固晶夾具的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一固晶夾具，適用于固定半導體以供相匹配的固晶機固晶，在固晶或排布芯片時可調節載板圖案的X、Y軸方向與固晶機系統X、Y軸方向一致，提高了在載板上固晶或排片的位置精度；同時夾具對載板設計有緩沖作用，可減小固晶或排片時載板的左右移動，保證固晶或排片過程的穩定。
【專利說明】
固晶夾具
技術領域
[0001]本實用新型涉及封裝用夾具領域，特別涉及一種在固晶或排布芯片時可調節載板固定方向，從而提高載板上固晶或排片的位置精度，并且還可以具有緩沖作用，以保證固晶或排片過程穩定性，且通用性廣泛的固晶夾具及其使用方法。
【背景技術】
[0002]在半導體的封裝過程中，固晶是其中最主要的環節之一。對于像是已采用晶片直接封裝(COB ,Chip on Board)法將裸晶片直接接著于電路板或基板的半導體器件，在欲接續進行固晶時，常是由作業人員先逐一將這些COB基板置于固晶機上并以夾具固定后進行。固晶完成后，再由作業人員逐一將這些⑶B基板由作業平臺上取下，以換上下一批進行固晶。在這個過程中，用于固定COB基板的夾具是否利于快速、精準地取放COB基板，以及是否具備高通用性以適應各種尺寸和形式的COB基板便成為能顯著影響生產效能，甚至影響產品良率的關鍵之一。也因此，現有的固晶夾具往往由提高通用性和生產效率的兩方面為出發進行設計。
[0003]其中，習知技術像是專利CN203085645U公布的一種固晶機夾具，包括拖板和蓋板，拖板上設有一個用于放置多個圓形COB基板的空腔，蓋板上設有與空腔尺寸相匹配的橢圓開口組，相鄰的橢圓開口之間設有壓條來固定基板。其優點在于可以同時容置多個圓形的COB基板，并透過壓條固定基板，從而提高基板被固定時的穩定性。然而，此種作法除了僅適用于符合該圓形空腔的COB基板，以至于通用性不佳外，其采用壓條固定的作法也僅具有事后固定的效果，無助于基板置入時的排布，換言之，倘若基板歪斜，該歪斜的基板仍將被壓條壓住固定。
[0004]此外，習知技術像是專利CN201466014U所公開的一種用于固晶帶引腳線路板的夾具，包括一矩形的夾具框和設置在該夾具框上的多個夾具條，夾具條之間相互平行間隔設置并在一側鑲嵌有永久磁塊，在永久磁塊的一側設置一可磁吸的的夾片，用于夾緊安插在線路板上待固晶晶元的引腳。或像是專利CN202308024U和CN203150533U所揭露的，藉由設置多條平行并列的壓條或壓框來固定待固晶的基板的夾具，其壓條或壓框為活動式，因此具備良好的通用性。但可惜的是，其固定方式仍采用由上往下壓的作法，因此對于歪斜的基板并無矯正作用，也不易確保基板被精確固定于特定位置。
[0005]為此習知技術像是專利CN203288571U公開了一種LED封裝設備固晶機的通用⑶B夾具結構，其包括夾具底板、左擋板和右擋板，左擋板定位固定在夾具底板上，右擋板通過設置在擋板上的兩排螺絲孔可調，因此可以適用于對不同型號COB支架的固定，使用靈活方便，擋板為鋸齒狀擋板，固定較為穩固。而類似的習知技術像是專利CN202549908U采用相同原理，主要通過導柱上的彈簧控制穿過導柱的左右兩邊的活動擋板以及中間的可調擋板來固定PCB板。然而，這些夾具只限于賦予固定載板在功能上有一定的通用性，并提高使用效率，但在固晶的精度方面卻仍有待提高，特別在諸如WCSP白光芯片制造工藝中，無法滿足在載板上排布芯片的精度要求，也就是實現芯片的X、Y軸方向與載板圖案的X、Y軸方向平行。倘若固晶夾具固晶精度不高，主要將導致無法實現載板圖案(或電路圖)的Χ、γ軸與固晶機系統的x、Y軸完全平行，使得固晶后芯片的x、Y軸方向無法保證與載板圖案的x、Y軸方向完全一致。在這樣的情況下，特別是對于像是WCSP白光LED芯片制造的排片工藝將造成問題，因為此類工藝為方便后續的切割工藝的進行，需保證WCSP的尺寸精度，所以排布芯片時不僅需要保證芯片在載板上的位置精度，而且要確定芯片的縱軸、橫軸方向與載板圖案縱軸、橫軸方向一致，以現有的固晶夾具而言，均無法很好的滿足這精度要求。

