本技(ji)術涉(she)及(ji)(ji)氮氣(qi)制造，尤(you)其是涉(she)及(ji)(ji)一種適用(yong)于(yu)電(dian)子(zi)氣(qi)工廠的制氮機及(ji)(ji)其使(shi)用(yong)方法。

背景技術：

1、隨著(zhu)電(dian)子工(gong)業的(de)(de)迅猛發展(zhan)，工(gong)業對(dui)(dui)高(gao)純度氮(dan)氣的(de)(de)需(xu)求(qiu)日益(yi)增長。氮(dan)氣作(zuo)(zuo)為一種關鍵的(de)(de)工(gong)業氣體，在(zai)電(dian)子制造、半導體生產、集成電(dian)路封(feng)裝等高(gao)精(jing)度領(ling)域(yu)發揮著(zhu)不可替代(dai)的(de)(de)作(zuo)(zuo)用。因此，需(xu)要設(she)置一種制氮(dan)機設(she)備，以滿足(zu)不同工(gong)藝(yi)對(dui)(dui)高(gao)純度氮(dan)氣的(de)(de)巨大需(xu)求(qiu)。

2、現(xian)有的(de)(de)制氮(dan)機(ji)(ji)通常(chang)包(bao)(bao)括(kuo)壓(ya)(ya)縮(suo)(suo)系(xi)統(tong)、制冷(leng)(leng)(leng)系(xi)統(tong)、分離(li)系(xi)統(tong)以及控制系(xi)統(tong)；壓(ya)(ya)縮(suo)(suo)系(xi)統(tong)包(bao)(bao)括(kuo)空氣(qi)壓(ya)(ya)縮(suo)(suo)機(ji)(ji)、管道以及過(guo)(guo)濾(lv)(lv)(lv)器(qi)，過(guo)(guo)濾(lv)(lv)(lv)器(qi)安裝于(yu)管道的(de)(de)輸出(chu)端(duan)，制冷(leng)(leng)(leng)系(xi)統(tong)包(bao)(bao)括(kuo)冷(leng)(leng)(leng)凝(ning)器(qi)、蒸發器(qi)以及膨脹閥，分離(li)系(xi)統(tong)包(bao)(bao)括(kuo)分離(li)器(qi)和(he)分離(li)膜(mo)；制氮(dan)機(ji)(ji)運(yun)行過(guo)(guo)程(cheng)中(zhong)，首先通過(guo)(guo)壓(ya)(ya)縮(suo)(suo)機(ji)(ji)將環境(jing)空氣(qi)吸入并壓(ya)(ya)縮(suo)(suo)至一定(ding)壓(ya)(ya)力，然后通過(guo)(guo)管道輸送(song)到制冷(leng)(leng)(leng)系(xi)統(tong)，輸送(song)過(guo)(guo)程(cheng)中(zhong)通過(guo)(guo)過(guo)(guo)濾(lv)(lv)(lv)器(qi)去除空氣(qi)中(zhong)的(de)(de)雜質，接著通過(guo)(guo)制冷(leng)(leng)(leng)劑(ji)在冷(leng)(leng)(leng)凝(ning)器(qi)和(he)蒸發器(qi)之(zhi)間(jian)的(de)(de)循環流動，實現(xian)對壓(ya)(ya)縮(suo)(suo)空氣(qi)的(de)(de)冷(leng)(leng)(leng)卻降溫，冷(leng)(leng)(leng)卻后的(de)(de)空氣(qi)進入分離(li)系(xi)統(tong)，氮(dan)氣(qi)和(he)氧(yang)氣(qi)通過(guo)(guo)物理吸附的(de)(de)方(fang)式被有效(xiao)分離(li)，最后將分離(li)后的(de)(de)氮(dan)氣(qi)輸送(song)到儲氮(dan)罐中(zhong)儲存，得到高純(chun)度(du)的(de)(de)氮(dan)氣(qi)，控制系(xi)統(tong)通過(guo)(guo)傳感(gan)器(qi)實時檢測空氣(qi)壓(ya)(ya)力、溫度(du)、氮(dan)氣(qi)純(chun)度(du)等(deng)參(can)數，并根據這些(xie)參(can)數調(diao)整壓(ya)(ya)縮(suo)(suo)機(ji)(ji)、制冷(leng)(leng)(leng)系(xi)統(tong)和(he)分離(li)系(xi)統(tong)的(de)(de)工(gong)作(zuo)狀態。

