1.一種適(shi)用于電子氣工(gong)廠的制氮(dan)機(ji)(ji)，包括通(tong)過管(guan)道(dao)依次連通(tong)設置的空氣過濾器(qi)(qi)(1)、儲(chu)(chu)氣罐(2)、空氣壓(ya)縮機(ji)(ji)(3)、冷(leng)凝器(qi)(qi)(4)、干燥器(qi)(qi)(5)、分(fen)離(li)器(qi)(qi)(6)以(yi)及儲(chu)(chu)氮(dan)罐(7)，其特征在(zai)于：還包括純化組件(8)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)純化組件(8)安裝于所(suo)(suo)述(shu)(shu)干燥器(qi)(qi)(5)與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)分(fen)離(li)器(qi)(qi)(6)之(zhi)間；
2.根據權利要求1所述的(de)適用于電子氣(qi)工廠的(de)制氮機，其特(te)征在于：所述吸(xi)附(fu)床(81)包括由上(shang)至下依(yi)次(ci)設(she)置的(de)分子篩吸(xi)附(fu)層(811)、活(huo)性(xing)炭吸(xi)附(fu)層(812)以(yi)及石英砂(sha)層(813)。
3.根據權利要(yao)求2所述(shu)(shu)的適(shi)用于電子(zi)氣(qi)工廠(chang)的制(zhi)氮機，其特征在于：所述(shu)(shu)純化組件(8)還包括(kuo)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器網(wang)絡(luo)(luo)(814)，所述(shu)(shu)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器網(wang)絡(luo)(luo)(814)包括(kuo)氣(qi)體成分傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(8141)和溫度傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(8142)，所述(shu)(shu)溫度傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(8142)安(an)裝于所述(shu)(shu)吸附床(chuang)(81)內(nei)，所述(shu)(shu)氣(qi)體成分傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(8141)設置于所述(shu)(shu)吸附床(chuang)(81)的進出口。
4.根據權利要求1所(suo)述(shu)的適(shi)用(yong)于(yu)(yu)電子(zi)氣工(gong)廠(chang)的制(zhi)氮(dan)機，其特征在(zai)于(yu)(yu)：所(suo)述(shu)純化組件(8)還(huan)包(bao)括(kuo)(kuo)控(kong)(kong)制(zhi)閥(fa)(fa)(fa)(85)，所(suo)述(shu)控(kong)(kong)制(zhi)閥(fa)(fa)(fa)(85)包(bao)括(kuo)(kuo)氣體(ti)調(diao)節閥(fa)(fa)(fa)(851)和(he)熱量(liang)調(diao)節閥(fa)(fa)(fa)(852)，所(suo)述(shu)氣體(ti)調(diao)節閥(fa)(fa)(fa)(851)安(an)裝于(yu)(yu)管道上，所(suo)述(shu)熱量(liang)調(diao)節閥(fa)(fa)(fa)(852)安(an)裝于(yu)(yu)所(suo)述(shu)傳熱管(84)上。
5.根據權利要(yao)求(qiu)1所(suo)述(shu)(shu)的適用于電(dian)子氣工廠(chang)的制氮機，其(qi)特征(zheng)在于：所(suo)述(shu)(shu)純化(hua)組件(8)還(huan)包括(kuo)第一(yi)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)塔(ta)(86)和第二(er)(er)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)塔(ta)(87)，所(suo)述(shu)(shu)第一(yi)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)塔(ta)(86)和所(suo)述(shu)(shu)第二(er)(er)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)塔(ta)(87)依次設置于所(suo)述(shu)(shu)空(kong)氣壓縮(suo)機(3)與所(suo)述(shu)(shu)冷凝器(4)之間，且(qie)所(suo)述(shu)(shu)第一(yi)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)塔(ta)(86)與所(suo)述(shu)(shu)第二(er)(er)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)塔(ta)(87)并聯(lian)設置，并通過(guo)管道與所(suo)述(shu)(shu)空(kong)氣壓縮(suo)機(3)和所(suo)述(shu)(shu)冷凝器(4)連(lian)通。
6.根據權利要求5所述(shu)的適用(yong)于電子氣工廠(chang)的制氮機(ji)，其特征(zheng)在于：所述(shu)純化(hua)組件(jian)(8)還包括切換(huan)閥(88)，所述(shu)切換(huan)閥(88)安(an)裝于連(lian)通所述(shu)第一吸(xi)(xi)附(fu)塔(ta)(86)與所述(shu)第二(er)吸(xi)(xi)附(fu)塔(ta)(87)之間的管道上。
7.根據(ju)權利要求5所述的適用于(yu)電子氣工廠的制(zhi)氮(dan)機，其特(te)征在于(yu)：所述純化(hua)組件(8)還包(bao)括電加熱絲(89)，所述電加熱絲(89)設(she)置于(yu)所述第一吸附塔(ta)(86)內(nei)。
8.根據權利要求1所(suo)述的(de)適用于電子(zi)氣工廠(chang)的(de)制氮機，其特征在于：所(suo)述干(gan)(gan)燥(zao)(zao)器(5)包括依(yi)次設(she)置(zhi)的(de)第(di)一干(gan)(gan)燥(zao)(zao)塔(ta)(ta)(51)和第(di)二干(gan)(gan)燥(zao)(zao)塔(ta)(ta)(52),所(suo)述第(di)一干(gan)(gan)燥(zao)(zao)塔(ta)(ta)(51)內(nei)設(she)置(zhi)有干(gan)(gan)燥(zao)(zao)劑(511),所(suo)述第(di)二干(gan)(gan)燥(zao)(zao)塔(ta)(ta)(52)內(nei)安裝有電加熱片(521)。
9.根據權(quan)利要求1所(suo)述(shu)的適用(yong)于(yu)電(dian)子氣工廠的制(zhi)氮機(ji)，其特征在于(yu)：所(suo)述(shu)壓(ya)縮機(ji)的出口處以及所(suo)述(shu)分(fen)離器(6)的出口處均設置(zhi)有消(xiao)音器(9)。
10.一種適用(yong)于電子氣工廠(chang)的制氮機的使用(yong)方法，包括權利要求1-9中所(suo)述的適用(yong)于電子氣工廠(chang)的制氮機,其(qi)特征(zheng)在于：其(qi)制備步驟如下：