定板二的縱向兩端安裝有橫向直線導軌，所述滑塊二嵌裝于所述橫向直線導軌上，所述兩塊移動塊動上均安裝有橫向齒條，所述橫向齒條與所述齒輪嚙合連接，所述兩塊移動塊的橫向外側端安裝有連接板四，所述連接板四上部安裝有定位輪一安裝板，所述定位輪一安裝板的縱向兩端分別安裝有所述定位輪一；所述橫向定位裝置的減速器二和伺服電機四穿過所述主機架、并通過所述固定板二固定于所述主機架，所述兩塊移動塊二的的定位輪一分別位于所述排片輸送機的橫向兩側；
所述出片搬運架包括縱向直線模組二、伺服電機六，所述縱向直線模組二通過兩端的支架一和支架二支承，所述支架一固定于所述主機架、所述出片輸送機的出料末端的一側， 所述支架二固定于所述硅片盒運輸線二的進盒線二平臺上，所述縱向直線模組二通過聯軸器與所述伺服電機六軸接，所述縱向直線模組二上通過連接板五安裝有豎向氣動滑臺二， 所述豎向氣動滑臺二下部通過吸盤安裝板連接有氣旋吸盤；
所述碳板輸送裝卸臺包括支架二、水平輸送機一、壓緊定位機構、頂升機構和定位機構，所述支架二橫向安裝于所述主機架，所述輸送機通過輸送機機架安裝于所述支架二，所述壓緊定位機構和定位機構分別安裝于所述輸送機的縱向兩端，所述頂升機構通過固定板三安裝于所述支架二；所述水平輸送機三包括電機、傳動軸、主動輸送輪和從動輸送輪，所述電機通過電機支架固定于所述輸送機機架下部，所述傳動軸的橫向兩端通過軸承座二固定于所述輸送機機架的縱向支架，所述電機與所述傳動軸通過同步帶輪傳動連接，所述傳動軸的橫向兩端均通過所述軸承座二安裝有一個所述主動輸送輪，所述兩側縱向支架上均分別通過軸承座三安裝有兩個所述主動輸送輪與兩個從動輸送輪，所述主動輸送輪與從動輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述縱向支架，單側所述縱向支架上、相鄰兩個所述主動輸送輪之間通過傳送帶傳動連接；所述壓緊定位機構設置有兩個，分別通過安裝板一安裝于所述輸送機機架進料側的橫向支架兩端；所述安裝板二下部固定有縱向氣動滑臺一，所述縱向氣動滑臺通過連接板六連接豎向氣動滑臺三，所述豎向氣動滑臺三的上端固定有壓緊座，所述壓緊座通過導桿一連接壓緊塊，所述導桿一外部套裝有彈簧，所述豎向氣動滑臺三通過橫向連接板七安裝有調節板一，所述調節板一的縱向前端安裝有定位輪二 ；所述頂升機構包括頂升板，所述頂升板上部安裝有載片柱，所述頂升板下部通過連接板八固定于豎向氣動滑臺四，所述豎向氣動滑臺四固定于所述固定板三，所述固定板三固定于所述支架二，所述豎向氣動滑臺四側面安裝有直線軸承導軌，所述直線軸承導軌上安裝有導桿二，所述導桿二上端頂緊所述連接板下部；所述定位機構包括設置有兩個，分別通過安裝板二固定于所述輸送機機架出料側的橫向支架兩端；所述安裝板二下部固定有縱向氣動滑臺二， 所述縱向氣動滑臺二通過連接板八與豎向氣動滑臺五連接，所述豎向氣動滑臺五上端通過連接塊與調節板二，所述調節板二的前端固定有定位輪三；
所述碳板升降臺包括機架，所述機架的縱向一側安裝有豎向平移機構、其橫向安裝有水平輸送機四，所述水平輸送機四通過連接板九安裝于所述豎向平移機構；所述豎向平移機構包括固定板四、直線模組，所述直線模組通過所述固定板固定于所述機架的縱向一側的豎向支架上，所述直線模組通過聯軸器與伺服電機七連接，所述固定板的縱向兩端安裝有豎向導軌，所述水平輸送機四安裝于輸送機機架，所述輸送機機架固定于所述連接板九， 所述連接板九背面的縱向兩側安裝有滑塊，所述滑塊卡裝于所述豎向導軌；所述水平輸送機四的結構與所述水平輸送機三的結構相同；
所述橫向搬運機構包括直線導軌支架、直線模組支架、上料搬運機構和下料搬運機構， 所述直線導軌支架與直線模組支架等高、并沿橫向平行固定于所述主機架，所述直線導軌支架上安裝有直線導軌，所述上料搬運機構和下料搬運機構均包括直線模組與搬運橫梁， 所述直線模組均軸接安裝有伺服電機九，所述上料搬運機構的直線模組與下料搬運機構的直線模組交錯安裝于所述直線模組支架，所述搬運橫梁一端通過滑塊安裝于所述直線導軌、另一端通過直線模組連接板安裝于對應的直線模組；所述上料搬運機構的搬運橫梁與下料搬運機構的搬運橫梁背向安裝，所述搬運橫梁外側面安裝有氣動滑臺，所述氣動滑臺通過氣動滑臺安裝板連接吸盤安裝橫梁，所述吸盤安裝橫梁上通過吸盤安裝板固定有所述氣旋吸盤；所述吸盤安裝橫梁上安裝有六個所述氣旋吸盤，所述六個氣旋吸盤均勻分布于所述吸盤安裝橫梁上；
所述碳板輸送裝卸臺的下方安裝有廢料收集機構，所述廢料收集機構固定于所述主機架；所述待處理硅片進料機構與已處理硅片出料機構均設置有兩套；所述兩套待處理硅片進料機構、兩套已處理硅片出料機構均沿縱向平行安裝。采用本發明的用于板式PECVD設備的自動上下料系統，其有益效果在于其解決了其實現硅片的全自動上下料操作，大大提高了生產效率，降低工人勞動強度，同時避免了以往因人工手動上下料而引起的硅片碎片率高的問題，降低了生產成本。