3、針對(dui)上述中的相關技術(shu)，由于(yu)制氮(dan)(dan)機在氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)制造過(guo)程中，冷(leng)卻后的空(kong)氣(qi)(qi)進入分離(li)系統后，氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)與氧氣(qi)(qi)需要通(tong)過(guo)物理(li)吸附的方(fang)式(shi)進行多(duo)次分離(li)和純(chun)(chun)化，致使分離(li)系統內部吸附劑(ji)性能(neng)不斷下降(jiang)直至吸附劑(ji)飽和，影響氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)的分離(li)效果，最終導致氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)純(chun)(chun)度下降(jiang)。

技術實現思路

1、為(wei)了(le)提高氮(dan)氣的純度，本技(ji)術提供一種適(shi)用于電子氣工廠的制(zhi)氮(dan)機及其(qi)使用方法。

2、第一(yi)方面，本(ben)技術提(ti)供的一(yi)種適用(yong)于電子氣工廠的制(zhi)氮機采用(yong)如下(xia)的技術方案：

3、一(yi)種適用(yong)于電子氣(qi)(qi)工廠的制氮機及其使用(yong)方法，包(bao)括通(tong)過(guo)(guo)管道(dao)依次(ci)連通(tong)設置(zhi)的空(kong)氣(qi)(qi)過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)、儲氣(qi)(qi)罐、空(kong)氣(qi)(qi)壓縮機、冷凝器(qi)、干(gan)燥器(qi)、分離(li)(li)器(qi)以及儲氮罐，其特征(zheng)在于：還包(bao)括純化組件(jian)，所(suo)述(shu)純化組件(jian)安裝(zhuang)于所(suo)述(shu)干(gan)燥器(qi)與所(suo)述(shu)分離(li)(li)器(qi)之間；

4、所(suo)述(shu)純(chun)化組件包(bao)括吸附床(chuang)、熱(re)(re)交(jiao)換器、再生加熱(re)(re)器以及傳熱(re)(re)管；

5、所述吸附(fu)床靠近(jin)所述干(gan)(gan)燥器的輸出端設置，且所述吸附(fu)床與所述干(gan)(gan)燥器通過管道連通；

6、所述(shu)熱交換器(qi)通(tong)過所述(shu)傳熱管(guan)分別與所述(shu)吸附床和所述(shu)再(zai)生加(jia)熱器(qi)連通(tong)；

7、所(suo)(suo)(suo)(suo)述再生加(jia)熱(re)(re)器與所(suo)(suo)(suo)(suo)述吸(xi)附(fu)床通過(guo)傳熱(re)(re)管連通，且(qie)所(suo)(suo)(suo)(suo)述吸(xi)附(fu)床、所(suo)(suo)(suo)(suo)述熱(re)(re)交換(huan)器以及所(suo)(suo)(suo)(suo)述再生加(jia)熱(re)(re)器之間形成閉合的熱(re)(re)力循環。

