技術編號：39427141
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請涉及氮氣制造，尤其是涉及一種適用于電子氣工廠的制氮機及其使用方法。背景技術、隨著電子工業的迅猛發展，工業對高純度氮氣的需求日益增長。氮氣作為一種關鍵的工業氣體，在電子制造、半導體生產、集成電路封裝等高精度領域發揮著不可替代的作用。因此，需要設置一種制氮機設備，以滿足不同工藝對高純度氮氣的巨大需求。、現有的制氮機通常包括壓縮系統、制冷系統、分離系統以及控制系統；壓縮系統包括空氣壓縮機、管道以及過濾器，過濾器安裝于管道的輸出端，制冷系統包括冷凝器、蒸發器以及膨脹閥，分離系統包括分離器和分離...
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