本(ben)發明涉(she)及半導體設備，特別是涉(she)及一種(zhong)供液裝置。

背景技術：

1、半導(dao)(dao)體(ti)行業需要(yao)用到很多的(de)(de)(de)藥液(ye)(ye)，例如，在半導(dao)(dao)體(ti)濕法清洗工藝(yi)中(zhong)，需要(yao)利用供液(ye)(ye)裝(zhuang)置(zhi)提供用于對(dui)晶(jing)(jing)圓表面(mian)進(jin)行蝕刻(ke)的(de)(de)(de)藥液(ye)(ye)。然而(er)，供液(ye)(ye)裝(zhuang)置(zhi)往(wang)往(wang)采用氣(qi)動(dong)泵抽取藥液(ye)(ye)，會(hui)(hui)導(dao)(dao)致輸(shu)送藥液(ye)(ye)的(de)(de)(de)管路中(zhong)夾雜(za)著空氣(qi)而(er)產生氣(qi)泡(pao)，一方(fang)面(mian)會(hui)(hui)對(dui)流量計(ji)的(de)(de)(de)檢測精度造成不(bu)良影響，進(jin)而(er)導(dao)(dao)致藥液(ye)(ye)配比不(bu)能滿足工藝(yi)要(yao)求；另一方(fang)面(mian)會(hui)(hui)導(dao)(dao)致工藝(yi)槽內產生泡(pao)沫，產生的(de)(de)(de)泡(pao)沫會(hui)(hui)對(dui)晶(jing)(jing)圓表面(mian)蝕刻(ke)的(de)(de)(de)均(jun)勻性(xing)造成不(bu)良影響。

技術實現思路

1、基(ji)于此，有(you)必要(yao)針對(dui)現(xian)有(you)技術中(zhong)供(gong)液(ye)(ye)(ye)裝(zhuang)置往(wang)往(wang)采用氣(qi)動泵抽取藥液(ye)(ye)(ye)，會(hui)導致(zhi)(zhi)輸送(song)藥液(ye)(ye)(ye)的(de)管路中(zhong)夾雜(za)著空氣(qi)而(er)(er)產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)氣(qi)泡，一方(fang)面(mian)會(hui)對(dui)流量(liang)計的(de)檢測精(jing)度造成不(bu)良(liang)影響，進而(er)(er)導致(zhi)(zhi)藥液(ye)(ye)(ye)配比不(bu)能滿足工藝要(yao)求；另一方(fang)面(mian)會(hui)導致(zhi)(zhi)工藝槽內產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)泡沫，產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)的(de)泡沫會(hui)對(dui)晶圓表面(mian)蝕刻的(de)均勻性(xing)造成不(bu)良(liang)影響的(de)問(wen)題，提供(gong)一種改善上述缺(que)陷的(de)供(gong)液(ye)(ye)(ye)裝(zhuang)置。

2、一種供液(ye)裝置，包括：

3、儲液(ye)組件，包括(kuo)用(yong)于儲存藥液(ye)的藥液(ye)桶；

4、氣動泵(beng)，所述氣動泵(beng)的進液(ye)口通過第(di)一管路與所述藥液(ye)桶(tong)連通；及

5、氣(qi)液(ye)(ye)(ye)分離罐(guan)(guan)，所述氣(qi)液(ye)(ye)(ye)分離罐(guan)(guan)的(de)進液(ye)(ye)(ye)口(kou)通過第(di)二管路(lu)與(yu)所述氣(qi)動泵的(de)出(chu)液(ye)(ye)(ye)口(kou)連(lian)通，所述氣(qi)液(ye)(ye)(ye)分離罐(guan)(guan)的(de)出(chu)液(ye)(ye)(ye)口(kou)連(lian)接有供液(ye)(ye)(ye)管路(lu)。

6、在(zai)其中一個實施例中，所(suo)述(shu)氣(qi)(qi)液分離罐的排氣(qi)(qi)口通過第(di)三管(guan)路與所(suo)述(shu)藥液桶連通。

7、在其中一個實(shi)施例中，所(suo)(suo)述(shu)儲液(ye)組件還包括桶蓋(gai)及吸(xi)液(ye)管，所(suo)(suo)述(shu)藥液(ye)桶的頂部開設有安(an)裝(zhuang)孔(kong)，所(suo)(suo)述(shu)桶蓋(gai)蓋(gai)合在所(suo)(suo)述(shu)藥液(ye)桶的所(suo)(suo)述(shu)安(an)裝(zhuang)孔(kong)處；