【發明內容】

[0006]本實用新型的一個目的在于提供一固晶夾具，所述固晶夾具能精密地承載及固定不同尺寸的載板。
[0007]本實用新型的另一目的在于提供一固晶夾具，其能夠通過彈性結構對載板提供緩沖作用。
[0008]本實用新型的另一目的在于提供一固晶夾具，所述固晶夾具能利用可調整的兩個微調裝置、及一個或多個彈性緩沖裝置，精密地承載及固定不同樣式的載板。
[0009]本實用新型的另一目的在于提供一固晶夾具，所述固晶夾具能藉由調整其微調裝置，精密地確保被固定的載板的縱向及橫向方向與所述固晶夾具一致，從而確保被固定的載板的縱向及橫向方向與固晶系統一致。
[0010]本實用新型的另一目的在于提供一固晶夾具，所述固晶夾具能藉由調整其微調裝置，精密地確保被固定的載板的縱向及橫向方向對應所述固晶夾具或所述固晶系統作業時設定的方向。
[0011]本實用新型的另一目的在于提供一固晶夾具，所述固晶夾具能藉由可調整的彈性緩沖裝置，減小排片時所述固晶夾具的左右移動，使得在排布載板的過程中穩定性較好。
[0012]本實用新型的另一目的在于提供一固晶夾具，所述固晶夾具能藉由彈性緩沖裝置所提供的緩沖作用，使被固定的載板在所述固晶夾具移動的過程中穩定性較好。
[0013]本實用新型的另一目的在于提供一固晶夾具，所述固晶夾具能藉由彈性緩沖裝置所提供的緩沖作用，減小固晶時所述固晶夾具的左右移動，確保被固定的載板在固晶過程中的穩定性。
[0014]本實用新型的另一目的在于提供一固晶夾具，所述固晶夾具能彈性緩沖裝置精密地承載及固定不同種類的載板，通用性廣泛。
[0015]本實用新型的另一目的在于提供一固晶夾具，所述固晶夾具能利用不同方向或數量的微調裝置和彈性緩沖裝置，適用于不同形式或尺寸的載板，通用性廣泛。
[0016]本實用新型的另一目的在于提供一固晶夾具，所述固晶夾具提供一凹槽凹槽，方便人員取放載板于所述固晶夾具，提高作業效率。
[0017]為達到本實用新型的上述目的，本實用新型提供一固晶夾具，其包括:
[0018]—基座，其具有一容納槽，以用于安置一載板；
[0019]至少一微調裝置，其包括一微調元件以及一調節固定器，所述微調元件通過所述調節固定器組裝于所述基座，并且用來調節所述載板的位置。
[0020]在一個實施例中，所述至少一微調裝置包括兩個微調裝置，以調節所述載板的Χ、Υ方向。[0021 ]在一個實施例中，兩個所述微調裝置位于所述基座縱向方向的同一側。
[0022]在一個實施例中，兩個所述微調裝置位于所述基座縱向方向的相反兩側，并且分別處于對角位置。
[0023]在一個實施例中，所述基座橫向方向的兩側還分別形成有用于方便取放所述載板的第一和第二凹槽。
[0024]在一個實施例中，所述基座縱向方向對應兩個所述微調元件地分別設置有第三和第四凹槽。
[0025]在一個實施例中，所述容納槽呈方形或圓形。值得一提的，這里的形狀只作為舉例，在實際應用中，還可以根據所述載板的尺寸進行調整。
[0026]在一個實施例中，各個所述調節元件實施為千分尺。
[0027]在一個實施例中，各個調節固定器包括一輔助固定元件，以及至少一鎖緊元件，所述鎖緊元件穿過所述輔助固定元件以用于鎖緊所述調節元件。
[0028]在一個實施例中，各個所述輔助固定元件實施為固定金屬塊，各個所述鎖緊元件實施為鎖緊螺栓。
[0029]在一個實施例中，其還包括一個或多個彈性緩沖裝置，其包括一個或多個抵接元件，以及一個或多個彈性緩沖單元，其中各個所述彈性緩沖單元包括一彈性元件和一調整元件，所述抵接元件可滑動地設置于所述容置槽內以抵接于所述載板，其中彈性元件一端連接于所述抵接元件，另一端連接于所述調整元件，所述調節元件連接于所述基座并且位置可調節。
