專利名稱：Led襯底加工用研磨液及其制備方法
技術領域：
本發明屬于精密研磨加工領域，具體應用于光電行業LED制造中硅、碳化硅、藍寶石等襯底的精密高效研磨拋光。
背景技術：
LED產品具有小型化、省電、低發熱、耐震、使用壽命長、光電轉換效能高、單色發光及反應速度快等優點，廣泛見于日常生活中，如家用電器的指示燈，汽車后防霧燈、LED顯示屏等。LED通常采用硅、碳化硅、藍寶石作為襯底制造。LED制造過程中，必須對其襯底表面進行極其精密的研磨拋光，加工質量要求非常高，如表面粗糙度值Ra須達到納米級且表面無微小劃痕等，為了達到這種要求通常采用研磨液研磨的方法。根據具體使用要求的不同，研磨液可以選取水性和油性溶劑做為研磨分散介質， 針對要解決的技術問題，設計相對應的技術方案。例如，北京國瑞升提出的中國專利申請200710177815. 7揭示了一種水性金剛石研磨液及其制備方法，根據該專利申請，采用單一的金剛石作為磨料加工LED襯底、光學儀器、玻璃、陶瓷、寶石等硬脆材料。河北工業大學劉玉玲等提出的專利申請200610013981.9 揭示了一種藍寶石襯底材料的拋光液，該專利申請應用硅溶膠作為磨料對藍寶石襯底進行研磨拋光。眾所周知，金剛石是世界上硬度最高的物質，用其作為磨料研磨LED襯底可以實現高效的研磨拋光，但是往往會造成較高的表面粗糙度，表面出現細小劃痕和微裂紋。在研磨加工過程中，一部分磨粒在研磨壓力的作用下用露出的尖端刻劃工件表面進行微切削加工；另一部分磨粒則產生滾軋效果。由于微米級金剛石硬度比LED襯底硬度值高，從而使得襯底表面在研磨加工過程中易產生脆性崩碎形成切屑，從而導致表面加工質量不高。非金剛石納米級拋光材料，如氧化鋁、氧化硅、氧化鈰、氧化鉻等，粒度細，且硬度值低，對工件表面的作用力很小，可以有效的減少金剛石在加工過程中所產生的加工缺陷問題，但加工效率卻差強人意。因此，為了滿足LED襯底的加工要求，還有必要尋求新的解決途徑。

發明內容
本發明所要解決的技術問題在于提供一種研磨液及其制備方法，通過在金剛石微粉中復合加入硬度比金剛石低的非金剛石納米級拋光材料，實現微米級金剛石和非金剛石納米級拋光材料在加工LED襯底材料方面的優勢互補，從而解決目前微米級金剛石在加工 LED襯底片過程中出現的工件表面粗糙度值較高、有細小劃痕與微裂紋等表面加工缺陷，同時也解決僅應用非金剛石納米級拋光材料作為磨料在加工LED襯底片過程中出現的材料去除速率低的問題。為了解決上述技術問題采用以下技術方案一種LED襯底加工用研磨液，包括溶劑、添加劑和研磨劑，研磨劑由金剛石微粉及非金剛石納米級拋光材料組成；金剛石微粉，純度為99%以上，粒度為W0. 5 W20 ；非金剛石納米級拋光材料為氧化鋁、氧化硅、氧化鈰、 氧化鉻中的任意一種或任意幾種的混合物，粒度為l(Tl00nm，純度為99%以上。一種水性研磨液由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉0. 1 2份、潤濕劑 0. 01 2份、分散劑1 6份、懸浮劑0. 2 10份、非金剛石納米級拋光材料0. 5飛份、去離子水75 99份。制備方法如下1)按重量份選取原料備用；2)取潤濕劑加入金剛石微粉中，攪拌并超聲20 30min，充分潤濕金剛石微粉顆粒表面；3)取去離子水、分散劑混合，并與潤濕后的金剛石微粉混合，并用超聲波分散10 30min ；4)取上述金剛石混合液體，加入懸浮劑，攪拌并超聲分散15 20min ；5)取上述分散均勻的液體，加入所述的非金剛石納米級拋光材料，并用超聲波細胞粉碎機分散混合液體10 30min后即制備成水性研磨液。