本發明涉及(ji)半導體(ti)工藝設備，尤其涉及(ji)一種晶圓(yuan)夾持機構。

背景技術：

1、如(ru)圖1和(he)圖2所(suo)示，晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)放置在(zai)承(cheng)載(zai)(zai)(zai)盤上(shang)，承(cheng)載(zai)(zai)(zai)盤四周設(she)有(you)多個圓(yuan)(yuan)(yuan)錐(zhui)形的導向(xiang)柱(zhu)，晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)由(you)機(ji)(ji)械手送到(dao)承(cheng)載(zai)(zai)(zai)盤上(shang)方，承(cheng)載(zai)(zai)(zai)盤中(zhong)(zhong)心(xin)區(qu)域(yu)的晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)頂(ding)針升起將(jiang)晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)頂(ding)起，使(shi)晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)離開(kai)機(ji)(ji)械手，然(ran)后機(ji)(ji)械手退(tui)出，晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)頂(ding)針下(xia)降(jiang)(jiang)以帶動晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)下(xia)降(jiang)(jiang)，在(zai)晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)下(xia)降(jiang)(jiang)過程(cheng)中(zhong)(zhong)，若晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)中(zhong)(zhong)心(xin)與承(cheng)載(zai)(zai)(zai)盤中(zhong)(zhong)心(xin)不重合，晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)在(zai)下(xia)降(jiang)(jiang)過程(cheng)中(zhong)(zhong)會與承(cheng)載(zai)(zai)(zai)盤四周的導向(xiang)柱(zhu)相接觸，在(zai)導向(xiang)柱(zhu)的作用下(xia)，晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)的偏心(xin)量將(jiang)會得到(dao)修(xiu)正。晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)到(dao)達承(cheng)載(zai)(zai)(zai)盤上(shang)之后，晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)壓(ya)環下(xia)降(jiang)(jiang)，晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)壓(ya)鉤最終(zhong)壓(ya)在(zai)晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)上(shang)，使(shi)晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)緊貼(tie)承(cheng)載(zai)(zai)(zai)盤。

2、目(mu)前，多個晶(jing)(jing)圓(yuan)壓鉤(gou)(gou)(gou)(gou)(gou)沿(yan)晶(jing)(jing)圓(yuan)壓環(huan)圓(yuan)周方(fang)向分(fen)布，并通過轉(zhuan)軸與晶(jing)(jing)圓(yuan)壓環(huan)連接(jie)實現上下轉(zhuan)動，轉(zhuan)軸上安裝有扭(niu)轉(zhuan)彈(dan)簧(huang)和(he)壓鉤(gou)(gou)(gou)(gou)(gou)隔環(huan)，晶(jing)(jing)圓(yuan)壓鉤(gou)(gou)(gou)(gou)(gou)位于(yu)(yu)扭(niu)轉(zhuan)彈(dan)簧(huang)與壓鉤(gou)(gou)(gou)(gou)(gou)隔環(huan)之(zhi)間，扭(niu)轉(zhuan)彈(dan)簧(huang)用于(yu)(yu)提供(gong)晶(jing)(jing)圓(yuan)壓鉤(gou)(gou)(gou)(gou)(gou)旋轉(zhuan)的(de)阻(zu)尼(ni)，壓鉤(gou)(gou)(gou)(gou)(gou)隔環(huan)用于(yu)(yu)限定晶(jing)(jing)圓(yuan)壓鉤(gou)(gou)(gou)(gou)(gou)在轉(zhuan)軸上的(de)左右位置。這種晶(jing)(jing)圓(yuan)壓緊(jin)結構存在的(de)缺陷(xian)在于(yu)(yu)：

