一種低溫泵的氣體吸附裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及到一種低溫泵的氣體吸附裝置，其包括中心板（1），第一陣列排布冷傘片（2）、第二陣列排布冷傘片（20）、第三陣列排布冷傘片（21）、第四陣列排布冷傘片（22），所述第一陣列排布冷傘片（2）、第二陣列排布冷傘片（20）、第三陣列排布冷傘片（21）、第四陣列排布冷傘片（22）排列設置在中心板（1）的四周，并形成一個圓形或正多邊形結構，中心板（1）為圓板形。本實用新型的技術效果，提高氣體吸附裝置與氣體的接觸面積，有效的增加氣體的吸附效率，從而進一步提高低溫泵內的真空度。
【專利說明】
一種低溫泵的氣體吸附裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及到一種低溫栗，尤其涉及到一種低溫栗的氣體吸附裝置。【背景技術】
[0002]低溫栗是利用低溫表面冷凝氣體的真空栗，又稱冷凝栗。低溫栗可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。[〇〇〇3]在低溫栗內設有由液氦或制冷機冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結，并保持凝結物的蒸汽壓力低于栗的極限壓力，從而達到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。①低溫冷凝:氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時，冷板溫度必須低于25K;抽氫時， 冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達10毫米左右。②低溫吸附:氣體分子以一個單分子層厚(10-8厘米數量級)被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在20K時氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用20K的活性炭吸氫時吸附平衡壓力則低于10-8帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進行抽氣。③ 低溫捕集:在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。
[0004]一般說來，栗的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K 時，水的蒸氣壓已低于10-8帕。溫度為20K時，除氦、氖和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于10-8帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，栗的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對于室溫下的容器，低溫板為20K時，栗的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。
[0005]低溫栗的熱負載主要是氣體的凝結熱和周圍壁面對工作冷板的輻射熱。凝結熱與氣體種類有關，對于80K、133.322帕?升的氮氣冷凝在20K冷板上的凝結熱為0.3?0.6焦耳。工作冷板接受的輻射熱與周圍壁面板溫度和工作冷板溫度兩者的4次方之差成正比。因此，4.2K和20K工作冷板均用50?100K的冷板來屏蔽，以減少工作冷板所接受的輻射熱。
[0006]目前的低溫栗內置的氣體吸附裝置主要采用圓柱式氣體吸附裝置，但這種圓柱式氣體吸附裝置存在的缺點是與氣體的接觸面積較少，其接觸面積只有一個面，其不利于氣體的吸附。【實用新型內容】
[0007]為了解決現有氣體吸附裝置存在接觸面積較少的缺點，本實用新型提供一種低溫栗氣體吸附裝置。
[0008]為了實現上述的技術目的，本實用新型提供一種新型的低溫栗氣體吸附裝置，其包括中心板(1)、第一陣列排布冷傘片(2)、第二陣列排布冷傘片(20)、第三陣列排布冷傘片 (21)、第四陣列排布冷傘片(22)，所述第一陣列排布冷傘片(2)、第二陣列排布冷傘片(20)、 第三陣列排布冷傘片(21)、第四陣列排布冷傘片(22)排列設置在中心板(1)的四周，并形成圓形或正多邊形結構。
[0009]本實用新型的優選實施方案是，所述中心板為圓形板。
[0010]本實用新型的優選實施方案是，所述中心板為方形板。
[0011]本實用新型的優選實施方案是，所述第一陣列排布冷傘片、第二陣列排布冷傘片， 第三陣列排布冷傘片，第四陣列排布冷傘片上均包含至少兩塊冷傘片。
[0012]本實用新型的優選實施方案是，所述冷傘片包含第一傘片，第二傘片，第三傘片， 其中，第一傘片和第三傘片對稱的設置在第二傘片的兩側，所述第一傘片與第二傘片的夾角成120°。
[0013]本實用新型的優選實施方案是，所述冷傘片截面為圓弧形。
[0014]本實用新型的技術效果，提高氣體吸附裝置與氣體的接觸面積，有效的增加氣體的吸附效率，從而進一步的提高低溫栗內的真空度。【附圖說明】[0〇15]圖1為本實用新型的結構不意圖。【具體實施方式】
[0016]為了更清楚的敘述本實用新型的技術方案，下面結合附圖對本實用新型做進一步的說明。
[0017]圖1為本實用新型的結構示意圖，參照圖1所示，一種低溫栗氣體吸附裝置，其包括中心板1、第一陣列排布冷傘片2、第二陣列排布冷傘片20、第三陣列排布冷傘片21、第四陣列排布冷傘片22,其中，第一陣列排布冷傘片2、第二陣列排布冷傘片20、第三陣列排布冷傘片21、第四陣列排布冷傘片(22)排列設置在中心板(1)的周圍，并形成圓形或正多邊形結構。[0〇18]中心板1為方形板或圓形板，第一陣列排布冷傘片2、第二陣列排布冷傘片20、第三陣列排布冷傘片21、第四陣列排布冷傘片(22)均包含兩片以上的冷傘片(23)。第一陣列排布冷傘片2、第二陣列排布冷傘片20、第三陣列排布冷傘片21、第四陣列排布冷傘片(22)中相鄰兩個冷傘片(23)等距。
[0019]在本實用新型中，其中一種實施方式是冷傘片23的截面為圓弧形。
[0020]在本實用新型中，冷傘片23包括第一傘片10、第二傘片11、第三傘片12,其中，第一傘片10和第三傘片12對稱的設置在第二傘片11的兩側，所述第一傘片10與第二傘片11的夾角成120*3。每個冷傘片23上都粘有具有吸附功能的活性碳。
[0021]以上所述實施例僅表達了本實用新型的實施方式，其描述較為詳細，只要本領域的技術人員在查看到本實用新型的實施例后，不脫離本實用新型構思的前提下，所做的改變都屬于本實用新型的保護范圍。但本文所述的實施例不能理解為對本實用新型的保護范圍限制。
【主權項】
1.一種低溫栗的氣體吸附裝置，其特征在于，所述氣體吸附裝置包括中心板(1)、第一 陣列排布冷傘片(2)、第二陣列排布冷傘片(20)、第三陣列排布冷傘片(21)、第四陣列排布 冷傘片(22)，所述第一陣列排布冷傘片(2)、第二陣列排布冷傘片(20)、第三陣列排布冷傘 片(21)、第四陣列排布冷傘片(22)排列設置在中心板(1)的四周，并形成圓形或正多邊形結構。2.根據權利要求1所述的一種低溫栗的氣體吸附裝置，其特征在于，所述中心板(1)為 圓形板。3.根據權利要求1所述的一種低溫栗的氣體吸附裝置，其特征在于，所述第一陣列排布 冷傘片(2)、第二陣列排布冷傘片(20)、第三陣列排布冷傘片(21)、第四陣列排布冷傘片 (22)上均包含至少兩塊冷傘片(23)。4.根據權利要求3所述的一種低溫栗的氣體吸附裝置，其特征在于，所述冷傘片(23)包 含第一傘片(10)、第二傘片(11)、第三傘片(12)，其中，第一傘片(10)和第三傘片(12)對稱 的設置在第二傘片(11)的兩側，所述第一傘片(10)與第二傘片(11)的夾角成120%5.根據權利要求3所述的一種低溫栗的氣體吸附裝置，其特征在于，所述冷傘片(23) 為圓弧形。
【文檔編號】F04B37/08GK205638848SQ201620219383
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年3月22日
【發明人】毛文瑞
【申請人】上海優拓低溫技術有限公司