所述的潤濕劑、分散劑、懸浮劑為分析純；所述的潤濕劑為檸檬酸、草酸、丙三醇、 琥珀酸二異辛酯磺酸鈉、N，N-二甲基十二烷基胺丙基磺酸內銨鹽中的任意一種或任意幾種的混合物；所述的分散劑為十二烷基硫酸鈉、十二烷基磺酸鈉、六偏磷酸鈉、1，2_丙二醇、 二甘醇、乙二醇、聚乙二醇、硅烷偶聯劑、烷基酚與環氧乙烷的縮合物、烷基酚聚氧乙烯醚中的任意一種或任意幾種的混合物；所述的懸浮劑為黃原膠、明膠、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酰胺、羧甲基纖維素鈉、多聚磷酸鈉中的任意一種或任意幾種的混合物。一種油性研磨液由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉0.廣3份、表面活性劑0. Γ2份、非金剛石納米級拋光材料0. 2^3份、分散劑0. 8飛份、低碳鏈烴類溶劑油或輕質礦物油87 99份。制備方法如下1)按重量份選取原料備用；2)在金剛石微粉中加入表面活性劑， 超聲攪拌l(T30min使金剛石微粉表面充分潤濕；3)將上述潤濕好的金剛石微粉中加入低碳鏈烴類溶劑油或輕質礦物油，充分攪拌并超聲分散2(T30min ；4)將上述分散后液體中加入非金剛石納米級拋光材料，充分攪拌并用超聲波細胞粉碎機分散2(T30min ；5)將上述分散好的油性液體中加入分散劑，充分攪拌并用超聲波細胞粉碎機超聲分散15 20min后，即制備成油性研磨液。所述表面活性劑為失水山梨醇單油酸脂、失水山梨醇單硬脂酸脂、聚氧乙烯失水山梨醇單硬脂酸酯、油酸三乙醇胺、聚氧乙烯失水山梨醇單油酸酯、脂肪酸聚乙二醇酯中的任意一種；所述分散劑為壬基酚聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、蓖麻油聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚中的任意一種。本發明在采用微米級金剛石作為磨料的同時，復合加入非金剛石納米級拋光材料，由于非金剛石納米級拋光材料硬度比金剛石低，且粒度在納米范圍內具有納米尺寸效應，因此非金剛石納米級拋光材料在研磨拋光過程中能有效的降低表面粗糙度、減少表面劃痕與微裂紋，實現很好的加工表面質量。通過在金剛石微粉中復合加入非金剛石納米級拋光材料，實現了很好的表面加工質量。因此本發明既能保證研磨速率，又能很好的保證工件表面的加工質量。本發明通過對復合加入非金剛石納米級拋光材料的研磨液與不加入非金剛石納米級拋光材料的研磨液加工表面質量對比分析，得出加入非金剛石納米級拋光材料的研磨液加工表面質量如表面粗糙度Ra值達到5 30nm，應用光學顯微鏡放大800倍觀察，工件表面無明顯細小劃痕與微裂紋，表面質量大大提高；而不加入非金剛石納米級拋光材料的
4研磨液加工表面粗糙度Ra值為15飛Onm，應用光學顯微鏡放大800倍觀察，工件表面有明顯細小劃痕，嚴重的甚至有微裂紋。
具體實施例方式為了更好的理解本發明，下面結合具體事例進一步闡述本發明內容。實施例1 一種水性研磨液，包括溶劑、添加劑和研磨劑，研磨劑由金剛石微粉及納米級拋光材料組成；金剛石微粉，純度為99%以上，粒度為W0. 5^ W20 ；納米級拋光材料， 粒度為l(Tl00nm，純度為99%以上。溶劑為去離子水，添加劑為潤濕劑、分散劑、懸浮劑。其制備方法，包括如下步驟
