本發明(ming)涉及(ji)一種(zhong)照(zhao)明(ming)系統以(yi)及(ji)一使用其形(xing)成鰭狀結構(gou)的(de)方(fang)法(fa)，尤指一種(zhong)使用包括一環形(xing)開(kai)口以(yi)及(ji)一雙極開(kai)口的(de)不透明(ming)板(ban)作為光瞳的(de)一種(zhong)照(zhao)明(ming)系統以(yi)及(ji)使用其形(xing)成鰭狀結構(gou)的(de)方(fang)法(fa)。

背景技術：

隨(sui)著半導(dao)體制(zhi)造技(ji)(ji)術的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)發展，集成電路的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)尺(chi)(chi)(chi)寸也越來越小(xiao)，且運作(zuo)速(su)度也越來越快。在集成電路的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)制(zhi)造過程(cheng)中，最關(guan)鍵(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)技(ji)(ji)術莫過于(yu)所謂的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)刻制(zhi)作(zuo)工藝(photolithography process)，其肩負著將光(guang)(guang)掩模(mo)上(shang)(shang)(shang)圖(tu)案精(jing)確地轉移至晶(jing)(jing)(jing)片上(shang)(shang)(shang)不(bu)同元件(jian)層的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)重(zhong)責大任。光(guang)(guang)刻制(zhi)作(zuo)工藝主要(yao)是(shi)通(tong)(tong)過曝光(guang)(guang)裝置將光(guang)(guang)掩模(mo)上(shang)(shang)(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)圖(tu)案投影至形成于(yu)晶(jing)(jing)(jing)片上(shang)(shang)(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)致抗蝕劑(ji)，因(yin)(yin)此(ci)決定形成于(yu)晶(jing)(jing)(jing)片上(shang)(shang)(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)圖(tu)案的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)分辨率(resolution)，即所謂的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)關(guan)鍵(jian)尺(chi)(chi)(chi)寸(critical dimension，CD)，主要(yao)由(you)曝光(guang)(guang)裝置所決定。由(you)于(yu)曝光(guang)(guang)裝置通(tong)(tong)過投影的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方式將圖(tu)案轉移至光(guang)(guang)致抗蝕劑(ji)上(shang)(shang)(shang)，因(yin)(yin)此(ci)曝光(guang)(guang)裝置的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)照明系統(tong)與(yu)其光(guang)(guang)線(xian)波長(chang)是(shi)決定這關(guan)鍵(jian)尺(chi)(chi)(chi)寸的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)因(yin)(yin)素。因(yin)(yin)此(ci)，不(bu)斷(duan)地改善照明系統(tong)，以縮小(xiao)關(guan)鍵(jian)尺(chi)(chi)(chi)寸一直是(shi)業(ye)界努力的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)目(mu)標。

技術實現要素：

本發明的(de)(de)目的(de)(de)在于提供(gong)一種照(zhao)明系(xi)統以(yi)(yi)及使用其(qi)形成鰭狀(zhuang)結(jie)構的(de)(de)方法，以(yi)(yi)提升(sheng)曝光(guang)(guang)光(guang)(guang)線入射至光(guang)(guang)掩模的(de)(de)角度，進而可有效地縮(suo)小關鍵尺寸。

為達(da)上述(shu)的(de)(de)目的(de)(de)，本發(fa)明提供一(yi)(yi)種(zhong)照明系統，其包括一(yi)(yi)光源(yuan)以(yi)及(ji)(ji)一(yi)(yi)不(bu)透(tou)明板(ban)(ban)。光源(yuan)用于(yu)產生一(yi)(yi)光線。不(bu)透(tou)明板(ban)(ban)設置于(yu)光源(yuan)以(yi)及(ji)(ji)一(yi)(yi)光掩模之(zhi)間，且(qie)不(bu)透(tou)明板(ban)(ban)包括一(yi)(yi)環(huan)形開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)以(yi)及(ji)(ji)一(yi)(yi)第(di)一(yi)(yi)雙(shuang)極開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)。環(huan)形開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)具(ju)有一(yi)(yi)內側邊以(yi)及(ji)(ji)一(yi)(yi)外側邊。第(di)一(yi)(yi)雙(shuang)極開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)包括至少(shao)一(yi)(yi)第(di)一(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)以(yi)及(ji)(ji)至少(shao)一(yi)(yi)第(di)二開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)，其中(zhong)第(di)一(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)與(yu)第(di)二開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)分別與(yu)環(huan)形開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)相連接(jie)，并(bing)分別從(cong)環(huan)形開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)的(de)(de)外側邊延(yan)伸出，且(qie)第(di)一(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)與(yu)第(di)二開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)對稱于(yu)環(huan)形開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)的(de)(de)一(yi)(yi)中(zhong)心點設置。

為達(da)上述(shu)的目的，本發明(ming)(ming)(ming)還(huan)提供(gong)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)種使用照(zhao)明(ming)(ming)(ming)系(xi)統(tong)形(xing)(xing)(xing)成鰭(qi)狀(zhuang)(zhuang)結構的方(fang) 法。首(shou)先，提供(gong)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)系(xi)統(tong)，其中(zhong)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)系(xi)統(tong)包(bao)括(kuo)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)光源以及(ji)(ji)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)不(bu)(bu)透(tou)(tou)明(ming)(ming)(ming)板。光源用于(yu)產生一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)光線。第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)不(bu)(bu)透(tou)(tou)明(ming)(ming)(ming)板包(bao)括(kuo)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)環(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)以及(ji)(ji)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)雙極開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)。第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)環(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)具(ju)有(you)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)內側(ce)邊(bian)以及(ji)(ji)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)外側(ce)邊(bian)。第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)雙極開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)包(bao)括(kuo)至(zhi)少一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)以及(ji)(ji)至(zhi)少一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)，其中(zhong)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)與第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)分別(bie)(bie)與第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)環(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)相(xiang)連接(jie)(jie)，并(bing)分別(bie)(bie)從(cong)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)環(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)的第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)外側(ce)邊(bian)延(yan)伸出，且第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)與第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)對稱于(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)環(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)的一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)中(zhong)心點設(she)置(zhi)，并(bing)沿著(zhu)(zhu)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)方(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)排(pai)列。然后，提供(gong)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)光掩模(mo)(mo)、多(duo)個環(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)間(jian)(jian)隙物以及(ji)(ji)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)基板，其中(zhong)環(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)間(jian)(jian)隙物設(she)置(zhi)于(yu)基板上，且第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)光掩模(mo)(mo)包(bao)括(kuo)多(duo)個第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)條狀(zhuang)(zhuang)開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)，分別(bie)(bie)沿著(zhu)(zhu)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)方(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)延(yan)伸。接(jie)(jie)著(zhu)(zhu)，將照(zhao)明(ming)(ming)(ming)系(xi)統(tong)的第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)不(bu)(bu)透(tou)(tou)明(ming)(ming)(ming)板設(she)置(zhi)于(yu)光源以及(ji)(ji)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)光掩模(mo)(mo)之間(jian)(jian)，并(bing)使第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)方(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)垂直于(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)方(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)。隨(sui)后，在環(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)間(jian)(jian)隙物上形(xing)(xing)(xing)成一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)掩模(mo)(mo)層。接(jie)(jie)著(zhu)(zhu)，利用照(zhao)明(ming)(ming)(ming)系(xi)統(tong)與第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)光掩模(mo)(mo)進行一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)曝光制作(zuo)工藝，以于(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)掩模(mo)(mo)層中(zhong)定(ding)義出多(duo)個第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)切割開(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)的位置(zhi)。

在本發明的不透明板中(zhong)，雙極開(kai)口至少設(she)置于環形(xing)(xing)開(kai)口的外側(ce)邊，因此曝光(guang)光(guang)線(xian)在經過雙極開(kai)口與(yu)環形(xing)(xing)開(kai)口之后入射(she)至光(guang)掩(yan)模(mo)的角度可被提升，進而可有(you)效地(di)縮小關鍵尺寸。