3、1)由于壓(ya)鉤(gou)可以上下(xia)(xia)轉動(dong)，壓(ya)鉤(gou)在(zai)(zai)(zai)接(jie)觸晶(jing)(jing)圓后，若晶(jing)(jing)圓壓(ya)環(huan)繼(ji)續(xu)下(xia)(xia)壓(ya)，則會(hui)導致晶(jing)(jing)圓壓(ya)鉤(gou)相對(dui)(dui)晶(jing)(jing)圓表面滑動(dong)，晶(jing)(jing)圓壓(ya)鉤(gou)與晶(jing)(jing)圓表面摩擦(ca)，從而產生細微的(de)(de)(de)顆粒。這要求(qiu)在(zai)(zai)(zai)調試時，晶(jing)(jing)圓壓(ya)鉤(gou)在(zai)(zai)(zai)晶(jing)(jing)圓表面上盡量不滑動(dong)，也就(jiu)是要求(qiu)晶(jing)(jing)圓壓(ya)環(huan)的(de)(de)(de)下(xia)(xia)降(jiang)距離盡可能(neng)的(de)(de)(de)小。但是這種情況下(xia)(xia)，晶(jing)(jing)圓壓(ya)鉤(gou)對(dui)(dui)晶(jing)(jing)圓的(de)(de)(de)壓(ya)緊(jin)力(li)較低，在(zai)(zai)(zai)進行注(zhu)入工藝時，靶臺會(hui)轉到與水平面垂直(zhi)的(de)(de)(de)角度(du)，此(ci)時晶(jing)(jing)圓在(zai)(zai)(zai)重力(li)作用下(xia)(xia)會(hui)下(xia)(xia)滑，此(ci)時有可能(neng)出現晶(jing)(jing)圓上部難以壓(ya)緊(jin)的(de)(de)(de)情況。

4、2)由于加(jia)工、安裝誤差，各晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)壓(ya)鉤(gou)(gou)與(yu)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)接(jie)觸(chu)(chu)的(de)點并不能(neng)都完(wan)全處于同一高度(du)，進(jin)而導(dao)致(zhi)各晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)壓(ya)鉤(gou)(gou)到晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)的(de)距離不一致(zhi)，在晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)壓(ya)環下降時，有些壓(ya)鉤(gou)(gou)已(yi)經與(yu)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)相接(jie)觸(chu)(chu)了，有些晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)壓(ya)鉤(gou)(gou)可能(neng)與(yu)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)之(zhi)(zhi)間(jian)還(huan)存在間(jian)隙，此時晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)壓(ya)環若(ruo)繼(ji)續下壓(ya)，已(yi)經接(jie)觸(chu)(chu)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)的(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)壓(ya)鉤(gou)(gou)會(hui)與(yu)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)產(chan)生(sheng)(sheng)摩擦，導(dao)致(zhi)產(chan)生(sheng)(sheng)顆粒。在實際使用過程中，為了確保晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)能(neng)夠被良(liang)好(hao)的(de)壓(ya)在靶臺上(shang)，一般(ban)都會(hui)使各個壓(ya)鉤(gou)(gou)都與(yu)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)接(jie)觸(chu)(chu)，從而導(dao)致(zhi)先接(jie)觸(chu)(chu)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)的(de)壓(ya)鉤(gou)(gou)與(yu)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)之(zhi)(zhi)間(jian)產(chan)生(sheng)(sheng)相對位(wei)移，晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)表面顆粒會(hui)超標。

5、3)由于部分工藝(yi)過(guo)程需要在高(gao)溫(wen)環境下進行，晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)壓(ya)環在經過(guo)反復的高(gao)低溫(wen)循環后(hou)，本(ben)身會產生變形，這會導致(zhi)各晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)壓(ya)鉤(gou)(gou)到晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)的距離不一致(zhi)，在晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)壓(ya)環下降時，有(you)些壓(ya)鉤(gou)(gou)已(yi)經與(yu)晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)相(xiang)接觸了，有(you)些晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)壓(ya)鉤(gou)(gou)可(ke)能與(yu)晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)還(huan)存(cun)在2-3mm的間隙。在實(shi)際使(shi)用過(guo)程中，為了確保晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)能夠被良好(hao)的壓(ya)在靶臺上，一般(ban)都(dou)(dou)會使(shi)各個壓(ya)鉤(gou)(gou)都(dou)(dou)與(yu)晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)接觸，從而(er)導致(zhi)先(xian)接觸晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)的壓(ya)鉤(gou)(gou)與(yu)晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)之間產生相(xiang)對位(wei)移，晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)表(biao)面(mian)顆(ke)粒也會超標。

6、4)由于晶圓壓鉤與扭(niu)轉(zhuan)彈簧、壓鉤隔(ge)環之間存(cun)在(zai)相(xiang)對(dui)運動，也會產生(sheng)顆(ke)粒(li)，進而對(dui)晶圓表面顆(ke)粒(li)度產生(sheng)不良(liang)影(ying)響。

