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半導體器件的制作方法

文檔序號:11101479閱讀:來(lai)源:國知局

技術特征:

1.一(yi)種半導體器件,包括:

第一晶體管,包括:

第一(yi)(yi)源(yuan)極區(qu)域(yu),位(wei)于具有第一(yi)(yi)濃(nong)度的第一(yi)(yi)塊狀區(qu)域(yu)中;和

第一柵極;以及

第二晶體管,包括:

第(di)二(er)(er)源極區(qu)域,位于具有比所述第(di)一(yi)濃度高(gao)的第(di)二(er)(er)濃度的第(di)二(er)(er)塊狀區(qu)域中,所述第(di)二(er)(er)源極區(qu)域與所述第(di)一(yi)源極區(qu)域和所述第(di)一(yi)柵極連接。

2.根據權利要(yao)求1所述的(de)半導體(ti)器件,其中(zhong),所述第(di)(di)(di)一(yi)晶體(ti)管包(bao)括具有(you)第(di)(di)(di)一(yi)厚(hou)度(du)的(de)第(di)(di)(di)一(yi)絕緣層,并(bing)且(qie)所述第(di)(di)(di)二晶體(ti)管包(bao)括具有(you)第(di)(di)(di)二厚(hou)度(du)的(de)第(di)(di)(di)二絕緣層,所述第(di)(di)(di)二厚(hou)度(du)大于(yu)所述第(di)(di)(di)一(yi)厚(hou)度(du)。

3.根據(ju)權利要(yao)求1所(suo)述(shu)的(de)半導體器件,其中,所(suo)述(shu)第(di)一(yi)晶(jing)體管包(bao)括(kuo)具(ju)有(you)第(di)一(yi)厚(hou)度的(de)第(di)一(yi)絕緣(yuan)層(ceng),并(bing)且所(suo)述(shu)第(di)二(er)晶(jing)體管包(bao)括(kuo)具(ju)有(you)第(di)二(er)厚(hou)度的(de)第(di)二(er)絕緣(yuan)層(ceng),所(suo)述(shu)第(di)二(er)厚(hou)度等于所(suo)述(shu)第(di)一(yi)厚(hou)度。

4.根據權利要(yao)求1所(suo)述(shu)的(de)半導(dao)體器件(jian),還包括:第一(yi)淺溝(gou)槽隔(ge)離(li)件(jian)(STI)和(he)第二淺溝(gou)槽隔(ge)離(li)件(jian)以及所(suo)述(shu)第一(yi)淺溝(gou)槽隔(ge)離(li)件(jian)和(he)所(suo)述(shu)第二淺溝(gou)槽隔(ge)離(li)件(jian)之間的(de)摻(chan)雜區域。

5.根據權(quan)利要(yao)求4所述的半導體(ti)(ti)器(qi)件,其(qi)中,所述摻雜(za)區域用作所述第一晶(jing)體(ti)(ti)管和(he)所述第二晶(jing)體(ti)(ti)管的漏極。

6.根據權利要求1所述的半導體器件,其中,所述第一濃度的范圍從5×1015cm-3到1×1016cm-3,并且所述第二濃度的范圍從1.5×1016cm-3到2×1017cm-3

7.根據(ju)權利要求1所(suo)述的半導體器件,其(qi)中,所(suo)述第(di)一塊狀區域與(yu)所(suo)述第(di)一柵(zha)極(ji)的一部分(fen)重(zhong)疊(die),并且所(suo)述第(di)二塊狀區域與(yu)所(suo)述第(di)二柵(zha)極(ji)的一部分(fen)重(zhong)疊(die),還(huan)包括:

限定在(zai)所(suo)述(shu)第一(yi)塊狀區(qu)域中(zhong)的第一(yi)溝(gou)道(dao)和(he)限定在(zai)所(suo)述(shu)第二(er)塊狀區(qu)域中(zhong)的第二(er)溝(gou)道(dao)。

8.一種半導體器件,包括:

第一晶體管,包括:

第一源極(ji)區域(yu),位于第一塊狀(zhuang)區域(yu)中;

第一(yi)絕緣層(ceng),具有第一(yi)厚度;和

第一柵極,位于所述第一絕緣層(ceng)上;以(yi)及(ji)

第二晶體管,包括:

第(di)二源(yuan)(yuan)極(ji)(ji)區(qu)域,位于第(di)二塊狀區(qu)域中,所(suo)述第(di)二源(yuan)(yuan)極(ji)(ji)區(qu)域與(yu)所(suo)述第(di)一(yi)源(yuan)(yuan)極(ji)(ji)區(qu)域和所(suo)述第(di)一(yi)柵極(ji)(ji)連接(jie);

第(di)二絕緣層,具有第(di)二厚(hou)度,所述第(di)二厚(hou)度大于所述第(di)一厚(hou)度;和

第二柵極,位于所述(shu)第二絕緣層上。

9.根(gen)據(ju)權利(li)要求8所(suo)述的(de)半導(dao)體(ti)器件,其(qi)中,所(suo)述第(di)一塊狀區(qu)(qu)域(yu)具有(you)第(di)一濃度(du),并(bing)且(qie)所(suo)述第(di)二塊狀區(qu)(qu)域(yu)具有(you)比所(suo)述第(di)一濃度(du)高的(de)第(di)二濃度(du)。

10.一(yi)種形成半導體器件的方(fang)法(fa),所(suo)述方(fang)法(fa)包括(kuo):

提供包括第一器(qi)(qi)件(jian)區(qu)域和(he)第二器(qi)(qi)件(jian)區(qu)域的襯底,所(suo)述(shu)第一器(qi)(qi)件(jian)區(qu)域和(he)所(suo)述(shu)第二器(qi)(qi)件(jian)區(qu)域分別與第一晶(jing)體(ti)管和(he)第二晶(jing)體(ti)管相關聯;

在所述襯(chen)底中形成阱;

在所(suo)述第(di)一(yi)(yi)器件區域中形成第(di)一(yi)(yi)圖案化的(de)絕緣(yuan)層,所(suo)述第(di)一(yi)(yi)圖案化的(de)絕緣(yuan)層具有第(di)一(yi)(yi)厚度;

在(zai)所述第(di)(di)二(er)器件區域中形成第(di)(di)二(er)圖(tu)案化(hua)的(de)絕緣層,所述第(di)(di)二(er)圖(tu)案化(hua)的(de)絕緣層具(ju)有(you)比(bi)所述第(di)(di)一厚(hou)(hou)度大的(de)第(di)(di)二(er)厚(hou)(hou)度;

在(zai)所述第一圖案(an)化的(de)絕(jue)緣層上形(xing)成第一柵極;

在所述(shu)阱中(zhong),第一塊狀(zhuang)(zhuang)區域(yu)和第二塊狀(zhuang)(zhuang)區域(yu)分別形成(cheng)在所述(shu)第一器(qi)件(jian)區域(yu)和所述(shu)第二器(qi)件(jian)區域(yu)中(zhong);

分(fen)別(bie)在所述第一塊狀(zhuang)區(qu)(qu)域(yu)和所述第二塊狀(zhuang)區(qu)(qu)域(yu)中形成第一源極(ji)區(qu)(qu)域(yu)和第二源極(ji)區(qu)(qu)域(yu);以及

將所(suo)述第一源(yuan)極(ji)區域、所(suo)述第一柵(zha)極(ji)和所(suo)述第二源(yuan)極(ji)區域連接在一起(qi)。

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