附圖說明

圖1為本發明(ming)一實(shi)施(shi)例的(de)曝(pu)光裝置的(de)示意(yi)圖；

圖(tu)2為本發明第一實施例的不(bu)透明板的上視示意圖(tu)；

圖3為本(ben)發明(ming)第二(er)實施(shi)例的不透明(ming)板(ban)的上(shang)視示意圖；

圖(tu)4為本發明第三(san)實施例的(de)不透明板的(de)上視示意圖(tu)；

圖5為本發明(ming)第四實施(shi)例的(de)(de)不透明(ming)板(ban)的(de)(de)上(shang)視示意(yi)圖；

圖6為本發明第五實施例的不(bu)透(tou)明板的上視(shi)示意圖；

圖7為本發明(ming)第六(liu)實施例的(de)(de)不透明(ming)板的(de)(de)上視(shi)示意圖；

圖8為(wei)本發明第七實施例的(de)(de)不透明板的(de)(de)上(shang)視示意圖；

圖(tu)9為本發明(ming)第八實施例的不(bu)透明(ming)板的上視示意圖(tu)；

圖(tu)10為本發(fa)明第九(jiu)實施例的不透明板的上(shang)視示意圖(tu)；

圖11至圖14為本(ben)發(fa)明一(yi)實(shi)施例使(shi)用照明系統形(xing)成鰭(qi)狀結構的(de)方法(fa)示意圖。

主要元件符號說明

100 曝光裝置 102 照明系(xi)統(tong)

104 光掩模座(zuo) 106 投影鏡頭

108 基板座 110、130 光掩(yan)模

110a 第一條狀開口 112 基板

114 光源

116、 132、216、316、416、516、616、716、 不透(tou)明板

816、916

116a 中央部(bu) 116b 周邊部(bu)

118、134 環形開(kai)口 118a、134a  內側(ce)邊

118b、134b 外(wai)側邊(bian)

120、220、320、420、520、620、720、820、 第一雙極開口

920

120a、220a、320a、420a、520a、620a、720a、 第一開(kai)口

820a、920a

120b、220b、320b、420b、520b、620b、720b、 第二開口

820b、920b

136a、422a、522a、622a、722a、822a 第三開口

136b、422b、522b、622b、722b、822b 第四開口(kou)

124 環形間隙物 124a 第一(yi)部分

124b 第二部分 126 第一掩模層

128 第一切割(ge)開口 130a 第二條狀開口

138 第二(er)切割開口 140 鰭狀結構

136、422、522、622、722、822 第二雙極開口

924a 弓形(xing)部 924b 長條部

D1 第一方向 D2 第二(er)方向

P1、P2 位置

W1、W2、W3、W4、W5 寬度

具體實施方式

請參考圖(tu)1，圖(tu)1為(wei)本(ben)發明(ming)(ming)一(yi)實(shi)施(shi)例的(de)(de)(de)曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)裝(zhuang)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)示(shi)(shi)意圖(tu)。如圖(tu)1所(suo)示(shi)(shi)，本(ben)實(shi)施(shi)例的(de)(de)(de)曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)裝(zhuang)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)100可包括一(yi)照(zhao)明(ming)(ming)系(xi)(xi)(xi)統(tong)102、一(yi)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)掩(yan)模(mo)(mo)座104、一(yi)投(tou)影(ying)鏡(jing)頭106以及一(yi)基板座108。照(zhao)明(ming)(ming)系(xi)(xi)(xi)統(tong)102用(yong)于產生(sheng)曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)線(xian)，且光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)掩(yan)模(mo)(mo)座 104、投(tou)影(ying)鏡(jing)頭106與(yu)基板座104依(yi)序(xu)設(she)(she)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)于曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)線(xian)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)路徑上(shang)。因此，在(zai)進(jin)(jin)行曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)制作(zuo)(zuo)工藝時，光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)掩(yan)模(mo)(mo)110與(yu)待圖(tu)案化(hua)的(de)(de)(de)基板112會分別設(she)(she)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)于光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)掩(yan)模(mo)(mo)座104與(yu)基板座108上(shang)，使曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)線(xian)可依(yi)序(xu)經過光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)掩(yan)模(mo)(mo)110與(yu)投(tou)影(ying)鏡(jing)頭106，進(jin)(jin)而聚焦(jiao)在(zai)基板112上(shang)的(de)(de)(de)一(yi)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)致抗蝕劑層(ceng)中(zhong)(圖(tu)未(wei)示(shi)(shi))。照(zhao)明(ming)(ming)系(xi)(xi)(xi)統(tong)102包括一(yi)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源114以及一(yi)不透(tou)明(ming)(ming)板116。光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源114可產生(sheng)曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)線(xian)，例如：KrF激光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(248nm)或ArF激光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(193nm)等(deng)，但不限(xian)于此。不透(tou)明(ming)(ming)板116設(she)(she)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)于光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源114與(yu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)掩(yan)模(mo)(mo)110之間，其上(shang)設(she)(she)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)有至(zhi)少一(yi)開口，用(yong)以作(zuo)(zuo)為(wei)照(zhao)明(ming)(ming)系(xi)(xi)(xi)統(tong)102的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)瞳(pupil)，使得(de)曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)線(xian)在(zai)通(tong)過不透(tou)明(ming)(ming)板116的(de)(de)(de)開口之后可產生(sheng)所(suo)欲的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)線(xian)圖(tu)案。