技術實現思路

1、本發明要解決的技術問題是克服現(xian)有技術的不足，提供一種有利于減少與晶圓表面的摩擦帶(dai)來的顆(ke)粒污染，能夠實現(xian)可靠(kao)壓緊(jin)的晶圓夾(jia)持機構。

2、為解決上述技(ji)術問(wen)題，本(ben)發明采用以下技(ji)術方案：

3、一(yi)種晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)夾持機構(gou)，包括(kuo)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)壓環(huan)和(he)多(duo)個(ge)沿(yan)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)壓環(huan)圓(yuan)(yuan)周(zhou)方向分布的(de)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)壓緊件(jian)，所(suo)(suo)述(shu)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)壓環(huan)上沿(yan)圓(yuan)(yuan)周(zhou)方向設置有多(duo)個(ge)安(an)裝(zhuang)彈片(pian)和(he)用于避讓所(suo)(suo)述(shu)安(an)裝(zhuang)彈片(pian)形(xing)變的(de)避讓部，多(duo)個(ge)所(suo)(suo)述(shu)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)壓緊件(jian)一(yi)一(yi)對應的(de)與多(duo)個(ge)所(suo)(suo)述(shu)安(an)裝(zhuang)彈片(pian)連接。

4、作為上述(shu)(shu)技術方(fang)案的進(jin)一步(bu)改(gai)進(jin)：所述(shu)(shu)安(an)裝(zhuang)(zhuang)彈(dan)片兩端與(yu)所述(shu)(shu)晶(jing)圓(yuan)壓環固(gu)(gu)定(ding)連接，所述(shu)(shu)晶(jing)圓(yuan)壓緊件固(gu)(gu)定(ding)安(an)裝(zhuang)(zhuang)于所述(shu)(shu)安(an)裝(zhuang)(zhuang)彈(dan)片中部(bu)(bu)，所述(shu)(shu)避(bi)讓(rang)部(bu)(bu)與(yu)所述(shu)(shu)安(an)裝(zhuang)(zhuang)彈(dan)片中部(bu)(bu)對(dui)應。

5、作為上述技術方(fang)案(an)的進一步改(gai)進：所述安裝彈(dan)片(pian)上設有(you)缺(que)口(kou)部(bu)。

6、作為上述技術方(fang)案的(de)進一步改進：所述缺口部設于所述安裝彈片兩端的(de)外側(ce)。

7、作為上述(shu)(shu)技術(shu)方案的進一步改(gai)進：所(suo)述(shu)(shu)安(an)裝彈片兩端內側(ce)設有第一凹(ao)槽(cao)，安(an)裝彈片兩端外(wai)側(ce)設有第二(er)凹(ao)槽(cao)，所(suo)述(shu)(shu)第一凹(ao)槽(cao)和所(suo)述(shu)(shu)第二(er)凹(ao)槽(cao)在徑(jing)向方向重疊。

8、作為上述(shu)(shu)技術(shu)方案的進一步(bu)改進：所(suo)(suo)述(shu)(shu)安(an)裝彈(dan)片一端(duan)(duan)與所(suo)(suo)述(shu)(shu)晶圓壓環(huan)固定連接，所(suo)(suo)述(shu)(shu)晶圓壓緊件固定安(an)裝于(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)安(an)裝彈(dan)片另一端(duan)(duan)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)避讓部(bu)與所(suo)(suo)述(shu)(shu)安(an)裝彈(dan)片另一端(duan)(duan)對應。

9、作(zuo)為上述技術方(fang)案的(de)(de)進一(yi)步(bu)改進：所(suo)述晶圓壓緊(jin)(jin)件包(bao)括與所(suo)述安裝彈片連接的(de)(de)主(zhu)體部(bu)(bu)(bu)(bu)、設于主(zhu)體部(bu)(bu)(bu)(bu)內側的(de)(de)過渡(du)部(bu)(bu)(bu)(bu)和(he)設于過渡(du)部(bu)(bu)(bu)(bu)內側的(de)(de)壓緊(jin)(jin)部(bu)(bu)(bu)(bu)，所(suo)述主(zhu)體部(bu)(bu)(bu)(bu)、所(suo)述過渡(du)部(bu)(bu)(bu)(bu)和(he)所(suo)述壓緊(jin)(jin)部(bu)(bu)(bu)(bu)的(de)(de)寬度依次減少(shao)。

