本發明涉及(ji)電子元件制(zhi)作的領域,尤其涉及(ji)一種基于(yu)圖(tu)像(xiang)識別(bie)的陶瓷(ci)封裝基本表面缺陷(xian)檢(jian)測方法及(ji)系統。
背景技術:
1、芯片(pian)等電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)在(zai)(zai)完成(cheng)(cheng)制作(zuo)后還需(xu)要利用陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)材料進(jin)行(xing)(xing)封(feng)(feng)裝(zhuang)(zhuang),這(zhe)樣能夠將(jiang)(jiang)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)與外界(jie)環境進(jin)行(xing)(xing)隔(ge)離(li)。陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)封(feng)(feng)裝(zhuang)(zhuang)不僅是(shi)(shi)將(jiang)(jiang)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)與外界(jie)的(de)空氣和水汽進(jin)行(xing)(xing)隔(ge)離(li),還將(jiang)(jiang)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)與外界(jie)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)磁(ci)干(gan)擾進(jin)行(xing)(xing)隔(ge)離(li),從而(er)改善電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)的(de)耐熱性(xing)、耐蝕性(xing)、耐腐蝕性(xing)和耐電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)磁(ci)干(gan)擾性(xing)。現有對(dui)(dui)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)的(de)陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)封(feng)(feng)裝(zhuang)(zhuang)方式(shi)是(shi)(shi)利用氧(yang)化(hua)鋁、氮化(hua)鋁或碳化(hua)硅(gui)等陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)材料制成(cheng)(cheng)與電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)尺寸匹(pi)配的(de)陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)基(ji)板,再將(jiang)(jiang)陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)基(ji)板與電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)一起(qi)放入高溫爐中進(jin)行(xing)(xing)燒(shao)結,從而(er)使兩(liang)者緊密結合(he)在(zai)(zai)一起(qi)形成(cheng)(cheng)一個整(zheng)體。但是(shi)(shi)受燒(shao)結操作(zuo)過程的(de)影(ying)響,并不能保證陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)基(ji)板在(zai)(zai)整(zheng)個區域均與電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)緊密結合(he),同時陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)基(ji)板還可(ke)能手(shou)不當(dang)燒(shao)結操作(zuo)的(de)影(ying)響在(zai)(zai)自身表面形成(cheng)(cheng)裂紋,這(zhe)樣都會影(ying)響陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)基(ji)板對(dui)(dui)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)的(de)密封(feng)(feng)性(xing),無(wu)法對(dui)(dui)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)形成(cheng)(cheng)良好(hao)的(de)保護。為此(ci)需(xu)要對(dui)(dui)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)的(de)陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)封(feng)(feng)裝(zhuang)(zhuang)表面進(jin)行(xing)(xing)全局化(hua)的(de)非接觸缺陷檢(jian)測(ce),以此(ci)對(dui)(dui)陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)封(feng)(feng)裝(zhuang)(zhuang)效果進(jin)行(xing)(xing)準確(que)全面的(de)識(shi)別,提高對(dui)(dui)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)(jian)的(de)良品甄別可(ke)靠性(xing)。
技術實現思路