請參考圖2，圖2為(wei)(wei)本發(fa)明(ming)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)實(shi)施(shi)例(li)(li)的(de)(de)(de)(de)不(bu)(bu)透(tou)明(ming)板(ban)的(de)(de)(de)(de)上視示意圖。如圖2所示，本實(shi)施(shi)例(li)(li)的(de)(de)(de)(de)不(bu)(bu)透(tou)明(ming)板(ban)116包括一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118以及一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)雙(shuang)極開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120。環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118具有(you)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)內側(ce)(ce)(ce)邊(bian)(bian)(bian)118a與(yu)(yu)(yu)(yu)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)外(wai)側(ce)(ce)(ce)邊(bian)(bian)(bian)118b，并(bing)(bing)圍繞(rao)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)部(bu)分的(de)(de)(de)(de)不(bu)(bu)透(tou)明(ming)板(ban)116。具體(ti)來(lai)說，不(bu)(bu)透(tou)明(ming)板(ban)116可(ke)(ke)包括一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)中(zhong)(zhong)央(yang)(yang)部(bu)116a與(yu)(yu)(yu)(yu)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)周邊(bian)(bian)(bian)部(bu)116b，且環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118圍繞(rao)出中(zhong)(zhong)央(yang)(yang)部(bu)116a，因此(ci)中(zhong)(zhong)央(yang)(yang)部(bu)116a的(de)(de)(de)(de)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)狀(zhuang)(zhuang)(zhuang)與(yu)(yu)(yu)(yu)環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)內側(ce)(ce)(ce)邊(bian)(bian)(bian)118a相同(tong)。舉例(li)(li)來(lai)說，環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)狀(zhuang)(zhuang)(zhuang)與(yu)(yu)(yu)(yu)中(zhong)(zhong)央(yang)(yang)部(bu)116a可(ke)(ke)為(wei)(wei)圓(yuan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)或橢圓(yuan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)。并(bing)(bing)且，周邊(bian)(bian)(bian)部(bu)116b圍繞(rao)環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118與(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)雙(shuang)極開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120，且中(zhong)(zhong)央(yang)(yang)部(bu)116a與(yu)(yu)(yu)(yu)周邊(bian)(bian)(bian)部(bu)116b形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)成環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118與(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)雙(shuang)極開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120。第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)雙(shuang)極開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120可(ke)(ke)包括至(zhi)少一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120a與(yu)(yu)(yu)(yu)至(zhi)少一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120b。在本實(shi)施(shi)例(li)(li)中(zhong)(zhong)，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)雙(shuang)極開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120僅包括單一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120a與(yu)(yu)(yu)(yu)單一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120b。第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120a與(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120b分別(bie)與(yu)(yu)(yu)(yu)環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)外(wai)側(ce)(ce)(ce)邊(bian)(bian)(bian)118b相連(lian)接，并(bing)(bing)從環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)外(wai)側(ce)(ce)(ce)邊(bian)(bian)(bian)118b延(yan)伸向周邊(bian)(bian)(bian)部(bu)116b突出。并(bing)(bing)且，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120a與(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120b對稱于(yu)環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)中(zhong)(zhong)心點設置，且第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120a與(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120b沿著(zhu)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)方向D1排(pai)列(lie)。舉例(li)(li)來(lai)說，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120a與(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120b的(de)(de)(de)(de)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)狀(zhuang)(zhuang)(zhuang)可(ke)(ke)分別(bie)為(wei)(wei)正方形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)、矩形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)等多邊(bian)(bian)(bian)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)或弧形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)、拱形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)等的(de)(de)(de)(de)幾何或非幾何形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)狀(zhuang)(zhuang)(zhuang)。并(bing)(bing)且，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120a與(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)120b的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)側(ce)(ce)(ce)邊(bian)(bian)(bian)與(yu)(yu)(yu)(yu)環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)外(wai)側(ce)(ce)(ce)邊(bian)(bian)(bian)118b相連(lian)接。本發(fa)明(ming)并(bing)(bing)不(bu)(bu)限于(yu)此(ci)。在其他實(shi)施(shi)態樣(yang)中(zhong)(zhong)，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)以及第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)與(yu)(yu)(yu)(yu)環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)相連(lian)接之處可(ke)(ke)為(wei)(wei)多邊(bian)(bian)(bian)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)頂角。另外(wai)，當環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)狀(zhuang)(zhuang)(zhuang)為(wei)(wei)橢圓(yuan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)時，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)方向可(ke)(ke)優(you)選平(ping)行環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)長軸(zhou)，但(dan)本發(fa)明(ming)不(bu)(bu)限于(yu)此(ci)。在其他實(shi)施(shi)態樣(yang)中(zhong)(zhong)，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)方向可(ke)(ke)平(ping)行于(yu)環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)的(de)(de)(de)(de)短軸(zhou)或不(bu)(bu)平(ping)行于(yu)環(huan)(huan)(huan)(huan)形(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)的(de)(de)(de)(de)長軸(zhou)與(yu)(yu)(yu)(yu)短軸(zhou)。

值得(de)一(yi)提的是，相較于將(jiang)第(di)(di)(di)(di)一(yi)開(kai)口與(yu)第(di)(di)(di)(di)二(er)開(kai)口設置(zhi)于環形開(kai)口的內側(ce)邊(bian) 并向內凹入圓形部116a中，本(ben)實施(shi)例的不透明板(ban)116將(jiang)第(di)(di)(di)(di)一(yi)開(kai)口120a與(yu)第(di)(di)(di)(di)二(er)開(kai)口120b完全設置(zhi)于環形開(kai)口118的外(wai)側(ce)邊(bian)118b外(wai)，使得(de)曝(pu)(pu)光(guang)(guang)光(guang)(guang)線在經過第(di)(di)(di)(di)一(yi)開(kai)口120a、第(di)(di)(di)(di)二(er)開(kai)口120b與(yu)環形開(kai)口118之后入射(she)(she)至光(guang)(guang)掩模110的角(jiao)度可(ke)被提升(sheng)。由于曝(pu)(pu)光(guang)(guang)裝置(zhi)100的數值孔徑與(yu)曝(pu)(pu)光(guang)(guang)光(guang)(guang)線入射(she)(she)光(guang)(guang)掩模110的入射(she)(she)角(jiao)成(cheng)正(zheng)比，且數值孔徑與(yu)關鍵尺寸(cun)成(cheng)反比，因(yin)此提升(sheng)入射(she)(she)角(jiao)可(ke)有(you)效地縮小關鍵尺寸(cun)。

此外，本實(shi)施例的(de)第(di)一(yi)開(kai)(kai)口(kou)120a于第(di)一(yi)方向D1上的(de)寬度(du)W1可大(da)于環形開(kai)(kai)口(kou)118的(de)寬度(du)W2。同理，第(di)二開(kai)(kai)口(kou)120b于第(di)一(yi)方向D1上的(de)寬度(du)W3也可大(da)于環形開(kai)(kai)口(kou)118的(de)寬度(du)W2。由(you)此，相對于從(cong)環形開(kai)(kai)口(kou)118通過(guo)的(de)光(guang)線亮度(du)，從(cong)第(di)一(yi)雙(shuang)極開(kai)(kai)口(kou)120通過(guo)的(de)光(guang)線亮度(du)可被提高，以增加入射角(jiao)被提升的(de)光(guang)線亮度(du)，進(jin)而可更有效地縮小關鍵尺寸。

本(ben)發(fa)明(ming)的不透明(ming)板并不以上述(shu)(shu)實(shi)(shi)施(shi)例為限。下文將繼續揭示(shi)本(ben)發(fa)明(ming)的其它實(shi)(shi)施(shi)例或變化(hua)型(xing)，然(ran)而為了簡化(hua)說明(ming)并突顯各實(shi)(shi)施(shi)例或變化(hua)型(xing)之間的差異，下文中使用相同標號標注相同元件，并不再對重復部分作贅述(shu)(shu)。

請(qing)參考圖3，圖3為本(ben)發明(ming)第(di)(di)二(er)實(shi)施例的(de)不透(tou)明(ming)板的(de)上視示意圖。如圖3所示，相較于(yu)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)實(shi)施例，本(ben)實(shi)施例的(de)不透(tou)明(ming)板216的(de)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)雙極(ji)開(kai)口(kou)220的(de)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)開(kai)口(kou)220a與第(di)(di)二(er)開(kai)口(kou)220b并(bing)非(fei)完全設(she)置(zhi)于(yu)環(huan)(huan)形(xing)(xing)開(kai)口(kou)118的(de)外側(ce)邊(bian)118b外，而是(shi)分別(bie)橫跨(kua)環(huan)(huan)形(xing)(xing)開(kai)口(kou)118的(de)一(yi)(yi)(yi)部分。也就是(shi)說，第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)開(kai)口(kou)220a與第(di)(di)二(er)開(kai)口(kou)220b均(jun)分別(bie)從環(huan)(huan)形(xing)(xing)開(kai)口(kou)118的(de)內側(ce)邊(bian)118a延伸(shen)向圓(yuan)形(xing)(xing)部116a凹入(ru)與從外側(ce)邊(bian)118b延伸(shen)向周邊(bian)部116b突出。