10、作為上述(shu)(shu)技術方(fang)案的進(jin)一步改進(jin)：所述(shu)(shu)安裝彈片與所述(shu)(shu)晶圓壓環通過(guo)(guo)螺(luo)紋緊固(gu)(gu)件(jian)固(gu)(gu)定連(lian)接(jie)，所述(shu)(shu)晶圓壓緊件(jian)與所述(shu)(shu)安裝彈片通過(guo)(guo)螺(luo)紋緊固(gu)(gu)件(jian)固(gu)(gu)定連(lian)接(jie)。

11、作(zuo)為(wei)上述技(ji)術方(fang)案的進(jin)一步改進(jin)：還包括(kuo)與所(suo)述晶(jing)(jing)圓壓(ya)環(huan)(huan)同心布置的連(lian)接(jie)(jie)環(huan)(huan)，所(suo)述安裝(zhuang)(zhuang)彈(dan)片(pian)一端(duan)與所(suo)述晶(jing)(jing)圓壓(ya)環(huan)(huan)固(gu)(gu)定連(lian)接(jie)(jie)，安裝(zhuang)(zhuang)彈(dan)片(pian)另一端(duan)與所(suo)述連(lian)接(jie)(jie)環(huan)(huan)固(gu)(gu)定連(lian)接(jie)(jie)，所(suo)述晶(jing)(jing)圓壓(ya)緊件固(gu)(gu)定安裝(zhuang)(zhuang)于所(suo)述連(lian)接(jie)(jie)環(huan)(huan)上。

12、作為上述(shu)(shu)技術方案的進一步改進：所(suo)述(shu)(shu)晶圓(yuan)壓環(huan)下(xia)端(duan)(duan)面設(she)有第(di)(di)一凸(tu)(tu)部，所(suo)述(shu)(shu)連(lian)(lian)(lian)接(jie)環(huan)上端(duan)(duan)面設(she)有第(di)(di)二凸(tu)(tu)部，所(suo)述(shu)(shu)安(an)裝(zhuang)彈片兩端(duan)(duan)分(fen)別與(yu)所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)一凸(tu)(tu)部和所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)二凸(tu)(tu)部固定(ding)連(lian)(lian)(lian)接(jie)，所(suo)述(shu)(shu)晶圓(yuan)壓緊(jin)件(jian)固定(ding)安(an)裝(zhuang)于所(suo)述(shu)(shu)連(lian)(lian)(lian)接(jie)環(huan)下(xia)端(duan)(duan)面并與(yu)所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)二凸(tu)(tu)部對應。

13、與現有(you)技術(shu)相比，本(ben)發(fa)明(ming)的優點在于：

14、1)晶(jing)圓(yuan)(yuan)壓(ya)(ya)緊(jin)件(jian)與(yu)安(an)裝(zhuang)彈(dan)片相連，在晶(jing)圓(yuan)(yuan)壓(ya)(ya)環向(xiang)下(xia)運動(dong)時(shi)，安(an)裝(zhuang)彈(dan)片帶動(dong)晶(jing)圓(yuan)(yuan)壓(ya)(ya)緊(jin)件(jian)整體(ti)向(xiang)下(xia)移動(dong)，減少了晶(jing)圓(yuan)(yuan)壓(ya)(ya)緊(jin)件(jian)與(yu)晶(jing)圓(yuan)(yuan)之間的滑動(dong)摩擦距(ju)離(li)，基本(ben)上晶(jing)圓(yuan)(yuan)壓(ya)(ya)緊(jin)件(jian)與(yu)晶(jing)圓(yuan)(yuan)之間不會存在相對運動(dong)，從而可大幅降低在壓(ya)(ya)緊(jin)過程中帶來的顆(ke)粒污染(ran)。