圖1為本發明一種用于板式PECVD設備的的硅片自動上下料系統俯視結構示意圖2為本發明一種用于板式PECVD設備的的硅片自動上下料系統左視結構示意圖； 圖3為圖1的右視結構示意圖； 圖4為圖1的左視結構示意圖； 圖5為本發明中硅片盒運輸線一的結構示意圖； 圖6為本發明中硅片盒運輸線二的結構示意圖；圖7為本發明中進料升降臺結構示意圖8為本發明中出料升降臺結構示意圖9為圖8的左視結構示意圖10為圖8的俯視結構示意圖11為本發明中排片輸送機(出片輸送機)結構示意圖12為本發明中出片機構結構示意圖13為本發明中縱向定位裝置結構示意圖14為本發明中橫向定位裝置主視結構示意圖15為圖14的俯視結構示意圖16為本發明中出片搬運架的結構示意圖17為圖16的左視結構示意圖18為本發明中碳板輸送裝卸臺結構示意圖19為本發明中碳板輸送裝卸臺的水平輸送機三結構示意圖20為本發明中碳板輸送裝卸臺的壓緊定位機構結構示意圖21為本發明中碳板輸送裝卸臺的頂升機構結構示意圖22為本發明中碳板輸送裝卸臺的定位機構結構示意圖
圖23為本發明中碳板升降臺的結構示意圖M為本發明中橫向搬運機構結構示意圖。
具體實施例方式
見圖1、圖2、圖3和圖4，本發明一種用于板式PECVD設備的的硅片自動上下料系統其包括主機架1，主機架1安裝于PECVD的進料口側，其還包括待處理硅片送料機構、已處理硅片出料機構、硅片轉運機構以及硅片的橫向搬運機構8，待處理硅片送料機構與已處理硅片出料機構沿縱向平行布置于主機架1的橫向兩側，硅片轉運機構沿縱向布置、并安裝于待處理硅片送料機構與已處理硅片出料機構之間，硅片的橫向搬運機構8安裝于所述主機架1上、并橫跨于待處理硅片送料機構、硅片轉運機構、已處理硅片出料機構的上方。待處理硅片送料機構包括硅片盒運輸線一、進料升降臺16、排片輸送機7、出片機構6，硅片盒運輸線一與排片輸送機7縱向布置分別沿縱向同軸安裝于進料機架2、所述主機架1，進料升降臺16固定于進料機架2、并位于硅片盒運輸線一出料端與排片輸送機7進料端之間； 出片機構6沿縱向安裝于排片輸送機7的下方；排片輸送機7的進料端安裝有硅片定位裝置，硅片定位裝置固定于主機架1 ；硅片定位裝置包括縱向定位裝置4和橫向定位裝置5 ； 已處理硅片出料機構包括硅片盒運輸線二、出料升降臺12、出片搬運架13、出片輸送機14， 硅片盒運輸線二與出片輸送機14沿縱向同軸安裝于出料機架3和主機架1，出料升降臺12 固定于出料機架3、并位于出片輸送機14的出料端與硅片盒運輸線二的進料端之間；出片搬運架13沿縱向固定于主機架1、出料升降臺12的側面；出片輸送機14的出料末端安裝有橫向定位裝置5 ；硅片轉運機構包括碳板輸送裝卸臺9、碳板升降臺和底部機內輸送線， 碳板升降臺設置有兩組分別為IOa和10b，其中碳板升降臺IOa安裝于主機架1的外側且位于進料機架2與出料機架3的橫向中間、另一組碳板升降臺IOb安裝于PECVD設備出料端側，碳板輸送裝卸臺9固定于主機架1、其橫向位置正對PECVD設備的進料口，底部機內輸送線沿縱向布置于碳板升降臺IOa與碳板升降臺IOb之間，其包括主機架段輸送線15a與 PECVD段輸送線15b，主機架段輸送線1 安裝于主機架1內、并位于碳板輸送裝卸臺9的下方，PECVD段輸送線1 安裝于PECVD的底部，硅片的橫向搬運機構8固定于主機架1、并橫跨于排片輸送機7、碳板輸送裝卸臺9、出片輸送機14上方。 硅片盒運輸線一包括沿進料機架2縱向層疊安裝的進盒線一 17和出盒線一 18，見圖5，進盒線一 17與出盒線一 18分別設置有輸送電機17-1和18-1，輸送電機17_1輸出端通過聯軸器17-2連接轉動軸17-3，轉動軸17-3兩端固定有同步帶輪17_4，同步帶輪17_4 通過同步帶17-5連接輸送同步帶輪17-6 ；輸送電機17-1與輸送電機18_1旋轉方向相反； 出盒線一 18位于進盒線一 17的上方；出盒線一 18結構與進盒線一 17相同；硅片盒運輸線二包括沿出料機架3縱向層疊安裝的進盒線二 20與出盒線二 19，見圖6，進盒線二 20位于所述出盒線二 19的上方；硅片盒運輸線二的結構與硅片盒運輸線一的結構相同；工作時， 進盒線一 17的輸送電機17-1通過聯軸器17-2帶動轉動軸17-3轉動，轉動軸17_3帶動兩端的同步帶輪17-4轉動、從而帶動同步帶17-5水平移動將裝滿未經PECVD處理硅片的硅片盒輸送至進料升降臺16上，待硅片盒中的硅片全部取出后進料升降臺16將空硅片盒舉升至出盒線一 18的高度，進料升降臺16的水平輸送裝置將空硅片盒輸送至出盒線一 18的水平同步帶18-5上，出盒線一 18的輸送電機18-1通過聯軸器18-2帶動轉動軸18_3轉動， 輸送電機18-1的轉動方向與輸送電機17-1的轉動方向相反，轉動軸18-3帶動兩端的同步帶輪18-4轉動、從而帶動同步帶18-5水平移動、既而將空硅片盒帶離；硅片盒運輸線二其進盒線二 20位于出盒線二 19的上方，其工作流程與硅片盒運輸線一相反；