請參考圖4，圖4為本發明第三實(shi)施(shi)例(li)(li)的(de)(de)(de)不(bu)透明板的(de)(de)(de)上(shang)視示意圖。如圖4所(suo)示，相(xiang)較于(yu)第二(er)實(shi)施(shi)例(li)(li)，本實(shi)施(shi)例(li)(li)的(de)(de)(de)不(bu)透明板316的(de)(de)(de)第一(yi)(yi)雙極開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)320包括(kuo)多個(ge)(ge)第一(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)320a以及(ji)多個(ge)(ge)第二(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)320b。在本實(shi)施(shi)例(li)(li)中，各第一(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)320a與(yu)(yu)各第二(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)320b仍對稱于(yu)環(huan)(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)中心點(dian)設置(zhi)，且各第一(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)320a與(yu)(yu)各第二(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)320b分別橫(heng)跨環(huan)(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)一(yi)(yi)部分，因此均分別從環(huan)(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)內側(ce)(ce)邊(bian)118a延(yan)伸向圓(yuan)形(xing)部116a凹入與(yu)(yu)從外側(ce)(ce)邊(bian)118b延(yan)伸向周邊(bian)部116b突(tu)出(chu)。本發明并(bing)不(bu)限(xian)于(yu)此。在其他實(shi)施(shi)例(li)(li)中，各第一(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)與(yu)(yu)各第二(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)可(ke)不(bu)橫(heng)跨環(huan)(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)，而僅從環(huan)(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)的(de)(de)(de)外側(ce)(ce)邊(bian)延(yan)伸向周邊(bian)部突(tu)突(tu)出(chu)，并(bing)完全設置(zhi)于(yu)環(huan)(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)的(de)(de)(de)外側(ce)(ce)邊(bian)外。

請參考圖5，圖5為(wei)本發(fa)明(ming)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)四(si)(si)(si)(si)實(shi)(shi)(shi)施(shi)例(li)的(de)(de)(de)(de)(de)不(bu)透明(ming)板的(de)(de)(de)(de)(de)上(shang)視示(shi)意圖。如圖5所示(shi)，相(xiang)(xiang)(xiang)較于(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)實(shi)(shi)(shi)施(shi)例(li)，本實(shi)(shi)(shi)施(shi)例(li)的(de)(de)(de)(de)(de)不(bu)透明(ming)板416除第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)雙極(ji)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420(包(bao) 括第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420a與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420b)外(wai)(wai)(wai)(wai)，還包(bao)括一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)雙極(ji)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422，包(bao)括一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)三(san)(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422a以及一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)四(si)(si)(si)(si)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422b。其中，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420a、第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420b、第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)三(san)(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422a與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)四(si)(si)(si)(si)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422b分別(bie)(bie)(bie)與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)環(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)(de)外(wai)(wai)(wai)(wai)側(ce)邊118b相(xiang)(xiang)(xiang)連接，并均從環(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)(de)外(wai)(wai)(wai)(wai)側(ce)邊118b延伸向(xiang)(xiang)周邊部116b突出。此外(wai)(wai)(wai)(wai)，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420a與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420b對稱于(yu)環(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)(de)中心(xin)點設置，并沿(yan)著第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)方(fang)向(xiang)(xiang)D1排列(lie)，且(qie)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)三(san)(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422a與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)四(si)(si)(si)(si)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422b對稱于(yu)環(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)(de)中心(xin)點設置，并沿(yan)著不(bu)同于(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)方(fang)向(xiang)(xiang)D1的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)方(fang)向(xiang)(xiang)D2排列(lie)。在本實(shi)(shi)(shi)施(shi)例(li)中，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)方(fang)向(xiang)(xiang)D1與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)方(fang)向(xiang)(xiang)D2的(de)(de)(de)(de)(de)夾角小于(yu)90度(du)。舉(ju)例(li)來說，當環(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)(de)形(xing)狀(zhuang)為(wei)橢圓(yuan)形(xing)時，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420a與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)三(san)(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422a的(de)(de)(de)(de)(de)排列(lie)方(fang)向(xiang)(xiang)與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420b與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)四(si)(si)(si)(si)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422b的(de)(de)(de)(de)(de)排列(lie)方(fang)向(xiang)(xiang)可(ke)平行(xing)于(yu)環(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)(de)長軸，且(qie)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420a與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)四(si)(si)(si)(si)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422b的(de)(de)(de)(de)(de)排列(lie)方(fang)向(xiang)(xiang)與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420b與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)三(san)(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422a的(de)(de)(de)(de)(de)排列(lie)方(fang)向(xiang)(xiang)可(ke)平行(xing)于(yu)環(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)(de)短軸。本發(fa)明(ming)并不(bu)限于(yu)此。。另外(wai)(wai)(wai)(wai)，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)三(san)(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422a與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)四(si)(si)(si)(si)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422b的(de)(de)(de)(de)(de)形(xing)狀(zhuang)可(ke)分別(bie)(bie)(bie)相(xiang)(xiang)(xiang)同或不(bu)同于(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420a與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420b而可(ke)為(wei)矩(ju)形(xing)或拱形(xing)等。在本實(shi)(shi)(shi)施(shi)例(li)中，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420a、第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420b、第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)三(san)(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422a與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)四(si)(si)(si)(si)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422b分別(bie)(bie)(bie)于(yu)其角落與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)環(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)(de)外(wai)(wai)(wai)(wai)側(ce)邊118b相(xiang)(xiang)(xiang)連接。此外(wai)(wai)(wai)(wai)，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420a與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)420b于(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)方(fang)向(xiang)(xiang)D1上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)寬度(du)W1、W3可(ke)大(da)于(yu)環(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)(de)寬度(du)W2，且(qie)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)三(san)(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422a與(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)四(si)(si)(si)(si)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)422b于(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)方(fang)向(xiang)(xiang)D2上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)寬度(du)W4、W5可(ke)大(da)于(yu)環(huan)(huan)形(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)(de)寬度(du)W2。

請參(can)考圖6，圖6為(wei)(wei)本(ben)發(fa)明第(di)(di)(di)(di)五實施(shi)例(li)的(de)(de)不透明板的(de)(de)上視示(shi)意圖。如圖6所示(shi)，相較于第(di)(di)(di)(di)四實施(shi)例(li)，本(ben)實施(shi)例(li)的(de)(de)不透明板516的(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)雙(shuang)極開(kai)口(kou)(kou)520的(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)開(kai)口(kou)(kou)520a與(yu)第(di)(di)(di)(di)二開(kai)口(kou)(kou)520b以及第(di)(di)(di)(di)二雙(shuang)極開(kai)口(kou)(kou)522的(de)(de)第(di)(di)(di)(di)三(san)開(kai)口(kou)(kou)522a與(yu)第(di)(di)(di)(di)四開(kai)口(kou)(kou)522b分(fen)別橫(heng)跨環(huan)形(xing)開(kai)口(kou)(kou)118的(de)(de)一(yi)(yi)(yi)部(bu)(bu)分(fen)。也就是說(shuo)，第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)開(kai)口(kou)(kou)520a、第(di)(di)(di)(di)二開(kai)口(kou)(kou)520b、第(di)(di)(di)(di)三(san)開(kai)口(kou)(kou)522a與(yu)第(di)(di)(di)(di)四開(kai)口(kou)(kou)522b均(jun)分(fen)別從環(huan)形(xing)開(kai)口(kou)(kou)118的(de)(de)內側邊(bian)118a向(xiang)中央(yang)部(bu)(bu)116a凹入(ru)與(yu)從外(wai)側邊(bian)118b延伸向(xiang)周邊(bian)部(bu)(bu)116b突(tu)出。此外(wai)，在本(ben)實施(shi)例(li)中，向(xiang)中央(yang)部(bu)(bu)116a凹入(ru)或向(xiang)周邊(bian)部(bu)(bu)116b突(tu)出者均(jun)為(wei)(wei)開(kai)口(kou)(kou)的(de)(de)一(yi)(yi)(yi)頂(ding)角(jiao)，但于其他實施(shi)態(tai)樣中，也可為(wei)(wei)開(kai)口(kou)(kou)的(de)(de)一(yi)(yi)(yi)側邊(bian)。

