專利名稱：板式pecvd設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺的制作方法
技術領域：
本發明涉及太陽能硅片PECVD加工設備領域，具體為板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺。
背景技術：
板式PECVD設備的進料口與出料口分別位于設備的兩端，以往分別需要在進料口側與出料口側設置相應的硅片上料機構和硅片下料機構，其設備占用空間大、設備成本高， 且硅片的上下料效率低，為此目前的自動上下料系統為了能達到縮小設備占用空間、降低設備成本、并提高硅片上下料效率將整個硅片上料機構與下料機構集成設置于PECVD設備的進料口側，這就需要提供一個輸送承載平臺，其既能實現出片碳板的水平輸送，又能提供對出片碳板的可靠夾緊定位、以及對碳板上硅片的承載，保證上下料系統的搬運機構能夠可靠、快速搬運硅片，提高硅片上、下料的效率。

發明內容
針對上述問題，本發明提供了板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺，其能起到有效的碳板承載輸送作用，并為硅片的轉送搬運提供可靠的碳板夾緊定位、硅片的可靠支承作用，提高硅片自動上下料的效率。其技術方案是這樣的，其特征在于其整體安裝于板式PECVD設備的進料口側以及碳板升降臺之間，其包括支架、水平輸送機構、壓緊定位機構、頂升機構和定位機構，所述支架的安裝方向與PECVD硅片進料方向垂直，所述水平輸送機構安裝于所述支架，所述壓緊定位機構和定位機構分別安裝于所述水平輸送機構的縱向兩端，所述頂升機構通過固定板安裝于所述支架。其進一步特征在于所述水平輸送機構包括電機、傳動軸、主動輸送輪和從動輸送輪，所述電機通過電機支架固定于輸送機機架下部，所述傳動軸的縱向兩端通過軸承座一固定于所述輸送機機架的橫向支架，所述電機與所述傳動軸通過同步帶輪傳動連接，所述傳動軸的縱向兩端均通過所述軸承座一安裝有一個所述主動輸送輪，所述兩側橫向支架上均分別通過軸承座二安裝有兩個所述主動輸送輪與兩個從動輸送輪，所述主動輸送輪與從動輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述橫向支架，單側所述橫向支架上、相鄰兩個所述主動輸送輪之間通過傳送帶傳動連接；
所述壓緊定位機構設置有兩個，分別通過安裝板一安裝于所述輸送機機架進料側的縱向支架兩端；所述安裝板一下部固定有橫向氣動滑臺一，所述橫向氣動滑臺一通過連接板一連接豎向氣動滑臺一，所述豎向氣動滑臺一的上端固定有壓緊座，所述壓緊座通過導桿一連接壓緊塊，所述導桿一外部套裝有彈簧，所述豎向氣動滑臺一通過縱向連接板安裝有調節板一，所述調節板一的橫向前端安裝有定位輪一；
所述頂升機構包括頂升板，所述頂升板上部安裝有載片柱，所述頂升板下部通過連接板二固定于豎向氣動滑臺二，所述豎向氣動滑臺二固定于所述固定板，所述固定板固定于所述支架，所述豎向氣動滑臺二側面安裝有直線軸承導軌，所述直線軸承導軌上安裝有導桿二，所述導桿二上端頂緊所述連接板二下部；
所述定位機構包括設置有兩個，分別通過安裝板二固定于所述輸送機機架出料側的縱向支架兩端；所述安裝板二下部固定有橫向氣動滑臺二，所述橫向氣動滑臺二通過連接板三與豎向氣動滑臺三連接，所述豎向氣動滑臺三上端通過連接塊與調節板二，所述調節板二的前端固定有定位輪二。使用本發明的碳板輸送裝卸臺，其有益效果在于其提供了一個可靠的承載輸送平臺，保證碳板以及放置于碳板上的硅片的輸送以及硅片的可靠搬運，其中水平輸送機構可以保證碳板的水平運輸，壓緊定位機構與定位機構能夠將碳板壓緊定位，而頂升機構將放置于碳板上的硅片向上可靠頂起方便上下料系統的硅片搬運機構進行硅片的搬運。