8、通過(guo)(guo)(guo)采用上述技術(shu)方(fang)案，首先將(jiang)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通入(ru)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)過(guo)(guo)(guo)濾(lv)(lv)器(qi)(qi)(qi)，去(qu)除空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)中(zhong)的(de)(de)(de)大顆粒雜(za)(za)質(zhi)，然后(hou)(hou)將(jiang)過(guo)(guo)(guo)濾(lv)(lv)后(hou)(hou)的(de)(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)儲存至儲氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)罐(guan)，接著將(jiang)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)由(you)儲氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)罐(guan)通入(ru)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)壓(ya)縮機，并通過(guo)(guo)(guo)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)壓(ya)縮機壓(ya)縮至一(yi)(yi)定(ding)壓(ya)力(li)，再(zai)將(jiang)壓(ya)縮后(hou)(hou)的(de)(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)接入(ru)冷(leng)凝器(qi)(qi)(qi)中(zhong)進(jin)行冷(leng)卻(que)降溫，使得高(gao)溫高(gao)壓(ya)的(de)(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通過(guo)(guo)(guo)冷(leng)凝器(qi)(qi)(qi)時(shi)(shi)，空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)水(shui)蒸氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)會在冷(leng)凝器(qi)(qi)(qi)表面冷(leng)凝成液態水(shui)排出，接著將(jiang)冷(leng)凝后(hou)(hou)的(de)(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)接入(ru)干燥器(qi)(qi)(qi)中(zhong)進(jin)行干燥，進(jin)一(yi)(yi)步(bu)去(qu)除空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)中(zhong)殘留的(de)(de)(de)水(shui)分(fen)，干燥完成后(hou)(hou)的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)通入(ru)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)床(chuang)(chuang)中(zhong)，并通過(guo)(guo)(guo)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)床(chuang)(chuang)對空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)中(zhong)的(de)(de)(de)氧氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)和(he)其他雜(za)(za)質(zhi)進(jin)行選擇性(xing)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)，從而實現氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)純(chun)(chun)化，當吸(xi)(xi)(xi)附(fu)床(chuang)(chuang)的(de)(de)(de)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)性(xing)能(neng)達到飽和(he)時(shi)(shi)，再(zai)生加(jia)熱(re)(re)器(qi)(qi)(qi)啟動(dong)，通過(guo)(guo)(guo)傳(chuan)熱(re)(re)管將(jiang)熱(re)(re)量(liang)傳(chuan)遞給吸(xi)(xi)(xi)附(fu)床(chuang)(chuang)，使吸(xi)(xi)(xi)附(fu)床(chuang)(chuang)中(zhong)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)的(de)(de)(de)氧氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)和(he)其他雜(za)(za)質(zhi)脫附(fu)，脫附(fu)后(hou)(hou)的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)經過(guo)(guo)(guo)熱(re)(re)交(jiao)換器(qi)(qi)(qi)，回收(shou)熱(re)(re)量(liang)后(hou)(hou)再(zai)排出，再(zai)將(jiang)經過(guo)(guo)(guo)純(chun)(chun)化后(hou)(hou)的(de)(de)(de)氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通入(ru)分(fen)離(li)器(qi)(qi)(qi)進(jin)行分(fen)離(li)，進(jin)一(yi)(yi)步(bu)去(qu)除氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)中(zhong)殘余的(de)(de)(de)雜(za)(za)質(zhi)，得到高(gao)純(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)，最后(hou)(hou)將(jiang)高(gao)純(chun)(chun)度(du)氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)輸送至儲氮(dan)(dan)罐(guan)進(jin)行儲存及使用；設置的(de)(de)(de)適(shi)用于電子氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)工廠的(de)(de)(de)制氮(dan)(dan)機便于通過(guo)(guo)(guo)純(chun)(chun)化組(zu)件(jian)形(xing)成閉合的(de)(de)(de)熱(re)(re)力(li)循環，確保吸(xi)(xi)(xi)附(fu)床(chuang)(chuang)的(de)(de)(de)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)性(xing)能(neng)時(shi)(shi)刻處于一(yi)(yi)個(ge)較佳(jia)的(de)(de)(de)狀態，進(jin)而實現氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)高(gao)效純(chun)(chun)化，提高(gao)氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)純(chun)(chun)度(du)，另(ling)外，閉合的(de)(de)(de)熱(re)(re)力(li)循環設置使得再(zai)生加(jia)熱(re)(re)器(qi)(qi)(qi)在加(jia)熱(re)(re)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)床(chuang)(chuang)的(de)(de)(de)同時(shi)(shi)，能(neng)夠回收(shou)和(he)利用熱(re)(re)量(liang)，有利于降低能(neng)源(yuan)消耗。

9、優選(xuan)的，所述吸(xi)附床包括(kuo)由上至下依次設(she)置的分子(zi)篩吸(xi)附層、活性炭(tan)吸(xi)附層以及石英砂層。

10、通過采(cai)用(yong)上述技術方案，設置的(de)分(fen)(fen)(fen)子(zi)篩吸(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)層(ceng)能夠有(you)選擇性(xing)地吸(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)并分(fen)(fen)(fen)離空(kong)氣(qi)(qi)(qi)中(zhong)的(de)氧氣(qi)(qi)(qi)，從而提高氮氣(qi)(qi)(qi)的(de)純度；設置的(de)活性(xing)炭吸(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)層(ceng)用(yong)于吸(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)中(zhong)的(de)水蒸氣(qi)(qi)(qi)、油蒸氣(qi)(qi)(qi)和(he)(he)其(qi)他有(you)機物等雜(za)質，提高氮氣(qi)(qi)(qi)的(de)純度和(he)(he)質量，同時延長制氮機的(de)使用(yong)壽命；設置的(de)石英砂層(ceng)能夠起到(dao)過濾保護和(he)(he)支撐的(de)作用(yong)，防止雜(za)質進入分(fen)(fen)(fen)子(zi)篩吸(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)層(ceng)和(he)(he)活性(xing)炭吸(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)層(ceng)，保護分(fen)(fen)(fen)子(zi)篩吸(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)層(ceng)和(he)(he)活性(xing)炭吸(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)層(ceng)不受損壞，同時對分(fen)(fen)(fen)子(zi)篩吸(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)層(ceng)和(he)(he)活性(xing)炭吸(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)層(ceng)形(xing)成(cheng)穩定支撐。