1)各原料按重量份選取，金剛石微粉0. 4份、潤濕劑0. 01份、分散劑3份、懸浮劑1份、 非金剛石納米級拋光材料2份、去離子水94份。所述金剛石微粉純度99%以上，粒度WO. 5 ； 所取潤濕劑為草酸，檸檬酸，各占0. 005份；分散劑為1，2_丙二醇、乙二醇、烷基酚聚氧乙烯醚各占1份；所取懸浮劑為黃原膠、聚乙烯醇各占0. 5份；所述非金剛石納米級拋光材料為氧化硅，粒度分布為l(Tl00nm。所述的潤濕劑、分散劑、懸浮劑為分析純。2)取含有上述潤濕劑溶液加入金剛石微粉中，攪拌并超聲20min，將金剛石表面充分潤濕。3)取去離子水、分散劑，加入上述潤濕后的金剛石微粉中，攪拌并超聲20min，制備成金剛石混合液體。4)取上述金剛石混合液體，加入上述懸浮劑，攪拌并超聲分散15min。5)取上述分散均勻的液體，加入上述氧化硅，并用超聲波細胞粉碎機分散混合液體20min后，即可制得水性研磨液。使用該研磨液加工LED襯底表面粗糙度Ra值達到6nm，表面無明顯細小劃痕，無微裂紋。所述的潤濕劑還可為檸檬酸、草酸、丙三醇、琥珀酸二異辛酯磺酸鈉、N, N- 二甲基十二烷基胺丙基磺酸內銨鹽中中的任意一種或任意幾種的混合物；所述的分散劑還可以為十二烷基硫酸鈉、十二烷基磺酸鈉、六偏磷酸鈉、1，2_丙二醇、二甘醇、乙二醇、聚乙二醇、硅烷偶聯劑、烷基酚與環氧乙烷的縮合物、烷基酚聚氧乙烯醚中的任意一種或任意幾種的混合物；所述的懸浮劑還可以為黃原膠、明膠、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酰胺、羧甲基纖維素鈉、多聚磷酸鈉中的任意一種或任意幾種的混合物；所述的納米級拋光材料還可以為氧化鋁、氧化硅、氧化鈰、氧化鉻中的任意一種或任意幾種的混合物。實施例2 —種水性研磨液，由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉0. 6份、潤濕劑0. 03份、分散劑3份、懸浮劑3份、氧化鋁2份、去離子水92份。制備方法包括如下步驟1)各原料按重量份選取，金剛石微粉純度為99%以上， 粒度Wl. 5 ；所述潤濕劑為草酸；所述分散劑為二甘醇、聚乙二醇各占1. 5份；所述懸浮劑為聚乙烯吡咯烷酮、羧甲基纖維素鈉各占1. 5份；所述氧化鋁粒度為l(Tl00nm，純度99%以上。其他同實施例1。使用該研磨液加工LED襯底表面粗糙度Ra值達到8nm，表面無明顯細小劃痕，無微裂紋。實施例3 —種水性研磨液，由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉1. 0份、潤濕劑0. 20份、分散劑4份、懸浮劑6份、氧化鈰3份、去離子水87份。其制備方法包括如下步驟1)各原料按重量份選取，金剛石微粉純度為99%以上， 粒度W7 ；所述潤濕劑為草酸；所述分散劑為十二烷基磺酸鈉、六偏磷酸鈉各占2份；所述懸浮劑為明膠、聚乙烯醇占3份；所述氧化鈰粒度為l(Tl00nm，純度99%以上。其他同實施例1。使用該研磨液加工LED襯底表面粗糙度Ra值達到16nm，表面無明顯細小劃痕，無微裂紋。實施例4 一種水性研磨液，由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉1. 2份、潤濕劑1份、分散劑5份、懸浮劑7份、氧化鉻3份、去離子水83份。其制備方法包括如下步驟1)各原料按重量份選取，金剛石微粉純度為99%以上， 粒度WlO ；所述潤濕劑為草酸；所述分散劑為烷基酚與環氧乙烷的縮合物、烷基酚聚氧乙烯醚各占2. 5份；所述懸浮劑為聚丙烯酰胺、羧甲基纖維素鈉各占3. 5份；所述氧化鉻粒度為 10 100nm，純度99%以上。