一種真空鍍膜設備觀察窗的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種真空鍍膜設備觀察窗。
【背景技術】
[0002]真空鍍膜設備主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。其中，在進行真空離子蒸發時，真空鍍膜設備的觀察窗多會伴隨著高溫，導致觀察窗變模糊，影響外部人員觀察，同時由于真空鍍膜設備的工作特性，幾乎很長時間內，不會停機，觀察窗透鏡的使用壽命會由于高溫影響，急劇縮短，如發生碎裂，會嚴重影響設備內部的真空度，進而影響鍍膜效果。
【實用新型內容】
[0003]針對上述問題，本實用新型提出了一種真空鍍膜設備觀察窗。
[0004]為解決以上技術問題，本實用新型提供的技術方案是:
[0005]一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，包括窗框、由強化玻璃制成的透鏡和透鏡固定框，所述透鏡設置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框通過螺栓固接；
[0006]所述窗框為中空結構，并呈圓環形，窗框內設有循環冷卻結構和遮板結構，所述循環冷卻結構包括循環通道、冷水進口和冷水出口，所述循環通道位于窗框內，呈圓環形，并與窗框同心設置，所述冷水進口和冷水出口分別對稱設置于窗框的上部和下部，并貫通循環通道，冷水進口和冷水出口處設有與窗框端面垂直的2個管接頭，所述遮板結構設置于窗框上部偏右側，包括轉動桿、遮板和把手，所述轉動桿水平自窗框上部偏右側貫穿窗框，包括固定部和轉動部，所述固定部位于窗框內，所述轉動部位于窗框外，所述把手與轉動部垂直固接，所述遮板通過螺栓與固定部固接；
[0007]所述窗框一側的端面上設有截面呈方形、整體呈圓環形的凹槽，所述凹槽內設有呈圓環形的密封膠圈，所述透鏡固定框呈圓環形，通過螺栓與窗框固接，透鏡與密封膠圈緊密貼合，透鏡固定框中部開有觀察口，上部和下部對稱設有呈圓弧形的管接頭缺口，供管接頭安裝用，所述觀察口呈圓形；
[0008]進一步的，所述轉動桿與窗框之間設有密封圈；
[0009]進一步的，所述窗框的外徑為D1，所述透鏡固定框的外徑為D2，所述D1:D2=l:0.7 ；
[0010]進一步的，所述透鏡呈圓形，其直徑為D3，所述透鏡固定框的內徑為D4，所述D3:D4=l:0.8 ；
[0011 ] 進一步的，所述把手外套合有硅橡膠隔熱套管。
[0012]本實用新型的有益效果為:
[0013]本實用新型提出的一種真空鍍膜設備觀察窗，其結構簡單，設計合理，具有耐高溫、密封好、使用壽命長的特點，冷水進口和冷水出口通過管接頭與冷卻水管理連接，對觀察窗整體進行不間斷的降溫，窗框與透鏡固定框連接穩固，密封良好，遮板設置于觀察窗靠內一側，可有效阻隔真空鍍膜設備內的離子外漏，在需要觀察時，拉動把手，即可實現遮板轉動，松下把手，遮板在重力作用下，自動歸位，把手外套合有硅橡膠隔熱套管，可阻隔熱量。
【附圖說明】
[0014]圖1本實用新型示意圖。
[0015]圖2A-A向剖視圖。
[0016]圖3B-B向剖視圖。
[0017]圖4C-C向剖視圖。
【具體實施方式】
[0018]一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，包括窗框1、由強化玻璃制成的透鏡2和透鏡固定框3，所述透鏡2設置于窗框1和透鏡固定框3之間，窗框1和透鏡固定框3通過螺栓固接；
[0019]所述窗框1為中空結構，并呈圓環形，窗框1內設有循環冷卻結構4和遮板結構5，所述循環冷卻結構4包括循環通道6、冷水進口 7和冷水出口 8，所述循環通道6位于窗框1內，呈圓環形，并與窗框1同心設置，所述冷水進口 7和冷水出口 8分別對稱設置于窗框1的上部和下部，并貫通循環通道6，冷水進口 7和冷水出口 8處設有與窗框端面垂直的2個管接頭9，所述遮板結構5設置于窗框1上部偏右側，包括轉動桿10、遮板11和把手12，所述轉動桿10水平自窗框1上部偏右側貫穿窗框1，包括固定部13和轉動部14，所述固定部13位于窗框1內，所述轉動部14位于窗框1外，所述把手12與轉動部14垂直固接，所述遮板11通過螺栓與固定部13固接；
[0020]所述窗框1 一側的端面上設有截面呈方形、整體呈圓環形的凹槽15，所述凹槽15內設有呈圓環形的密封膠圈16，所述透鏡固定框3呈圓環形，通過螺栓與窗框1固接，透鏡2與密封膠圈16緊密貼合，透鏡固定框3中部開有觀察口 17，上部和下部對稱設有呈圓弧形的管接頭缺口 18，供管接頭9安裝用，所述觀察口 17呈圓形；
