光學玻璃母材缺陷檢查裝置及方法
【專利摘要】本發明提供一種光學玻璃母材缺陷檢查裝置及方法，在光學玻璃母材的表面、內部的缺陷檢查中，不是由作業人員進行抽樣感官檢查，而是全數檢查，并且使檢查時間迅速化，降低檢查結果的偏差，從而得到高品質的光學玻璃母材。至少具有載置光學玻璃母材的檢查單元，檢查單元具有：光源部，其對光學玻璃母材的內部照射光；攝像部，其對被來自光源部的光照射的光學玻璃母材的內部和表面中的至少一方進行拍攝；以及判斷控制部，其根據來自攝像部的圖像信號來判斷與光學玻璃母材的內部和表面中的至少一方的缺陷有關的信息。
【專利說明】光學玻璃母材缺陷檢查裝置及方法
【技術領域】
[0001 ] 本發明涉及一種光學玻璃母材的自動品質檢查裝置以及光學玻璃母材的自動品質檢查方法。
【背景技術】
[0002]近年來，不僅光學設備、數字照相機，連便攜式電話機等中也搭載了照相機，從而對由光學玻璃等構成的透鏡等的需要逐年增加。作為制造這種透鏡等的原料的光學玻璃母材需要使入射的像等不變形地透過。因此，要求光學玻璃母材具有高品質、特別是無缺陷、均勻的折射率等光學特性。因此，在光學玻璃母材的制造、實際應用中，需要對光學玻璃母材內部和表面中的至少一方的缺陷進行檢測、評價等。
[0003]此外，“缺陷”是指光學玻璃母材的表面和內部中的至少一方的例如氣泡、異物(混入物等)、損傷、失透等。并且，“品質檢查”是指檢測這種缺陷并根據其檢測結果來判斷品質。
[0004]例如，已知例如專利文獻I所記載的方法，以檢查光學材料的內部狀態。
[0005]專利文獻1:日本特開號公報

【發明內容】

_6] 發明要解決的問題
[0007]在該檢查方法中，每次檢查作為被檢體的光學材料都需要將該光學材料載置到檢查單元。
[0008]現狀是，在光學玻璃母材的品質檢查中，強烈希望滿足以下(I)、(2)、(3)。
[0009](I) 24小時，進行全數檢查；
[0010](2)不是由作業人員進行的抽樣感官檢查，而是全數檢查；
[0011](3)使檢查時間迅速化，降低檢查結果的偏差，
[0012]由此，能夠實現檢查結果的提前反饋、防止次品流出、基于準確檢查結果提高品質、降低人事費。
_3] 用于解決問題的方案
[0014]本
【發明者】們為了解決上述問題而反復深入研究的結果是，發現了能夠通過對光學玻璃母材的內部和表面中的至少一方照射光并從光學玻璃母材的外側進行拍攝，來檢測光學玻璃母材的內部(包含表面和背面)是否存在缺陷，自動地判斷(檢查)品質，從而完成了本發明。更具體地說，本發明提供以下那樣的裝置和方法。
[0015]此外，以下，即使在關于光學玻璃母材僅稱為“內部”的情況下，也適當地意味著包含光學玻璃母材的表面、背面、內部中的至少一個的情況。
[0016]另外，在光學玻璃母材中還特別適于檢查板狀母材的品質。
[0017]具體地說，本發明提供以下技術。
[0018](I) 一種光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，至少具有載置光學玻璃母材的檢查單元，
[0019]上述檢查單元具有:
[0020]光源部，其對上述光學玻璃母材的內部照射光；
[0021]攝像部，其對被來自上述光源部的光照射的上述光學玻璃母材的內部和表面中的至少一方進行拍攝；以及
[0022]判斷控制部，其根據來自上述攝像部的圖像信號來判斷與上述光學玻璃母材的內部和表面中的至少一方的缺陷有關的信息。
[0023](2)根據(1)所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，還具有輸送單元，該輸送單兀具有第一傳感器，并根據來自第一傳感器的第一輸出信號向規定的方向輸送上述光學玻璃母材，其中，該第一傳感器識別從玻璃母材制造單元的退火窯端部送出的光學玻璃母材的送出狀態。
[0024](3)根據(1)或者⑵所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，上述檢查單元還具有第二傳感器，該第二傳感器對上述光學玻璃母材在上述檢查單元上的位置進行檢測，并輸出第二輸出信號。