1、本發明的(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)在于提(ti)供一種基于圖像(xiang)識(shi)別(bie)(bie)的(de)(de)(de)陶(tao)(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)裝基本表(biao)面(mian)缺陷(xian)檢測方法及系統,其對(dui)電子元件(jian)與(yu)陶(tao)(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)裝層(ceng)(ceng)之(zhi)間(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)區(qu)(qu)域(yu)(yu)表(biao)面(mian)進(jin)(jin)行第一視覺采集與(yu)識(shi)別(bie)(bie),得到兩者(zhe)(zhe)之(zhi)間(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)空間(jian)(jian)(jian)狀態數據,對(dui)兩者(zhe)(zhe)之(zhi)間(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)緊(jin)密(mi)程(cheng)度進(jin)(jin)行全局量(liang)化識(shi)別(bie)(bie),以此確(que)(que)定兩者(zhe)(zhe)之(zhi)間(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)異(yi)常區(qu)(qu)域(yu)(yu);再對(dui)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)異(yi)常區(qu)(qu)域(yu)(yu)進(jin)(jin)行圖像(xiang)畫面(mian)提(ti)取(qu)與(yu)識(shi)別(bie)(bie),更加細化分(fen)析兩者(zhe)(zhe)的(de)(de)(de)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)界面(mian)形(xing)貌數據,對(dui)兩者(zhe)(zhe)的(de)(de)(de)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)變(bian)化情況進(jin)(jin)行表(biao)征(zheng),以此確(que)(que)定兩者(zhe)(zhe)之(zhi)間(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)缺陷(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu),實現對(dui)電子元件(jian)與(yu)陶(tao)(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)裝層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)不(bu)緊(jin)密(mi)區(qu)(qu)域(yu)(yu)進(jin)(jin)行定位;還對(dui)陶(tao)(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)裝層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)外(wai)表(biao)面(mian)進(jin)(jin)行第二視覺采集與(yu)識(shi)別(bie)(bie),得到陶(tao)(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)裝層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)外(wai)表(biao)面(mian)缺陷(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu),并基于接(jie)(jie)(jie)觸(chu)缺陷(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu)和外(wai)表(biao)面(mian)缺陷(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu)的(de)(de)(de)相對(dui)位置關系信(xin)息,確(que)(que)定陶(tao)(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)裝層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)結構缺陷(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu),從而對(dui)電子元件(jian)的(de)(de)(de)陶(tao)(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)裝層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)結構缺陷(xian)進(jin)(jin)行全局化定位識(shi)別(bie)(bie),提(ti)高對(dui)電子元件(jian)的(de)(de)(de)良品甄別(bie)(bie)準確(que)(que)性(xing)。
2、本發明是通(tong)過以(yi)下技術方案實現:
3、一種基(ji)于圖(tu)像識別的陶瓷(ci)封裝基(ji)本(ben)表面(mian)缺(que)陷檢測方法,包(bao)括:
4、對電(dian)子元件與陶(tao)瓷(ci)封(feng)裝層之間的接(jie)觸(chu)區(qu)(qu)域(yu)表(biao)面進行(xing)第一(yi)視覺采集(ji),得到(dao)接(jie)觸(chu)區(qu)(qu)域(yu)表(biao)面圖像;對所(suo)述(shu)接(jie)觸(chu)區(qu)(qu)域(yu)表(biao)面圖像進行(xing)識別,得到(dao)所(suo)述(shu)電(dian)子元件與所(suo)述(shu)陶(tao)瓷(ci)封(feng)裝層之間的接(jie)觸(chu)空(kong)間狀態(tai)數據;對所(suo)述(shu)接(jie)觸(chu)空(kong)間狀態(tai)數據進行(xing)分析,確定所(suo)述(shu)電(dian)子元件與所(suo)述(shu)陶(tao)瓷(ci)封(feng)裝層之間的接(jie)觸(chu)異(yi)常(chang)區(qu)(qu)域(yu);
5、基(ji)于所(suo)述(shu)(shu)接(jie)觸(chu)異常(chang)區(qu)域(yu)的(de)位置信息(xi),對(dui)所(suo)述(shu)(shu)接(jie)觸(chu)區(qu)域(yu)表面圖(tu)像進(jin)行畫(hua)面提取處理(li),得(de)到相應的(de)圖(tu)像子(zi)畫(hua)面;對(dui)所(suo)述(shu)(shu)圖(tu)像子(zi)畫(hua)面進(jin)行識別,得(de)到相應的(de)接(jie)觸(chu)界面形貌數(shu)據;對(dui)所(suo)述(shu)(shu)接(jie)觸(chu)界面形貌數(shu)據進(jin)行分析,確定所(suo)述(shu)(shu)電(dian)子(zi)元(yuan)件與(yu)所(suo)述(shu)(shu)陶瓷封裝層之(zhi)間(jian)的(de)接(jie)觸(chu)缺陷區(qu)域(yu);