11、優選的(de)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)純化組件(jian)還(huan)包括傳(chuan)(chuan)感器網絡(luo)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)傳(chuan)(chuan)感器網絡(luo)包括氣體(ti)成(cheng)分傳(chuan)(chuan)感器和(he)溫(wen)度傳(chuan)(chuan)感器，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)溫(wen)度傳(chuan)(chuan)感器安裝(zhuang)于所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)吸附床內，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)氣體(ti)成(cheng)分傳(chuan)(chuan)感器設(she)置(zhi)于所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)吸附床的(de)進出(chu)口。

12、通過采用上(shang)述(shu)技術(shu)方案，設置(zhi)(zhi)的(de)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)網絡(luo)便(bian)于(yu)通過溫度傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)實(shi)時監測(ce)(ce)吸(xi)附(fu)床(chuang)的(de)工作(zuo)溫度，進(jin)而調(diao)節吸(xi)附(fu)材(cai)料(liao)的(de)吸(xi)附(fu)性能(neng)(neng)，同(tong)時，氣體成分(fen)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)設置(zhi)(zhi)在吸(xi)附(fu)床(chuang)的(de)進(jin)出(chu)口，可(ke)以精確測(ce)(ce)量進(jin)出(chu)氣體的(de)成分(fen)，從而對(dui)吸(xi)附(fu)前后氮氣的(de)純度進(jin)行檢(jian)測(ce)(ce)；另外，操作(zuo)人員可(ke)以傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)網絡(luo)提供的(de)數(shu)據(ju)，實(shi)時了解吸(xi)附(fu)床(chuang)的(de)工作(zuo)狀態，并根據(ju)需要調(diao)整操作(zuo)參數(shu)，優化吸(xi)附(fu)效果(guo)，提高吸(xi)附(fu)床(chuang)的(de)工作(zuo)效率(lv)，進(jin)而減少能(neng)(neng)耗，節約(yue)資源。

13、優(you)選的，所(suo)述(shu)純(chun)化(hua)組(zu)件還包(bao)括控制閥(fa)，所(suo)述(shu)控制閥(fa)包(bao)括氣體調節(jie)閥(fa)和熱量調節(jie)閥(fa)，所(suo)述(shu)氣體調節(jie)閥(fa)安裝于管(guan)道上，所(suo)述(shu)熱量調節(jie)閥(fa)安裝于所(suo)述(shu)傳熱管(guan)上。

14、通過(guo)采(cai)用上述(shu)技術方案，設置(zhi)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)調節(jie)(jie)閥便于實現(xian)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)流(liu)量(liang)的(de)精(jing)確控(kong)制(zhi)(zhi)，進而(er)(er)通過(guo)調節(jie)(jie)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)調節(jie)(jie)閥的(de)開度，確保氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)以最佳(jia)流(liu)速通過(guo)純化組件，提升氮氣(qi)(qi)純化效(xiao)果；設置(zhi)的(de)熱(re)量(liang)調節(jie)(jie)閥便于實現(xian)傳熱(re)過(guo)程(cheng)的(de)有效(xiao)控(kong)制(zhi)(zhi)，進而(er)(er)通過(guo)調節(jie)(jie)熱(re)量(liang)調節(jie)(jie)閥，精(jing)確控(kong)制(zhi)(zhi)傳熱(re)管的(de)熱(re)量(liang)傳遞速率，確保純化組件在合適的(de)溫度范(fan)圍內運行，防(fang)止過(guo)熱(re)或過(guo)冷(leng)對(dui)純化效(xiao)果產生不(bu)良影響。

15、優選的，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述純化組(zu)件還包括吸(xi)附(fu)(fu)(fu)塔(ta)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述吸(xi)附(fu)(fu)(fu)塔(ta)包括第(di)一吸(xi)附(fu)(fu)(fu)塔(ta)和第(di)二吸(xi)附(fu)(fu)(fu)塔(ta)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述第(di)一吸(xi)附(fu)(fu)(fu)塔(ta)和所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述第(di)二吸(xi)附(fu)(fu)(fu)塔(ta)依次設置于(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述空(kong)氣壓縮機與所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述冷凝(ning)(ning)器之間，且(qie)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述第(di)一吸(xi)附(fu)(fu)(fu)塔(ta)與所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述第(di)二吸(xi)附(fu)(fu)(fu)塔(ta)并聯設置，并通(tong)過管道與所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述空(kong)氣壓縮機和所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述冷凝(ning)(ning)器連通(tong)。