請參考(kao)圖7，圖7為(wei)(wei)本(ben)發(fa)(fa)明第(di)(di)(di)六實施(shi)(shi)例(li)的(de)(de)(de)不透(tou)明板(ban)的(de)(de)(de)上視(shi)示意(yi)圖。如圖7所示，相(xiang)較于第(di)(di)(di)四實施(shi)(shi)例(li)，本(ben)實施(shi)(shi)例(li)的(de)(de)(de)不透(tou)明板(ban)616的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)雙(shuang)極開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)620的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)620a與(yu)第(di)(di)(di)二(er)開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)620b所排(pai)列的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)方向(xiang)(xiang)D1垂(chui)直于第(di)(di)(di)二(er)雙(shuang)極開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)622的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)三(san)開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)622a與(yu)第(di)(di)(di)四開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)622b所排(pai)列的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)二(er)方向(xiang)(xiang)D2。舉例(li)來說，當環形開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)形狀為(wei)(wei)橢圓(yuan)形時，第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)方向(xiang)(xiang)D1與(yu)第(di)(di)(di)二(er)方向(xiang)(xiang)D2可(ke)分別平 行于橢圓(yuan)形的(de)(de)(de)環形開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)長軸與(yu)短(duan)軸，但(dan)本(ben)發(fa)(fa)明并(bing)不限于此(ci)。并(bing)且(qie)，本(ben)實施(shi)(shi)例(li)的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)620a、第(di)(di)(di)二(er)開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)620b、第(di)(di)(di)三(san)開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)622a與(yu)第(di)(di)(di)四開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)622b均于側(ce)邊與(yu)環形開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)外(wai)側(ce)邊118b相(xiang)連接(jie)。此(ci)外(wai)，本(ben)實施(shi)(shi)例(li)的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)420a與(yu)第(di)(di)(di)二(er)開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)420b于第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)方向(xiang)(xiang)D1上的(de)(de)(de)寬度W1、W3可(ke)大于環形開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)寬度W2，且(qie)第(di)(di)(di)三(san)開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)422a與(yu)第(di)(di)(di)四開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)422b于第(di)(di)(di)二(er)方向(xiang)(xiang)D2上的(de)(de)(de)寬度W4、W5可(ke)大于環形開(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)寬度W2。

請參考圖8，圖8為本(ben)發明第(di)(di)七實(shi)施(shi)(shi)例的(de)(de)不透明板的(de)(de)上視示(shi)意圖。如(ru)圖8所示(shi)，相較于(yu)第(di)(di)六實(shi)施(shi)(shi)例，本(ben)實(shi)施(shi)(shi)例的(de)(de)不透明板716的(de)(de)第(di)(di)一雙(shuang)極開(kai)口(kou)(kou)720的(de)(de)第(di)(di)一開(kai)口(kou)(kou)720a與(yu)第(di)(di)二開(kai)口(kou)(kou)720b以及(ji)第(di)(di)二雙(shuang)極開(kai)口(kou)(kou)722的(de)(de)第(di)(di)三開(kai)口(kou)(kou)722a與(yu)第(di)(di)四開(kai)口(kou)(kou)722b分別(bie)橫跨環形開(kai)口(kou)(kou)118的(de)(de)一部分。同樣的(de)(de)，在本(ben)實(shi)施(shi)(shi)例中，向中央(yang)部116a凹入或(huo)向周邊(bian)部116b突出者均為開(kai)口(kou)(kou)的(de)(de)一側邊(bian)，但于(yu)其他實(shi)施(shi)(shi)態樣中，也可為開(kai)口(kou)(kou)的(de)(de)一頂角。

請參(can)考圖9，圖9為(wei)本發明(ming)第(di)(di)(di)八實(shi)施例(li)(li)的(de)(de)(de)(de)不(bu)透明(ming)板的(de)(de)(de)(de)上視示(shi)意(yi)圖。如圖9所示(shi)，相較于第(di)(di)(di)七實(shi)施例(li)(li)，本實(shi)施例(li)(li)的(de)(de)(de)(de)不(bu)透明(ming)板816的(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)一(yi)雙極(ji)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)820包(bao)括多個(ge)第(di)(di)(di)一(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)820a以及多個(ge)第(di)(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)820b，且(qie)(qie)第(di)(di)(di)二(er)(er)雙極(ji)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)822包(bao)括多個(ge)第(di)(di)(di)三(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)822a以及多個(ge)第(di)(di)(di)四開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)822b。在本實(shi)施例(li)(li)中(zhong)(zhong)，第(di)(di)(di)一(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)820a與第(di)(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)820b仍對稱(cheng)于環(huan)形(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)中(zhong)(zhong)心點(dian)設(she)(she)置(zhi)，且(qie)(qie)各(ge)第(di)(di)(di)一(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)820a與各(ge)第(di)(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)820b分(fen)別橫(heng)跨(kua)環(huan)形(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)一(yi)部分(fen)，因(yin)此(ci)均分(fen)別從(cong)(cong)環(huan)形(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)內(nei)側(ce)邊(bian)(bian)(bian)118a延伸(shen)(shen)向中(zhong)(zhong)央部116a凹入與從(cong)(cong)外(wai)側(ce)邊(bian)(bian)(bian)118b延伸(shen)(shen)向周邊(bian)(bian)(bian)部116b突出。并且(qie)(qie)，第(di)(di)(di)三(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)822a與第(di)(di)(di)四開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)822b也分(fen)別對稱(cheng)于環(huan)形(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)中(zhong)(zhong)心點(dian)設(she)(she)置(zhi)，且(qie)(qie)各(ge)第(di)(di)(di)三(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)822a與各(ge)第(di)(di)(di)四開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)822b分(fen)別橫(heng)跨(kua)環(huan)形(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)一(yi)部分(fen)。本實(shi)施例(li)(li)并不(bu)限于此(ci)。在其他實(shi)施態(tai)樣(yang)中(zhong)(zhong)，各(ge)第(di)(di)(di)一(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)、各(ge)第(di)(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)、各(ge)第(di)(di)(di)三(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)與各(ge)第(di)(di)(di)四開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)也可不(bu)橫(heng)跨(kua)環(huan)形(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)，而(er)均僅從(cong)(cong)環(huan)形(xing)(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)(kou)(kou)(kou)的(de)(de)(de)(de)外(wai)側(ce)邊(bian)(bian)(bian)延伸(shen)(shen)出一(yi)頂角或一(yi)側(ce)邊(bian)(bian)(bian)。