圖1為本發明碳板輸送裝卸臺安裝位置示意圖； 圖2為本發明碳板輸送裝卸臺結構示意圖3為本發明碳板輸送裝卸臺中的水平輸送機構的結構示意圖； 圖4為本發明碳板輸送裝卸臺的壓緊定位裝置結構示意圖； 圖5為本發明碳板輸送裝卸臺的頂升機構的結構示意圖； 圖6為本發明碳板輸送裝卸臺的定位機構的結構示意圖。
具體實施例方式見圖1、圖2、圖3、圖4、圖5和圖6，本發明碳板輸送裝卸臺整體安裝于板式PECVD 設備的進料口 40側以及碳板升降臺41之間，其包括支架1、水平輸送機構2、壓緊定位機構 3、頂升機構4和定位機構5，支架1的安裝方向與PECVD硅片進料方向49垂直，水平輸送機構2安裝于支架1，壓緊定位機構3和定位機構5分別安裝于水平輸送機構2的縱向兩端， 頂升機構4通過固定板沈安裝于支架1。水平輸送機構2包括電機6、傳動軸9、主動輸送輪11和從動輸送輪12，電機6通過電機支架7固定于輸送機機架下部，傳動軸9的縱向兩端通過軸承座一 46固定于輸送機機架的橫向支架45，電機6與傳動軸9通過同步帶輪8、 10傳動連接，傳動軸9的縱向兩端均通過軸承座一 46安裝有一個所述主動輸送輪11，兩側橫向支架45上均分別通過軸承座二 13安裝有兩個主動輸送輪11與兩個從動輸送輪12，主動輸送輪11與從動輸送輪12均勻、間隔分布安裝于橫向支架45，單側橫向支架45上、相鄰兩個主動輸送輪11之間通過傳送帶14傳動連接；壓緊定位機構3設置有兩個，分別通過安裝板一 16安裝于輸送機機架進料側的縱向支架47兩端；安裝板一 16下部固定有橫向氣動滑臺一 15，橫向氣動滑臺一 15通過連接板一 17連接豎向氣動滑臺一 18，豎向氣動滑臺一 18的上端固定有壓緊座19，壓緊座19通過導桿一 23連接壓緊塊25，導桿一 23外部套裝有彈簧對，豎向氣動滑臺一 18通過縱向連接板20安裝有調節板一 21，調節板一 21的橫向前端安裝有定位輪一 22 ；頂升機構4包括頂升板31，頂升板31上部安裝有載片柱32，頂升板 31下部通過連接板二 30固定于豎向氣動滑臺二四，豎向氣動滑臺二四固定于固定板26， 固定板26固定于支架1，豎向氣動滑臺二四側面安裝有直線軸承導軌觀，直線軸承導軌觀上安裝有導桿二 27，導桿二 27上端頂緊連接板二 30下部；定位機構5包括設置有兩個，分別通過安裝板二 34固定于輸送機機架出料側的縱向支架47兩端；安裝板二 34下部固定有橫向氣動滑臺二 33，橫向氣動滑臺二 33通過連接板三35與豎向氣動滑臺三36連接，豎向氣動滑臺三36上端通過連接塊觀與調節板二 38，調節板二 38的前端固定有定位輪二 39。 圖1中，48為本發明碳板輸送裝卸臺。 下面具體描述一下本發明的工作過程裝滿已處理硅片的出片碳板由PECVD設備的出料口 42進入出料口碳板升降臺43，再由底部輸送線裝置44送至進料口側的碳板升降臺41，由碳板升降臺41的水平輸送機輸送至碳板輸送裝卸臺的頂升機構4的正上方，同時壓緊定位機構3和定位機構5動作，將出片碳板夾緊定位，然后頂升機構4的豎向氣動滑臺二四向上動作，載片柱32支承住硅片，PECVD設備的橫向搬運機構動作進行硅片的裝卸， 硅片裝卸完后，頂升機構4向下動作將硅片落入出片碳板的定位槽中，壓緊定位機構3與定位機構5動作松開出片碳板，水平輸送機構2動作將出片碳板水平輸送至PECVD進料端口。
權利要求