[0030]在一個實施例中，所述固晶夾具包括多個所述彈性緩沖裝置，并且所述彈性緩沖裝置位于所述基座縱向方向的同一側。
[0031 ]在一個實施例中，所述固晶夾具包括兩個所述彈性緩沖裝置，并且兩個所述彈性緩沖裝置位于所述基座縱向方向的相反兩側，并且分別處于對角位置。
[0032]在一個實施例中，各個所述彈性元件是彈簧，各個所述調整元件是可調螺栓。
[0033]在一個實施例中，所述載板是待固晶的芯片的基板或光源器件的基板根據本實用新型的一個方面，其還提供一固晶夾具的使用方法，包括下列步驟:
[0034](SO)將第一微調裝置、第二微調裝置、及第一彈性緩沖裝置都調到最松；
[0035](SI)將一待固晶的載板，置入容置槽；
[0036](S2)確認載板的縱軸、橫軸方向匹配基座的縱軸、橫軸方向；
[0037](S3)依據載板外緣分別調整第一微調裝置、第二微調裝置、及第一彈性緩沖裝置；
[0038](S4)將固晶夾具置入固晶機以進彳丁固晶；
[0039](S5)將固晶夾具由固晶機取出；
[0040](S6)將載板自固晶夾具取出；
[0041](S7)將另一待固晶的載板置入固晶夾具；以及
[0042](S8)重復所述步驟(S4)至(S7)，直到待固晶的載板全數固晶完畢。
[0043]根據本實用新型的一個實施例，所述固晶夾具的使用方法，其中所述步驟(S3)進一步包括下列步驟:
[0044](S3.1)暫時固定載板位置；
[0045](S3.2)伸出第一微調元件及第二微調元件，皆至輕抵于載板外緣；
[0046](S3.3)以第一固定元件及第二固定元件分別固定第一微調元件及第二微調元件的伸縮；
[0047](S3.4)調整第一調整元件、第二調整元件、第三調整元件、第四調整元件、及第五調整元件，直到第一抵接元件以適當力量抵住載板；以及
[0048](S3.5)放開對載板的暫時固定。
【附圖說明】
[0049]圖1是根據本實用新型的第一個優選實施例的固晶夾具的俯視示意圖。
[0050]圖2是根據本實用新型的第一個優選實施例的固晶夾具的剖視示意圖。
[0051]圖3是根據本實用新型的第一個優選實施例的固晶夾具的俯視示意圖，其中顯示待固晶載板被精確地對齊固定。
[0052]圖4是根據本實用新型的第二個優選實施例的固晶夾具的俯視示意圖。
[0053]圖5是根據本實用新型的第三個優選實施例的固晶夾具的俯視示意圖。
【具體實施方式】
[0054]以下描述用于揭露本實用新型以使本領域技術人員能夠實現本實用新型。以下描述中的優選實施例只作為舉例，本領域技術人員可以想到其他顯而易見的變型。在以下描述中界定的本實用新型的基本原理可以應用于其他實施方案、變形方案、改進方案、等同方案以及沒有背離本實用新型的精神和范圍的其他技術方案。
[0055]如圖1到圖2所示，根據本實用新型的第一個優選實施例的固晶夾具10，其包括一基座11、至少一微調裝置、及一第一彈性緩沖裝置14。在這個實施例，其包括一第一微調裝置12和一第二微調裝置13。其中所述基座11具有一第一凹槽1101、一第二凹槽1102、一第三凹槽1103、一第四凹槽1104、一第五凹槽1105、及一容置槽111。其中所述基座是一適于匹配固晶設備以容置待固晶的載板20從而將該載板20送入固晶設備進行固晶的臺座，其于不同實施方式中也可以被實施為一承板、托盤、匣子、夾子或其他適于固定載板而后送入固晶機的輔助框架體，其頂面凹陷形成一方型的所述容置槽111，以用于容置待固晶的載板。所述第一凹槽1101及所述第二凹槽1102則分別位于所述容置槽111于所述基座11的兩側邊緣處，用于供作業人員將手指深入以便取放待固晶的載板于所述容置槽111。所述第三凹槽1103及所述第四凹槽1104分別對應所述第一微調裝置12及所述第二微調裝置13延伸入所述容置槽111的位置，以用于分別為所述第一微調裝置12及所述第二微調裝置13提供伸縮于所述容置槽111的空間。