請參(can)考圖(tu)10，圖(tu)10為(wei)(wei)本(ben)發(fa)明(ming)(ming)(ming)(ming)第(di)(di)(di)(di)九(jiu)實施(shi)(shi)例(li)(li)的(de)(de)(de)(de)不(bu)透(tou)(tou)明(ming)(ming)(ming)(ming)板(ban)(ban)的(de)(de)(de)(de)上(shang)(shang)視示意(yi)圖(tu)。如(ru)圖(tu)10所示，相較于(yu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)實施(shi)(shi)例(li)(li)，本(ben)實施(shi)(shi)例(li)(li)的(de)(de)(de)(de)不(bu)透(tou)(tou)明(ming)(ming)(ming)(ming)板(ban)(ban)916的(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)雙(shuang)極開(kai)口(kou)(kou)920的(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)開(kai)口(kou)(kou)920a與(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)二開(kai)口(kou)(kou)920b分(fen)別為(wei)(wei)長(chang)條狀(zhuang)，且沿著第(di)(di)(di)(di)二方(fang)向D2延(yan)伸，并(bing)彼(bi)此(ci)平行。并(bing)且，第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)開(kai)口(kou)(kou)920a與(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)二開(kai)口(kou)(kou)920b分(fen)別橫跨環形(xing)開(kai)口(kou)(kou)118的(de)(de)(de)(de)兩(liang)不(bu)相鄰的(de)(de)(de)(de)部(bu)分(fen)的(de)(de)(de)(de)內側邊118a與(yu)(yu)(yu)外側邊118b，因(yin)此(ci)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)開(kai)口(kou)(kou)920a與(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)二開(kai)口(kou)(kou)920b可將環形(xing)開(kai)口(kou)(kou)118所圍繞的(de)(de)(de)(de)圓(yuan)形(xing)部(bu)區(qu)分(fen)為(wei)(wei)彼(bi)此(ci)不(bu)相連的(de)(de)(de)(de)兩(liang)弓形(xing)部(bu)924a以(yi)及一(yi)(yi)(yi)長(chang)條部(bu)924b。此(ci)外，在本(ben)實施(shi)(shi)例(li)(li)中(zhong)，第(di)(di)(di)(di)二方(fang)向D2平行 于(yu)橢圓(yuan)形(xing)的(de)(de)(de)(de)環形(xing)開(kai)口(kou)(kou)的(de)(de)(de)(de)長(chang)軸延(yan)伸，但(dan)(dan)于(yu)其他實施(shi)(shi)態樣中(zhong)，也可平行于(yu)橢圓(yuan)形(xing)的(de)(de)(de)(de)環形(xing)開(kai)口(kou)(kou)的(de)(de)(de)(de)短軸。本(ben)發(fa)明(ming)(ming)(ming)(ming)另提供(gong)使用前述(shu)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)(ming)系(xi)(xi)統形(xing)成鰭狀(zhuang)結(jie)構(gou)的(de)(de)(de)(de)方(fang)法。為(wei)(wei)清楚說明(ming)(ming)(ming)(ming)如(ru)何(he)使用照(zhao)明(ming)(ming)(ming)(ming)系(xi)(xi)統，下述(shu)實施(shi)(shi)例(li)(li)的(de)(de)(de)(de)不(bu)透(tou)(tou)明(ming)(ming)(ming)(ming)板(ban)(ban)以(yi)上(shang)(shang)述(shu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)實施(shi)(shi)例(li)(li)為(wei)(wei)例(li)(li)來做說明(ming)(ming)(ming)(ming)，但(dan)(dan)不(bu)以(yi)此(ci)為(wei)(wei)限，也可為(wei)(wei)上(shang)(shang)述(shu)任一(yi)(yi)(yi)實施(shi)(shi)例(li)(li)的(de)(de)(de)(de)不(bu)透(tou)(tou)明(ming)(ming)(ming)(ming)板(ban)(ban)。請參(can)考圖(tu)11至圖(tu)14。圖(tu)11至圖(tu)14為(wei)(wei)本(ben)發(fa)明(ming)(ming)(ming)(ming)一(yi)(yi)(yi)實施(shi)(shi)例(li)(li)使用照(zhao)明(ming)(ming)(ming)(ming)系(xi)(xi)統形(xing)成鰭狀(zhuang)結(jie)構(gou)的(de)(de)(de)(de)方(fang)法示意(yi)圖(tu)。首(shou)先，如(ru)圖(tu)11所示，提供(gong)一(yi)(yi)(yi)曝光裝置100，其包(bao)括(kuo)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)(ming)系(xi)(xi)統102、光掩模座104、投影鏡頭106以(yi)及基板(ban)(ban)座108。照(zhao)明(ming)(ming)(ming)(ming)系(xi)(xi)統102可包(bao)括(kuo)光源(yuan)114與(yu)(yu)(yu)不(bu)透(tou)(tou)明(ming)(ming)(ming)(ming)板(ban)(ban)116。本(ben)實施(shi)(shi)例(li)(li)的(de)(de)(de)(de)不(bu)透(tou)(tou)明(ming)(ming)(ming)(ming)板(ban)(ban)116與(yu)(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)實施(shi)(shi)例(li)(li)相同，因(yin)此(ci)不(bu)多贅述(shu)。

然后，提供光(guang)(guang)(guang)掩(yan)(yan)模(mo)(mo)110、多個環(huan)形間隙(xi)(xi)物(wu)124以(yi)(yi)及(ji)基板(ban)112，并將光(guang)(guang)(guang)掩(yan)(yan)模(mo)(mo)110設置于(yu)照(zhao)(zhao)明系統102與(yu)基板(ban)112之間以(yi)(yi)及(ji)將環(huan)形間隙(xi)(xi)物(wu)124設置于(yu)基板(ban)112上，使照(zhao)(zhao)明系統102所產生(sheng)的(de)曝(pu)光(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)線可通(tong)過光(guang)(guang)(guang)掩(yan)(yan)模(mo)(mo)110照(zhao)(zhao)射(she)至(zhi)基板(ban)112上的(de)環(huan)形間隙(xi)(xi)物(wu)124。并且，光(guang)(guang)(guang)掩(yan)(yan)模(mo)(mo)110可用(yong)于(yu)定義第一切(qie)割開口(kou)128的(de)位(wei)置P1，其包括多個第一條狀開口(kou)110a，分別沿著第二方向(xiang)D2延伸。舉例來說，環(huan)形間隙(xi)(xi)物(wu)124可利用(yong)側壁影像(xiang)轉移(sidewall image transfer，SIT)制(zhi)作(zuo)(zuo)工藝或(huo)多重(zhong)側壁影像(xiang)轉移制(zhi)作(zuo)(zuo)工藝制(zhi)作(zuo)(zuo)而成，以(yi)(yi)具有(you)小于(yu)曝(pu)光(guang)(guang)(guang)機臺可制(zhi)作(zuo)(zuo)出(chu)的(de)關鍵尺寸的(de)寬度。

接著，將照明系統102的不透明板116設(she)置于光(guang)源114以及光(guang)掩(yan)模(mo)110之間，并使第(di)一(yi)方向D1垂直于第(di)二方向D2。隨后，在環形(xing)間隙(xi)物124上形(xing)成一(yi)第(di)一(yi)掩(yan)模(mo)層(ceng)126。第(di)一(yi)掩(yan)模(mo)層(ceng)126可包括光(guang)致抗蝕劑(ji)材料。

然(ran)后，利用不(bu)透(tou)明(ming)板(ban)116與光掩(yan)(yan)(yan)模(mo)110進行一(yi)(yi)第(di)一(yi)(yi)曝光制作工藝，以于(yu)第(di)一(yi)(yi)掩(yan)(yan)(yan)模(mo)層(ceng)126中定(ding)(ding)義出多個(ge)第(di)一(yi)(yi)切割開口(kou)128的位置P1。于(yu)此步驟(zou)中，以第(di)一(yi)(yi)掩(yan)(yan)(yan)模(mo)層(ceng)126包括負(fu)型光致(zhi)抗蝕(shi)劑材料，因此對應光掩(yan)(yan)(yan)模(mo)110的第(di)一(yi)(yi)條狀(zhuang)開口(kou)110a的第(di)一(yi)(yi)掩(yan)(yan)(yan)模(mo)層(ceng)126會受到(dao)光線照射，使被照射的第(di)一(yi)(yi)掩(yan)(yan)(yan)模(mo)層(ceng)126定(ding)(ding)義出第(di)一(yi)(yi)切割開口(kou)128的位置。

如圖12所示，在定義(yi)出(chu)第(di)(di)一切(qie)割開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)128的(de)位置(zhi)P1之(zhi)后(hou)，提供另(ling)一光掩模130，以用于定義(yi)第(di)(di)二(er)切(qie)割開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)138的(de)位置(zhi)P2，光掩模130可(ke)(ke)包(bao)(bao)括多個第(di)(di)二(er)條(tiao)狀開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)130a。并且，照(zhao)明系統102可(ke)(ke)包(bao)(bao)括另(ling)一不透明板(ban)132，其(qi)包(bao)(bao)括另(ling)一環(huan)(huan)形開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)134以及一第(di)(di)二(er)雙極開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)136。環(huan)(huan)形開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)134具有一內側(ce)邊134a以及一外(wai)側(ce)邊134b。第(di)(di)二(er)雙極開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)136包(bao)(bao)括一第(di)(di)三(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)136a以及一第(di)(di)四開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)136b，其(qi)中第(di)(di)三(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)136a與第(di)(di)四開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)136b分(fen)別(bie)與環(huan)(huan)形開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)134相連接(jie)， 并分(fen)別(bie)從環(huan)(huan)形開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)134的(de)外(wai)側(ce)邊134b延伸出(chu)，且第(di)(di)三(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)136a與第(di)(di)四開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)136b對稱于環(huan)(huan)形開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)134的(de)中心點設置(zhi)，并沿(yan)著第(di)(di)二(er)方(fang)向(xiang)D2排列。本實(shi)施例的(de)第(di)(di)三(san)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)136a與第(di)(di)四開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)136b于第(di)(di)二(er)方(fang)向(xiang)D2上(shang)的(de)寬度(du)W4、W5可(ke)(ke)大于環(huan)(huan)形開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)134的(de)寬度(du)W2。