進料升降臺16包括安裝支架16-3、豎向升降機構和水平輸送機一，見圖7，水平輸送機一固定于豎向升降機構，豎向升降機構通過安裝支架16-3固定于進料機架2 ；豎向升降機構包括豎向直線模組16-2和伺服電機一 16-1，豎向直線模組16-2固定于安裝支架16_3、 并通過聯軸器連接伺服電機一 16-1，水平輸送機一安裝于升降底板16-5，升降底板16-5 通過連接板一 16-4安裝于豎向直線模組16-2 ；連接板一 16-4上端固定有壓緊氣動滑臺 16-8，壓緊氣動滑臺16-8外側端安裝有壓裝裝置16-7 ；水平輸送機一包括電機46，電機46 安裝于升降底板底部16-5，電機46輸出軸連接傳動同步帶輪47，傳動同步帶輪47通過傳動同步帶48與輸送同步帶輪49連接，輸送同步帶輪49通過輸送同步帶50與輸送從動帶輪51連接；升降底板16-5的硅片出片側端安裝有定位擋塊16-6 ；進料升降臺16工作時 伺服電機一 16-1轉動，連接板一 16-4在豎向直線模組16-2的作用下帶動安裝于其上的壓緊裝置16-7、升降底板16-5、升降底板16-5上的水平輸送機一起下降、直至升降底板16_5 上的水平輸送機一與進盒線一 17的同步帶17-5處于同一水平位置伺服電機一 16-1停止工作，水平輸送機一的電機16-8轉動通過傳動同步帶16-6帶動輸送同步帶輪16-9轉動， 從而實現輸送同步帶16-10的水平移動，裝滿未經PECVD處理硅片的硅片盒即由進盒線一 17輸送至進料升降臺16上，電機16-8停止工作，硅片盒受定位擋塊16-6的阻擋停留在輸送同步帶16-10表面，隨后壓緊氣動滑臺16-8動作帶動壓緊裝置16-7向下壓緊硅片盒，伺服電機一 16-1與豎向直線模組16-2工作、將硅片盒向上提升，直到硅片盒中最下層的硅片的高度到達預定出片位置，出片機構6將硅片盒中的硅片自下往上一一取出，每取出一張硅片，伺服電機16-1控制豎向直線模組16-2帶動硅片盒下降一層硅片高度，直到硅片盒中的硅片被取空后，伺服電機16-1控制豎向直線模組16-2帶動空硅片盒下降至出盒線一 18的高度，空硅片盒由水平輸送機送入出盒線一 18 ；
所述出料升降臺12包括無桿氣缸12-1、絲桿傳動機構和水平傳動輸送機二，見圖8、圖 9和圖10，無桿氣缸12-1通過支撐架12-2豎向安裝于出料機架3，水平輸送機二 12-17固定于水平安裝板12-3，絲桿傳動機構的上頂板12-4固定于水平安裝板12-3的底面，水平輸送機二 12-17與絲桿傳動機構均通過連接板12-5安裝于移動滑塊12-6，移動滑塊12_6連接無桿氣缸輸出端，支撐架12-2上安裝有與無桿氣缸12-1平行的直線導軌12-7，移動滑塊 12-6嵌裝于直線導軌12-7上；絲桿傳動機構包括伺服電機五12-8、滾珠絲桿12_9，伺服電機五12-8的輸出端連接同步帶輪12-10，滾珠絲桿12-9上端通過軸承座一 12-11固定于水平安裝板12-3、下端連接有傳動帶輪12-12，同步帶輪12-10與傳動帶輪12-12之間通過同步帶12-16連接，滾珠絲桿12-9上安裝有絲桿螺母12-13，絲桿螺母12-13與導桿12-14 連接，導桿12-14上端穿過水平安裝板12-3、且其上端部安裝有托板12-15 ；水平輸送機二 12-17與水平輸送機一結構相同；
排片輸送機7與出片輸送機14結構相同，見圖11，均包括底板22、傳送帶23、傳送帶輪、伺服電機八對，底板22固定于主機架1，傳送帶輪包括主動帶輪25與從動帶輪沈，主動帶輪25與從動帶輪沈分別通過帶輪安裝板27J8固定于傳送帶托架四的兩端，傳送帶托架四通過支架30沿縱向固定于底板22，伺服電機八M通過支撐31安裝于底板22的一側，伺服電機八M的輸出端安裝有驅動帶輪32，驅動帶輪32與主動帶輪25通過同步帶33 連接，主動帶輪25與從動帶輪沈之間通過傳送帶23連接，傳送帶23繞裝于主動帶輪25、 傳送帶托架四以及從動帶帶輪26外部；
出片機構6包括伺服電機二 6-1、縱向直線模組一 6-2、豎向氣動滑臺一 6-4、出片板 6-7，見圖12，出片板6-7通過縱向連接板二 6-6裝于豎向氣動滑臺一 6_4，豎向氣動滑臺一 6-4通過氣動滑臺支架6-3安裝于底板6-5，底板6-5安裝于縱向直線模組一 6_2，縱向直線模組一 6-2通過聯軸器與伺服電機二 6-1連接；出片機構工作時伺服電機二 6-1、縱向直線模組一 6-2動作，推動安裝于縱向直線模組一 6-2上的出片板6-7向前伸出至定位于進料升降臺上的硅片盒中最下層的硅片下方，豎向氣動滑臺一 6-4向上伸出使出片板6-7與硅片接觸，伺服電機二 6-1、縱向直線模組一 6-2繼續動作帶動出片板6-7以及其上的硅片向后運動到達排片輸送機的上方后停止動作，然后豎向氣動滑臺一 6-4向下回縮、硅片被放置于排片輸送機7上后與出片板6-7分離，一個出片過程結束；
縱向定位裝置4安裝于排片輸送機7的進料端，其結構見圖13，其包括定位塊4-9、移動塊一 4-7、伺服電機三4-1、減速器一 4-2，伺服電機三4-1與減速器一 4_2軸接，減速器一 4-2固定于固定板一 4-10下端、其輸出軸穿過固定板一 4-10，減速器4-2輸出軸端安裝有齒輪一 4-5，固定板一 4-10的橫向兩端安裝有縱向直線導軌4-3，移動塊一 4-7下部橫向兩端設置有滑塊一 4-4，滑塊一 4-4卡裝于縱向直線導軌4-3，移動塊一 4-7下部還固定有齒條一 4-6，齒輪一 4-5與齒條一 4-6嚙合，定位塊4-9設置有兩塊、分別對稱安裝于連接板三4-8的橫向兩端部，連接板三4-8固定于移動塊一 4-7上部；縱向定位裝置4的伺服電機三4-1、減速器一 4-2穿過主機架1、并通過固定板一 4-10固定于主機架1，兩塊定位塊4-9 分別位于排片輸送機7的橫向兩側；當排片輸送機表面的硅片經過縱向定位裝置時，齒輪一 4-5在伺服電機三4-1、減速器4-2的驅動下轉動，通過齒輪一 4-5與齒條一 4_6的嚙合傳動、移動塊一 4-7沿著縱向直線導軌4-3作水平的縱向移動，硅片由固定于移動塊一 4-7橫向兩端的定位塊4-9進行縱向定位；