6、對所(suo)述(shu)陶(tao)瓷(ci)(ci)封(feng)裝層(ceng)的(de)(de)外表(biao)面進行(xing)第二(er)視(shi)覺(jue)采集(ji),得到(dao)陶(tao)瓷(ci)(ci)層(ceng)外表(biao)面圖像;對所(suo)述(shu)陶(tao)瓷(ci)(ci)層(ceng)外表(biao)面圖像進行(xing)識別,得到(dao)所(suo)述(shu)陶(tao)瓷(ci)(ci)封(feng)裝層(ceng)的(de)(de)外表(biao)面缺(que)陷區(qu)(qu)(qu)(qu)域;基于所(suo)述(shu)接觸缺(que)陷區(qu)(qu)(qu)(qu)域和所(suo)述(shu)外表(biao)面缺(que)陷區(qu)(qu)(qu)(qu)域的(de)(de)相對位(wei)置關系(xi)信息,確定所(suo)述(shu)陶(tao)瓷(ci)(ci)封(feng)裝層(ceng)的(de)(de)結構缺(que)陷區(qu)(qu)(qu)(qu)域。
7、可(ke)選地,對電(dian)子元件(jian)與陶瓷(ci)封(feng)裝層(ceng)之間的(de)(de)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)區(qu)域(yu)(yu)(yu)表面(mian)(mian)進行(xing)第(di)一視(shi)覺(jue)采集,得到(dao)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)區(qu)域(yu)(yu)(yu)表面(mian)(mian)圖(tu)像;對所述(shu)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)區(qu)域(yu)(yu)(yu)表面(mian)(mian)圖(tu)像進行(xing)識別,得到(dao)所述(shu)電(dian)子元件(jian)與所述(shu)陶瓷(ci)封(feng)裝層(ceng)之間的(de)(de)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)空(kong)間狀態數據(ju);對所述(shu)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)空(kong)間狀態數據(ju)進行(xing)分析,確定(ding)所述(shu)電(dian)子元件(jian)與所述(shu)陶瓷(ci)封(feng)裝層(ceng)之間的(de)(de)接(jie)(jie)(jie)觸(chu)異常區(qu)域(yu)(yu)(yu),包括:
8、對(dui)電子(zi)(zi)元件(jian)與陶(tao)(tao)瓷封(feng)裝(zhuang)層(ceng)(ceng)(ceng)之間(jian)(jian)的(de)(de)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)(chu)區(qu)域表面進行(xing)掃(sao)描視覺采(cai)集,得到接(jie)(jie)觸(chu)(chu)(chu)區(qu)域表面的(de)(de)全(quan)局圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)(xiang)(xiang);對(dui)所(suo)(suo)述(shu)(shu)全(quan)局圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)進行(xing)像(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)素(su)紋(wen)理(li)(li)識別(bie),得到所(suo)(suo)述(shu)(shu)全(quan)局圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)上的(de)(de)像(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)素(su)紋(wen)理(li)(li)分(fen)布數(shu)(shu)據(ju),并(bing)基(ji)于(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)像(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)素(su)紋(wen)理(li)(li)分(fen)布數(shu)(shu)據(ju),確定所(suo)(suo)述(shu)(shu)電子(zi)(zi)元件(jian)和所(suo)(suo)述(shu)(shu)陶(tao)(tao)瓷封(feng)裝(zhuang)層(ceng)(ceng)(ceng)各自(zi)對(dui)應的(de)(de)像(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)素(su)紋(wen)理(li)(li)分(fen)布位置(zhi)數(shu)(shu)據(ju);基(ji)于(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)像(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)素(su)紋(wen)理(li)(li)分(fen)布位置(zhi)數(shu)(shu)據(ju),確定所(suo)(suo)述(shu)(shu)電子(zi)(zi)元件(jian)和所(suo)(suo)述(shu)(shu)陶(tao)(tao)瓷封(feng)裝(zhuang)層(ceng)(ceng)(ceng)各自(zi)在(zai)所(suo)(suo)述(shu)(shu)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)(chu)區(qu)域表面的(de)(de)邊緣(yuan)輪(lun)廓信息(xi);并(bing)基(ji)于(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)邊緣(yuan)輪(lun)廓信息(xi),確定所(suo)(suo)述(shu)(shu)電子(zi)(zi)元件(jian)和所(suo)(suo)述(shu)(shu)陶(tao)(tao)瓷封(feng)裝(zhuang)層(ceng)(ceng)(ceng)之間(jian)(jian)的(de)(de)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)(chu)空間(jian)(jian)間(jian)(jian)隙尺(chi)寸變化(hua)數(shu)(shu)據(ju);
9、對所(suo)述接觸(chu)空(kong)間(jian)間(jian)隙尺寸(cun)變化數據進行分析,若接觸(chu)空(kong)間(jian)的某一部(bu)分區域的間(jian)隙尺寸(cun)均大于(yu)預設尺寸(cun)閾值,則將對應部(bu)分區域確定所(suo)述電子元件與所(suo)述陶瓷封裝層(ceng)之間(jian)的接觸(chu)異常區域。