[0025](4)根據⑵或者⑶所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，上述輸送單兀根據來自上述第一傳感器的上述第一輸出信號，通過玻璃給送部將上述光學玻璃母材輸送到上述檢查單元。
[0026](5)根據(3)或者(4)所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，
[0027]上述檢查單元還具有光源驅動部，
[0028]上述光源驅動部根據上述第二傳感器的檢測結果，將上述光源部驅動至上述檢查單元上的向上述光學玻璃母材照射光的照射位置和從上述光學玻璃母材的輸送通道退避的退避位置中的某一個位置。
[0029](6)根據(5)所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，
[0030]上述第二傳感器在輸送過來的上述光學玻璃母材載置在上述檢查單元上的規定位置時輸出第二輸出信號，
[0031]上述光源驅動部根據上述第二輸出信號將上述光源部驅動至照射位置，向上述光學玻璃母材照射光。
[0032](7)根據(1)~(6)中的任一項所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，
[0033]上述檢查單元還具有攝像用驅動部，
[0034]上述攝像用驅動部使上述攝像部與所載置的上述光學玻璃母材的相對距離發生變化，
[0035]從由上述光源部進行照射的上述光學玻璃母材的表面至背面在規定的面積上進行掃描及攝像。
[0036](8)根據(1)~(7)中的任一項所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，在上述檢查單元的與拍攝上述光學玻璃母材一側相反的一側的面設置遮光構件。
[0037](9)根據(1)~(8)中的任一項所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，
[0038]上述檢查單元還具有標記部，
[0039]對由上述判斷控制部基于拍攝到的圖像信息判斷為缺陷的部分的上述光學玻璃母材的表面進行標記。[0040](10)根據(I)?(9)中的任一項所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，能夠向與上述光學玻璃母材的制造相關聯的裝置反饋與由上述判斷控制部判斷出的缺陷有關的彳目息。
[0041](11)根據(I)?(10)中的任一項所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，上述光源部為電燈泡、突光燈、發光二極管、激光光源等，上述光源部射出的光的波長為紫外光、可見光、紅外光中的任一個。
[0042](12)根據(I)?(11)中的任一項所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，還具有搬出單元，該搬出單元與上述檢查單元鄰接，搬出缺陷檢查結束的上述光學玻璃母材。
[0043](13) 一種光學玻璃母材缺陷檢查方法,其特征在于,至少包括對所輸送的光學玻璃母材進行檢查的檢查工序，
[0044]上述檢查工序包括以下工序:
[0045]光照射工序，對上述光學玻璃母材的內部照射光；
[0046]攝像工序，對所照射的上述光學玻璃母材的表面與內部中的至少一方進行拍攝；以及
[0047]判斷控制工序，根據在上述攝像工序得到的圖像信號來判斷與上述光學玻璃母材的缺陷有關的信息。
[0048](14)根據(13)所述的光學玻璃母材缺陷檢查方法，其特征在于，
[0049]還包括輸送工序，在該輸送工序中根據作為母材的光學玻璃母材的輸送狀態向規定的方向輸送上述光學玻璃母材。
[0050](15) 一種光學玻璃母材的自動品質檢查裝置，至少具有載置光學玻璃母材的檢查單元，
[0051]上述檢查單元具有:
[0052]光源部，其對上述光學玻璃母材的內部照射光；
[0053]攝像部，其對被來自上述光源部的光照射的上述光學玻璃母材的內部與表面中的至少一方進行拍攝；以及
[0054]判斷控制部，其根據來自上述攝像部的圖像信號來判斷與上述光學玻璃母材的內部與表面中的至少一方的缺陷有關的信息。
[0055](16) 一種光學玻璃母材的自動品質檢查方法,至少包括對所輸送的上述光學玻璃母材進行檢查的檢查工序，
[0056]上述檢查工序包括以下工序:
[0057]光照射工序，對上述光學玻璃母材的內部照射光；
[0058]攝像工序，對所照射的上述光學玻璃母材的表面與內部中的至少一方進行拍攝；以及
[0059]判斷控制工序，根據在上述攝像工序得到的圖像信號來判斷與上述光學玻璃母材的缺陷有關的信息。
_0] 發明的效果
[0061 ] 根據本發明，能夠提供一種能夠準確、迅速地全數檢查光學玻璃母材的表面與內部中的至少一方的缺陷的光學玻璃母材的自動品質檢查裝置以及光學玻璃母材自動品質 缺陷檢查方法。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0062]圖1的(a)是從側面觀察第一實施方式所涉及的光學玻璃母材缺陷檢查裝置的圖。圖1的(b)是從側面觀察第一實施方式所涉及的光學玻璃母材缺陷檢查裝置的另一圖。
[0063]圖2是從側面觀察第一實施方式所涉及的光學玻璃母材缺陷檢查裝置的又一圖。
[0064]圖3是說明第二實施方式所涉及的光學玻璃母材缺陷檢查方法的流程圖。
[0065]圖4的(a)是表示檢查光學玻璃母材時的光學玻璃的母材部分的圖。圖4的(b)是對在母材內部產生的氣泡進行了放大表示的變焦透鏡。
[0066]圖5的(a)、(b)、(c)是表示針對缺陷的不同聚焦的圖像的圖，圖5的(d)、(e)是表不各種缺陷映射圖的圖。
[0067]附圖標記說明
[0068]100:光學玻璃母材缺陷檢查裝置；11:退火窯端部；20:輸送單元；22:第一傳感器；30:檢查單元；31:輸送部；32:第二傳感器；33a、33b:光源部；34:光源驅動部；35:判斷控制部；36:攝像用驅動部；37:攝像部；40:搬出單元；G1、G2、G3:板狀的光學玻璃母材。
【具體實施方式】
[0069]說明本實施方式的光學玻璃母材缺陷檢查裝置以及光學玻璃母材缺陷檢查方法。此外，本發明并不限定于本實施方式。即使對這些詳細內容添加各種變形、變更，也不超出本發明的范圍。
[0070]圖1的(a)、(b)、圖2分別表示第一實施方式的光學玻璃母材缺陷檢查裝置100的外觀結構的圖。按照圖1的(a)、(b)、圖2的順序分別表示向紙面右方向發送光學玻璃母材Gl的狀態。
[0071]在圖1的(a)中，光學玻璃母材缺陷檢查裝置100至少具有輸送單元20、檢查單元30以及搬出單元40。
[0072]輸送單元20具有第一傳感器22，該第一傳感器22對從玻璃母材制造單元10的退火窯端部11送出的光學玻璃母材Gl的送出狀態進行識別。輸送單元20根據來自第一傳感器22的輸出信號,通過輸送部31向規定的方向(紙面右方向)輸送光學玻璃母材G1。另外，檢查單元30使從輸送單元20輸送的光學玻璃母材Gl載置在規定的位置。
[0073]參照圖1的(b)繼續進行說明。光學玻璃母材Gl為板狀的光學玻璃母材。輸送單兀20根據來自第一傳感器22的第一輸出信號，通過玻璃給送部21、例如帶式輸送機向檢查單元30輸送光學玻璃母材Gl。
[0074]檢查單元30具有光源驅動部34。光源驅動部34根據第二傳感器的檢測結果，將光源部33a(33b)驅動至檢查單元30上的向光學玻璃母材Gl照射光的照射位置(在圖1的(b)中用實線表示)以及從光學玻璃母材Gl的輸送通道退避的退避位置(在圖1的(b)中用虛線表示)中的某一個位置。
[0075]第二傳感器32在輸送過來的光學玻璃母材Gl載置在檢查單元30上的規定位置時輸出第二輸出信號。光源驅動部34根據第二輸出信號將光源部33a驅動至照射位置。而且，被驅動的光源部33b向光學玻璃母材Gl照射光。[0076]檢查單元30具有攝像用驅動部36。攝像用驅動部36使攝像部37與所載置的光學玻璃母材Gl的相對距離變化。
