彈性表面波裝置的制造方法
【技術領域】
[0001 ] 本發明涉及由基板、支承構件和外罩構件形成中空部的彈性表面波裝置。
【背景技術】
[0002]過去，在諧振器、帶通濾波器等中廣泛使用彈性表面波裝置。為了謀求彈性表面波裝置的小型化，推進晶圓級封裝化。在下述的專利文獻I中，公開了晶圓級封裝化的彈性表面波裝置。
[0003]在專利文獻I所記載的彈性表面波裝置中，在壓電基板上形成IDT電極以及布線電極。包圍IDT電極、布線電極地在壓電基板上設置支承構件。并且，用蓋件密封支承構件的上方開口部。由此設置密封的中空部分。為了謀求小型化，在布線電極設置一方的布線和另一方的布線隔著絕緣膜交叉的立體交叉部。在專利文獻I中，由聚酰亞胺形成立體交叉部的絕緣膜。另一方面，上述支承構件由與聚酰亞胺不同的樹脂形成。
[0004]另外，在下述的專利文獻2和專利文獻3中，也公開了設于布線電極的立體交叉部分的絕緣膜和支承構件由不同的材料構成的彈性表面波裝置。進而示出不在立體交叉部分上配置支承構件的結構。
[0005]先行技術文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻1:JP特開號公報
[0008]專利文獻2:W0/2009/116222
[0009]專利文獻3:TO/2011/087018
[0010]發明的概要
[0011]發明要解決的課題
[0012]在現有的彈性表面波裝置中，用在立體交叉部中的絕緣膜、和支承構件用不同的樹脂形成考慮出于以下的理由。
[0013]立體交叉部的絕緣膜的厚度通常為I?3 μπι程度。另一方面，支承構件的厚度為了形成中空結構而比較大，大到10 μπι以上。因此，由于厚度差異較大，因此認為難以在同一工藝中用同一材料形成絕緣膜和支承構件。為此，制造工序煩雜而成本高企。

【發明內容】

[0014]本發明的目的在于，提供具有絕緣膜以及支承構件、能達成制造工序的簡化以及成本的減低的彈性表面波裝置。
[0015]用于解決課題的手段
[0016]本發明所涉及的彈性表面波裝置具備:基板、功能電極部、布線電極、絕緣膜、支承構件、和外罩構件。功能電極部形成在基板上，具有至少I個IDT電極。布線電極與功能電極部連接，且形成在上述基板上。
[0017]在布線電極的一部分與基板間設置所述絕緣膜。另外，所述支承構件設置在基板上，包圍功能電極部、和布線電極的至少一部分而設。外罩構件和支承構件一起形成讓功能電極部位于內部的中空部。在本發明中，支承構件的厚度厚于絕緣膜的厚度，且絕緣膜和支承構件由同一材料構成。
[0018]在本發明所涉及的彈性表面波裝置的某特定的局面下，所述布線電極包含第I布線電極和第2布線電極，存在第I布線電極與第2布線電極立體交叉的立體交叉部，在該立體交叉部，在所述第2布線電極的上方的至少一部分存在所述支承構件，在所述立體交叉部，所述絕緣膜位于第2布線電極的下方，所述第I布線電極位于所述絕緣膜的下方。
[0019]在本發明所涉及的彈性表面波裝置的其它特定的局面下，所述立體交叉部設置在所述支承構件的內部。
[0020]在本發明所涉及的彈性表面波裝置的其它特定的局面下，俯視觀察所述基板，所述布線電極與所述絕緣膜重合的層疊部設置在所述支承構件的內部。
[0021]在本發明所涉及的彈性表面波裝置的其它特定的局面下，在設置所述支承構件的內部的所述立體交叉部，所述布線電極包含寬度細于該立體交叉部內部的剩下的布線電極部分的寬度的部分。
[0022]在本發明所涉及的彈性表面波裝置的其它特定的局面下，在設于所述支承構件的內部的所述層疊部，所述布線電極包含寬度細于該層疊部內部的剩下的布線電極部分的寬度的部分。
[0023]在本發明所涉及的彈性表面波裝置中，優選地，所述絕緣膜以及所述支承構件由合成樹脂構成。