10、可選地,基于所述接觸(chu)異常區(qu)域的位(wei)置信息(xi),對(dui)所述接觸(chu)區(qu)域表面圖(tu)像進(jin)行(xing)(xing)畫面提取處理,得(de)到(dao)相應的圖(tu)像子畫面;對(dui)所述圖(tu)像子畫面進(jin)行(xing)(xing)識別,得(de)到(dao)相應的接觸(chu)界面形(xing)貌數據;對(dui)所述接觸(chu)界面形(xing)貌數據進(jin)行(xing)(xing)分析,確定所述電子元件與所述陶瓷封裝層之間的接觸(chu)缺(que)陷區(qu)域,包括:
11、基于所(suo)(suo)述(shu)接(jie)觸異常區域的位置信息,確(que)定所(suo)(suo)述(shu)接(jie)觸異常區域的邊(bian)界坐(zuo)標信息,以(yi)此對所(suo)(suo)述(shu)接(jie)觸區域表(biao)面(mian)圖像(xiang)進(jin)行匹配邊(bian)界映(ying)射(she),從而(er)在所(suo)(suo)述(shu)接(jie)觸區域表(biao)面(mian)圖像(xiang)分割提取得到相(xiang)應(ying)的圖像(xiang)子畫面(mian);
12、對所述(shu)(shu)(shu)圖(tu)像子(zi)畫面(mian)進(jin)行(xing)像素(su)(su)輪廓(kuo)(kuo)識別,得到(dao)所述(shu)(shu)(shu)圖(tu)像子(zi)畫面(mian)的像素(su)(su)輪廓(kuo)(kuo)分(fen)布(bu)特(te)征(zheng)信(xin)息(xi);基(ji)于所述(shu)(shu)(shu)像素(su)(su)輪廓(kuo)(kuo)分(fen)布(bu)特(te)征(zheng)信(xin)息(xi),得到(dao)相應的接觸(chu)界面(mian)形貌粗(cu)糙度(du);將(jiang)所述(shu)(shu)(shu)接觸(chu)界面(mian)形貌粗(cu)糙度(du)與(yu)(yu)預設粗(cu)糙度(du)閾值進(jin)行(xing)對比,若(ruo)所述(shu)(shu)(shu)接觸(chu)界面(mian)形貌粗(cu)糙度(du)大于預設粗(cu)糙度(du)閾值,則(ze)將(jiang)所述(shu)(shu)(shu)接觸(chu)異常區(qu)域確(que)定為(wei)所述(shu)(shu)(shu)電子(zi)元(yuan)件與(yu)(yu)所述(shu)(shu)(shu)陶瓷封裝(zhuang)層之間的接觸(chu)缺陷區(qu)域;否則(ze),不將(jiang)所述(shu)(shu)(shu)接觸(chu)異常確(que)定為(wei)接觸(chu)缺陷區(qu)域。
13、可選(xuan)地,對電子元件(jian)與陶瓷封裝層(ceng)之間(jian)的接觸(chu)區(qu)域表面進行掃描(miao)視覺采集,得(de)到接觸(chu)區(qu)域表面的全(quan)局(ju)圖(tu)像,包括:
14、步驟s1,利用下(xia)面(mian)公式(1),根據所述電子元件與(yu)所述陶瓷封裝(zhuang)層之間的(de)(de)接觸(chu)區域(yu)表面(mian)的(de)(de)總面(mian)積(ji)大小以及進(jin)行(xing)掃描(miao)(miao)視(shi)覺采(cai)集(ji)的(de)(de)單次掃描(miao)(miao)最(zui)大面(mian)積(ji),確定(ding)進(jin)行(xing)掃描(miao)(miao)視(shi)覺采(cai)集(ji)的(de)(de)單次掃描(miao)(miao)拍攝面(mian)積(ji),
15、
16、在(zai)上述公式(1)中,δs表(biao)示(shi)進(jin)行掃(sao)描視覺采集的(de)單次(ci)掃(sao)描拍攝面(mian)積;s0表(biao)示(shi)進(jin)行掃(sao)描視覺采集的(de)單次(ci)掃(sao)描最(zui)大面(mian)積;s表(biao)示(shi)所(suo)述電子(zi)元件與(yu)所(suo)述陶瓷(ci)封裝層之間的(de)接觸區(qu)域表(biao)面(mian)的(de)總面(mian)積;
17、步(bu)驟s2,利用下面公式(2),根據單(dan)次掃描拍攝面積以及所述電子元件與所述陶(tao)瓷封裝(zhuang)層之間的接觸區域表面的總面積大小,確定進(jin)行掃描視覺采(cai)集的單(dan)次掃描拍攝時長,
18、
19、在上述公式(shi)(2)中(zhong),t表(biao)示進(jin)行(xing)掃描(miao)(miao)(miao)視覺采(cai)集的單次(ci)掃描(miao)(miao)(miao)拍(pai)(pai)攝(she)時長(chang)(chang);tmax表(biao)示進(jin)行(xing)掃描(miao)(miao)(miao)視覺采(cai)集的單次(ci)掃描(miao)(miao)(miao)拍(pai)(pai)攝(she)時長(chang)(chang)的最大值(zhi);tmin表(biao)示進(jin)行(xing)掃描(miao)(miao)(miao)視覺采(cai)集的單次(ci)掃描(miao)(miao)(miao)拍(pai)(pai)攝(she)時長(chang)(chang)的最小(xiao)值(zhi);
20、步驟s3,利(li)用(yong)下面(mian)公式(3),根據單次掃描拍(pai)(pai)攝面(mian)積(ji)以及(ji)單次掃描拍(pai)(pai)攝時長(chang),控制進行掃描視覺(jue)采(cai)集時每次的(de)重疊拍(pai)(pai)攝面(mian)積(ji),
21、
22、在上(shang)述公式(3)中(zhong),sc表(biao)示(shi)進行(xing)掃(sao)描視覺采集時(shi)每次的重疊(die)拍攝面積。
23、可選地,對(dui)所(suo)述(shu)陶(tao)瓷(ci)封裝層(ceng)的(de)外(wai)表(biao)面(mian)進行(xing)(xing)第二視(shi)覺(jue)采(cai)集,得到陶(tao)瓷(ci)層(ceng)外(wai)表(biao)面(mian)圖像(xiang);對(dui)所(suo)述(shu)陶(tao)瓷(ci)層(ceng)外(wai)表(biao)面(mian)圖像(xiang)進行(xing)(xing)識別,得到所(suo)述(shu)陶(tao)瓷(ci)封裝層(ceng)的(de)外(wai)表(biao)面(mian)缺(que)陷(xian)區域(yu);基于所(suo)述(shu)接觸缺(que)陷(xian)區域(yu)和所(suo)述(shu)外(wai)表(biao)面(mian)缺(que)陷(xian)區域(yu)的(de)相(xiang)對(dui)位置關系信息,確定所(suo)述(shu)陶(tao)瓷(ci)封裝層(ceng)的(de)結構缺(que)陷(xian)區域(yu),包括:
24、對所述(shu)陶(tao)瓷封裝層(ceng)(ceng)的(de)外(wai)表(biao)(biao)面(mian)(mian)進行(xing)雙(shuang)(shuang)目(mu)(mu)視覺采集,得到(dao)(dao)雙(shuang)(shuang)目(mu)(mu)外(wai)表(biao)(biao)面(mian)(mian)圖(tu)像(xiang)(xiang);基于(yu)所述(shu)雙(shuang)(shuang)目(mu)(mu)外(wai)表(biao)(biao)面(mian)(mian)圖(tu)像(xiang)(xiang)的(de)雙(shuang)(shuang)目(mu)(mu)視差,生(sheng)成陶(tao)瓷層(ceng)(ceng)外(wai)表(biao)(biao)面(mian)(mian)三(san)維圖(tu)像(xiang)(xiang);對所述(shu)陶(tao)瓷層(ceng)(ceng)外(wai)表(biao)(biao)面(mian)(mian)三(san)維圖(tu)像(xiang)(xiang)進行(xing)識(shi)別,得到(dao)(dao)所述(shu)陶(tao)瓷封裝層(ceng)(ceng)的(de)外(wai)表(biao)(biao)面(mian)(mian)裂(lie)紋分布信(xin)息(xi);基于(yu)所述(shu)外(wai)表(biao)(biao)面(mian)(mian)裂(lie)紋分布信(xin)息(xi),確定所述(shu)陶(tao)瓷封裝層(ceng)(ceng)外(wai)表(biao)(biao)面(mian)(mian)的(de)裂(lie)紋分布密度,以此識(shi)別所述(shu)陶(tao)瓷封裝層(ceng)(ceng)的(de)外(wai)表(biao)(biao)面(mian)(mian)缺陷區域;
25、將所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu)(yu)(yu)和所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)外(wai)(wai)表面缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu)(yu)(yu)各自在(zai)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)陶瓷封裝層(ceng)(ceng)對(dui)應的三維空間的位置信息進行對(dui)比,確定所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu)(yu)(yu)與所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)外(wai)(wai)表面缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu)(yu)(yu)的最近相對(dui)距(ju)(ju)離;若所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)最近相對(dui)距(ju)(ju)離小于預設距(ju)(ju)離閾值(zhi),則將所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu)(yu)(yu)和所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)外(wai)(wai)表面缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu)(yu)(yu)占(zhan)據的區(qu)(qu)域(yu)(yu)(yu)(yu)作(zuo)為(wei)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)陶瓷封裝層(ceng)(ceng)的結(jie)構缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu)(yu)(yu);否則,不將所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu)(yu)(yu)和所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)外(wai)(wai)表面缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu)(yu)(yu)確定為(wei)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)陶瓷封裝層(ceng)(ceng)的結(jie)構缺(que)(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)域(yu)(yu)(yu)(yu)。
26、一種基于圖像識別的陶瓷封裝(zhuang)基本表面缺(que)陷檢測系統,包(bao)括:
27、第一視覺采集(ji)(ji)與識別模(mo)塊,用于對(dui)電子元(yuan)件與陶(tao)瓷封裝(zhuang)層之間(jian)的接(jie)觸區域表(biao)面(mian)(mian)進(jin)(jin)行第一視覺采集(ji)(ji),得到接(jie)觸區域表(biao)面(mian)(mian)圖像;對(dui)所述接(jie)觸區域表(biao)面(mian)(mian)圖像進(jin)(jin)行識別,得到所述電子元(yuan)件與所述陶(tao)瓷封裝(zhuang)層之間(jian)的接(jie)觸空間(jian)狀態數據(ju);
28、接(jie)(jie)觸(chu)異常區域(yu)確(que)定模(mo)塊,用于對(dui)所(suo)(suo)述(shu)接(jie)(jie)觸(chu)空間狀態數據進行(xing)分析,確(que)定所(suo)(suo)述(shu)電(dian)子元件與所(suo)(suo)述(shu)陶(tao)瓷封裝層(ceng)之間的(de)接(jie)(jie)觸(chu)異常區域(yu);
29、接觸(chu)界(jie)(jie)面(mian)形貌確定(ding)模塊,用(yong)于(yu)基(ji)于(yu)所述接觸(chu)異(yi)常區域的(de)位置(zhi)信息(xi),對(dui)所述接觸(chu)區域表面(mian)圖像(xiang)進行畫面(mian)提取處理,得(de)到相應的(de)圖像(xiang)子(zi)畫面(mian);對(dui)所述圖像(xiang)子(zi)畫面(mian)進行識別(bie),得(de)到相應的(de)接觸(chu)界(jie)(jie)面(mian)形貌數(shu)據;
30、接觸(chu)缺(que)陷(xian)區域(yu)確定(ding)模塊,用于對所述(shu)接觸(chu)界面(mian)形貌數據進行(xing)分析,確定(ding)所述(shu)電子元件與所述(shu)陶瓷(ci)封裝層之間的接觸(chu)缺(que)陷(xian)區域(yu);
