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微觀(guan)裝(zhuang)置的(de)制造及其處理技術
  • 低應力的MEMS傳感器封裝結構的制作方法
    本技術涉及一種mems芯片封裝技術，尤其涉及一種針對mems芯片減低殘余應力影響的封裝結構。、mems芯片是指微機電系統（micro-electro-mechanical?systems）芯片，也被稱為微機電系統集成電路。它通過微納制造技術將微小的機械部件制造在芯片表面上，并與電路元件相互...
  • MEMS器件的制作方法以及MEMS器件與流程
    本申請涉及半導體，具體而言，涉及一種mems器件的制作方法以及mems器件。、作為濾波器芯片的mems(micro?electro?mechanical?system，微機電系統)器件，需要在最后一步把犧牲層材料去除，該過程稱為釋放工藝。為了阻擋不需要被腐蝕的區域，會設置阻擋層。現有技術中...
  • 點啄式微納表面處理裝置
    本發明涉及表面處理裝置，具體涉及點啄式微納表面處理裝置。、現有的微納精密表面處理加工時由于受限于現有的加工方式的影響，存在以下幾點問題：、、在進行微納精密表面處理加工時受到加工時所產生熱量的影響導致加工工件的微觀形貌將隨溫度的變化而變化難以準確控制，需要后續處理增加成本導致生產效率低下；、...
  • 多電子束發射陣列芯片及其制備方法與流程
    本發明涉及電子束曝光的，特別是多電子束發射陣列芯片及其制備方法的。、、納米級集成電路生產中常用的多電子束曝光裝置是一種可產生聚焦電子束并控制電子束按照電路設計的版圖直寫的光刻掩模板或者半導體晶圓的電子束光刻核心生產設備。其工作原理類似于掃描電子顯微鏡，通常包括用于產生聚焦電...
  • 一種四分區自檢測流量傳感器芯片的制備方法與流程
    本發明涉及流量傳感器，尤其是指一種四分區自檢測流量傳感器芯片的制備方法。、熱式流量傳感器是通過給加熱電阻進行恒壓供電，根據不同流速下，上下游的測溫元件反應的溫度差來進行流量的測量。其測溫電阻種類的不同又可以分為熱敏電阻式流量傳感器和熱電堆式流量傳感器。測溫元件又分為熱敏電阻與熱電堆兩類。熱...
  • 一種基于懸浮二維薄膜的電容式氣壓傳感器及其制備方法
    本發明屬于微納傳感器制造領域，具體涉及一種基于懸浮二維薄膜的電容式氣壓傳感器及其制備方法。、mems氣壓傳感器常用于高度計、氣壓計、氣體控制、室內導航、工業控制等，其應用領域涉及到航空、航天、航海、軍用武器、工業過程檢測與控制、汽車、消費電子、可穿戴設備、物聯網等。我國mems氣壓傳感器的...
  • 一種納米薄膜芯體封裝工藝及制造方法與流程
    本發明涉及壓力傳感器，尤其涉及一種納米薄膜芯體封裝工藝及制造方法。、納米薄膜壓力傳感器是壓力傳感器領域的前沿技術，目前大多數壓力傳感器主要是應變片、擴散硅芯體等封裝而成，存在長期穩定性差，測量使用溫度范圍窄（-°c～°c），回復性較差等問題。、納米薄膜濺射技術是壓力傳感器領域的新星技術，它...
  • 一種基于雙懸臂梁結構的靜電調諧紅外濾波器及其制備方法
    本發明涉及紅外探測領域，具體涉及一種基于雙懸臂梁結構的靜電驅動調諧紅外濾波器及其制備方法，針對現有單懸臂結構彈性形變區域位移量有限，高電壓偏置下存在引線燒斷、橋面坍塌、懸臂斷裂、器件擊穿等風險，通過采用雙懸臂梁結構，可在同等電壓偏置下大幅度提高懸臂橋面位移，提高器件使用壽命及穩定性，并詳細介紹了器...
  • 一種微型化溫鹽集成芯片
    本發明涉及海洋溫度和鹽度測量，具體涉及一種微型化溫鹽集成芯片。、溫度和鹽度是海洋、淡水環境以及工業過程中重要的物理參數。準確測量這些參數對于環境監測、海洋科學研究、工業生產等領域具有重要意義。但是，目前傳統的溫鹽測量設備往往體積龐大、價格昂貴，且不易實現實時監測和數據分析。因此，開發一種小...
  • 一種傳感器封裝結構及其制造方法與流程
    本發明屬于半導體封裝，具體為一種傳感器封裝結構及其制造方法。、隨著半導體技術的不斷發展，傳感器芯片的封裝技術逐漸換代，以適應更高速、更高密度的集成電路需求，隨著全球電子產品需求的增長，半導體封裝行業市場規模不斷擴大。為了滿足不同領域和不同類型芯片的需求，半導體封裝行業采用了多種封裝技術，、...