15、2)在(zai)安裝彈片(pian)的作用下，各晶圓(yuan)壓緊件內側(ce)與晶圓(yuan)相接(jie)觸的位置(zhi)有較大的運動空間，因此在(zai)晶圓(yuan)壓環變形(xing)時，仍然可以通過加大晶圓(yuan)壓環向下運動的距(ju)離來(lai)使所(suo)有的晶圓(yuan)壓緊件與晶圓(yuan)都接(jie)觸，為(wei)晶圓(yuan)提(ti)供可靠的壓緊力。

16、3)晶圓壓環、晶圓壓緊件和安裝彈(dan)片(pian)之間固(gu)定連接，無相(xiang)對滑動(dong)(dong)，避免了因為運(yun)動(dong)(dong)可能帶來的顆(ke)粒污染。

技術特征：

1.一種晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)持機構，包(bao)括晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)壓環(1)和(he)多個(ge)(ge)沿晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)壓環(1)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)周(zhou)方向分布(bu)的晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)壓緊件(jian)(2)，其(qi)特征在于(yu)：所(suo)(suo)述晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)壓環(1)上沿圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)周(zhou)方向設置(zhi)有多個(ge)(ge)安(an)(an)裝彈片(3)和(he)用于(yu)避(bi)(bi)讓所(suo)(suo)述安(an)(an)裝彈片(3)形變的避(bi)(bi)讓部(bu)(4)，多個(ge)(ge)所(suo)(suo)述晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)壓緊件(jian)(2)一一對應的與多個(ge)(ge)所(suo)(suo)述安(an)(an)裝彈片(3)連接。

2.根據權利要求(qiu)1所(suo)(suo)述(shu)的晶圓夾持機構，其特(te)征在于(yu)：還包括(kuo)與(yu)(yu)所(suo)(suo)述(shu)晶圓壓(ya)環(huan)(huan)(1)同心布置的連接(jie)環(huan)(huan)(5)，所(suo)(suo)述(shu)安裝彈片(pian)(3)一(yi)端(duan)與(yu)(yu)所(suo)(suo)述(shu)晶圓壓(ya)環(huan)(huan)(1)固定(ding)連接(jie)，安裝彈片(pian)(3)另一(yi)端(duan)與(yu)(yu)所(suo)(suo)述(shu)連接(jie)環(huan)(huan)(5)固定(ding)連接(jie)，所(suo)(suo)述(shu)晶圓壓(ya)緊件(2)固定(ding)安裝于(yu)所(suo)(suo)述(shu)連接(jie)環(huan)(huan)(5)上。

3.根(gen)據(ju)權利(li)要求2所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)的晶(jing)圓夾持機構，其特(te)征在于：所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)晶(jing)圓壓環(huan)(1)下端面(mian)(mian)設(she)有第一凸部(6)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)連接(jie)環(huan)(5)上端面(mian)(mian)設(she)有第二(er)(er)凸部(7)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)安(an)裝彈片(3)兩端分別與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第一凸部(6)和所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第二(er)(er)凸部(7)固定連接(jie)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)晶(jing)圓壓緊件(2)固定安(an)裝于所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)連接(jie)環(huan)(5)下端面(mian)(mian)并(bing)與(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第二(er)(er)凸部(7)對應(ying)。

4.根據權利要求(qiu)1所(suo)述的(de)晶(jing)(jing)(jing)圓夾持機構，其特征在于(yu)(yu)：所(suo)述安(an)裝(zhuang)彈(dan)(dan)片(pian)(3)兩端與所(suo)述晶(jing)(jing)(jing)圓壓環(1)固(gu)定(ding)連(lian)接，所(suo)述晶(jing)(jing)(jing)圓壓緊件(jian)(2)固(gu)定(ding)安(an)裝(zhuang)于(yu)(yu)所(suo)述安(an)裝(zhuang)彈(dan)(dan)片(pian)(3)中(zhong)部(bu)(bu)，所(suo)述避讓部(bu)(bu)(4)與所(suo)述安(an)裝(zhuang)彈(dan)(dan)片(pian)(3)中(zhong)部(bu)(bu)對(dui)應。

5.根據(ju)權利要求(qiu)4所述的晶圓(yuan)夾持機構，其(qi)特(te)征在(zai)于：所述安(an)裝彈片(3)上設有缺(que)口部(31)。

6.根據權利要求5所述(shu)的(de)晶圓夾(jia)持機構，其特(te)征在于：所述(shu)缺口(kou)部(31)設于所述(shu)安(an)裝(zhuang)彈片(3)兩端的(de)外側。