8、所(suo)述(shu)(shu)(shu)桶蓋上(shang)具有第一(yi)通(tong)道，所(suo)述(shu)(shu)(shu)第一(yi)通(tong)道通(tong)過所(suo)述(shu)(shu)(shu)第一(yi)管路與所(suo)述(shu)(shu)(shu)氣動泵的進液口連通(tong)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)吸液管的一(yi)端與所(suo)述(shu)(shu)(shu)第一(yi)通(tong)道連通(tong)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)吸液管的另一(yi)端延伸至所(suo)述(shu)(shu)(shu)藥液桶的內腔底部；

9、所(suo)(suo)述桶蓋上還具有與所(suo)(suo)述藥液(ye)桶的(de)內腔連通的(de)第二通道(dao)，所(suo)(suo)述第二通道(dao)通過(guo)所(suo)(suo)述第三管路(lu)與所(suo)(suo)述氣液(ye)分(fen)離罐的(de)排氣口連通。

10、在其(qi)中一個實施例(li)中，所(suo)述桶蓋上還具有調壓排氣(qi)孔，所(suo)述調壓排氣(qi)孔用于連通(tong)所(suo)述藥液(ye)桶的(de)內腔與所(suo)述藥液(ye)桶外部。

11、在其中一(yi)個實施(shi)例中，所(suo)述(shu)供液(ye)裝(zhuang)置還包括箱(xiang)體(ti)，所(suo)述(shu)儲(chu)液(ye)組件、所(suo)述(shu)氣動(dong)泵及所(suo)述(shu)氣液(ye)分離罐(guan)收容在所(suo)述(shu)箱(xiang)體(ti)內，所(suo)述(shu)箱(xiang)體(ti)上具(ju)有排(pai)風(feng)口，所(suo)述(shu)排(pai)風(feng)口用于與(yu)外(wai)部抽風(feng)設備(bei)連通，以抽取所(suo)述(shu)箱(xiang)體(ti)內的廢氣。

12、在其中(zhong)一個(ge)實施(shi)例中(zhong)，所(suo)述(shu)氣(qi)液(ye)(ye)(ye)(ye)分離(li)罐(guan)的(de)(de)(de)進液(ye)(ye)(ye)(ye)口(kou)(kou)和排(pai)氣(qi)口(kou)(kou)均與(yu)所(suo)述(shu)氣(qi)液(ye)(ye)(ye)(ye)分離(li)罐(guan)的(de)(de)(de)內腔(qiang)頂(ding)部(bu)連通(tong)，所(suo)述(shu)氣(qi)液(ye)(ye)(ye)(ye)分離(li)罐(guan)的(de)(de)(de)出液(ye)(ye)(ye)(ye)口(kou)(kou)與(yu)所(suo)述(shu)氣(qi)液(ye)(ye)(ye)(ye)分離(li)罐(guan)的(de)(de)(de)內腔(qiang)底部(bu)連通(tong)。

13、在(zai)其中(zhong)一(yi)個實施(shi)例中(zhong)，所(suo)述(shu)儲(chu)液(ye)組件包括至少(shao)兩個，每一(yi)所(suo)述(shu)儲(chu)液(ye)組件的(de)(de)所(suo)述(shu)藥液(ye)桶均通(tong)過對(dui)應的(de)(de)所(suo)述(shu)第一(yi)管路與所(suo)述(shu)氣(qi)動(dong)泵的(de)(de)進液(ye)口連通(tong)；

14、所(suo)述(shu)供液裝置還包括至少兩(liang)個第一控制閥，每(mei)一所(suo)述(shu)第一管(guan)路上均(jun)安(an)裝有所(suo)述(shu)第一控制閥，每(mei)一所(suo)述(shu)第一控制閥用于控制所(suo)在(zai)的所(suo)述(shu)第一管(guan)路導通或截止。

15、在其中(zhong)(zhong)一個實施例中(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)第三(san)管路(lu)設置為至(zhi)少兩(liang)個，每一所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)儲(chu)液(ye)組(zu)件的所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)藥液(ye)桶均通過對應的所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)第三(san)管路(lu)與所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)氣(qi)液(ye)分離罐(guan)的排氣(qi)口連通；

16、所(suo)述供液裝置還包括至(zhi)少兩個第二控(kong)制閥(fa)，每一所(suo)述第三管(guan)路上均安裝有(you)所(suo)述第二控(kong)制閥(fa)，每一所(suo)述第二控(kong)制閥(fa)用(yong)于控(kong)制所(suo)在的所(suo)述第三管(guan)路導通或截止。

17、在其中(zhong)一個(ge)實(shi)施(shi)例(li)中(zhong)，所(suo)(suo)述(shu)供液(ye)裝置還包括安裝在所(suo)(suo)述(shu)供液(ye)管(guan)路(lu)(lu)上的(de)流(liu)量(liang)傳(chuan)感器(qi)，所(suo)(suo)述(shu)流(liu)量(liang)傳(chuan)感器(qi)用于檢測所(suo)(suo)述(shu)供液(ye)管(guan)路(lu)(lu)的(de)流(liu)量(liang)。