  • 一種花苞狀納米結構的制備方法及花苞狀納米結構模板與流程
    本發明涉及納米結構，尤其涉及一種花苞狀納米結構的制備方法及花苞狀納米結構模板。、納米結構是以納米尺度的物質單元為基礎按一定規律構筑或營造的一種新體系。隨著科技的發展，納米材料的種類越來越豐富，如納米管、納米纖維、納米棒、納米線、納米顆粒、納米錐和納米片等。在這些納米材料中，花苞狀d納米結構...
  • 一種流量傳感器及其制備方法與流程
    本發明涉及傳感器，具體涉及一種流量傳感器及其制備方法。、現有技術mems領域的流量傳感器通常為熱式流量傳感器，一般由一個加熱電阻形成熱源，上下游由各兩個熱阻形成流量檢測的檢測電阻，后端組成惠斯通電橋用以檢測，如圖所示，之后還有溫度檢測電阻檢測環境溫度，用來補償惡劣溫度環境對傳感器的影響。、...
  • 一種PDDA-PANI/MEMS復合濕度傳感器及其制備方法
    本發明屬于濕度傳感，具體涉及一種pdda-pani/mems復合濕度傳感器及其制備方法。、近年來，隨著可穿戴電子技術的快速發展，許多柔性傳感器被制備并集成到智能醫療監測終端等領域。其中在重要的非接觸式人體呼吸監測應用方面，濕度傳感器因其高精度、方便性和強可靠性成為突出的解決方案。但是傳統的...
  • 用于接合晶片阻擋層的結構和方法與流程
    本說明書大體上涉及半導體，且更具體地說，涉及用于接合晶片阻擋層的結構和方法。、接合晶片是一種將不同材料層接合在一起的封裝技術。所述層可包含玻璃層、中介件層和半導體層。半導體層包含被構造成制造集成電路的半導體組件。因此，接合晶片包含多個集成電路。在產生接合晶片之后，切割接合晶片以將多個集成電...
  • 互補式金氧半微機電壓力傳感器的制作方法與流程
    本發明是有涉及一種壓力傳感器的制作方法，且特別是有涉及一種互補式金氧半微機電壓力傳感器的制作方法。、在過去的三十年中，互補金屬氧化物半導體(cmos)已廣泛用于集成電路(ic)的制造。由于大量的研究人力和投入，集成電路的發展和創新取得了突飛猛進的發展，顯著提高了其可靠性和產量，同時，生產成...
  • 微機電系統的共振結構的制作方法
    本發明涉及一種結構，尤其涉及一種微機電系統的共振結構。、微機電系統(micro?electro?mechanical?system,mems)諧振器廣泛地應用于多種設備中，舉例來說，手表、或復雜的電信裝置等。換句話說，微機電系統諧振器是具有用來共振的結構、或是組件。現有微機電系統諧振器通常...
  • 微機械緊固元件的制造方法、制成微機械緊固元件的凹陷部的成形工具以及微機械緊固元件與流程
    本發明涉及微機械零件的制造。本發明更具體地涉及一種用于產生微機械緊固元件的凹陷部的成形工具、一種用于制造微機械緊固元件的方法以及一種微機械緊固元件。本發明在制表領域具有有利的應用。、在微機械領域，特別是在制表領域，組件的機械零件(例如鐘表機芯或表殼)的美觀性非常重要。特別地，必須控制構成組...
  • 一種壓力傳感器模組混合封裝結構及其點膠機構的制作方法
    本技術屬于敏感元件與傳感器，具體涉及一種壓力傳感器模組混合封裝結構及其點膠機構。、壓力傳感器是一種可以將外界壓力載荷信號轉化為電壓等電信號的裝置。mems(微機電系統)壓力傳感器因其可兼容ic(集成電路)加工工藝，故具有低成本、適用于大批量生產等優點，而被廣泛應用。、mems壓力傳感器產品...
  • 壓力傳感器及電子設備的制作方法
    本發明一般涉及傳感器，具體涉及一種壓力傳感器及電子設備。、隨著科技水平與物聯網技術的發展，越來越多的特征信息需要被數據化采集、研究。、其中，壓力就是眾多需要采集的特征信息中的一種，目前，在進行壓力采集時，有一種微型電子機械系統(micro?electro?mechanical?system...
  • 硅基微流道散熱器及其制備方法
    本申請涉及散熱裝置領域，尤其是涉及一種硅基微流道散熱器及其制備方法。、近年來，隨著g網絡的推出以及高性能計算的迅猛發展，電子芯片的功耗逐漸增加，導致其發熱量不斷上升。若不能及時散熱，芯片溫度將急劇升高，嚴重影響其可靠性。微流道散熱器是一種針對電子芯片散熱問題而提出的散熱元件，通過液冷散熱方...
技術分(fen)類