[0077]而且，從由光源部33b進行照射的光學玻璃母材Gl的表面至背面在規定的面積進行掃描及攝像。
[0078]攝像用驅動部36例如使作為攝像部37的照相機在用圖1的(b)的箭頭C表示的方向上進行上下移動、即從光學玻璃母材Gl的表背面向內部方向移動。在規定的區域內反復掃描光學玻璃母材Gl的厚度量。
[0079]此時，還配合作為攝像部37的照相機的聚焦位置來調整光源部33a(33b)的高度。由此，聚焦位置與光源部的高度一致，缺陷的檢測精度進一步提高。
[0080]判斷控制部35根據來自攝像部37的圖像信號來判斷與光學玻璃母材Gl的內部的缺陷有關的信息。
[0081]圖5的(a)、(b)、(C)示出拍攝到的圖像的各種聚焦狀態。將最聚焦的深度(例如，圖5的(C))的掃描數據設為檢測結果。其結果是，缺陷大小的測量精度提高。由此，能夠檢測光學玻璃母材Gl的表面、內部的缺陷(氣泡、異物、失透等)。
[0082]另外，照相機并不限定于固定焦點透鏡，還能夠使用變焦透鏡。在此，攝像用的透鏡還能夠應用單焦點或者變焦透鏡的自動調焦。
[0083]另外，攝像用的照相機也可以是區域照相機、線陣照相機中的任一個。
[0084]如圖4的(a)的立體圖所示，光學玻璃母材Gl具有與長度方向正交的垂直的截面Gib。
[0085]光源部33b從截面Glb的方向照明光學玻璃母材Gl。
[0086]由此，能夠減少反射光。
[0087]此外，并不限定于來自截面的照射，還能夠從與長度方向正交的方向(在圖4的(a)中具有曲率的方向)照明。
[0088]光源部33b為電燈泡、突光燈、發光二極管、激光光源等。射出的光的波長也可以是紫外光、可見光、紅外光中的任一個。
[0089]期望在檢查單元30的與拍攝光學玻璃母材Gl —側相反的一側的面Glc設置有遮光構件39。
[0090]另外，并不限定于光學玻璃母材Gl的背面Glc，還能夠在進行拍攝的表面Gla的攝像區域以外的區域設置遮光構件。
[0091]由此，能夠通過光學玻璃母材Gl的表面波紋等來減少散射光，從而能夠進行更準確的缺陷檢測。
[0092]如圖1的(a)、(b)和圖2所示，檢查單元30還具有標記部38。
[0093]而且，在判斷控制部35根據拍攝到的圖像信息判斷為缺陷的部分的光學玻璃母材Gl的表面進行例如圓形的標記(圖4的(a)的MK)。期望在標記時使用噴墨方式。并且，作為進行標記的方法，除了噴墨方式以外，還能夠使用激光打標、刻印、其它公知的轉印功能。
[0094]例如在檢測出大小為100 μ m以上的缺陷的情況下，在光學玻璃母材Gl的表面Gla(圖4的(a))的相應部位進行標記。
[0095]圖4的(b)是放大表示氣泡BI的圖。[0096]構成為能夠向與光學玻璃母材Gl的制造有關的裝置(未圖示)反饋與由判斷控制部35判斷出的缺陷有關的信息。
[0097]例如在檢測出大量的缺陷的情況下，還能夠作為產生工序異常而拉響警報，立即向相關部門進行通知。
[0098]并且，判斷控制部35根據檢測出的缺陷的個數和大小進行遵照預定的玻璃內部品質標準的合格與否判斷。而且，根據匯集了缺陷的大小和個數、合格與否判斷等的檢查結果表以及實際的掃描圖像來自動地制作缺陷位置的映射圖作為品質檢查結果。
[0099]如圖5的(d)、(e)所示，能夠進行始終顯示檢查結果、還以圖表形式顯示時間序列數據、以及始終顯示檢測出的缺陷的映射數據等。
[0100]當返回到圖2繼續進行說明時，設置有與檢查單元30鄰接并搬出缺陷檢查結束的光學玻璃母材Gl的搬出單元40。
[0101]傳感器42檢測光學玻璃母材Gl的位置。搬出部41將光學玻璃母材Gl輸送到下
一工序。
[0102]這樣，從圖2可知，在光學玻璃母材Gl的缺陷檢查結束的狀態下，從玻璃母材制造單元10的退火窯端部11送出另一光學玻璃母材G3。而且，在檢查單元30中，進行著又一光學玻璃母材G2的檢查。
