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微觀裝置的制造(zao)及其處理技(ji)術
  • MEMS劃膠貼片工藝及封裝底板的制作方法
    本發明涉及mems封裝，特別涉及一種mems劃膠貼片工藝及封裝底板。、mems的英文全稱為micro-electro-mechanical?system，中文名稱為微機電系統，是指尺寸在幾毫米甚至更小的高科技裝置，其內部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統。mems技術因具有微...
  • MEMS結構和制造MEMS結構的方法與流程
    本公開內容涉及微機電裝置，并且更具體地，涉及在面內方向上電容性地檢測或致動運動的微機電裝置。、術語微機電系統(mems)在這里指的是使用半導體微加工技術制造的小型化元件。mems元件的機械尺寸通常在從低于一微米至幾毫米的值的范圍內。mems包括機械或機電元件，其被配置成響應于檢測到的現象來...
  • 一種光驅動液體彈珠的方法
    本發明涉及一種光驅動液體彈珠的方法，具體是一種利用激光輻照旋涂tiopc的ito玻璃，產生的不均勻空間電場與液體彈珠之間的相互作用，從而實現液體彈珠在二維平面內的移動，也可以實現對液體彈珠的形貌改變。、微型系統中小體積液體的運動控制具有重要意義，在微流體、微型機器人、生物醫藥等方面擁有廣闊...
  • 封裝結構的制作方法
    本申請涉及微機電系統，具體涉及一種封裝結構。、微機電系統(micro-electro-mechanical?system，mems)，也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統是集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、...
  • 一種體結構MEMS紅外光源及其制造方法
    本發明屬于光電，具體涉及一種可靠性提升的體結構mems紅外光源，特指一種體結構mems紅外光源及其制造方法。、紅外傳感技術已經被廣泛應用于大氣質量檢測、溫度監控、工業過程控制、空間監控、信息通信、醫學及軍事等領域。紅外光源是紅外傳感技術的重要元件，常用的發光波長為-微米以及-微米。傳統熱輻...
  • 一種集成超透鏡的紅外探測器及其制作方法與流程
    本發明涉及紅外探測器，具體涉及一種集成超透鏡的紅外探測器及其制作方法。、紅外探測器廣泛應用于感知、測溫、成像等領域中。目前，紅外探測器一般僅靠像元結構上的橋面膜層對紅外進行吸收，吸收率有限，且傳統的封裝形式是將芯片與單獨的窗口一起進行陶瓷或者金屬封裝，集成度低，器件成本高尺寸大，不利于低成...
  • MEMS工藝犧牲層的去除方法與流程
    本公開涉及半導體領域，更具體地涉及一種mems工藝犧牲層的去除方法。、微機電系統(mems)是微電子技術與機械、光學等領域交叉融合的產物，是在ic工藝技術基礎上的延伸和拓展，犧牲層技術作為mems的關鍵技術之一，是利用不同材料在同一種腐蝕液或刻蝕氣體中腐蝕速率的差異，選擇性地將結構圖形與襯...
  • 一種基于鐃鈸結構的MEMS傳感器的制作方法
    本發明涉及mems傳感器的，尤其涉及一種基于鐃鈸結構的mems傳感器。、目前，mems(micro-electro-mechanical?system，微電子機械系統)技術取得了飛速的發展，mems器件在結構上具有尺寸小、厚度薄等特點，產品可批量生產，全自動化組裝具有成本優勢，很多宏觀上的...
  • MEMS空腔結構的制備方法與流程
    本發明涉及半導體領域，特別是涉及一種mems空腔結構的制備方法。、mems壓力傳感器在汽車工業、醫療設備、物聯網等領域被廣泛應用。、目前的mems壓力傳感器需要制備一定的空腔結構，傳統的mems工藝通常分別對兩片晶圓進行圖案化蝕刻，于兩片晶圓中均形成對應的凹槽，再對兩片晶圓進行鍵合處理，以...
  • 一種厚金屬圖形化的制備方法與流程
    本發明涉及微機電系統的，尤其是涉及一種厚金屬圖形化的制備方法。、近年來，各類技術穩健地向著智能化方向邁進，大力地推動了微機電系統的快速發展，部分mems工藝結構越來越復雜，越老越多的深坑結構出現，帶來的便是需要厚金屬沉積后進行圖形化工藝，便于金屬連通及真空腔制備。現有厚金屬制備工藝大多采用...
