涂布方法及裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明系有關于一種涂布方法及裝置，尤指一種用于在一載盤上，對載盤上所置設用于承載芯片的基板(Substrate)進行涂布黏性材料的涂布方法及裝置。
【背景技術】
[0002]—般晶圓經切割成一片片芯片時,每一片芯片必須經由置設于一基板(SubstrateBoard)中進行封裝，才能使該芯片被使用；而現行將芯片置設于基板上的作業通常透過一載盤(Boat)來完成，使載盤提供多數個整齊排列的置放區間，以供各基板置于載盤各置放區間，然后再將基板上預定位置涂覆黏性材料，以供芯片置于基板上時可藉該黏性材料固定于基板預設的定位以進行下一制程。
[0003]一種先前技術在基板上預定位置涂覆黏性材料的方法及裝置，采用在兩龍門下方設軌道，并使軌道上置設該載有基板的載盤，及于兩龍門間的上方共同架設一橫設的軌座，并在軌座上設內部容裝黏性材料的膠閥，藉由橫設的軌座可在兩龍門上作Y軸向位移，而膠閥可在軌座上作X軸向及Z軸向位移，來對下方軌道中載盤上基板進行涂布黏性材料的作業。
[0004]另一種先前技術在基板上預定位置涂覆黏性材料的方法及裝置，為提高效率而采用在兩龍門下方設兩平行的第一、二導軌，以分別輸送二載盤，并在第一龍門上設第一導引軌道及第二導引軌道，以分別設置檢測單元及第一出料頭，及在第二龍門上設第三導引軌道以設置第二出料頭，使第一導軌上的載盤輸經第一龍門上第一導引軌道下方時受檢測單元檢測，再續輸送經第一龍門上第二導引軌道下方受第一出料頭涂布，然后再返回原第一龍門上第一導引軌道下方再受檢測單元檢測，以完成涂布作業；而第二導軌則與第一導鬼進行的程序及作業相同，但較第一導軌上的作業程序晚一步驟。

【發明內容】

[0005]先前技術采在兩龍門下方設兩平行的第一、二導軌以分別輸送二載盤者，其雖較在兩龍門下方設軌道，并使軌道上置設該載有基板的載盤，及于兩龍門間的上方共同架設一橫設的軌座者具有較高的涂布效率，但因其就單一載盤上的涂布作業而言，因載盤是在移動中被進行涂覆，因此出料頭的位移與載盤的位移構成更多的變動因素，對于涂布精度形成精確性的影響；再者，由于其采三個導引軌道來分別設置檢測單元、第一出料頭、第二出料頭的方式，使在第一出料頭、第二出料頭完成涂布的該載有基板的載盤必須進行一返回程序，而返回至第一導引軌道下方接受檢測單元的檢測，造成行程的浪費與下一載盤進入的延遲，對產出效率形成延怠！
[0006]于是，本發明的目的，在于提供一種使被輸送的載盤可有效率地在多個軌道上進行黏性材料涂布的涂布裝置。
[0007]本發明的另一目的，在于提供一種使各項操作集中于同一操作區間以便于操作管理的涂布裝置。
[0008]本發明的又一目的，在于提供一種使載盤在定位被進行黏性材料涂布以增加精確性的涂布裝置。
[0009]本發明的再一目的，在于提供一種使在黏性材料涂布過程中易于進行各項定位校正的涂布裝置。
[0010]本發明的又再一目的，在于提供二種使被輸送的載盤可有效率地在多個軌道上進行黏性材料涂布的涂布方法。
[0011]本發明的又再一目的，在于提供一種使載盤在定位被進行黏性材料涂布以增加精確性的涂布方法。
[0012]本發明的又再一目的，在于提供二種使操作裝置在進行黏性材料涂布時可避免碰撞的涂布方法。
[0013]本發明的又再一目的，在于提供一種將載盤完成涂布黏性材料后輸送至收納盒收集的涂布方法。
[0014]本發明的又再一目的，在于提供一種以有效率的載盤移載流路進行黏性材料涂布的涂布方法。
[0015]依據本發明的目的的涂布裝置，包括:一主機臺，其上設置可供一載盤于其中作定位或作輸送位移第一軌道與第二軌道；其兩側分別設有可被驅動作位移的第一活動軌架的第一轉換機構及可被驅動作位移的第二活動軌架的第二轉換機構；在第一軌道、第二軌道上方設有相隔一段間距的第一龍門及第二龍門，所述第一軌道與第二軌道位于第一龍門及第二龍門間所形成的操作區間；第一龍門的第一懸臂上設有第一操作裝置，第二龍門的第二懸臂上設有第二操作裝置；所述載盤經由第一轉換機構的第一活動軌架而輸送至第一軌道或第二軌道受第一操作裝置及第二操作裝置進行黏性材料涂布，并于完成后，由第一軌道或第二軌道經第二轉換機構的第二活動軌架輸送移出者。