2)取含有上述潤濕劑溶液加入金剛石微粉中，攪拌并超聲30min，將金剛石表面充分潤濕。3)取去離子水、分散劑，加入上述潤濕后的金剛石微粉中，攪拌并超聲30min，并用細胞粉碎機分散混合液體15min，制備成金剛石混合液體。4)取上述金剛石混合液體，加入上述懸浮劑，攪拌并超聲分散15min，并用細胞粉碎機分散混合液體20min。5)取上述分散均勻的液體，加入上述氧化鉻，分三次等量加入，每次加入納米氧化鉻后，并用超聲波細胞粉碎機分散混合液體5min，共計15min，即可制得水性研磨液。使用該研磨液加工LED襯底表面粗糙度Ra值達到20nm，表面無明顯細小劃痕，無微裂紋。實施例5 —種水性研磨液，由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉1. 5份、潤濕劑1. 5份、分散劑6份、懸浮劑8份、氧化鉻4份、去離子水79份。其制備方法包括如下步驟1)各原料按重量份選取，金剛石微粉純度為99%以上，粒度W14 ；所述潤濕劑為草酸；所述分散劑為烷基酚與環氧乙烷的縮合物、烷基酚聚氧乙烯醚各占3份；所述懸浮劑為聚丙烯酰胺、羧甲基纖維素鈉各占4份；所述氧化鉻粒度為 10 100nm，純度99%以上。其他同實施例4。使用該研磨液加工LED襯底表面粗糙度Ra值達到^nm,表面無明顯細小劃痕，無微裂紋。實施例6 —種水性研磨液，由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉2份、潤濕劑2份、分散劑6份、懸浮劑10份、氧化鋁5份、去離子水75份。其制備方法包括如下步驟1)各原料按重量份選取，金剛石微粉純度為99%以上，粒度W20 ；所述潤濕劑為草酸；所述分散劑為烷基酚與環氧乙烷的縮合物、烷基酚聚氧乙烯醚各占3份；所述懸浮劑為聚丙烯酰胺、羧甲基纖維素鈉各占5份；所述氧化鋁粒度為10 100nm，純度99%以上。其他同實施例4。使用該研磨液加工LED襯底表面粗糙度Ra值達到30nm，表面無明顯細小劃痕，無微裂紋。實施例7 —種油性研磨液，包括溶劑、添加劑和研磨劑，研磨劑由金剛石微粉及納米級拋光材料組成；金剛石微粉，純度為99%以上，粒度為W0. 5 ；納米級拋光材料，粒度為KTlOOnm，純度為99%以上。溶劑為低碳鏈烴類溶劑油或輕質礦物油，添加劑為表面活性劑、分散劑。由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉0. 1份、表面活性劑0. 1份、非金剛石納米拋光材料0. 5份、分散劑0. 8份、輕質礦物油98. 5份。其制備方法包括如下步驟1)各原料按重量份選取，所述的金剛石顆粒尺寸為 WO. 5，純度為99%以上；所述的非金剛石納米拋光材料為氧化硅，顆粒尺寸為KTlOOnmJi 度為99%以上；所述表面活性劑為聚氧乙烯失水山梨醇單硬脂酸酯；所述分散劑為如壬基酚聚氧乙烯醚；所述輕質礦物油為10#白油。2)取上述表面活性劑加入金剛石微粉中，攪拌并超聲15min使金剛石表面充分潤濕。3)將上述潤濕好的金剛石微粉加入10#白油中充分攪拌并超聲分散20min。4)在分散好的油性液體中加入納米氧化硅，攪拌并用超聲波細胞粉碎機強力分散 20mino5)將上述分散好的液體加入分散劑壬基酚聚氧乙烯醚，攪拌并超聲分散20min，制備成油性研磨液。使用該研磨液加工LED襯底表面粗糙度Ra值達到5nm，表面無明顯細小劃痕，無微裂紋。