橫向定位裝置5沿排片輸送機7的進料方向、安裝于縱向定位裝置4的后端，其結構見圖14、圖15，其包括定位輪一 5-10、移動塊二 5-7、減速器二 5_2、伺服電機四5_1，伺服電機四5-1與減速器二 5-2軸接，減速器二 5-2固定于固定板二 5-11下端、其輸出軸穿過固定板二 5-11，減速器5-2輸出端安裝有齒輪二 5-5，移動塊二 5-7設置有兩塊，兩塊移動塊二 5-7均為L形，兩塊移動塊5-7相互嵌合，兩塊移動塊5-7的縱向下端均安裝有滑塊二 5_4， 固定板二 5-11的縱向兩端安裝有橫向直線導軌5-3，滑塊二 5-4嵌裝于橫向直線導軌5-3 上，兩塊移動塊5-7上均安裝有橫向齒條5-6，橫向齒條5-6與齒輪二 5-5嚙合連接，兩塊移動塊5-7的橫向外側端安裝有連接板四5-8，連接板四5-8上部安裝有定位輪一安裝板 5-9，定位輪一安裝板5-9的縱向兩端分別安裝有定位輪一 5-10 ；橫向定位裝置5的減速器二 5-2和伺服電機四5-1穿過主機架1、并通過固定板二 5-11固定于主機架1，兩塊移動塊二 5-7的的定位輪一 5-10分別位于排片輸送機7的橫向兩側；對硅片進行橫向定位時，齒輪二 5-5在伺服電機四5-1、減速器二 5-2的驅動下轉動，分別安裝于兩塊移動塊二 5-7上的齒條5-6與齒輪二 5-5嚙合傳動，兩塊移動塊二 5-7在對應的齒條二 5-6的帶動下沿橫向直線導軌5-3橫向移動，從而使固定于兩塊移動塊二 5-7上的定位輪5-10能夠將硅片進行橫向的水平微量移動，完成橫向定位的操作；
出片搬運架13包括縱向直線模組二 13-2、伺服電機六13-3，見圖16和圖17，縱向直線模組二 13-2通過兩端的支架一 13-1和支架二 13-8支承，支架一 13_1固定于主機架1、出片輸送機14的出料末端的一側，支架二 13-8固定于硅片盒運輸線二的進盒線二 20的平臺上，縱向直線模組二 13-2通過聯軸器與伺服電機六13-3軸接，縱向直線模組二 13-2上通過連接板五13-4安裝有豎向氣動滑臺二 13-5，豎向氣動滑臺二 13-5下部通過吸盤安裝板 13-6連接有氣旋吸盤13-7 ；工作時，伺服電機六13-3、縱向直線模組二 13_2控制豎向氣動滑臺二 13-5沿縱向水平移動，豎向氣動滑臺13-5控制氣旋吸盤13-7從出片輸送機14表面的硅片吸取后，沿縱向移動至出料升降臺12上方，氣旋吸盤13-7將硅片放置于出料升降臺12的硅片盒中，即完成一個硅片的移動過程；
碳板升降臺10a、10b均包括機架10-8，見圖23，機架10_8的縱向一側安裝有豎向平移機構、其橫向安裝有水平輸送機四10-7，水平輸送機四10-7通過連接板九10-5安裝于豎向平移機構；豎向平移機構包括固定板四10-9、直線模組10-2，直線模組10-2通過固定板四 10-9固定于機架10-8的縱向一側的豎向支架上，直線模組10-2通過聯軸器與伺服電機七 10-1連接，固定板四10-9的縱向兩端安裝有豎向導軌10-3，水平輸送機四10-7安裝于輸送機機架10-6，輸送機機架10-6固定于連接板九10-5，連接板九10-5背面的縱向兩側安裝有滑塊10-4，滑塊10-4卡裝于豎向導軌10-3 ；水平輸送機四10-7的結構與水平輸送機三9-2的結構相同；工作時，伺服電機七10-1、直線模組10-2控制水平輸送機四10-7上下移動，水平輸送機四10-7將放置于其表面的出片碳板進行水平輸送；
碳板輸送裝卸臺9包括支架二 9-1、水平輸送機三9-2、壓緊定位機構9-3、頂升機構 9-4和定位機構9-5，見圖18，支架二 9-1橫向安裝于主機架1，輸送機9_2通過輸送機機架 42安裝于支架二 9-1，壓緊定位機構9-3和定位機構9-5分別安裝于輸送機9_2的縱向兩端，頂升機構9-4通過固定板三9-17安裝于支架二 9-1 ；水平輸送機三9-2包括電機34、傳動軸37、主動輸送輪39和從動輸送輪40，見圖19，電機34通過電機支架35固定于輸送機機架42下部，傳動軸37的橫向兩端通過軸承座二 41固定于輸送機機架42的縱向支架43 上，電機34與傳動軸37通過同步帶輪36、38傳動連接，傳動軸37的橫向兩端均通過軸承座二安裝有一個主動輸送輪39，兩側縱向支架43上通過軸承座三45安裝有兩個主動輸送輪39與兩個從動輸送輪40，主動輸送輪39與從動輸送輪40均勻、間隔分布安裝于縱向支架37，單側縱向支架上37、相鄰兩個主動輸送輪39之間通過傳送帶52傳動連接；壓緊定位機構9-3設置有兩個，分別通過安裝板一 9-7安裝于輸送機機架42進料側的橫向支架44 兩端；見圖20，安裝板一 9-7下部固定有縱向氣動滑臺一 9-6，縱向氣動滑臺9-6通過連接板六9-8連接豎向氣動滑臺三9-9，豎向氣動滑臺三9-9的上端固定有壓緊座9-10，壓緊座 9-10通過導桿一 9-14連接壓緊塊9-16，導桿一 9_14外部套裝有彈簧9_15，豎向氣動滑臺三9-9通過橫向連接板七9-11安裝有調節板一 9-12，調節板一 9-12的縱向前端安裝有定位輪二 9-13 ；頂升機構9-4包括頂升板9-22，見圖21，頂升板9_22上部安裝有載片柱9_23， 頂升板9-22下部通過連接板八9-21固定于豎向氣動滑臺四9-20，豎向氣動滑臺四9_20 固定于固定板三9-17，固定板三9-17固定于支架二 9-1，豎向氣動滑臺四9-20側面安裝有直線軸承座9-19，直線軸承座9-19上安裝有導桿二 9-18，導桿二 9_18上端頂緊連接板八 9-21下部；定位機構9-5包括設置有兩個，分別通過安裝板二 9-25固定于輸送機機架42出料側的橫向支架44兩端；見圖22，安裝板二 9-25下部固定有縱向氣動滑臺二 9- ，縱向氣動滑臺二 9- 通過連接板八9- 與豎向氣動滑臺五9-27連接，豎向氣動滑臺五9-27上端通過連接塊9- 與調節板二 9- 連接，調節板二 9- 的前端固定有定位輪三9-30 ；在工作過程中，裝滿已處理硅片的出片碳板由碳板升降臺IOa的水平輸送機10-7水平輸送至碳板輸送裝卸臺的頂升機構9-22的正上方，同時壓緊定位機構9-3和定位機構9-5動作， 將出片碳板夾緊定位后，然后頂升機構9-22的豎向氣動滑臺四9-20向上動作，載片柱9-23 支承住硅片，橫向搬運機構動作進行硅片的裝卸，硅片裝卸完后，頂升機構9-22動作將硅片落入碳板的定位槽中，壓緊定位機構9-3與定位機構9-5動作松開出片碳板，水平輸送機三9-2動作將出片碳板水平輸送至PECVD進料端口 ；
橫向搬運機構包括直線導軌支架8-12、直線模組支架8-13、上料搬運機構和下料搬運機構，見圖24，直線導軌支架8-12與直線模組支架8-13等高、并沿橫向平行固定于主機架 1，直線導軌支架8-12上安裝有直線導軌8-11，上料搬運機構包括直線模組8-la和搬運橫梁8-14a，下料搬運機構包括直線模組8-lb與搬運橫梁8-214b，直線模組8-la、8_lb均軸接安裝有伺服電機九8-4，直線模組8-la與直線模組8-lb交錯安裝于直線模組支架8_13， 搬運橫梁8-14a、8-14b的一端分別通過滑塊8-10a、8_10b安裝于直線導軌8_11、另一端通過直線模組連接板8-3a(圖23中未標注)、8-北安裝于對應的直線模組8-la、8_lb ；搬運橫梁8-1 與搬運橫梁8-14b背向安裝，搬運橫梁8-14a、8-14b的外側面分別安裝有氣動滑臺8-9a(圖23中未標注)、8-9b，氣動滑臺8-9a、8_9b分別通過氣動滑臺連接板8_8a(圖23 中未標注)、8_8b連接吸盤安裝橫梁8-7a (圖23中未標注)、8_7b，吸盤安裝橫梁8-7a、8_7b 上分別通過吸盤安裝板8-fe、8-5b固定有氣旋吸盤8-6a、8-6b ；吸盤安裝橫梁8-7a、8_7b 上均對應安裝有六個氣旋吸盤8-6a、8-6b，六個氣旋吸盤8-6均勻分布于吸盤安裝橫梁8_7 上；進行上料搬運時，上料搬運機構的搬運橫梁8-1 在伺服電機九8-4、直線模組8-la的作用下沿直線導軌8-11水平移動至排片輸送機7上方，氣動滑臺8-9a動作、驅動與其連接安裝的氣旋吸盤8_6a向下運動使氣旋吸盤8_6a與硅片接近，氣旋吸盤8_6a通氣、吸取排片輸送架7表面的硅片，然后伺服電機九8-4、直線模組8-la驅動搬運橫梁8-1 水平移動至碳板輸送裝卸臺9的正上方，氣動滑臺8-9a帶動氣旋吸盤8-6a向下使硅片與碳板接近， 氣旋吸盤8-6a斷氣，硅片即被放置于載片柱9-23上；出料搬運過程與上料搬運過程相反； 碳板輸送裝卸臺9的正下方安裝有廢料收集機構21，廢料收集機構21固定于主機架 1 ；待處理硅片進料機構與已處理硅片出料機構均設置有兩套；兩套待處理硅片進料機構、 兩套已處理硅片出料機構均沿縱向平行安裝。 下面結合附圖具體描述一下采用本發明實現硅片自動上下料的過程見圖1和圖 2，首先，裝滿未經PECVD處理硅片的硅片盒由進盒線一 17輸送至進料升降臺16，進料升降臺16將硅片盒向上舉升至預設的出片位置高度，出片機構6動作、向進料升降臺16方向伸出將硅片盒中硅片取出放置于排片輸送機7傳送帶表面，每取出一片硅片進料升降臺16 向下移動一層高度、排片輸送機7帶動傳送帶表面的硅片向前移動一格距離，待硅片盒中的硅片全部取出后進料升降臺16帶動空硅片盒上升至出盒線一 18的高度，由出盒線一將空硅片盒運出，而當排片輸送機7的輸送帶表面排滿硅片后，橫向搬運機構8的上料搬運機構整體沿直線導軌8-11向排片輸送機7 —側移動，上料搬運機構的氣旋吸盤8-6a將排片輸送機7傳送帶表面排列的硅片吸取后、上料搬運機構整體平移至碳板輸送裝卸臺9上方， 氣旋吸盤8-6a將硅片放置于碳板輸送裝卸臺9上的出片碳板上，直至出片碳板上排滿硅片后碳板輸送裝卸臺9將表面放滿未處理硅片的出片碳板輸送入PECVD進料口進行PECVD處理；而經PECVD處理后的硅片隨出片碳板由PECVD機的出料口水平輸出至碳板升降臺10_b 內的水平輸送機，碳板升降臺10-b帶動出片碳板以及碳板上已處理過的硅片下降至PECVD 段輸送線1 高度，碳板升降臺10-b的水平輸送機將出片碳板及其上的硅片輸送入PECVD 段輸送線15b，出片碳板及其上的硅片由PECVD段輸送線1 傳送至主機架輸送線15a，然后由主機架輸送線1 