[0016]依據本發明另一目的的涂布裝置，包括:一主機臺，其上設置第一軌道與第二軌道，所述第一軌道及第二軌道各可供一載盤于其中作定位或作輸送位移；在第一軌道、第二軌道上方設有相隔一段間距的第一龍門及第二龍門，所述第一軌道與第二軌道位于第一龍門及第二龍門間所形成的操作區間；第一龍門的第一懸臂上設有第一操作裝置，第二龍門的第二懸臂上設有第二操作裝置；該所述第一操作裝置包括:第一檢測裝置、第一取像裝置、第一涂布頭；該第二操作裝置包括:第二檢測裝置、第二取像裝置、第二涂布頭；所述載盤于操作區間中的第一軌道或第二軌道上受第一操作裝置及第二操作裝置進行基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料，并于完成后，由第一軌道或第二軌道輸送移出者。
[0017]依據本發明又一目的的涂布裝置，包括:一主機臺，其上設置第一軌道與第二軌道，所述第一軌道及第二軌道各可供一載盤于其中作定位或作輸送位移；在第一軌道、第二軌道上方設有相隔一段間距的第一龍門及第二龍門，所述第一固定軌架、第二固定軌架位于第一龍門及第二龍門間所形成的操作區間；第一龍門上設有第一操作裝置，第二龍門上設有第二操作裝置；在第一軌道與第二軌道處各設有一治具，該治具設有一可受驅動作上、下位移的治具座，治具座上設有多數頂座，各頂座上設有負壓槽道；另，載盤內設有多數鏤空區間，各鏤空區間處分別各置設載片；當載盤被輸送至第一軌道或第二軌道處時，所述治具的治具座將被驅動上移以頂座頂觸載片，并在負壓槽道通以負壓，使載片被吸附于頂座上表面下令頂座升經鏤空區間，以使載片上所置設載有芯片的基板被第一操作裝置、第二操作裝置進行黏性材料涂布。
[0018]依據本發明再一目的的涂布裝置，包括:一主機臺，其上設置第一軌道與第二軌道，所述第一軌道及第二軌道各可供一載盤于其中作定位或作輸送位移；在第一軌道、第二軌道上方設有相隔一段間距的第一龍門及第二龍門，所述第一固定軌架、第二固定軌架位于第一龍門及第二龍門間所形成的操作區間；第一龍門上設有第一操作裝置，第二龍門上設有第二操作裝置；在所述操作區間的第一軌道與第二軌道間，設有一校正座，其上設有校正刻度；以使載盤上所載設的基板被第一操作裝置、第二操作裝置進行黏性材料涂布時時藉以校正定位者。
[0019]依據本發明又再一目的的涂布方法，用以在一載盤所置放的基板上涂布黏性材料，該載盤移載的流路包括:第二選擇性流路，由第一轉換機構的第一活動軌架作Y軸向位移所構成；第一固定流路，由第一固定軌架所構成；第二固定流路，由第二固定軌架所構成；第三選擇性流路，由第二轉換機構的第二活動軌架作Y軸向位移所構成。
[0020]依據本發明又再一目的的另一涂布方法，用以在一載盤所置放的基板上涂布黏性材料，該載盤移載的流路包括:第二選擇性流路，用以將載盤逐一順序轉換分配至不同輸送流路；第一固定流路，用以使載盤于定位供執行基板上涂布黏性材料步驟；第二固定流路，用以使載盤于定位供執行基板上涂布黏性材料步驟；第三選擇性流路，用以將載盤自不同輸送流路逐一順序轉換卸移至同一輸送流路。
[0021]依據本發明又再一目的的再一涂布方法，用以在一載盤所置放的基板上涂布黏性材料，該載盤被輸送于由第一龍門及第二龍門間所形成的一操作區間內的X軸向軌道中；提供可分別各在所述第一龍門、第二龍門上作X軸向及Y軸向位移的第一工作頭、第二工作頭，于二者各朝所述操作區間的一端分別各設第一操作裝置、第二操作裝置進行在基板上涂布黏性材料者。
[0022]依據本發明又再一目的的涂布方法，用以在一載盤所置放的基板上涂布黏性材料，該載盤被輸送于由第一龍門及第二龍門間所形成的一操作區間內的軌道中，第一龍門及第二龍門上分別各設有第一操作裝置、第二操作裝置對該載盤進行同步在一載盤上操作基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料等三步驟，其中，第一操作裝置由載盤左邊側、第二操作裝置由載盤中央，二者同步向右、向下或向左位移，依所述基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