所述表面活性劑還可以為失水山梨醇單油酸脂、失水山梨醇硬脂酸脂、聚氧乙烯失水山梨醇單硬脂酸酯、油酸三乙醇胺、聚氧乙烯失水山梨醇單油酸酯、脂肪酸聚乙二醇酯中的任意一種；所述分散劑還可以為壬基酚聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、蓖麻油聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚中的任意一種；所述的非金剛石納米級拋光材料還可以為氧化鋁、 氧化硅、氧化鈰、氧化鉻中的任意一種；所述的輕質礦物油還可以由低碳鏈烴類溶劑油代替，所述低碳鏈烴類溶劑油為6 #、120 #、200 #溶劑油。實施例8 —種油性研磨液，由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉1份、表面活性劑1. 2份、氧化鋁0. 8份；分散劑2. 5份、輕質礦物油94. 5份。制備方法包括如下步驟1)各原料按重量份選取，所述的金剛石顆粒尺寸為 Wl. 5，純度為99%以上；所述的氧化鋁粉顆粒尺寸為l(Tl00nm，純度為99%以上所述表面活性劑為聚氧乙烯失水山梨醇單油酸酯；所述分散劑為如壬基酚聚氧乙烯醚；所述輕質礦物油為石腦油。其他同實施例7。使用該研磨液加工LED襯底表面粗糙度Ra值達到7nm，表面無明顯細小劃痕，無微裂紋。實施例9 一種油性研磨液，由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉1. 2份、表面活性劑2份、氧化鈰1. 5份、分散劑3份、輕質礦物油92份。制備方法包括如下步驟1)各原料按重量份選取，所述的金剛石顆粒尺寸為W7， 純度為99%以上；所述的氧化鈰顆粒尺寸為l(Tl00nm，純度為99%以上；所述表面活性劑為聚氧乙烯失水山梨醇單硬脂酸酯；所述分散劑為烷基酚聚氧乙烯醚；所述輕質礦物油為7# 白油。其他同實施例7。使用該研磨液加工LED襯底表面粗糙度Ra值達到14nm，表面無明顯細小劃痕，無微裂紋。實施例10 —種油性研磨液，由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉1. 5份、 表面活性劑2份、氧化鉻2份、分散劑4份、輕質礦物油90. 5份。制備方法包括如下步驟1)各原料按重量份選取，所述的金剛石顆粒尺寸為W10， 純度為99%以上；所述的氧化鉻顆粒尺寸為l(Tl00nm，純度為99%以上；所述表面活性劑為脂肪酸聚乙二醇酯；所述分散劑為辛基酚聚氧乙烯醚；所述輕質礦物油為石腦油。2)取上述表面活性劑加入金剛石微粉中，攪拌并超聲15min使金剛石表面充分潤濕。3)將上述潤濕好的金剛石微粉加入石腦油中充分攪拌并超聲分散25min。4)在分散好的油性液體中分三次等量加入納米氧化鉻，每次加入后攪拌并用超聲波細胞粉碎機超聲分散lOmin，共計30 min。5)將上述分散好的液體加入分散劑壬基酚聚氧乙烯醚，攪拌并超聲分散20min，制備成油性研磨液。使用該研磨液加工LED襯底表面粗糙度Ra值達到18nm，表面無明顯細小劃痕，無微裂紋。實施例11 一種油性研磨液，由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉2份、表面活性劑2份、氧化硅2. 5份、分散劑5份、輕質礦物油88. 5份。制備方法包括如下步驟1)各原料按重量份選取，所述的金剛石顆粒尺寸為 W14，純度為99%以上；所述的氧化硅顆粒尺寸為l(TlOOnm，純度為99%以上。所述表面活性劑為脂肪酸聚乙二醇酯；所述分散劑為烷基酚聚氧乙烯醚；所述輕質礦物油為10#白油。