[0103]如上所述，根據本實施方式，能夠24小時地進行全數檢查。并且，能夠提前反饋至內部品質的制造工序。其結果是，能夠制造出品質提高的光學玻璃母材。
[0104]在此，在本說明書中，反饋是指驗證與玻璃母材的缺陷有關的監視結果以及根據不同的情況對它們進行統計得到的數據，并反映到玻璃母材的熔解階段的各種參數的調整中。
[0105]另外，與以往的抽樣感官檢查不同，能夠對全數進行可靠的檢查。其結果是，能夠防止由漏看缺陷導致流出品質不良品。除此以外，能夠減少人事費，不會由流出品質不良品導致需要增加檢查者。
[0106]接著，說明第二實施方式所涉及的光學玻璃母材缺陷檢查方法。圖3是說明本實施方式的過程的流程圖。
[0107]在步驟SlOl中，退火窯端部11的作業人員對光學玻璃母材缺陷檢查裝置100的計算機終端輸入光學玻璃母材的信息(厚度、制造編號等)。例如能夠將觸摸面板使用于輸入。
[0108]在步驟S102中，作業人員在退火窯端部11中以Im為單位切斷光學玻璃母材Gl。而且，以橫跨退火窯端部11的搬出口的帶式輸送機(玻璃給送部21)與檢查單元30的輸送部31的方式載置光學玻璃母材Gl。
[0109]另外，切斷的單位不特別進行限定。能夠按照每個規定單位的長度來進行檢查。通常，優選以0.5m?2m的范圍進行切斷。
[0110]在步驟S103中，光源驅動部34將光源部33b驅動至退避位置。
[0111]在步驟S104中，將光學玻璃母材Gl進行輸送并載置在檢查單元30上。
[0112]在步驟S105中，由第二傳感器32檢測光學玻璃母材Gl的位置。根據來自第二傳感器32的第二輸出信號來將光源部33a驅動至照射位置。
[0113]在步驟S106中，當被退火窯端部11的帶式輸送機推出的光學玻璃母材Gl到達檢查單元30的第二傳感器32的檢測區域時，如在第一實施方式中說明的那樣，在檢查單元30中對光學玻璃母材Gl的表面、內部中的至少一方的缺陷進行檢測。
[0114]在此，進行與Im長度的玻璃母材的厚度匹配的次數的掃描(例如Imm間距)。
[0115]在步驟S107中，判斷控制部35根據檢查數據來判斷是否存在缺陷。
[0116]在步驟S108中，根據需要進行標記。
[0117]在步驟S109中，作業人員在監視器上確認檢查結果。而且，將輸送到搬出單元40的玻璃移動到托盤上。
[0118]在步驟SllO中，判斷控制部35根據規定的判斷基準反饋與缺陷有關的信息。
[0119]這樣，在檢查工序中，以在線方式從自動檢查結果確認檢查者必須檢查的部分。另外，在檢查工序中，也可以檢查員僅對難度高的檢查內容的部分以目視的方式進行判斷。
[0120]根據本實施方式，能夠24小時地進行全數檢查。并且，能夠提前反饋至內部品質的制造工序。其結果是，能夠制造出品質提高的光學玻璃母材。
[0121]另外，與以往的抽樣感官檢查不同，能夠對全數進行可靠的檢查。其結果是，能夠防止由漏看缺陷導致流出品質不良品。除此以外，能夠減少人事費，不會由流出品質不良品導致需要增加檢查者。
[0122]產業h的可利用件
[0123]如上所述，本發明所涉及的光學玻璃母材缺陷檢查裝置以及光學玻璃母材缺陷檢查方法不需要感官檢查而有用于準確且迅速地檢查全數的情況。
【權利要求】
1.一種光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，至少具有載置光學玻璃母材的檢查單元， 上述檢查單元具有: 光源部，其對上述光學玻璃母材的內部照射光； 攝像部，其對被來自上述光源部的光照射的上述光學玻璃母材的內部和表面中的至少一方進行拍攝；以及 判斷控制部，其根據來自上述攝像部的圖像信號來判斷與上述光學玻璃母材的內部和表面中的至少一方的缺陷有關的信息。
2.根據權利要求1所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 還具有輸送單兀，該輸送單兀具有第一傳感器，并根據來自第一傳感器的第一輸出信號向規定的方向輸送上述光學玻璃母材，其中，該第一傳感器識別從玻璃母材制造單兀的退火窯端部送出的光學玻璃母材的送出狀態。