16、通(tong)(tong)過(guo)(guo)(guo)(guo)采用上述技術方(fang)案(an)，首先將空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通(tong)(tong)入(ru)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)過(guo)(guo)(guo)(guo)濾器(qi)，去除空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)中的(de)(de)大顆粒雜(za)(za)質(zhi)，然后(hou)將過(guo)(guo)(guo)(guo)濾后(hou)的(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)儲(chu)存至儲(chu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)罐，接(jie)著將空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)由儲(chu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)罐通(tong)(tong)入(ru)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)壓(ya)(ya)縮(suo)機，并(bing)通(tong)(tong)過(guo)(guo)(guo)(guo)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)壓(ya)(ya)縮(suo)機壓(ya)(ya)縮(suo)至一(yi)(yi)定(ding)壓(ya)(ya)力，再(zai)(zai)(zai)(zai)將壓(ya)(ya)縮(suo)后(hou)的(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)，通(tong)(tong)入(ru)第一(yi)(yi)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)中，通(tong)(tong)過(guo)(guo)(guo)(guo)第一(yi)(yi)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)內(nei)特殊的(de)(de)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)材(cai)料(liao)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)中的(de)(de)雜(za)(za)質(zhi)成(cheng)分(fen)，提(ti)高(gao)(gao)氮(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)純(chun)(chun)度，經過(guo)(guo)(guo)(guo)第一(yi)(yi)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)后(hou)的(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)，通(tong)(tong)過(guo)(guo)(guo)(guo)管道接(jie)入(ru)第二吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)，并(bing)在(zai)第二吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)中進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)深度吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)，進(jin)(jin)(jin)一(yi)(yi)步提(ti)高(gao)(gao)氮(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)純(chun)(chun)度，當第一(yi)(yi)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)內(nei)的(de)(de)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)材(cai)料(liao)達到(dao)(dao)飽和(he)狀態時(shi)(shi)，系(xi)統(tong)會自動(dong)切(qie)換(huan)到(dao)(dao)第二吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)，同時(shi)(shi)第一(yi)(yi)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)則進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)再(zai)(zai)(zai)(zai)生過(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)，至第一(yi)(yi)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)完(wan)成(cheng)再(zai)(zai)(zai)(zai)生后(hou)，系(xi)統(tong)再(zai)(zai)(zai)(zai)次切(qie)換(huan)到(dao)(dao)第一(yi)(yi)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)，第二吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)再(zai)(zai)(zai)(zai)生，如此循環往(wang)復(fu)，實現(xian)連續的(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)純(chun)(chun)化(hua)(hua)(hua)過(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)，再(zai)(zai)(zai)(zai)將純(chun)(chun)化(hua)(hua)(hua)后(hou)的(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)接(jie)入(ru)冷(leng)(leng)(leng)凝(ning)器(qi)中進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)冷(leng)(leng)(leng)卻(que)降(jiang)溫，使得(de)(de)高(gao)(gao)溫高(gao)(gao)壓(ya)(ya)的(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通(tong)(tong)過(guo)(guo)(guo)(guo)冷(leng)(leng)(leng)凝(ning)器(qi)時(shi)(shi)，空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)水(shui)蒸氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)會在(zai)冷(leng)(leng)(leng)凝(ning)器(qi)表面冷(leng)(leng)(leng)凝(ning)成(cheng)液態水(shui)排出，接(jie)著將冷(leng)(leng)(leng)凝(ning)后(hou)的(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)接(jie)入(ru)干(gan)燥(zao)器(qi)中進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)干(gan)燥(zao)，進(jin)(jin)(jin)一(yi)(yi)步去除空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)中殘(can)留的(de)(de)水(shui)分(fen)，干(gan)燥(zao)完(wan)成(cheng)后(hou)的(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)通(tong)(tong)入(ru)分(fen)離器(qi)進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)分(fen)離，進(jin)(jin)(jin)一(yi)(yi)步去除氮(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)中殘(can)余(yu)的(de)(de)雜(za)(za)質(zhi)，得(de)(de)到(dao)(dao)高(gao)(gao)純(chun)(chun)度的(de)(de)氮(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)，最后(hou)將高(gao)(gao)純(chun)(chun)度氮(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)輸(shu)送(song)至儲(chu)氮(dan)罐進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)儲(chu)存及(ji)使用；設置的(de)(de)純(chun)(chun)化(hua)(hua)(hua)組件便于通(tong)(tong)過(guo)(guo)(guo)(guo)第一(yi)(yi)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)和(he)第二吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)實現(xian)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)連續純(chun)(chun)化(hua)(hua)(hua)處理，兩(liang)個吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)交替(ti)工作(zuo)，有利于提(ti)高(gao)(gao)純(chun)(chun)化(hua)(hua)(hua)效率，同時(shi)(shi)，通(tong)(tong)過(guo)(guo)(guo)(guo)精確(que)控制(zhi)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)塔(ta)(ta)(ta)的(de)(de)切(qie)換(huan)和(he)再(zai)(zai)(zai)(zai)生過(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)，能夠最大限(xian)度地減少(shao)能源的(de)(de)消耗和(he)材(cai)料(liao)的(de)(de)浪費。