其他同實施例10。使用該研磨液加工LED襯底表面粗糙度Ra值達到23nm，表面無明顯細小劃痕，無微裂紋。實施例12 —種油性研磨液，由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉3份、表面活性劑2份、氧化鉻3份、分散劑5份、輕質礦物油87份。制備方法包括如下步驟1)各原料按重量份選取，所述的金剛石顆粒尺寸為W20， 純度為99%以上；所述的氧化鉻顆粒尺寸為l(TlOOnm，純度為99%以上；所述表面活性劑為脂肪酸聚乙二醇酯；所述分散劑為烷基酚聚氧乙烯醚；所述輕質礦物油為石腦油。2)取上述表面活性劑加入金剛石微粉中，攪拌并超聲20min使金剛石表面充分潤濕。3)將上述潤濕好的金剛石微粉加入石油腦中充分攪拌并超聲分散30min。4)在分散好的油性液體中分三次加入納米氧化鉻，每次加入后攪拌并用超聲波細胞粉碎機超聲分散lOmin，共計30 min。5)將上述分散好的液體加入分散劑烷基酚聚氧乙烯醚，攪拌并超聲分散20min，制備成金剛石油性研磨液。使用該研磨液加工LED襯底表面粗糙度Ra值達到27nm，表面無明顯細小劃痕，無微裂紋。實施例13 —種水性研磨液由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉0. 1 2 份、潤濕劑0. 01 2份、分散劑1 6份、懸浮劑0. 2 10份、納米級拋光材料0. 5飛份、 去離子水75 99份。制備方法如下1)按重量份選取原料備用；2)取潤濕劑加入金剛石微粉中，攪拌并超聲20 30min，充分潤濕金剛石微粉顆粒表面；3)取去離子水、分散劑混合，并與潤濕后的金剛石微粉混合，并用超聲波分散10 30min ；4)取上述金剛石混合液體，加入懸浮劑，攪拌并超聲分散15 20min ；5)取上述分散均勻的液體，加入所述的非金剛石納米級拋光材料，并用超聲波細胞粉碎機分散混合液體l(T30min后即制備成水性研磨液。實施例14 一種油性研磨液由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉0.廣3份、 表面活性劑0. Γ2份、非金剛石納米級拋光材料0. 2^3份、分散劑0. 8^5份、低碳鏈烴類溶劑油或輕質礦物油87 99份。制備方法如下1)按重量份選取原料備用；2)在金剛石微粉中加入表面活性劑， 超聲分散l(T30min使金剛石微粉表面充分潤濕；3)將上述潤濕好的金剛石微粉中加入低碳鏈烴類溶劑油或輕質礦物油，充分攪拌并超聲分散2(T30min ；4)將上述分散后液體中加入非金剛石納米級拋光材料，充分攪拌并用超聲波細胞粉碎機分散2(T30min ；5)將上述分散好的油性液體中加入分散劑，充分攪拌并用超聲波細胞粉碎機超聲分散15 20min后，即制備成油性研磨液。
權利要求
1.一種LED襯底加工用研磨液，包括溶劑、添加劑和研磨劑，其特征是研磨劑由金剛石微粉及非金剛石納米級拋光材料組成；金剛石微粉，純度為99%以上，粒度為W0. 5^ W20 ；非金剛石納米級拋光材料為氧化鋁、氧化硅、氧化鈰、氧化鉻中的任意一種或任意幾種的混合物，粒度為l(Tl00nm，純度為99%以上。
2.根據權利要求1所述的LED襯底加工用研磨液，其特征是一種水性研磨液由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉0. 1 2份、潤濕劑0. 01 2份、分散劑1 6份、懸浮劑0. 2 10份、非金剛石納米級拋光材料0. 5飛份、去離子水75 99份。