然后，將(jiang)(jiang)不(bu)透(tou)明(ming)(ming)板(ban)116替換為(wei)不(bu)透(tou)明(ming)(ming)板(ban)132，且(qie)(qie)將(jiang)(jiang)光(guang)掩(yan)(yan)(yan)模(mo)(mo)110替換為(wei)光(guang)掩(yan)(yan)(yan)模(mo)(mo)130。意即，將(jiang)(jiang)光(guang)掩(yan)(yan)(yan)模(mo)(mo)130設置于照(zhao)明(ming)(ming)系統(tong)102與基板(ban)112之間，且(qie)(qie)將(jiang)(jiang)照(zhao)明(ming)(ming)系統(tong)102的(de)(de)不(bu)透(tou)明(ming)(ming)板(ban)132設置于光(guang)源114以及光(guang)掩(yan)(yan)(yan)模(mo)(mo)130之間，并使各(ge)第(di)(di)二條狀開(kai)口(kou)(kou)130a的(de)(de)延伸方向沿著(zhu)第(di)(di)一(yi)方向D1設置。接著(zhu)，利用不(bu)透(tou)明(ming)(ming)板(ban)132與光(guang)掩(yan)(yan)(yan)模(mo)(mo)130進(jin)行一(yi)第(di)(di)二曝光(guang)制(zhi)作工藝，以于第(di)(di)一(yi)掩(yan)(yan)(yan)模(mo)(mo)層128中另(ling)定義出多個第(di)(di)二切割開(kai)口(kou)(kou)138的(de)(de)位置P2。光(guang)掩(yan)(yan)(yan)模(mo)(mo)130的(de)(de)第(di)(di)二條狀開(kai)口(kou)(kou)130a對應第(di)(di)一(yi)切割開(kai)口(kou)(kou)138的(de)(de)位置P2。

如(ru)圖13所示，在定義出(chu)(chu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)切割(ge)開口(kou)(kou)(kou)128的(de)位(wei)置(zhi)P1與(yu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)切割(ge)開口(kou)(kou)(kou)138的(de)位(wei)置(zhi)P2之后，進行一(yi)(yi)(yi)(yi)顯影制作工藝，以形成第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)切割(ge)開口(kou)(kou)(kou)128與(yu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)切割(ge)開口(kou)(kou)(kou)138，因此(ci)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)切割(ge)開口(kou)(kou)(kou)128分(fen)(fen)別(bie)暴(bao)露(lu)出(chu)(chu)環形間隙物124的(de)多個第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)部(bu)(bu)分(fen)(fen)124a，且第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)切割(ge)開口(kou)(kou)(kou)138分(fen)(fen)別(bie)暴(bao)露(lu)出(chu)(chu)環形間隙物124的(de)多個第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)部(bu)(bu)分(fen)(fen)124b。第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)切割(ge)開口(kou)(kou)(kou)128與(yu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)切割(ge)開口(kou)(kou)(kou)138分(fen)(fen)別(bie)由第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)條狀開口(kou)(kou)(kou)110a與(yu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)條狀開口(kou)(kou)(kou)130a所定義出(chu)(chu)，因此(ci)也為條狀。

如圖14所(suo)示，以(yi)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)掩模層126為一(yi)(yi)(yi)(yi)掩模，進行(xing)一(yi)(yi)(yi)(yi)蝕刻制作(zuo)工藝，以(yi)移(yi)除(chu)暴露出的(de)(de)(de)環形間隙(xi)物124的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)部分124a與(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)部分124b，進而形成鰭狀(zhuang)結構140。然(ran)后，可進一(yi)(yi)(yi)(yi)步移(yi)除(chu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)掩模層126。值得一(yi)(yi)(yi)(yi)提(ti)的(de)(de)(de)是，本實施例于(yu)進行(xing)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)曝光制作(zuo)工藝時，使第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)口(kou)(kou)(kou)120a與(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)開(kai)口(kou)(kou)(kou)120b所(suo)排(pai)(pai)列(lie)的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)D1垂直于(yu)各(ge)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)條(tiao)(tiao)狀(zhuang)開(kai)口(kou)(kou)(kou)110a延(yan)伸(shen)的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)D2，因(yin)此第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)切割(ge)(ge)(ge)開(kai)口(kou)(kou)(kou)128的(de)(de)(de)位(wei)置(zhi)P1可被精確(que)的(de)(de)(de)定(ding)(ding)義(yi)出。換句話(hua)說，欲形成沿著第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)D2延(yan)伸(shen)的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)切割(ge)(ge)(ge)開(kai)口(kou)(kou)(kou)128時，不透明(ming)板(ban)116的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)開(kai)口(kou)(kou)(kou)120a與(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)開(kai)口(kou)(kou)(kou)120b的(de)(de)(de)排(pai)(pai)列(lie)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)，即(ji)(ji)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)D1，優選垂直于(yu)光掩模110上的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)條(tiao)(tiao)狀(zhuang)開(kai)口(kou)(kou)(kou)110a(或圖案)延(yan)伸(shen)的(de)(de)(de)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)，即(ji)(ji)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)D2。同理，在(zai)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)曝光制作(zuo)工藝時，第(di)(di)(di)(di)三開(kai)口(kou)(kou)(kou)136a與(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)四(si)開(kai)口(kou)(kou)(kou)136b所(suo)排(pai)(pai)列(lie)的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)D2垂直于(yu)各(ge)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)條(tiao)(tiao)狀(zhuang)開(kai)口(kou)(kou)(kou)130a延(yan)伸(shen)的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)D1，因(yin)此第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)切割(ge)(ge)(ge)開(kai)口(kou)(kou)(kou)138的(de)(de)(de)位(wei)置(zhi)P2可被精確(que)的(de)(de)(de)定(ding)(ding)義(yi)出。所(suo)以(yi)，欲形成沿著第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)D1延(yan)伸(shen)的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)切割(ge)(ge)(ge)開(kai)口(kou)(kou)(kou)138時，不透明(ming)板(ban)132的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)三開(kai)口(kou)(kou)(kou)136a與(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)四(si)開(kai)口(kou)(kou)(kou)136b的(de)(de)(de)排(pai)(pai)列(lie)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)，即(ji)(ji)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)D2，優選垂直于(yu)光掩模130上的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)條(tiao)(tiao)狀(zhuang)開(kai)口(kou)(kou)(kou)130a(或圖案)延(yan)伸(shen)的(de)(de)(de)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)，即(ji)(ji) 第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)方(fang)(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)D1。