31、第二視覺(jue)采集與(yu)識別(bie)模塊,用(yong)于(yu)對(dui)(dui)所述(shu)陶(tao)瓷封(feng)裝(zhuang)層(ceng)的(de)外(wai)表(biao)面進行第二視覺(jue)采集,得到(dao)陶(tao)瓷層(ceng)外(wai)表(biao)面圖(tu)像;對(dui)(dui)所述(shu)陶(tao)瓷層(ceng)外(wai)表(biao)面圖(tu)像進行識別(bie),得到(dao)所述(shu)陶(tao)瓷封(feng)裝(zhuang)層(ceng)的(de)外(wai)表(biao)面缺陷區(qu)域;
32、結構(gou)缺陷(xian)區(qu)域(yu)確定模塊,用于基于所(suo)述接觸缺陷(xian)區(qu)域(yu)和所(suo)述外表(biao)面缺陷(xian)區(qu)域(yu)的相(xiang)對位置關系信(xin)息,確定所(suo)述陶瓷封裝(zhuang)層的結構(gou)缺陷(xian)區(qu)域(yu)。
33、可選地,所述第(di)一視覺采(cai)集(ji)與識別(bie)模塊用(yong)于對電子元件與陶瓷封(feng)裝(zhuang)(zhuang)層之(zhi)間的接觸區(qu)域(yu)表面(mian)進行第(di)一視覺采(cai)集(ji),得到接觸區(qu)域(yu)表面(mian)圖像(xiang);對所述接觸區(qu)域(yu)表面(mian)圖像(xiang)進行識別(bie),得到所述電子元件與所述陶瓷封(feng)裝(zhuang)(zhuang)層之(zhi)間的接觸空間狀態數(shu)據,包(bao)括:
34、對(dui)電子(zi)元(yuan)件(jian)(jian)(jian)與陶瓷(ci)封裝層之間的接觸(chu)區(qu)(qu)域表面(mian)進(jin)行(xing)掃描(miao)視覺采集,得到接觸(chu)區(qu)(qu)域表面(mian)的全局圖像(xiang)(xiang);對(dui)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)全局圖像(xiang)(xiang)進(jin)行(xing)像(xiang)(xiang)素紋(wen)(wen)理(li)(li)識別,得到所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)全局圖像(xiang)(xiang)上(shang)的像(xiang)(xiang)素紋(wen)(wen)理(li)(li)分(fen)布(bu)數(shu)據(ju)(ju),并基于所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)像(xiang)(xiang)素紋(wen)(wen)理(li)(li)分(fen)布(bu)數(shu)據(ju)(ju),確(que)定所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)電子(zi)元(yuan)件(jian)(jian)(jian)和(he)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)陶瓷(ci)封裝層各自對(dui)應的像(xiang)(xiang)素紋(wen)(wen)理(li)(li)分(fen)布(bu)位置數(shu)據(ju)(ju);基于所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)像(xiang)(xiang)素紋(wen)(wen)理(li)(li)分(fen)布(bu)位置數(shu)據(ju)(ju),確(que)定所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)電子(zi)元(yuan)件(jian)(jian)(jian)和(he)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)陶瓷(ci)封裝層各自在所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)接觸(chu)區(qu)(qu)域表面(mian)的邊緣輪廓信息(xi);并基于所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)邊緣輪廓信息(xi),確(que)定所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)電子(zi)元(yuan)件(jian)(jian)(jian)和(he)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)陶瓷(ci)封裝層之間的接觸(chu)空間間隙(xi)尺(chi)寸變化數(shu)據(ju)(ju);
35、所(suo)述(shu)(shu)接(jie)觸(chu)(chu)異常區域(yu)確(que)定模塊用于對所(suo)述(shu)(shu)接(jie)觸(chu)(chu)空間(jian)狀態(tai)數據進行分析,確(que)定所(suo)述(shu)(shu)電子元(yuan)件與所(suo)述(shu)(shu)陶瓷封裝層之間(jian)的接(jie)觸(chu)(chu)異常區域(yu),包括:
36、對所(suo)述(shu)接觸(chu)空間(jian)(jian)間(jian)(jian)隙(xi)(xi)尺寸(cun)變化數據進行分(fen)析,若接觸(chu)空間(jian)(jian)的某一部分(fen)區(qu)域的間(jian)(jian)隙(xi)(xi)尺寸(cun)均大于預(yu)設尺寸(cun)閾值,則(ze)將對應部分(fen)區(qu)域確定所(suo)述(shu)電子元件(jian)與所(suo)述(shu)陶瓷封裝層之間(jian)(jian)的接觸(chu)異(yi)常區(qu)域。
37、可選(xuan)地,所述(shu)接觸(chu)界(jie)面形(xing)貌確定(ding)模塊用于基(ji)于所述(shu)接觸(chu)異常區(qu)域(yu)的(de)位置信(xin)息,對(dui)所述(shu)接觸(chu)區(qu)域(yu)表面圖(tu)像(xiang)進(jin)行畫面提取(qu)處理,得到(dao)相應(ying)(ying)的(de)圖(tu)像(xiang)子畫面;對(dui)所述(shu)圖(tu)像(xiang)子畫面進(jin)行識別(bie),得到(dao)相應(ying)(ying)的(de)接觸(chu)界(jie)面形(xing)貌數據,包括:
38、基(ji)于(yu)所述接(jie)觸(chu)異常(chang)區域(yu)的(de)位置信息,確定(ding)所述接(jie)觸(chu)異常(chang)區域(yu)的(de)邊(bian)界坐標信息,以此對所述接(jie)觸(chu)區域(yu)表(biao)面圖(tu)像(xiang)進行匹配(pei)邊(bian)界映射,從而在所述接(jie)觸(chu)區域(yu)表(biao)面圖(tu)像(xiang)分割提取得到相應(ying)的(de)圖(tu)像(xiang)子畫面;