3.根據權利要求2所述的LED襯底加工用研磨液，其特征是制備方法如下1)按重量份選取原料備用；2)取潤濕劑加入金剛石微粉中，攪拌并超聲20 30min，充分潤濕金剛石微粉顆粒表面；3)取去離子水、分散劑混合，并與潤濕后的金剛石微粉混合，并用超聲波分散10 30min ；4)取上述金剛石混合液體，加入懸浮劑，攪拌并超聲分散15 20min ；5)取上述分散均勻的液體，加入所述的非金剛石納米級拋光材料，并用超聲波細胞粉碎機分散混合液體10 30min后即制備成水性研磨液。
4.根據權利要求2或3所述的LED襯底加工用研磨液，其特征是所述的潤濕劑、分散劑、懸浮劑為分析純；所述的潤濕劑為檸檬酸、草酸、丙三醇、琥珀酸二異辛酯磺酸鈉、N， N-二甲基十二烷基胺丙基磺酸內銨鹽中的任意一種或任意幾種的混合物；所述的分散劑為十二烷基硫酸鈉、十二烷基磺酸鈉、六偏磷酸鈉、1，2_丙二醇、二甘醇、乙二醇、聚乙二醇、 硅烷偶聯劑、烷基酚與環氧乙烷的縮合物、烷基酚聚氧乙烯醚中的任意一種或任意幾種的混合物；所述的懸浮劑為黃原膠、明膠、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酰胺、羧甲基纖維素鈉、多聚磷酸鈉中的任意一種或任意幾種的混合物。
5.根據權利要求1所述的LED襯底加工用研磨液，其特征是一種油性研磨液由以下原料按重量比制備而成金剛石微粉0. Γ3份、表面活性劑0. Γ2份、非金剛石納米級拋光材料0. 2^3份、分散劑0. 8飛份、低碳鏈烴類溶劑油或輕質礦物油87 99份。
6.根據權利要求5所述的LED襯底加工用研磨液，其特征是制備方法如下1)按重量份選取原料備用；2)在金剛石微粉中加入表面活性劑，超聲攪拌l(T30min使金剛石微粉表面充分潤濕；3)將上述潤濕好的金剛石微粉中加入低碳鏈烴類溶劑油或輕質礦物油，充分攪拌并超聲分散2(T30min ；4)將上述分散后液體中加入非金剛石納米級拋光材料，充分攪拌并用超聲波細胞粉碎機分散2(T30min ；5)將上述分散好的油性液體中加入分散劑，充分攪拌并用超聲波細胞粉碎機超聲分散15 20min后，即制備成油性研磨液。
7.根據權利要求5或6所述的LED襯底加工用研磨液，其特征是所述表面活性劑為失水山梨醇單油酸脂、失水山梨醇單硬脂酸脂、聚氧乙烯失水山梨醇單硬脂酸酯、油酸三乙醇胺、聚氧乙烯失水山梨醇單油酸酯、脂肪酸聚乙二醇酯中的任意一種；所述分散劑為壬基酚聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、蓖麻油聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚中的任意一種。
全文摘要
一種LED襯底加工用研磨液，包括溶劑、添加劑和研磨劑，研磨劑由金剛石微粉及非金剛石納米級拋光材料組成；金剛石微粉，純度為99%以上，粒度為W0.5~W20；非金剛石納米級拋光材料為氧化鋁、氧化硅、氧化鈰、氧化鉻中的任意一種或任意幾種的混合物，粒度為10~100nm，純度為99%以上。本發明在采用微米級金剛石作為磨料的同時，復合加入非金剛石納米級拋光材料，既能保證研磨速率，又能很好的保證工件表面的加工質量。
文檔編號H01L33/00GK102337084SQ20111020794
公開日2012年2月1日 申請日期2011年7月25日 優先權日2011年7月25日
發明者方偉, 王志強 申請人:鄭州三磨超硬材料有限公司, 鄭州磨料磨具磨削研究所