  • 具有內嵌磁性材料的載板的制作方法
    本發明涉及一種載板，特別是涉及一種具有內嵌磁性材料的載板。、在電子電路或通訊領域中，其電子產品常需利用載板整合如電阻、電容或電感等被動元件來達成特定性能需求或改善其輸出特性，其中，通過在載板上設置磁性材料所構成的電感結構，可用來降低雜訊或抗電磁輻射。、一般微機電中常用載板需求如微機電系統光...
  • 一種基于鐃鈸結構的MEMS傳感器的制備方法及其封裝方法與流程
    本發明涉及mems傳感器的，尤其涉及一種基于鐃鈸結構的mems傳感器的制備方法及其封裝方法。、目前，mems(micro-electro-mechanical?system，微電子機械系統)技術取得了飛速的發展，mems器件在結構上具有尺寸小、厚度薄等特點，產品可批量生產，全自動化組裝具有...
  • 用于制造微電子機械結構元件的方法與流程
    本發明涉及一種用于制造微電子機械結構元件的方法。、從現有技術中已知用于制造微電子機械結構元件的方法。技術實現思路、本發明的任務在于，給出一種改進的用于制造微電子機械結構元件的方法。該任務通過具有獨立權利要求的特征的用于制造微電子機械結構元件的方法來解決。在從屬權利要求中給出有利的擴展方案。...
  • MEMS器件以及MEMS器件的制造工藝的制作方法
    本公開涉及一種mems器件，尤其是反射鏡型mems器件，其具有對mems器件的可變形結構的變形的改善檢測，并且涉及一種用于mems器件的制造工藝。具體來說，本公開涉及一種mems器件，其包括可變形結構，所述可變形結構包括用于控制所述可變形結構的變形的壓電致動器和用于改善對所述可變形結構的變形的檢測...
  • MEMS器件和制造MEMS器件的方法與流程
    本發明涉及mems器件和生產mems器件的方法。更具體地，本發明涉及包括兩個器件層的mems器件和用于制造雙層mems器件的方法。、使用硅基技術制造的微機電系統(mems)器件是廣泛的。mems器件的典型應用是慣性傳感器，其檢測加速度和角速度中的至少一個。該類型的mems器件廣泛用于消費、...
  • Z軸檢測的三明治MEMS加速度計及其制備方法
    本發明涉及傳感器，尤其涉及一種z軸檢測的三明治mems加速度計及其制備方法。、電容式加速度計就是運用微機電系統(mems，micro-electro-mechanicalsystem)技術研發出來的典型微傳感器，它的用途非常廣泛。電容式mems加速度計利用質量塊來代替電容結構中的可動極板，...
  • MEMS超聲傳感器、制備方法及超聲檢測裝置與流程
    本申請涉及傳感器，具體而言，涉及一種mems超聲傳感器、制備方法及超聲檢測裝置。、mems超聲傳感器通常用si的薄膜作為發射和接收超聲信號的膜片。、現有的mems超聲傳感器，薄膜越薄靈敏度越高。然而，薄膜減薄雖然可以提高靈敏度，但薄膜的力學性能也會降低，這就會導致傳感器可靠性變差。技術實現...
  • 一種封裝的室溫氣體間隙傳感元件與制備方法
    本發明屬于測量，特別涉及到氣體間隙傳感器的制備。、在實際工業監測現場，會存在惡劣的條件，如粉塵、濺水、易燃易爆等，對于傳統的氣體傳感器存在巨大的挑戰，粉塵和濺水會直接導致氣體傳感器敏感元件的失靈和短路，半導體式氣體傳感器、燃燒式氣體傳感器的高溫極易引起爆燃，因此亟需一種能夠在惡劣條件下工作...
  • 一種環境濕度調控限域空間的方法及在分子組裝中的應用
    本發明涉及微納加工以及分子組裝領域，具體涉及一種環境濕度調控限域空間的方法及在分子組裝中的應用。、微納器件的進一步功能化和集成化是微納加工領域的發展趨勢，其中通過有機分子的溶液加工來實現功能化與圖案化是一種具有廣闊前景的方法。為了實現這些目標，需要采用有機功能分子來實現器件的功能化；需要通...
  • 一種具有鏡面加熱測溫的MEMS微鏡的制作方法
    本技術涉及一種mems微鏡，尤其是一種具有鏡面加熱測溫的mems微鏡。、結構光d測量技術在工業檢測、三維恢復、工業機器人、物流篩檢領域有廣闊的應用。mems微鏡結構光是一種基于mems微鏡技術的結構光設備，通過匹配mems微鏡的運動，控制激光的開斷實現結構光的投射，然后使用相機采集結構光的...
技(ji)術分類