[0021]其中，所述轉動桿10與窗框1之間設有密封圈19，所述窗框1的外徑為D1，所述透鏡固定框3的外徑為D2，所述D1:D2=1:0.7,所述透鏡2呈圓形，其直徑為D3，所述透鏡固定框3的內徑為D4，所述D3:D4=1:0.8，所述把手12外套合有硅橡膠隔熱套管20。
[0022]本實用新型提出的一種真空鍍膜設備觀察窗，其結構簡單，設計合理，具有耐高溫、密封好、使用壽命長的特點，冷水進口和冷水出口通過管接頭與冷卻水管理連接，對觀察窗整體進行不間斷的降溫，窗框與透鏡固定框連接穩固，密封良好，遮板設置于觀察窗靠內一側，可有效阻隔真空鍍膜設備內的離子外漏，在需要觀察時，拉動把手，即可實現遮板轉動，松下把手，遮板在重力作用下，自動歸位，把手外套合有硅橡膠隔熱套管，可阻隔熱量。
[0023]以上所述，僅為本實用新型較佳的【具體實施方式】，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍內。因此，本實用新型的保護范圍應該以權利要求書的保護范圍為準。
【主權項】
1.一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，包括窗框、由強化玻璃制成的透鏡和透鏡固定框，所述透鏡設置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框通過螺栓固接。2.如權利要求1所述的一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，所述窗框為中空結構，并呈圓環形，窗框內設有循環冷卻結構和遮板結構，所述循環冷卻結構包括循環通道、冷水進口和冷水出口，所述循環通道位于窗框內，呈圓環形，并與窗框同心設置，所述冷水進口和冷水出口分別對稱設置于窗框的上部和下部，并貫通循環通道，冷水進口和冷水出口處設有與窗框端面垂直的2個管接頭，所述遮板結構設置于窗框上部偏右側，包括轉動桿、遮板和把手，所述轉動桿水平自窗框上部偏右側貫穿窗框，包括固定部和轉動部，所述固定部位于窗框內，所述轉動部位于窗框外，所述把手與轉動部垂直固接，所述遮板通過螺栓與固定部固接。3.如權利要求1所述的一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，所述窗框一側的端面上設有截面呈方形、整體呈圓環形的凹槽，所述凹槽內設有呈圓環形的密封膠圈，所述透鏡固定框呈圓環形，通過螺栓與窗框固接，透鏡與密封膠圈緊密貼合，透鏡固定框中部開有觀察口，上部和下部對稱設有呈圓弧形的管接頭缺口，供管接頭安裝用，所述觀察口呈圓形。4.如權利要求2所述的一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，所述轉動桿與窗框之間設有密封圈。5.如權利要求1所述的一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，所述窗框的外徑為D1，所述透鏡固定框的外徑為D2，所述D1:D2=1:0.7。6.如權利要求1所述的一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，所述透鏡呈圓形，其直徑為D3，所述透鏡固定框的內徑為D4，所述D3:D4=1:0.8。7.如權利要求2所述的一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，所述把手外套合有硅橡膠隔熱套管。
【專利摘要】本實用新型提出的一種真空鍍膜設備觀察窗，包括窗框、由強化玻璃制成的透鏡和透鏡固定框，透鏡設置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框通過螺栓固接，窗框內設有循環冷卻結構和遮板結構，循環冷卻結構包括循環通道、冷水進口和冷水出口，遮板結構包括轉動桿、遮板和把手，冷水進口和冷水出口通過管接頭與冷卻水管理連接，對觀察窗整體進行不間斷的降溫，窗框與透鏡固定框連接穩固，密封良好，遮板設置于觀察窗靠內一側，可有效阻隔真空鍍膜設備內的離子外漏，在需要觀察時，拉動把手，即可實現遮板轉動，松下把手，遮板在重力作用下，自動歸位，把手外套合有硅橡膠隔熱套管，可阻隔熱量，具有耐高溫、密封好、使用壽命長的特點。
【IPC分類】C23C14/52
【公開號】CN205152325
【申請號】CN201520718566
【發明人】李亞軍
【申請人】鎮江超威納米科技有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2015年9月17日