17、優(you)選的，所(suo)(suo)述純(chun)化(hua)組件還包(bao)括切(qie)換(huan)(huan)閥(fa)，所(suo)(suo)述切(qie)換(huan)(huan)閥(fa)安裝于連通所(suo)(suo)述第(di)一吸(xi)附塔與所(suo)(suo)述第(di)二吸(xi)附塔之間(jian)的管道上。

18、通過采用上(shang)述技術方案，設(she)置的切換閥能夠在(zai)純(chun)化(hua)過程中，當(dang)第一(yi)吸附塔達到(dao)飽和狀態需要(yao)進行再生時(shi)，迅速、準確地切換氣(qi)體流向，使氣(qi)體從第一(yi)吸附塔流向第二(er)吸附塔，從而保證純(chun)化(hua)的連續性(xing)和高效性(xing)。

19、優選的(de)，所(suo)述純化(hua)組(zu)件還包括電加(jia)熱(re)絲，所(suo)述電加(jia)熱(re)絲設置于所(suo)述第一吸附塔內。

20、通(tong)過采用上述技術(shu)方(fang)案，設(she)置的(de)電加(jia)熱絲能(neng)夠有效地提(ti)升第一吸附塔內的(de)溫度，提(ti)高吸附效率(lv)并(bing)促進雜質的(de)脫附；其次，當(dang)吸附塔內的(de)吸附材料達到飽(bao)和狀態需要進行再生時，通(tong)過電加(jia)熱絲加(jia)熱可以加(jia)快吸附材料中雜質的(de)脫附速度，提(ti)高再生效率(lv)。

21、優選(xuan)的(de)，所述(shu)干(gan)燥(zao)器包括依次設置(zhi)的(de)第(di)一干(gan)燥(zao)塔和第(di)二(er)干(gan)燥(zao)塔,所述(shu)第(di)一干(gan)燥(zao)塔內設置(zhi)有干(gan)燥(zao)劑,所述(shu)第(di)二(er)干(gan)燥(zao)塔內安裝有電加熱片。

22、通(tong)過(guo)采用(yong)(yong)上述技(ji)術方(fang)案，設置的(de)(de)(de)第(di)(di)一(yi)干(gan)(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)(zao)塔內(nei)能夠通(tong)過(guo)干(gan)(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)(zao)劑高效吸收并(bing)去除(chu)通(tong)過(guo)其中(zhong)的(de)(de)(de)濕氣，確保氣體(ti)的(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)(zao)程度(du)；設置的(de)(de)(de)第(di)(di)二(er)干(gan)(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)(zao)塔便于通(tong)過(guo)塔內(nei)的(de)(de)(de)電加熱片迅速提升塔內(nei)溫(wen)度(du)，通(tong)過(guo)熱傳導和(he)(he)對(dui)流作用(yong)(yong)，加速氣體(ti)或氣體(ti)中(zhong)殘留濕氣的(de)(de)(de)蒸發和(he)(he)排出；此外，雙(shuang)塔設置使(shi)得當第(di)(di)一(yi)干(gan)(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)(zao)塔中(zhong)的(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)(zao)劑接近飽和(he)(he)時(shi)，可以切(qie)換到第(di)(di)二(er)干(gan)(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)(zao)塔進行(xing)(xing)干(gan)(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)(zao)，同(tong)時(shi)第(di)(di)一(yi)干(gan)(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)(zao)塔進行(xing)(xing)干(gan)(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)(zao)劑的(de)(de)(de)再生或更換，進而(er)確保干(gan)(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)(zao)過(guo)程的(de)(de)(de)連續性和(he)(he)高效性。

23、優選(xuan)的(de)，所(suo)述壓縮機的(de)出口處(chu)以(yi)及所(suo)述分離(li)器(qi)的(de)出口處(chu)均(jun)設置有消音(yin)器(qi)。

24、通過采(cai)用上述技術(shu)方案(an)，設(she)置的(de)(de)消音器(qi)能夠有效降低壓縮機和(he)分離(li)器(qi)在(zai)工作過程中由(you)于氣(qi)體流動和(he)機械運動產生(sheng)的(de)(de)噪(zao)音，并在(zai)一定程度上減(jian)少振動，從而保護設(she)備(bei)的(de)(de)穩(wen)定性和(he)安(an)全性，延長(chang)設(she)備(bei)的(de)(de)使用壽命(ming)。