輸送入碳板升降臺IOa內，碳板升降臺IOa帶動出片碳板與硅片上升至碳板輸送裝卸臺9的相同高度，碳板升降臺IOa的水平輸送機將碳板與硅片傳送至碳板輸送裝卸臺9，而后橫向搬運機構8的出料搬運機構水平移動至碳板輸送裝卸臺9上方并吸取出片碳板上已處理的硅片、然后將已處理的硅片放置于出片輸送機14的水平傳送帶表面，出片搬運架13動作將放置于出片輸送機14的水平傳送帶表面的硅片逐一吸取后放入出料升降臺12的空硅片盒中，出料升降臺12的空硅片盒由進盒線二 20輸送入出料升降臺12，待空硅片盒中放滿硅片后，出料升降臺12驅動裝滿已處理硅片的硅片盒豎直下降、 由出盒線二 19將硅片盒運出；出料搬運機構每吸取一列出片碳板上已經PECVD處理過的硅片，進料搬運機構即從排片輸送機7的傳送帶表面吸取一列未經PECVD處理的硅片放置于出片碳板上，待出片碳板上所有的已處理硅片被出料搬運機構輸送完、出片碳板上已放置滿未經PECVD處理的硅片，此后碳板輸送裝卸臺9再將出片碳板及放置于出片碳板上未處理的硅片向PECVD的進料口輸送。
權利要求
1.用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其包括主機架，所述主機架安裝于 PECVD設備的進料端側，其特征在于其包括控制系統、待處理硅片送料機構、已處理硅片出料機構、硅片轉運機構以及硅片的橫向搬運機構，所述待處理硅片送料機構與已處理硅片出料機構沿縱向平行布置于所述主機架的橫向兩側，所述硅片轉運機構沿縱向布置、并安裝于所述待處理硅片送料機構與已處理硅片出料機構之間，所述硅片的橫向搬運機構安裝于所述主機架上、并橫跨于所述待處理硅片送料機構、硅片轉運機構、已處理硅片出料機構的上方，所述待處理硅片送料機構、已處理硅片出料機構、硅片轉動機構、硅片的橫向搬運機構與所述控制系統之間均電控連接。
2.根據權利要求1所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述待處理硅片送料機構包括硅片盒運輸線一、進料升降臺、排片輸送機、出片機構，所述硅片盒運輸線一和所述排片輸送機分別沿縱向同軸安裝于進料機架、所述主機架，所述進料升降臺固定于所述進料機架、位于所述硅片盒運輸線一出料端與所述排片輸送機進料端之間；所述出片機構沿縱向安裝于所述排片輸送機的下方；所述排片輸送機的進料端安裝有硅片定位裝置，所述硅片定位裝置固定于所述主機架；所述硅片定位裝置包括縱向定位裝置和橫向定位裝置。
3.根據權利要求2所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述已處理硅片出料機構包括硅片盒運輸線二、出料升降臺、出片搬運架、出片輸送機，所述硅片盒運輸線二與所述出片輸送機沿縱向同軸布置，所述硅片盒運輸線二、出片輸送機分別沿縱向安裝于出料機架和所述主機架，所述出料升降臺固定于所述出料機架、并位于所述出片輸送機的出料端與所述硅片盒運輸線二的進料端之間；所述出片搬運架沿縱向固定于所述主機架、所述出料升降臺的側面；所述出片輸送機的出料末端安裝有所述橫向定位裝置。
4.根據權利要求3所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述硅片轉運機構包括碳板輸送裝卸臺、碳板升降臺和底部機內輸送線，所述碳板升降臺設置有兩組，其中一組安裝于所述主機架的外側且位于所述進料機架與所述出料機架的橫向中間、另一組安裝于PECVD設備出料端側，所述碳板輸送裝卸臺固定于所述主機架、其橫向位置正對PECVD設備的進料口，所述底部機內輸送線沿縱向布置于所述兩組碳板升降臺之間，其包括主機架段輸送線與PECVD段輸送線，所述主機架段輸送線安裝于所述主機架內、并位于所述碳板輸送裝卸臺的下方，所述PECVD段輸送線安裝于所述PECVD的底部。
5.根據權利要求4所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述硅片的橫向搬運機構固定于所述主機架、并橫跨于所述排片輸送機、碳板輸送裝卸臺、 出片輸送機上方。
6.根據權利要求5所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述硅片盒運輸線一和硅片盒運輸線二均包括進盒線與出盒線，所述進盒線與出盒線均設置有輸送電機，所述輸送電機輸出端通過聯軸器連接轉動軸，所述轉動軸兩端固定有同步帶輪，所述同步帶輪通過同步帶連接輸送同步帶輪；所述進盒線的輸送電機與出盒線的輸送電機旋轉方向相反；所述進盒線與出盒線層疊安裝；所述硅片盒運輸線一的進盒線一與出盒線一沿縱向層疊安裝于所述進料機架上、且所述出盒線一位于所述進盒線一的上方； 所述硅片盒運輸線二的進盒線二與出盒線二沿縱向層疊安裝于所述出料機架，所述進盒線二位于所述出盒線二的上方。