18、在其中(zhong)一個實施(shi)例中(zhong)，所(suo)述(shu)供液管路包括至少兩個，每(mei)一所(suo)述(shu)供液管路均(jun)與所(suo)述(shu)氣液分離罐的出液口連通(tong)；

19、所述(shu)(shu)(shu)(shu)供(gong)液裝置還包括至(zhi)少兩個(ge)第(di)三控制閥，每(mei)一(yi)所述(shu)(shu)(shu)(shu)供(gong)液管路上(shang)均(jun)安裝有所述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)三控制閥，每(mei)一(yi)所述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)三控制閥用于(yu)控制所在(zai)的所述(shu)(shu)(shu)(shu)供(gong)液管路導通(tong)或(huo)截止。

20、上述供(gong)液(ye)(ye)(ye)(ye)裝置，在實(shi)際使用(yong)過(guo)程(cheng)中，在氣(qi)動(dong)泵的(de)(de)泵送(song)作用(yong)下(xia)，藥(yao)液(ye)(ye)(ye)(ye)桶(tong)內(nei)(nei)的(de)(de)藥(yao)液(ye)(ye)(ye)(ye)通(tong)過(guo)第一(yi)管路(lu)(lu)、氣(qi)動(dong)泵和第二(er)管路(lu)(lu)進入(ru)到氣(qi)液(ye)(ye)(ye)(ye)分(fen)離罐內(nei)(nei)進行(xing)氣(qi)液(ye)(ye)(ye)(ye)分(fen)離，以排除藥(yao)液(ye)(ye)(ye)(ye)內(nei)(nei)的(de)(de)氣(qi)泡(pao)。經過(guo)氣(qi)液(ye)(ye)(ye)(ye)分(fen)離之后的(de)(de)藥(yao)液(ye)(ye)(ye)(ye)通(tong)過(guo)供(gong)液(ye)(ye)(ye)(ye)管路(lu)(lu)添加至(zhi)工(gong)藝(yi)槽(cao)(cao)，從而確(que)(que)保添加至(zhi)工(gong)藝(yi)槽(cao)(cao)內(nei)(nei)的(de)(de)藥(yao)液(ye)(ye)(ye)(ye)不(bu)(bu)存(cun)在氣(qi)泡(pao)，一(yi)方面避免對流(liu)量計的(de)(de)檢測精度造成不(bu)(bu)良影響，以確(que)(que)保工(gong)藝(yi)槽(cao)(cao)內(nei)(nei)的(de)(de)藥(yao)液(ye)(ye)(ye)(ye)配比滿(man)足(zu)工(gong)藝(yi)要求(qiu)；另(ling)一(yi)方面確(que)(que)保工(gong)藝(yi)槽(cao)(cao)內(nei)(nei)不(bu)(bu)會產生泡(pao)沫，有利于提高對晶圓表(biao)面進行(xing)蝕刻(ke)的(de)(de)均勻性。

技術特征：

1.一(yi)種供液裝(zhuang)置，其特征在(zai)于，包(bao)括(kuo)：

2.根(gen)據權(quan)利要求1所述(shu)(shu)(shu)的供液裝置，其特征在于，所述(shu)(shu)(shu)氣液分離(li)罐(30)的排氣口(kou)通過第三管路(a3)與所述(shu)(shu)(shu)藥液桶(tong)(11)連通。

3.根據權利要求2所(suo)述(shu)的供液裝(zhuang)置，其(qi)特征在于，所(suo)述(shu)儲液組件(10)還包(bao)括(kuo)桶蓋(gai)(13)及吸液管(15)，所(suo)述(shu)藥液桶(11)的頂部開設有安裝(zhuang)孔，所(suo)述(shu)桶蓋(gai)(13)蓋(gai)合(he)在所(suo)述(shu)藥液桶(11)的所(suo)述(shu)安裝(zhuang)孔處；

4.根(gen)據權利要求3所(suo)述(shu)的(de)(de)供液(ye)(ye)裝置，其特征在于(yu)，所(suo)述(shu)桶(tong)(tong)蓋(13)上還具有調壓(ya)排氣(qi)孔(133)，所(suo)述(shu)調壓(ya)排氣(qi)孔(133)用于(yu)連通所(suo)述(shu)藥液(ye)(ye)桶(tong)(tong)(11)的(de)(de)內腔與所(suo)述(shu)藥液(ye)(ye)桶(tong)(tong)(11)外部(bu)。