1.板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺，其特征在于其整體安裝于板式 PECVD設備的進料口側以及碳板升降臺之間，其包括支架、水平輸送機構、壓緊定位機構、 頂升機構和定位機構，所述支架的安裝方向與PECVD硅片進料方向垂直，所述水平輸送機構安裝于所述支架，所述壓緊定位機構和定位機構分別安裝于所述水平輸送機構的縱向兩端，所述頂升機構通過固定板安裝于所述支架。
2.根據權利要求1所述的板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺，其特征在于 所述水平輸送機構包括電機、傳動軸、主動輸送輪和從動輸送輪，所述電機通過電機支架固定于輸送機機架下部，所述傳動軸的縱向兩端通過軸承座一固定于所述輸送機機架的橫向支架，所述電機與所述傳動軸通過同步帶輪傳動連接，所述傳動軸的縱向兩端均分別通過所述軸承座一安裝有一個所述主動輸送輪，所述兩側橫向支架上通過軸承座二安裝有兩個所述主動輸送輪與兩個從動輸送輪，所述主動輸送輪與從動輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述橫向支架，單側所述橫向支架上、相鄰兩個所述主動輸送輪之間通過傳送帶傳動連接。
3.根據權利要求2所述的板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺，其特征在于 所述壓緊定位機構設置有兩個，分別通過安裝板一安裝于所述輸送機機架進料側的縱向支架兩端；所述安裝板一下部固定有橫向氣動滑臺一，所述橫向氣動滑臺一通過連接板一連接豎向氣動滑臺一，所述豎向氣動滑臺一的上端固定有壓緊座，所述壓緊座通過導桿一連接壓緊塊，所述導桿一外部套裝有彈簧，所述豎向氣動滑臺一通過縱向連接板安裝有調節板一，所述調節板一的橫向前端安裝有定位輪一。
4.根據權利要求3所述的板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺，其特征在于 所述頂升機構包括頂升板，所述頂升板上部安裝有載片柱，所述頂升板下部通過連接板二固定于豎向氣動滑臺二，所述豎向氣動滑臺二固定于所述固定板，所述固定板固定于所述支架，所述豎向氣動滑臺二側面安裝有直線軸承導軌，所述直線軸承導軌上安裝有導桿二， 所述導桿二上端頂緊所述連接板二下部。
5.根據權利要求4所述的板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺，其特征在于 所述定位機構包括設置有兩個，分別通過安裝板二固定于所述輸送機機架出料側的縱向支架兩端；所述安裝板二下部固定有橫向氣動滑臺二，所述橫向氣動滑臺二通過連接板三與豎向氣動滑臺三連接，所述豎向氣動滑臺三上端通過連接塊與調節板二，所述調節板二的前端固定有定位輪二。
全文摘要
本發明提供了板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺，其能起到有效的碳板承載輸送作用，并為硅片的轉送搬運提供可靠的碳板夾緊定位、硅片的可靠支承作用，提高硅片自動上下料的效率。其特征在于其整體安裝于板式PECVD設備的進料口側以及碳板升降臺之間，其包括支架、水平輸送機構、壓緊定位機構、頂升機構和定位機構，支架的安裝方向與PECVD硅片進料方向垂直，水平輸送機構安裝于支架，壓緊定位機構和定位機構分別安裝于水平輸送機構的縱向兩端，頂升機構通過固定板安裝于所述支架。
文檔編號H01L31/18GK102569509SQ20111045875
公開日2012年7月11日 申請日期2011年12月31日 優先權日2011年12月31日
發明者劉曉平, 陳平 申請人:無錫市奧曼特科技有限公司