39、對所(suo)述圖像子畫面進行像素(su)輪廓識(shi)別,得到所(suo)述圖像子畫面的像素(su)輪廓分(fen)布特征(zheng)信(xin)息(xi);基于所(suo)述像素(su)輪廓分(fen)布特征(zheng)信(xin)息(xi),得到相應的接(jie)觸界面形貌粗糙(cao)度;
40、所(suo)述(shu)接(jie)觸(chu)缺陷區(qu)域確(que)定(ding)(ding)模塊用于對所(suo)述(shu)接(jie)觸(chu)界面形貌數(shu)據進行分析,確(que)定(ding)(ding)所(suo)述(shu)電子元(yuan)件(jian)與所(suo)述(shu)陶瓷封裝層之間的接(jie)觸(chu)缺陷區(qu)域,包括(kuo):
41、將所(suo)(suo)述(shu)(shu)接觸界(jie)面形貌粗(cu)糙度與(yu)預設粗(cu)糙度閾(yu)值進行對比,若所(suo)(suo)述(shu)(shu)接觸界(jie)面形貌粗(cu)糙度大于預設粗(cu)糙度閾(yu)值,則將所(suo)(suo)述(shu)(shu)接觸異常(chang)(chang)區域確定(ding)為(wei)所(suo)(suo)述(shu)(shu)電子(zi)元件(jian)與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)陶瓷封裝(zhuang)層(ceng)之間的接觸缺陷區域;否(fou)則,不將所(suo)(suo)述(shu)(shu)接觸異常(chang)(chang)確定(ding)為(wei)接觸缺陷區域。
42、可選地(di),所(suo)述(shu)第二視覺采集與識(shi)別(bie)模塊用于對所(suo)述(shu)陶瓷封裝(zhuang)層的(de)外表(biao)(biao)(biao)面進(jin)行第二視覺采集,得到陶瓷層外表(biao)(biao)(biao)面圖像;對所(suo)述(shu)陶瓷層外表(biao)(biao)(biao)面圖像進(jin)行識(shi)別(bie),得到所(suo)述(shu)陶瓷封裝(zhuang)層的(de)外表(biao)(biao)(biao)面缺(que)陷區域,包括:
43、對所(suo)(suo)述(shu)(shu)陶(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)(feng)裝(zhuang)層的(de)(de)外(wai)(wai)表(biao)面(mian)進(jin)(jin)行(xing)雙(shuang)目(mu)視(shi)覺采集,得到(dao)雙(shuang)目(mu)外(wai)(wai)表(biao)面(mian)圖像(xiang);基(ji)于(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)雙(shuang)目(mu)外(wai)(wai)表(biao)面(mian)圖像(xiang)的(de)(de)雙(shuang)目(mu)視(shi)差(cha),生成陶(tao)(tao)瓷(ci)層外(wai)(wai)表(biao)面(mian)三(san)維(wei)圖像(xiang);對所(suo)(suo)述(shu)(shu)陶(tao)(tao)瓷(ci)層外(wai)(wai)表(biao)面(mian)三(san)維(wei)圖像(xiang)進(jin)(jin)行(xing)識別,得到(dao)所(suo)(suo)述(shu)(shu)陶(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)(feng)裝(zhuang)層的(de)(de)外(wai)(wai)表(biao)面(mian)裂紋分(fen)(fen)布(bu)信息(xi);基(ji)于(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)外(wai)(wai)表(biao)面(mian)裂紋分(fen)(fen)布(bu)信息(xi),確定所(suo)(suo)述(shu)(shu)陶(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)(feng)裝(zhuang)層外(wai)(wai)表(biao)面(mian)的(de)(de)裂紋分(fen)(fen)布(bu)密度(du),以此識別所(suo)(suo)述(shu)(shu)陶(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)(feng)裝(zhuang)層的(de)(de)外(wai)(wai)表(biao)面(mian)缺陷區域;
44、所述結構(gou)缺陷區(qu)域確定模(mo)塊用(yong)于(yu)(yu)基于(yu)(yu)所述接觸缺陷區(qu)域和所述外(wai)表面缺陷區(qu)域的(de)相對位置關系信息,確定所述陶瓷封裝層的(de)結構(gou)缺陷區(qu)域,包括(kuo):
45、將所(suo)述(shu)(shu)接(jie)觸(chu)缺(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)(qu)(qu)域(yu)(yu)和所(suo)述(shu)(shu)外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)面(mian)缺(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)(qu)(qu)域(yu)(yu)各(ge)自在所(suo)述(shu)(shu)陶(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)裝(zhuang)層(ceng)對應的(de)三維空間的(de)位(wei)置信息進行對比,確定所(suo)述(shu)(shu)接(jie)觸(chu)缺(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)(qu)(qu)域(yu)(yu)與所(suo)述(shu)(shu)外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)面(mian)缺(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)(qu)(qu)域(yu)(yu)的(de)最近(jin)(jin)相對距(ju)離;若所(suo)述(shu)(shu)最近(jin)(jin)相對距(ju)離小(xiao)于(yu)預設距(ju)離閾值,則將所(suo)述(shu)(shu)接(jie)觸(chu)缺(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