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一種基于時域反射法的電子線路太赫茲無損檢測系統

文檔序號:39427267發布日期:2024-09-20 22:25閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種基(ji)于(yu)時域(yu)反射法(fa)的電子線路(lu)太(tai)赫(he)(he)茲(zi)(zi)無(wu)損(sun)檢測(ce)系統(tong)(tong),其(qi)特征在于(yu),所述系統(tong)(tong)包括光源與分光模(mo)塊(kuai)、強場太(tai)赫(he)(he)茲(zi)(zi)脈沖(chong)產生模(mo)塊(kuai)、太(tai)赫(he)(he)茲(zi)(zi)收集與傳輸模(mo)塊(kuai)、樣(yang)品檢測(ce)模(mo)塊(kuai)和太(tai)赫(he)(he)茲(zi)(zi)脈沖(chong)探測(ce)模(mo)塊(kuai);其(qi)中,

2.根據權利要求(qiu)1所(suo)述的(de)基于時域反射(she)法(fa)的(de)電(dian)子線路(lu)太赫茲(zi)無(wu)損檢測系統,其(qi)特征在于:

3.根據權利要求2所述(shu)的基于時域(yu)反射法的電(dian)子線(xian)路太(tai)赫茲(zi)無損檢測(ce)系統,其特征在(zai)于,對于所述(shu)太(tai)赫茲(zi)脈沖探(tan)測(ce)模(mo)塊:

4.根據權利要求1所(suo)述的基于時(shi)域反射(she)法的電(dian)子線路太赫茲(zi)無損檢測系統,其特征在于:

5.根(gen)據(ju)權利要求4所述(shu)的(de)基于時域反射法的(de)電(dian)子(zi)線路太赫茲無損檢測系統,其特征在于,對于所述(shu)太赫茲脈(mo)沖探測模塊:

6.根據權利要求2-5中任(ren)一項所(suo)述的基于時域(yu)反射法(fa)的電子線路太赫茲無損檢測系(xi)統,其(qi)特征(zheng)在于,對于所(suo)述強(qiang)場太赫茲脈沖產(chan)生模(mo)塊:

7.根據權利要求6所述的基于(yu)時域反射法的電(dian)子線路太(tai)赫(he)(he)茲無損檢測(ce)系(xi)統,其特征在于(yu),對(dui)于(yu)所述太(tai)赫(he)(he)茲收集與(yu)傳輸模塊:

8.根(gen)據權(quan)利要求7所述(shu)的(de)基于時域反射法(fa)的(de)電子線路(lu)太(tai)赫茲無損(sun)檢測(ce)系統(tong),其特征在于,對于所述(shu)樣品檢測(ce)模塊:

9.根據權利要求8所述(shu)的(de)基于時域反射法的(de)電子線路太赫茲無損檢(jian)測(ce)系統,其特征在于:所述(shu)激(ji)光器(qi)(1)為飛秒(miao)激(ji)光器(qi)或皮(pi)秒(miao)激(ji)光器(qi),所述(shu)脈(mo)寬壓縮器(qi)(15)將脈(mo)寬壓縮至(zhi)100fs以內。

10.根據權利要(yao)求9所(suo)述(shu)的(de)基于時域反射法(fa)的(de)電子(zi)線路太赫茲無損(sun)檢測系(xi)統,其特征(zheng)在(zai)于:所(suo)述(shu)探測晶(jing)體(ti)(22)使用電光晶(jing)體(ti)。


技術總結
本發明涉及太赫茲無損檢測技術領域,具體涉及一種基于時域反射法的電子線路太赫茲無損檢測系統,包括:光源與分光模塊、強場太赫茲脈沖產生模塊、太赫茲收集與傳輸模塊、樣品檢測模塊和太赫茲脈沖探測模塊;將激光光束分為泵浦光束和探測光束;泵浦光束進入強場太赫茲脈沖產生模塊,產生強場太赫茲脈沖;太赫茲傳輸與收集模塊對強場太赫茲脈沖進行收集,并傳輸到樣品檢測模塊;樣品檢測模塊收集電子線路樣品對太赫茲脈沖的反射信號;探測光束進入太赫茲脈沖探測模塊,太赫茲脈沖探測模塊對所述反射信號進行相干測量;本發明能夠基于產生的強場太赫茲脈沖對電子線路內部缺陷進行更高性能的無損探測。

技術研發人員:吳曉君,才家華,孔德胤
受保護的技術使用者:北京航空航天大學
技術研發日:
技術公布日:2024/9/19
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