25、第(di)二方(fang)面，本技(ji)術提供的(de)一種適用于電子氣工(gong)廠的(de)制(zhi)氮機的(de)使用方(fang)法采用如下(xia)的(de)技(ji)術方(fang)案：其制(zhi)備步驟(zou)如下(xia)：

26、s1、將空氣通入空氣過濾器，去(qu)除空氣中的(de)雜(za)質，然(ran)后儲存至儲氣罐內；

27、s2、將過濾后(hou)的空氣(qi)通(tong)入空氣(qi)壓(ya)縮(suo)機壓(ya)縮(suo)至(zhi)一定壓(ya)力，然后(hou)通(tong)過管道(dao)輸送至(zhi)后(hou)續(xu)加工工藝處；

28、s3、將壓縮空氣通入純(chun)化組件(jian)、冷卻器以及(ji)干燥(zao)器中進行吸附、冷卻及(ji)干燥(zao)；

29、s4、將純化后的氣體(ti)通入(ru)分離器中(zhong)對氮氣進行分離；

30、s5、將(jiang)分離后的氣體儲存至儲氮罐(guan)中。

31、通(tong)(tong)(tong)過采用上述技(ji)術方(fang)案，首先，將(jiang)(jiang)外界(jie)空(kong)氣(qi)(qi)通(tong)(tong)(tong)入(ru)空(kong)氣(qi)(qi)過濾(lv)器，去除(chu)空(kong)氣(qi)(qi)中(zhong)的(de)雜(za)質，然后將(jiang)(jiang)過濾(lv)后的(de)空(kong)氣(qi)(qi)儲(chu)(chu)存至儲(chu)(chu)氣(qi)(qi)罐(guan)內，接著(zhu)將(jiang)(jiang)儲(chu)(chu)氣(qi)(qi)罐(guan)內的(de)過濾(lv)空(kong)氣(qi)(qi)通(tong)(tong)(tong)入(ru)空(kong)氣(qi)(qi)壓(ya)(ya)縮機(ji)進(jin)行壓(ya)(ya)縮，通(tong)(tong)(tong)過壓(ya)(ya)縮機(ji)的(de)作(zuo)用將(jiang)(jiang)空(kong)氣(qi)(qi)壓(ya)(ya)縮至一定壓(ya)(ya)力，壓(ya)(ya)縮后的(de)空(kong)氣(qi)(qi)通(tong)(tong)(tong)過管道輸送至后續加工(gong)工(gong)藝處(chu)進(jin)行純化(hua)(hua)(hua)、冷卻以及干(gan)(gan)燥，然后將(jiang)(jiang)經(jing)過純化(hua)(hua)(hua)、冷卻和干(gan)(gan)燥后的(de)氣(qi)(qi)體(ti)通(tong)(tong)(tong)入(ru)分離器，接著(zhu)在分離器中(zhong)將(jiang)(jiang)氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)從混合氣(qi)(qi)體(ti)中(zhong)分離出來，最(zui)后將(jiang)(jiang)分離出的(de)氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)儲(chu)(chu)存至儲(chu)(chu)氮(dan)(dan)罐(guan)中(zhong)以供使用；通(tong)(tong)(tong)過空(kong)氣(qi)(qi)過濾(lv)、純化(hua)(hua)(hua)組件、冷卻器和干(gan)(gan)燥器的(de)聯合作(zuo)用，能夠實(shi)現對氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)的(de)深(shen)度純化(hua)(hua)(hua)，有效(xiao)去除(chu)氧氣(qi)(qi)、水蒸氣(qi)(qi)等雜(za)質，提高氮(dan)(dan)氣(qi)(qi)的(de)純度，同時優化(hua)(hua)(hua)工(gong)藝流程與設備配(pei)置，降低能耗，提高整體(ti)能效(xiao)。

32、綜上所述，本技(ji)術包(bao)括以下至少(shao)一種有益技(ji)術效果(guo)：

33、1.設(she)置(zhi)的(de)(de)適用于(yu)電子氣(qi)(qi)工廠的(de)(de)制氮(dan)機便于(yu)通(tong)過純(chun)化(hua)(hua)組件(jian)形(xing)成閉合的(de)(de)熱(re)(re)(re)(re)(re)力(li)循(xun)環，確保吸(xi)附(fu)(fu)床(chuang)的(de)(de)吸(xi)附(fu)(fu)性能時刻處(chu)于(yu)一個較佳的(de)(de)狀態，進(jin)而(er)實現氮(dan)氣(qi)(qi)的(de)(de)高效純(chun)化(hua)(hua)，提(ti)高氮(dan)氣(qi)(qi)的(de)(de)純(chun)度，另(ling)外，閉合的(de)(de)熱(re)(re)(re)(re)(re)力(li)循(xun)環設(she)置(zhi)使得再生加熱(re)(re)(re)(re)(re)器在加熱(re)(re)(re)(re)(re)吸(xi)附(fu)(fu)床(chuang)的(de)(de)同時，能夠回收和利用熱(re)(re)(re)(re)(re)量，有(you)利于(yu)降低(di)能源消耗。