[0024]在本發明所涉及的彈性表面波裝置中，更優選地，所述合成樹脂是光固化性聚酰亞胺的固化物。
[0025]在本發明所涉及的彈性表面波裝置中，更優選地，所述合成樹脂是熱固化性聚酰亞胺的固化物。
[0026]在本發明所涉及的彈性表面波裝置中，也可以IDT電極包含AlCu外延膜。
[0027]發明的效果
[0028]在本發明所涉及的彈性表面波裝置中，由于上述支承構件和絕緣膜由同一材料構成，因此能以相同的工藝形成支承構件和絕緣膜。因此，能達成制造工序的簡化，且能達成成本的減低。
【附圖說明】
[0029]圖1 (a)、圖1 (b)是表示在發明的第I實施方式的彈性表面波裝置的制造方法中在基板上形成功能電極部、布線電極以及層疊于布線電極的一部分的絕緣膜的狀態的示意俯視圖，圖1(b)是沿著圖1(a)中的B-B線的部分的放大截面圖。
[0030]圖2(a)是表示在圖1(a)所示的結構中在絕緣膜上形成布線電極的狀態的俯視圖，、圖2(b)是相當于沿著圖2(a)中的Bl-Bl線的部分的截面圖。
[0031]圖3(a)是表示在圖2(a)所示的結構上形成支承構件的狀態的示意俯視圖，圖3(b)是其主要部分的放大截面圖。
[0032]圖4是在本發明的第I實施方式的彈性表面波裝置形成外罩構件的部分的截面圖。
[0033]圖5是相當于圖3(a)的Cl-Cl線的外罩構件賦予后的截面圖，是在本發明的第I實施方式的彈性表面波裝置中在立體交叉部上設置支承構件的部分的截面圖。
[0034]圖6是用于說明本發明的第2實施方式的彈性表面波裝置的制造方法的示意俯視圖。
[0035]圖7是表示在本發明的第2實施方式中形成絕緣膜的狀態的示意俯視圖。
[0036]圖8是表示在本發明的第2實施方式中形成至于絕緣膜上的布線電極的狀態的示意俯視圖。
[0037]圖9是表示在支承構件內設置有層疊部的結構的橫截面圖。
【具體實施方式】
[0038]以下參考附圖來說明本發明的具體的實施方式，由此闡明本發明。
[0039]參考圖1 (a)以及(b)?圖5來具體說明本發明的第I實施方式所涉及的彈性表面波裝置的制造方法以及彈性表面波裝置的結構。在本發明的彈性表面波裝置的制造時，首先準備壓電基板作為基板。在本實施方式中，作為壓電基板使用LiTaO3基板。然而也可以使用由其它壓電材料構成的壓電基板。另外，壓電基板包括在非壓電材料所構成的載體的主面形成由壓電材料構成的薄膜的構成。
[0040]如圖1 (a)所示那樣，在上述壓電基板I的主面上形成包含IDT電極的功能電極部2、3。功能電極部2、3在圖1(a)中僅概率地示出其位置。實際上，在本實施方式中，功能電極部2具有IDT電極、和在彈性波的傳播方向上在設置有IDT電極的兩側設置的反射器電極。功能電極部3也具有同樣的構成。在本實施方式中，通過將功能電極部2、3電連接來構成平衡型的彈性表面波濾波器。
[0041]在本發明中，所謂功能電極部，是指激振彈性表面波、取出基于該彈性表面波的電特性的電極部分。在功能電極部取出的電特性以及電極的形態并沒有特別的限定，只要功能電極部構成不平衡型的彈性表面波濾波器即可，只要具有至少I個IDT電極即可。在圖1中，多個功能電極部2、3構成以I對級間布線2級縱聯連接的縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器。另外，功能電極部并不限定于形成2級縱聯連接的縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器。例如功能電極部也可以形成梯型彈性表面波濾波器。
[0042]和上述功能電極部2、3的形成同時形成第I布線電極4。第I布線電極4與上述功能電極部2、