7.根據權利要求6所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述進料升降臺包括安裝支架、豎向升降機構和水平輸送機一，所述水平輸送機一固定于升降底板，所述升降底板通過連接板一固定于所述豎向升降機構，所述豎向升降機構通過所述安裝支架固定于所述進料機架；所述豎向升降機構包括豎向直線模組和伺服電機一， 所述豎向直線模組固定于所述安裝支架、并通過聯軸器連接伺服電機一，所述水平輸送機一安裝于升降底板，所述升降底板通過連接板一安裝于所述豎向直線模組；所述水平輸送機一包括電機，電機安裝于升降底板底部，電機輸出軸連接傳動同步帶輪，傳動同步帶輪通過傳動同步帶與輸送同步帶輪連接，輸送同步帶輪通過輸送同步帶與輸送從動帶輪連接； 所述連接板一上端固定有壓緊氣動滑臺，所述壓緊氣動滑臺外側端安裝有壓裝裝置；所述定位擋塊安裝于所述升降底板的硅片出片側端；所述出料升降臺包括無桿氣缸、絲桿傳動機構和水平輸送機二，所述無桿氣缸通過支撐架豎向安裝于所述出料機架，所述水平輸送機二固定于水平安裝板，所述絲桿傳動機構的上頂板固定于所述水平安裝板的底面，所述水平輸送機二與所述絲桿傳動機構均通過連接板安裝于移動滑塊，所述移動滑塊連接無桿氣缸輸出端，所述支撐架上與所述無桿氣缸平行安裝有直線導軌，所述移動滑塊嵌裝于所述直線導軌上；所述絲桿傳動機構包括伺服電機五、滾珠絲桿，所述伺服電機五的輸出端連接同步帶輪，所述滾珠絲桿上端通過軸承座一固定于所述水平安裝板、其下端連接有傳動帶輪，所述同步帶輪與傳動帶輪之間通過同步帶連接，所述滾珠絲桿上安裝有絲桿螺母，所述絲桿螺母與導桿連接，所述導桿上端穿過所述水平安裝板、且其上端部安裝有托板；所述水平輸送機二與水平輸送機一結構相同。
8.根據權利要求7所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述排片輸送機與出片輸送機結構相同，均包括底板、傳送帶、傳送帶輪、伺服電機八，所述底板固定于所述主機架，所述傳送帶輪包括主動帶輪與從動帶輪，所述主動帶輪與從動帶輪分別通過帶輪安裝板固定于傳送帶托架的兩端，所述傳送帶托架通過支架沿縱向固定于所述底板，所述伺服電機八通過支架安裝于所述底板的一側，所述伺服電機八的輸出端安裝有驅動帶輪，所述驅動帶輪與主動帶輪通過同步帶連接，所述主動帶輪與從動帶輪之間通過所述傳送帶連接，所述傳送帶繞裝于所述主動帶輪、傳送帶托架以及從動帶輪外部。
9.根據權利要求2所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述出片機構包括伺服電機二、縱向直線模組一、豎向氣動滑臺一、出片板，所述出片板通過縱向連接板二裝于所述豎向氣動滑臺一，所述豎向氣動滑臺一通過氣動滑臺支架安裝于底板，所述底板安裝于所述縱向直線模組一，所述縱向直線模組一通過聯軸器與所述伺服電機二連接。
10.根據權利要求2所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述縱向定位裝置安裝于所述排片輸送機的進料端，其包括定位塊、移動塊一、伺服電機三、減速器一，所述伺服電機三與所述減速器一軸接，所述減速器一固定于固定板一下端、 其輸出軸穿過所述固定板一，所述減速器輸出軸端安裝有齒輪一，所述固定板一的橫向兩端安裝有縱向直線導軌，所述移動塊一下部橫向兩端設置有滑塊一，所述滑塊一卡裝于所述縱向直線導軌，所述移動塊一下部還固定有齒條一，所述齒輪一與齒條一嚙合，所述定位塊設置有兩塊、分別對稱安裝于連接板三的橫向兩端部，所述連接板三固定于所述移動塊一上部；所述縱向定位裝置的伺服電機三、減速器一穿過所述主機架、并通過所述固定板一固定于所述主機架，所述兩塊定位塊分別位于所述排片輸送機的橫向兩側。
11.根據權利要求2所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述橫向定位裝置沿所述排片輸送機的進料方向、安裝于所述縱向定位裝置的后端，其包括定位輪一、移動塊二、減速器二、伺服電機四，所述伺服電機四與減速器二軸接，所述減速器二固定于固定板二下端、其輸出軸穿過所述固定板二，所述減速器輸出端安裝有齒輪二， 所述移動塊二設置有兩塊，所述兩塊移動塊二均為L形，所述兩塊移動塊相互嵌合，所述兩塊移動塊的縱向下端均安裝有滑塊二，所述固定板二的縱向兩端安裝有橫向直線導軌，所述滑塊二嵌裝于所述橫向直線導軌上，所述兩塊移動塊動上均安裝有橫向齒條，所述橫向齒條與所述齒輪嚙合連接，所述兩塊移動塊的橫向外側端安裝有連接板四，所述連接板四上部安裝有定位輪一安裝板，所述定位輪一安裝板的縱向兩端分別安裝有所述定位輪一； 所述橫向定位裝置的減速器二和伺服電機四穿過所述主機架、并通過所述固定板二固定于所述主機架，所述兩塊移動塊二的的定位輪一分別位于所述排片輸送機的橫向兩側。
12.根據權利要求3所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述出片搬運架包括縱向直線模組二、伺服電機六，所述縱向直線模組二通過兩端的支架一和支架二支承，所述支架一固定于所述主機架、所述出片輸送機的出料末端的一側，所述支架二固定于所述硅片盒運輸線二的進盒線二平臺上，所述縱向直線模組二通過聯軸器與所述伺服電機六軸接，所述縱向直線模組二上通過連接板五安裝有豎向氣動滑臺二，所述豎向氣動滑臺二下部通過吸盤安裝板連接有氣旋吸盤。