所述第五凹槽1105為位于所述基座11相對于裝設所述第一微調裝置12及所述第二微調裝置13端內側，毗鄰所述容置槽111 一側，并較所述容置槽111深的一凹槽，用于提供所述第一彈性緩沖裝置14彈性移動的空間。其中所述第一彈性緩沖裝置14于所述第五凹槽1105朝所述容置槽111方向推到，直到抵住所述容置槽111的邊緣時則為其彈性外推的極限。相對地，所述第一彈性緩沖裝置14可被于所述第五凹槽1105內朝所述容置槽111的反方向彈性壓縮，直到抵住所述第五凹槽1105相對于所述容置槽111的對側，也就是所述基座11形成凹陷處的內壁時，即為其壓縮的極限。該外推及壓縮極限之間的差異便形成一個對于待固晶的載板長度差異的容許范圍，使長度差異在該范圍內的待固晶的載板都可在不須調整所述第一微調裝置12及所述第二微調裝置13的情況下被直接固定于所述容置槽111中。此外，所述第一彈性緩沖裝置14基于其彈性，也提供一持續性的抵接力量，從而達到如彈性底座的輔助固定效果。
[0056]所述第一微調裝置12及第二微調裝置13于本實施例中皆被實施為依附于所述基座11的千分尺微調裝置，其形式與尺寸均相同。所述第一彈性緩沖裝置14則被實施為一裝設于所述基座一側，并由側向向內的彈簧底座。
[0057]所述第一微調裝置12包括一第一微調元件121及一第一調節固定器122，其中所述第一微調元件121以所述第一調節固定器122伸縮式固定于所述基座11的一側。所述第一調節固定器122包括一第一輔助固定元件1221及一第一鎖緊元件1222，固定于所述基座11的一側。所述第一輔助固定元件1221用于形成一套筒結構，或覆蓋于原本位于所述基座11上的一凹陷構造，而與其共同形成一套筒結構，從而使所述第一微調元件121可插入該套筒結構，以伸縮式地位于所述基座11側邊的特定位置，并僅能朝特定方向伸縮。所述第一微調元件121為千分尺的調整伸縮結構，一精密度需求不同，在其他情況下也可以被實施為一螺栓，其能夠藉由旋轉而沿著所述第一輔助固定元件1221形成的套筒結構精確伸縮，從而精密地確保其深入所述基座11內的所述容置槽111中的部份的長度。所述第一鎖緊元件1222則被實施為裝設于所述第一輔助固定元件1221上，垂直于所述第一微調元件121伸縮方向的一螺栓，其用于藉由鎖緊以抵住所述第一微調元件121防止所述第一微調元件121伸縮，并也用于藉由松開所述第一微調元件121允許所述第一微調元件121于所述套筒結構內伸縮。
[0058]對應地，所述第二微調裝置13包括一第二微調元件131及一第二調節固定器132，其中所述第二微調元件131以所述第二調節固定器132伸縮式固定于所述基座11的一側，其與所述第一微調裝置12同側并相鄰。所述第二調節固定器132包括一第二輔助固定元件1321及一第二固定元件1322，固定于所述基座11的一側。其中所述第二微調元件131與所述第一微調元件121構造相同，所述第二輔助固定元件1321及所述第二固定元件1322分別與所述第一輔助固定元件1221及所述第一鎖緊元件1222構造相同，以設置出與所述第一調節固定器122相同的所述第二調節固定器132。熟習此技術領域的技術人員應當理解，所述第一微調裝置12及所述第二微調裝置13及其部件的實施方式及數量皆不應該被視為對本實用新型的內容和范圍的限制，在實際應用中，還可以將所述第一微調裝置12及所述第二微調裝置13實施為形式或尺寸不同的調節固定器，例如將所述第一微調元件121改為無段伸縮式的推拉桿，或將所述第二固定元件1322實施為彈簧卡榫。此外，所述第一輔助固定元件1221或所述第二輔助固定元件1321用于形成套筒結構的方式不以透過所述基座11或所述基座11上的構造為必須，例如所述第一輔助固定元件1221也可被實施為一套筒或具有孔洞的架子，本身自成一套筒結構供所述第一微調元件121限制地于其中伸縮。