)(qu)(qu)域(yu)(yu)和所(suo)述(shu)(shu)外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)面(mian)缺(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)(qu)(qu)域(yu)(yu)占據的(de)區(qu)(qu)(qu)(qu)域(yu)(yu)作為所(suo)述(shu)(shu)陶(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)裝(zhuang)層(ceng)的(de)結(jie)構(gou)缺(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)(qu)(qu)域(yu)(yu);否則,不將所(suo)述(shu)(shu)接(jie)觸(chu)缺(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)(qu)(qu)域(yu)(yu)和所(suo)述(shu)(shu)外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)面(mian)缺(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)(qu)(qu)域(yu)(yu)確定為所(suo)述(shu)(shu)陶(tao)(tao)瓷(ci)封(feng)裝(zhuang)層(ceng)的(de)結(jie)構(gou)缺(que)(que)陷(xian)(xian)區(qu)(qu)(qu)(qu)域(yu)(yu)。
46、與現有技術相比,本(ben)發(fa)明具(ju)有如下有益效果:
47、本技術提供的(de)(de)(de)(de)(de)(de)基(ji)于圖像識(shi)(shi)別(bie)(bie)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)陶(tao)(tao)瓷封(feng)裝(zhuang)基(ji)本表面(mian)(mian)缺(que)(que)陷檢測方法及系(xi)統對(dui)(dui)(dui)電子(zi)(zi)元(yuan)件(jian)與陶(tao)(tao)瓷封(feng)裝(zhuang)層(ceng)(ceng)之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)區(qu)(qu)域表面(mian)(mian)進(jin)行(xing)第一視(shi)覺采集與識(shi)(shi)別(bie)(bie),得(de)到兩(liang)(liang)者之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)空間(jian)狀(zhuang)態數(shu)據,對(dui)(dui)(dui)兩(liang)(liang)者之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)緊密(mi)程(cheng)度進(jin)行(xing)全局量化(hua)識(shi)(shi)別(bie)(bie),以此(ci)確(que)定兩(liang)(liang)者之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)異常區(qu)(qu)域;再對(dui)(dui)(dui)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)異常區(qu)(qu)域進(jin)行(xing)圖像畫面(mian)(mian)提取(qu)與識(shi)(shi)別(bie)(bie),更加細化(hua)分(fen)析兩(liang)(liang)者的(de)(de)(de)(de)(de)(de)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)界面(mian)(mian)形貌數(shu)據,對(dui)(dui)(dui)兩(liang)(liang)者的(de)(de)(de)(de)(de)(de)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)變化(hua)情況(kuang)進(jin)行(xing)表征,以此(ci)確(que)定兩(liang)(liang)者之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)缺(que)(que)陷區(qu)(qu)域,實現對(dui)(dui)(dui)電子(zi)(zi)元(yuan)件(jian)與陶(tao)(tao)瓷封(feng)裝(zhuang)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)不緊密(mi)區(qu)(qu)域進(jin)行(xing)定位;還對(dui)(dui)(dui)陶(tao)(tao)瓷封(feng)裝(zhuang)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)外表面(mian)(mian)進(jin)行(xing)第二(er)視(shi)覺采集與識(shi)(shi)別(bie)(bie),得(de)到陶(tao)(tao)瓷封(feng)裝(zhuang)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)外表面(mian)(mian)缺(que)(que)陷區(qu)(qu)域,并基(ji)于接(jie)(jie)觸(chu)(chu)缺(que)(que)陷區(qu)(qu)域和外表面(mian)(mian)缺(que)(que)陷區(qu)(qu)域的(de)(de)(de)(de)(de)(de)相對(dui)(dui)(dui)位置關(guan)系(xi)信息,確(que)定陶(tao)(tao)瓷封(feng)裝(zhuang)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)結(jie)構缺(que)(que)陷區(qu)(qu)域,從而對(dui)(dui)(dui)電子(zi)(zi)元(yuan)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)陶(tao)(tao)瓷封(feng)裝(zhuang)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)結(jie)構缺(que)(que)陷進(jin)行(xing)全局化(hua)定位識(shi)(shi)別(bie)(bie),提高對(dui)(dui)(dui)電子(zi)(zi)元(yuan)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)良品甄(zhen)別(bie)(bie)準確(que)性。