13.根據權利要求4所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述碳板輸送裝卸臺包括支架二、水平輸送機一、壓緊定位機構、頂升機構和定位機構，所述支架二橫向安裝于所述主機架，所述輸送機通過輸送機機架安裝于所述支架二，所述壓緊定位機構和定位機構分別安裝于所述輸送機的縱向兩端，所述頂升機構通過固定板三安裝于所述支架二；所述水平輸送機三包括電機、傳動軸、主動輸送輪和從動輸送輪，所述電機通過電機支架固定于所述輸送機機架下部，所述傳動軸的橫向兩端通過軸承座二固定于所述輸送機機架的縱向支架，所述電機與所述傳動軸通過同步帶輪傳動連接，所述傳動軸的橫向兩端均通過所述軸承座二安裝有一個所述主動輸送輪，所述兩側縱向支架上均分別通過軸承座三安裝有兩個所述主動輸送輪與兩個從動輸送輪，所述主動輸送輪與從動輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述縱向支架，單側所述縱向支架上、相鄰兩個所述主動輸送輪之間通過傳送帶傳動連接；所述壓緊定位機構設置有兩個，分別通過安裝板一安裝于所述輸送機機架進料側的橫向支架兩端；所述安裝板二下部固定有縱向氣動滑臺一，所述縱向氣動滑臺通過連接板六連接豎向氣動滑臺三，所述豎向氣動滑臺三的上端固定有壓緊座，所述壓緊座通過導桿一連接壓緊塊，所述導桿一外部套裝有彈簧，所述豎向氣動滑臺三通過橫向連接板七安裝有調節板一，所述調節板一的縱向前端安裝有定位輪二；所述頂升機構包括頂升板，所述頂升板上部安裝有載片柱，所述頂升板下部通過連接板八固定于豎向氣動滑臺四，所述豎向氣動滑臺四固定于所述固定板三，所述固定板三固定于所述支架二，所述豎向氣動滑臺四側面安裝有直線軸承導軌，所述直線軸承導軌上安裝有導桿二，所述導桿二上端頂緊所述連接板下部；所述定位機構包括設置有兩個，分別通過安裝板二固定于所述輸送機機架出料側的橫向支架兩端；所述安裝板二下部固定有縱向氣動滑臺二，所述縱向氣動滑臺二通過連接板八與豎向氣動滑臺五連接，所述豎向氣動滑臺五上端通過連接塊與調節板二，所述調節板二的前端固定有定位輪三。
14.根據權利要求13所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述碳板升降臺包括機架，所述機架的縱向一側安裝有豎向平移機構、其橫向安裝有水平輸送機四，所述水平輸送機四通過連接板九安裝于所述豎向平移機構；所述豎向平移機構包括固定板四、直線模組，所述直線模組通過所述固定板固定于所述機架的縱向一側的豎向支架上，所述直線模組通過聯軸器與伺服電機七連接，所述固定板的縱向兩端安裝有豎向導軌，所述水平輸送機四安裝于輸送機機架，所述輸送機機架固定于所述連接板九，所述連接板九背面的縱向兩側安裝有滑塊，所述滑塊卡裝于所述豎向導軌；所述水平輸送機四的結構與所述水平輸送機三的結構相同。
15.根據權利要求5所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述橫向搬運機構包括直線導軌支架、直線模組支架、上料搬運機構和下料搬運機構，所述直線導軌支架與直線模組支架等高、并沿橫向平行固定于所述主機架，所述直線導軌支架上安裝有直線導軌，所述上料搬運機構和下料搬運機構均包括直線模組與搬運橫梁，所述直線模組均軸接安裝有伺服電機九，所述上料搬運機構的直線模組與下料搬運機構的直線模組交錯安裝于所述直線模組支架，所述搬運橫梁一端通過滑塊安裝于所述直線導軌、另一端通過直線模組連接板安裝于對應的直線模組；所述上料搬運機構的搬運橫梁與下料搬運機構的搬運橫梁背向安裝，所述搬運橫梁外側面安裝有氣動滑臺，所述氣動滑臺通過氣動滑臺安裝板連接吸盤安裝橫梁，所述吸盤安裝橫梁上通過吸盤安裝板固定有所述氣旋吸盤；所述吸盤安裝橫梁上安裝有六個所述氣旋吸盤，所述六個氣旋吸盤均勻分布于所述吸盤安裝橫梁上。
16.根據權利要求4所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述碳板輸送裝卸臺的下方安裝有廢料收集機構，所述廢料收集機構固定于所述主機架。
17.根據權利要求1所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于 所述待處理硅片進料機構與已處理硅片出料機構均設置有兩套；所述兩套待處理硅片進料機構、兩套已處理硅片出料機構均沿縱向平行安裝。
全文摘要
本發明提供了用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其能解決現有手工操作存在的硅片破碎率高的問題，能降低生產成本、提高勞動生產率、降低工人勞動強度。其包括安裝于PECVD設備的進料端側的主機架、控制系統、待處理硅片送料機構、已處理硅片出料機構、硅片轉運機構以及硅片的橫向搬運機構，待處理硅片送料機構與已處理硅片出料機構沿縱向平行布置于主機架的橫向兩側，硅片轉運機構沿縱向布置、并安裝于待處理硅片送料機構與已處理硅片出料機構之間，硅片的橫向搬運機構安裝于主機架上、并橫跨于待處理硅片送料機構、硅片轉運機構、已處理硅片出料機構的上方，待處理硅片送料機構、已處理硅片出料機構、硅片轉動機構、硅片的橫向搬運機構與控制系統之間均電控連接。
文檔編號H01L31/18GK102437251SQ20111045886
公開日2012年5月2日 申請日期2011年12月31日 優先權日2011年12月31日
發明者劉曉平, 胡文全, 陳世強, 陳平, 陶凌 申請人:無錫市奧曼特科技有限公司