由上述可(ke)知(zhi)，本實(shi)施例(li)的(de)環(huan)(huan)形間(jian)(jian)隙物(wu)124通(tong)過(guo)(guo)兩(liang)(liang)次曝(pu)(pu)光(guang)(guang)制(zhi)作(zuo)(zuo)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)以(yi)及一(yi)(yi)(yi)次顯(xian)(xian)影(ying)制(zhi)作(zuo)(zuo)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)將其(qi)(qi)不需要的(de)部分移(yi)(yi)除(chu)(chu)，以(yi)形成(cheng)(cheng)鰭狀結構140，因此(ci)需先(xian)將用(yong)(yong)于切(qie)(qie)割(ge)(ge)環(huan)(huan)形間(jian)(jian)隙物(wu)124的(de)切(qie)(qie)割(ge)(ge)開(kai)口(kou)(kou)(kou)拆解(jie)成(cheng)(cheng)沿(yan)著(zhu)(zhu)第(di)(di)二(er)(er)(er)方向D2延伸的(de)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)切(qie)(qie)割(ge)(ge)開(kai)口(kou)(kou)(kou)128與(yu)(yu)沿(yan)著(zhu)(zhu)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)方向D1延伸的(de)第(di)(di)二(er)(er)(er)切(qie)(qie)割(ge)(ge)開(kai)口(kou)(kou)(kou)138。因此(ci)，需提供(gong)兩(liang)(liang)光(guang)(guang)掩(yan)(yan)模(mo)(mo)110、130，以(yi)分別用(yong)(yong)于定(ding)義出第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)切(qie)(qie)割(ge)(ge)開(kai)口(kou)(kou)(kou)128與(yu)(yu)第(di)(di)二(er)(er)(er)切(qie)(qie)割(ge)(ge)開(kai)口(kou)(kou)(kou)138。在其(qi)(qi)他實(shi)施態樣中，環(huan)(huan)形間(jian)(jian)隙物(wu)也可(ke)通(tong)過(guo)(guo)兩(liang)(liang)次曝(pu)(pu)光(guang)(guang)制(zhi)作(zuo)(zuo)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)以(yi)及兩(liang)(liang)次顯(xian)(xian)影(ying)制(zhi)作(zuo)(zuo)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)來移(yi)(yi)除(chu)(chu)不需要的(de)部分。例(li)如：第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)曝(pu)(pu)光(guang)(guang)制(zhi)作(zuo)(zuo)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)之后可(ke)先(xian)進(jin)行顯(xian)(xian)影(ying)制(zhi)作(zuo)(zuo)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)，以(yi)形成(cheng)(cheng)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)切(qie)(qie)割(ge)(ge)開(kai)口(kou)(kou)(kou)，并(bing)以(yi)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)掩(yan)(yan)模(mo)(mo)層為(wei)(wei)一(yi)(yi)(yi)掩(yan)(yan)模(mo)(mo)，移(yi)(yi)除(chu)(chu)暴露出的(de)環(huan)(huan)形間(jian)(jian)隙物(wu)的(de)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)部分。然后，移(yi)(yi)除(chu)(chu)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)掩(yan)(yan)模(mo)(mo)層，并(bing)于環(huan)(huan)形間(jian)(jian)隙物(wu)上形成(cheng)(cheng)一(yi)(yi)(yi)第(di)(di)二(er)(er)(er)掩(yan)(yan)模(mo)(mo)層。并(bing)且，隨后，利(li)用(yong)(yong)不透明板132與(yu)(yu)光(guang)(guang)掩(yan)(yan)模(mo)(mo)130進(jin)行第(di)(di)二(er)(er)(er)曝(pu)(pu)光(guang)(guang)制(zhi)作(zuo)(zuo)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)與(yu)(yu)第(di)(di)二(er)(er)(er)顯(xian)(xian)影(ying)制(zhi)作(zuo)(zuo)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)，以(yi)于第(di)(di)二(er)(er)(er)掩(yan)(yan)模(mo)(mo)層中形成(cheng)(cheng)多個第(di)(di)二(er)(er)(er)切(qie)(qie)割(ge)(ge)開(kai)口(kou)(kou)(kou)，并(bing)暴露出環(huan)(huan)形間(jian)(jian)隙物(wu)的(de)第(di)(di)二(er)(er)(er)部分。接著(zhu)(zhu)，以(yi)第(di)(di)二(er)(er)(er)掩(yan)(yan)模(mo)(mo)層為(wei)(wei)一(yi)(yi)(yi)掩(yan)(yan)模(mo)(mo)，移(yi)(yi)除(chu)(chu)暴露出的(de)環(huan)(huan)形間(jian)(jian)隙物(wu)的(de)第(di)(di)二(er)(er)(er)部分，以(yi)形成(cheng)(cheng)鰭狀結構。

另外(wai)，在其他實施例(li)中(zhong)(zhong)，不透明板(ban)也可(ke)應(ying)用上述第(di)(di)四(si)實施例(li)至第(di)(di)八實施例(li)，使得(de)不透明板(ban)具(ju)有排(pai)(pai)列(lie)于(yu)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)方(fang)向(xiang)(xiang)的(de)(de)(de)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)與第(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)以(yi)及排(pai)(pai)列(lie)于(yu)第(di)(di)二(er)(er)方(fang)向(xiang)(xiang)的(de)(de)(de)第(di)(di)三開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)與第(di)(di)四(si)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)。如此一(yi)(yi)(yi)來(lai)，可(ke)搭(da)配(pei)整合有第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)條(tiao)狀(zhuang)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)與第(di)(di)二(er)(er)條(tiao)狀(zhuang)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)的(de)(de)(de)光(guang)掩(yan)模，在同一(yi)(yi)(yi)道曝光(guang)制作工藝中(zhong)(zhong)在第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)掩(yan)模層(ceng)中(zhong)(zhong)形(xing)(xing)成(cheng)精確定義的(de)(de)(de)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)切(qie)割開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)與第(di)(di)二(er)(er)切(qie)割開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)。因此，環(huan)形(xing)(xing)間隙物僅需通過一(yi)(yi)(yi)次(ci)曝光(guang)制作工藝以(yi)及一(yi)(yi)(yi)次(ci)顯(xian)影制作工藝即(ji)可(ke)移除不需要的(de)(de)(de)部分。另外(wai)，當(dang)環(huan)形(xing)(xing)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)的(de)(de)(de)形(xing)(xing)狀(zhuang)為(wei)橢(tuo)圓形(xing)(xing)，第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)與第(di)(di)二(er)(er)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)沿(yan)著平行于(yu)長軸(zhou)(zhou)方(fang)向(xiang)(xiang)排(pai)(pai)列(lie)，且第(di)(di)三開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)與第(di)(di)四(si)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)沿(yan)著平行于(yu)短軸(zhou)(zhou)方(fang)向(xiang)(xiang)排(pai)(pai)列(lie)時，光(guang)掩(yan)模優選可(ke)具(ju)有數(shu)量(liang)較(jiao)(jiao)多或排(pai)(pai)列(lie)較(jiao)(jiao)密(mi)集的(de)(de)(de)沿(yan)著垂(chui)直長軸(zhou)(zhou)方(fang)向(xiang)(xiang)延(yan)伸的(de)(de)(de)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)條(tiao)狀(zhuang)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)，而具(ju)有數(shu)量(liang)較(jiao)(jiao)少或排(pai)(pai)列(lie)較(jiao)(jiao)稀疏的(de)(de)(de)沿(yan)著短軸(zhou)(zhou)方(fang)向(xiang)(xiang)延(yan)伸的(de)(de)(de)第(di)(di)二(er)(er)條(tiao)狀(zhuang)開(kai)(kai)(kai)(kai)(kai)口(kou)(kou)。

綜(zong)上所述(shu)，本發明(ming)的(de)不透明(ming)板將雙極(ji)開(kai)口至(zhi)少設置于環形開(kai)口的(de)外側邊，使得曝光(guang)光(guang)線在經過雙極(ji)開(kai)口與環形開(kai)口之后入(ru)射至(zhi)光(guang)掩模的(de)角度(du)可(ke)被提升(sheng)，進(jin)而可(ke)有效地縮小關鍵尺(chi)寸。

以上所述僅為本發明的(de)優選實施例，凡依本發明權利要求所做(zuo)的(de)均(jun)等變化與(yu)修飾(shi)，都應屬(shu)本發明的(de)涵(han)蓋范圍。