3.根據權利要求2所述的 光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述輸送單兀根據來自上述第一傳感器的上述第一輸出信號，通過玻璃給送部將上述光學玻璃母材輸送到上述檢查單兀。
4.根據權利要求1~3中的任一項所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述檢查單元還具有第二傳感器，該第二傳感器對上述光學玻璃母材在上述檢查單元上的位置進行檢測，并輸出第二輸出信號。
5.根據權利要求4所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述檢查單元還具有光源驅動部， 上述光源驅動部根據上述第二傳感器的檢測結果，將上述光源部驅動至上述檢查單元上的向上述光學玻璃母材照射光的照射位置和從上述光學玻璃母材的輸送通道退避的退避位置中的某一個位置。
6.根據權利要求5所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述第二傳感器在輸送過來的上述光學玻璃母材載置在上述檢查單元上的規定位置時輸出第二輸出信號， 上述光源驅動部根據上述第二輸出信號將上述光源部驅動至照射位置，向上述光學玻璃母材照射光。
7.根據權利要求1~6中的任一項所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述檢查單元還具有攝像用驅動部， 上述攝像用驅動部使上述攝像部與所載置的上述光學玻璃母材的相對距離發生變化，從由上述光源部進行照射的上述光學玻璃母材的表面至背面在規定的面積上進行掃描及攝像。
8.根據權利要求1~7中的任一項所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 在上述檢查單元的與拍攝上述光學玻璃母材的一側相反的一側的面設置遮光構件。
9.根據權利要求1~8中的任一項所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述檢查單元還具有標記部， 上述標記部對由上述判斷控制部基于拍攝到的圖像信息判斷為缺陷的部分的上述光學玻璃母材的表面進行標記。
10.根據權利要求1~9中的任一項所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 能夠向與上述光學玻璃母材的制造相關聯的裝置反饋與由上述判斷控制部判斷出的缺陷有關的信息。
11.根據權利要求1~10中的任一項所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述光源部為電燈泡、突光燈、發光二極管或激光光源，上述光源部射出的光的波長為紫外光、可見光、紅外光中的任一個。
12.根據權利要求1~11中的任一項所述的光學玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 還具有搬出單元，該搬出單元與上述檢查單元鄰接，搬出缺陷檢查結束的上述光學玻璃母材。
13.—種光學玻璃母材缺陷檢查方法,其特征在于，至少包括對所輸送的光學玻璃母材進行檢查的檢查工序， 上述檢查工序包括以下工序: 光照射工序，對上述光學玻璃母材的內部照射光； 攝像工序，對所照射的上述光學玻璃母材的表面與內部中的至少一方進行拍攝；以及判斷控制工序，根據在上述攝像工序得到的圖像信號來判斷與上述光學玻璃母材的缺陷有關的信息。
14.根據權利要求13所述的光學玻璃母材缺陷檢查方法，其特征在于， 還包括輸送工序，在該輸送`工序中根據作為母材的光學玻璃母材的輸送狀態向規定的方向輸送上述光學玻璃母材。
【文檔編號】G01N21/958GK103792242SQ201310533665
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2013年10月31日 優先權日:2012年10月31日
【發明者】金光康中, 杉方稔 申請人:株式會社小原