[0059]所述第一彈性緩沖裝置14則包括可活動的剛性的至少一抵接元件，和至少一彈性緩沖單元。所述抵接元件可以抵接于載板20，并且在所述容置槽111內滑動，所述彈性緩沖單元連接于所述抵接元件以間接地對所述載板20提供緩沖作用。在這個實施例中，所述至少一抵接元件包括一第一抵接元件141，如圖中所示。在圖1至圖3所示的例子中，所述至少一彈性緩沖單元包括五個所述彈性緩沖單元，即一第一彈性緩沖單元142、一第二彈性緩沖單元143、一第三彈性緩沖單元144、一第四彈性緩沖單元145、及一第五彈性緩沖單元146。其中所述第一彈性緩沖單元142包括一第一彈性元件1421及一第一調整元件1422。相似地，所述第二彈性緩沖單元143包括一第二彈性元件1431及一第二調整元件1432。所述第三彈性緩沖單元144包括一第三彈性元件1441及一第三調整元件1442。所述第四彈性緩沖單元145包括一第四彈性元件1451及一第四調整元件1452。所述第五彈性緩沖單元146包括一第五彈性元件1461及一第五調整元件1462。所述第一抵接元件141被實施為一個剛性活動板，其長度吻合所述容置槽111。所述第一彈性緩沖單元142及其部件與所述第二彈性緩沖單元143、所述第三彈性緩沖單元144、所述第四彈性緩沖單元145、所述第五彈性緩沖單元146及其部件相同。所述第一彈性元件1421被實施為一彈簧，一端固定于所述第一抵接元件141，另一端固定于所述第一調整元件1422。所述第一調整元件1422被實施為一螺栓，可旋轉以移動其固定于所述基座11用以界定所述第五凹槽1105的側壁內的深度，從而調整固定于所述第一調整元件1422的所述第一彈性元件1421的長度，以變化所述第一彈性元件1421對所述第一抵接元件141的彈力。所述第二彈性元件1431及一第二調整元件1432、所述第三彈性元件1441及第三調整元件1442、所述第四彈性元件1451及第四調整元件1452、及所述第五彈性元件1461及第五調整元件1462各自獨立并以相同方式被實施，從而分別對所述第一抵接元件141提供不同外推或內縮彈力，以因應不同尺寸或形制的待固晶的載板20。所述第一彈性緩沖裝置14及像是圖5所示的第二彈性緩沖裝置15B除了可以方便固晶機作業人員取放載板20外，基于其彈性伸縮且可調整的特性，更給了所述固晶夾具10高通用性，使其能夠適用于多種尺寸樣式的載板20。值得一提的是，上述調整元件調整彈性元件彈力的方式并不限于調整其延伸長度，在實際應用中還可以局部壓縮或撐開彈性元件、改變彈性元件的角度或位置、旋轉鉸動彈性元件等方式，達到調整彈性元件彈力的目的。在這個實施例中示意的所述彈性緩沖單元的數量只作為舉例而并不限制本發明。
[0060]熟習此技術領域的技術人員應當理解，所述第一抵接元件141的實施方式及數量皆不應該被視為對本實用新型的內容和范圍的限制，在實際應用中，還可以將所述第一抵接元件141分段，或改為如橡膠或樹脂制成的非剛性活動板以增加摩擦力和彈性。
[0061 ]熟習此技術領域的技術人員也應當理解，所述第一抵接元件141與第一彈性緩沖單元142、一第二彈性緩沖單元143、一第三彈性緩沖單元144、一第四彈性緩沖單元145、及一第五彈性緩沖單元146的對應關系及其他實施方式及數量皆不應該被視為對本實用新型的內容和范圍的限制，在實際應用中，還可以改變彈性緩沖單元的數量或其相對于所述第一抵接元件141的關系，例如將所述第一抵接元件141變化為同時兼具活動板及彈簧特性的簧片，兩端各連接于一調整元件等。
[0062]如圖4所示，根據本實用新型的第二個優選實施例的固晶夾具10，其中所述容置槽IllA被實施為圓形，以匹配圓形的載板20。此外，所述第三凹槽1103A及所述第四凹槽1104A被實施為包括部份被覆蓋的通道形式的凹槽，以顯示所述第三凹槽1103A及所述第四凹槽1104A不同的實施方式。在其他實施方式中，所述第三凹槽1103A及所述第四凹槽1104A也可以被實施為像是頂端完全開放的凹溝。