7.根據權利要求4所(suo)述(shu)的晶(jing)圓夾(jia)持機構(gou)，其(qi)特征在于(yu)：所(suo)述(shu)安裝彈片(3)兩(liang)端內側設有(you)第(di)一(yi)凹槽(cao)(32)，安裝彈片(3)兩(liang)端外(wai)側設有(you)第(di)二凹槽(cao)(33)，所(suo)述(shu)第(di)一(yi)凹槽(cao)(32)和所(suo)述(shu)第(di)二凹槽(cao)(33)在徑向方向重疊。

8.根據權利(li)要求1所述(shu)(shu)的晶(jing)圓(yuan)(yuan)夾持機構，其特征(zheng)在于：所述(shu)(shu)安(an)(an)裝彈片(pian)(pian)(3)一(yi)端(duan)與(yu)所述(shu)(shu)晶(jing)圓(yuan)(yuan)壓環(1)固(gu)定連接，所述(shu)(shu)晶(jing)圓(yuan)(yuan)壓緊件(jian)(2)固(gu)定安(an)(an)裝于所述(shu)(shu)安(an)(an)裝彈片(pian)(pian)(3)另(ling)一(yi)端(duan)，所述(shu)(shu)避讓部(bu)(4)與(yu)所述(shu)(shu)安(an)(an)裝彈片(pian)(pian)(3)另(ling)一(yi)端(duan)對應。

9.根據(ju)權利(li)要(yao)求1至8中任一項所(suo)述的(de)(de)晶(jing)圓夾(jia)持機構，其特(te)征(zheng)在于(yu)：所(suo)述晶(jing)圓壓(ya)(ya)緊件(2)包括與所(suo)述安裝彈(dan)片(3)連接的(de)(de)主體部(bu)(21)、設(she)于(yu)主體部(bu)(21)內側的(de)(de)過(guo)(guo)渡部(bu)(22)和(he)設(she)于(yu)過(guo)(guo)渡部(bu)(22)內側的(de)(de)壓(ya)(ya)緊部(bu)(23)，所(suo)述主體部(bu)(21)、所(suo)述過(guo)(guo)渡部(bu)(22)和(he)所(suo)述壓(ya)(ya)緊部(bu)(23)的(de)(de)寬度依(yi)次減少(shao)。

10.根據(ju)權利要求4至8中任一(yi)項所(suo)(suo)述(shu)的(de)晶(jing)圓夾持機(ji)構，其特(te)征在(zai)于：所(suo)(suo)述(shu)安裝彈片(3)與所(suo)(suo)述(shu)晶(jing)圓壓環(huan)(1)通過螺紋(wen)緊(jin)固(gu)件固(gu)定(ding)連接(jie)，所(suo)(suo)述(shu)晶(jing)圓壓緊(jin)件(2)與所(suo)(suo)述(shu)安裝彈片(3)通過螺紋(wen)緊(jin)固(gu)件固(gu)定(ding)連接(jie)。

技術總結
一種晶圓夾持機構，包括晶圓壓環和多個沿晶圓壓環圓周方向分布的晶圓壓緊件，晶圓壓環上沿圓周方向設置有多個安裝彈片和用于避讓安裝彈片形變的避讓部，多個晶圓壓緊件一一對應的與多個安裝彈片連接。本發明晶圓壓緊件與安裝彈片相連，在晶圓壓環向下運動時，安裝彈片帶動晶圓壓緊件整體向下移動，減少了晶圓壓緊件與晶圓之間的滑動摩擦距離，基本上晶圓壓緊件與晶圓之間不會存在相對運動，從而可大幅降低在壓緊過程中帶來的顆粒污染；在安裝彈片的作用下，各晶圓壓緊件內側與晶圓相接觸的位置有較大的運動空間，因此在晶圓壓環變形時，仍然可以通過加大晶圓壓環向下運動的距離來使所有的晶圓壓緊件與晶圓都接觸，為晶圓提供可靠的壓緊力。

技術研發人員：羅才旺,劉華,彭立波,李進,張鑫天,鄭錦峰,鐘康靈
受保護的技術使用者：北京爍科中科信電子裝備有限公司
技術研發日：
技術公布日：2024/9/19