5.根據(ju)權利要求4所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)的供液(ye)(ye)裝(zhuang)置(zhi)，其(qi)特(te)征在于，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)供液(ye)(ye)裝(zhuang)置(zhi)還(huan)包括箱體(80)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)儲液(ye)(ye)組件(10)、所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)氣動泵(20)及所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)氣液(ye)(ye)分(fen)離罐(30)收容(rong)在所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)箱體(80)內，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)箱體(80)上具有排風(feng)口(81)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)排風(feng)口(81)用于與外部抽(chou)風(feng)設備連通。

6.根據權利要(yao)求2所(suo)(suo)述(shu)(shu)的供液(ye)(ye)裝置(zhi)，其(qi)特征在(zai)于(yu)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)氣液(ye)(ye)分(fen)離罐(guan)(guan)(30)的進液(ye)(ye)口(kou)和(he)排氣口(kou)均與所(suo)(suo)述(shu)(shu)氣液(ye)(ye)分(fen)離罐(guan)(guan)(30)的內腔(qiang)頂部(bu)連通，所(suo)(suo)述(shu)(shu)氣液(ye)(ye)分(fen)離罐(guan)(guan)(30)的出(chu)液(ye)(ye)口(kou)與所(suo)(suo)述(shu)(shu)氣液(ye)(ye)分(fen)離罐(guan)(guan)(30)的內腔(qiang)底部(bu)連通。

7.根據權利要求2至6任(ren)一(yi)(yi)項所(suo)述(shu)(shu)的(de)供液裝置，其特征在于，所(suo)述(shu)(shu)儲(chu)液組件(10)包括至少兩(liang)個，每(mei)一(yi)(yi)所(suo)述(shu)(shu)儲(chu)液組件(10)的(de)所(suo)述(shu)(shu)藥(yao)液桶(11)均(jun)通過對應的(de)所(suo)述(shu)(shu)第一(yi)(yi)管路(a1)與所(suo)述(shu)(shu)氣動泵(20)的(de)進液口連通；

8.根(gen)據權(quan)利要求7所(suo)(suo)述(shu)(shu)的(de)(de)供液裝置，其特征在于，所(suo)(suo)述(shu)(shu)第三(san)管路(a3)設(she)置為至少兩個，每一所(suo)(suo)述(shu)(shu)儲液組件(10)的(de)(de)所(suo)(suo)述(shu)(shu)藥液桶(11)均(jun)通過對應的(de)(de)所(suo)(suo)述(shu)(shu)第三(san)管路(a3)與所(suo)(suo)述(shu)(shu)氣液分離罐(guan)(30)的(de)(de)排氣口連通；

9.根(gen)據(ju)權利要求1至6任(ren)一項所述(shu)(shu)(shu)的供(gong)液(ye)裝置(zhi)，其特征在(zai)(zai)于，所述(shu)(shu)(shu)供(gong)液(ye)裝置(zhi)還包括安裝在(zai)(zai)所述(shu)(shu)(shu)供(gong)液(ye)管路(a4)上的流量(liang)傳感(gan)器(70)，所述(shu)(shu)(shu)流量(liang)傳感(gan)器(70)用(yong)于檢測所述(shu)(shu)(shu)供(gong)液(ye)管路(a4)的流量(liang)。

10.根據權利要求1至6任一項所(suo)(suo)述的供液裝(zhuang)置，其特征(zheng)在于，所(suo)(suo)述供液管路(lu)(lu)(a4)包(bao)括至少兩個(ge)，每一所(suo)(suo)述供液管路(lu)(lu)(a4)均與所(suo)(suo)述氣液分離(li)罐(30)的出液口連通(tong)；

技術總結
本發明涉及一種供液裝置。該供液裝置包括：儲液組件，包括用于儲存藥液的藥液桶；氣動泵，氣動泵的進液口通過第一管路與藥液桶連通；及氣液分離罐，氣液分離罐的進液口通過第二管路與氣動泵的出液口連通，氣液分離罐的出液口連接有供液管路。如此，在氣動泵的泵送作用下，藥液桶內的藥液通過第一管路、氣動泵和第二管路進入到氣液分離罐內進行氣液分離，以排除藥液內的氣泡。經過氣液分離之后的藥液通過供液管路添加至工藝槽，從而確保添加至工藝槽內的藥液不存在氣泡，一方面避免對流量計的檢測精度造成不良影響，以確保工藝槽內的藥液配比滿足工藝要求；另一方面確保工藝槽內不會產生泡沫，有利于提高對晶圓表面進行蝕刻的均勻性。

技術研發人員：龐金明,柏亞騁,李程,孫永勝,李松松,祁志明
受保護的技術使用者：吉姆西半導體科技（無錫）股份有限公司
技術研發日：
技術公布日：2024/9/19