34、2.設置的(de)(de)(de)分(fen)子(zi)篩(shai)吸(xi)(xi)附(fu)層(ceng)(ceng)能(neng)夠有(you)選(xuan)擇性(xing)(xing)地(di)吸(xi)(xi)附(fu)并分(fen)離(li)空(kong)氣(qi)(qi)中(zhong)的(de)(de)(de)氧氣(qi)(qi)，從而提(ti)高(gao)氮(dan)氣(qi)(qi)的(de)(de)(de)純度(du)；設置的(de)(de)(de)活(huo)性(xing)(xing)炭(tan)(tan)吸(xi)(xi)附(fu)層(ceng)(ceng)用于吸(xi)(xi)附(fu)空(kong)氣(qi)(qi)中(zhong)的(de)(de)(de)水蒸氣(qi)(qi)、油蒸氣(qi)(qi)和其他有(you)機物等雜質，提(ti)高(gao)氮(dan)氣(qi)(qi)的(de)(de)(de)純度(du)和質量，同(tong)時延長制氮(dan)機的(de)(de)(de)使用壽命；設置的(de)(de)(de)石英砂層(ceng)(ceng)能(neng)夠起到(dao)過濾保護和支撐的(de)(de)(de)作用，防止雜質進入分(fen)子(zi)篩(shai)吸(xi)(xi)附(fu)層(ceng)(ceng)和活(huo)性(xing)(xing)炭(tan)(tan)吸(xi)(xi)附(fu)層(ceng)(ceng)，保護分(fen)子(zi)篩(shai)吸(xi)(xi)附(fu)層(ceng)(ceng)和活(huo)性(xing)(xing)炭(tan)(tan)吸(xi)(xi)附(fu)層(ceng)(ceng)不(bu)受損壞，同(tong)時對分(fen)子(zi)篩(shai)吸(xi)(xi)附(fu)層(ceng)(ceng)和活(huo)性(xing)(xing)炭(tan)(tan)吸(xi)(xi)附(fu)層(ceng)(ceng)形成穩定(ding)支撐。

35、3.設置的純化(hua)(hua)組(zu)件(jian)便于通(tong)過(guo)第一(yi)吸附塔和(he)第二吸附塔實(shi)現氣體的連續純化(hua)(hua)處理，兩個吸附塔交替工(gong)作，有利于提高純化(hua)(hua)效率，同時(shi)，通(tong)過(guo)精確控制吸附塔的切換(huan)和(he)再生過(guo)程，能(neng)夠最大(da)限度地減少能(neng)源的消耗(hao)和(he)材料的浪費(fei)。

36、4.設置的(de)第(di)(di)一干(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)塔(ta)(ta)(ta)內能(neng)夠通(tong)(tong)(tong)過(guo)(guo)干(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)劑(ji)高效吸(xi)收并去除通(tong)(tong)(tong)過(guo)(guo)其(qi)中的(de)濕氣(qi)，確(que)保氣(qi)體的(de)干(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)程度；設置的(de)第(di)(di)二干(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)塔(ta)(ta)(ta)便(bian)于通(tong)(tong)(tong)過(guo)(guo)塔(ta)(ta)(ta)內的(de)電加(jia)熱片迅速(su)提升塔(ta)(ta)(ta)內溫度，通(tong)(tong)(tong)過(guo)(guo)熱傳導和(he)對(dui)流(liu)作用，加(jia)速(su)氣(qi)體或氣(qi)體中殘留濕氣(qi)的(de)蒸發(fa)和(he)排(pai)出；此(ci)外，雙(shuang)塔(ta)(ta)(ta)設置使得當第(di)(di)一干(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)塔(ta)(ta)(ta)中的(de)干(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)劑(ji)接近飽(bao)和(he)時，可以切換到(dao)第(di)(di)二干(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)塔(ta)(ta)(ta)進行干(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)，同時第(di)(di)一干(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)塔(ta)(ta)(ta)進行干(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)劑(ji)的(de)再生或更換，進而確(que)保干(gan)(gan)燥(zao)(zao)(zao)過(guo)(guo)程的(de)連續性和(he)高效性。