[0063]值得一提的是，在上述兩個實施例中，所述微調裝置12和13與所述彈性緩沖裝置14位于所述基座11的相反側，如圖1和圖4中所示的例子中，所述微調裝置12和13位于所述基座11的左側，所述彈性緩沖裝置14被布置于所述基座11的右側。
[0064]如圖5所示，根據本實用新型的第三個優選實施例的固晶夾具10，還包括一第二彈性緩沖裝置15B及一第六凹槽1106B，所述第二彈性緩沖裝置15B位于所述第六凹槽1106B。所述第二彈性緩沖裝置15B包括一第二抵接元件151B、一第六彈性緩沖單元152B、一第七彈性緩沖單元153B、及一第八彈性緩沖單元154B。其中所述第六彈性緩沖單元152B包括一第六彈性元件1521B及一第六調整元件1522B。所述第七彈性緩沖單元153B包括一第七彈性元件1531B及一第七調整元件1532B。所述第八彈性緩沖單元154B包括一第八彈性元件1541B及一第八調整元件1542B。所述第二彈性緩沖裝置15B及其部件與所述第一彈性緩沖裝置14B及其部件相同。并且在本實施例中，所述第一彈性緩沖裝置14B僅包括所述第一抵接元件141B、所述第一彈性緩沖單元142B、所述第二彈性緩沖單元143B、及所述第三彈性緩沖單元144B，除為本實施例的實施所必要外，也顯示所述彈性緩沖單元數量根據不同的實施方式，不限于特定實施例的數量。在本實施例中所述第一彈性緩沖裝置14B及所述第二彈性緩沖裝置15B的所述抵接元件141B和151B長度較短，僅對應所述容置槽11IB對應側的部份長度，所述第五凹槽1105B及所述第六凹槽1106B也相應縮短至匹配長度并彼此位于對角。此夕卜，所述第一微調裝置12B及所述第二微調裝置13B位于所述基座IlB的相反側并且位于對角位置，相應地，所述第一彈性緩沖裝置14B及所述第一彈性緩沖裝置15B也位于對角位置，使所述容置槽IllB在上下兩端分別都具有彈性及硬性的伸縮調整裝置，從而可以匹配更多不同形狀的載板20。同時，依據類似變化實施作法，本實用新型所提供的固晶夾具也可被實施為更多具備不同方向的彈性緩沖裝置及微調裝置的固晶夾具，從而匹配現在或未來所需的形狀尺寸不同的載板。
[0065]也就是說，在圖5所示的例子中，其包括兩個所述微調裝置12B和13B，并且分別位于所述基座IlB的左右側，而非同一側，并且為了方便提供協同調節作用，兩者位于對角的位置。所述第一彈性緩沖裝置14B及所述第一彈性緩沖裝置15B分別位于所述基座IlB的左右側，并且處于對角的位置。并且各個所述彈性緩沖裝置包括一抵接元件和三個彈性緩沖單元，其中各個彈性緩沖單元包括一彈性元件和相連接的一調整元件，例如在這個實施例中，各個所述彈性元件可以實施為彈簧，其一端連接于所述抵接元件，另一端連接于對應的所述調整元件，各個所述調整元件可以實施為可調螺栓。
[0066]也可以說，另外，因為所述基座IlB的縱向方向的兩側分別設置有一所述微調裝置和一所述彈性緩沖裝置，并且所述彈性緩沖裝置的所述抵接元件延伸的長度可以不超過所述微調裝置的位置。這樣，在這個實施例中，兩個所述抵接元件141B和151B的長度不超過所述基座IlB的所述容置槽IllB的縱向寬度。而在第一個和第二個實施例中，所述抵接元件141和141B的長度大致是所述基座的所述容置槽的縱向寬度。另外，兩個方便取放所述載板20的凹槽1101B和1102B位于其橫向方向的兩側。
[0067]本實用新型的使用方法包括下列步驟:
[0068](SO)將第一微調裝置12、第二微調裝置13、及第一彈性緩沖裝置14都調到最松；
[0069](SI)將一待固晶的載板20，置入所述容置槽111;
[0070](S2)確認載板20的縱軸、橫軸方向匹配基座11的縱軸、橫軸方向；
[0071](S3)依據載板20外緣分別調整第一微調裝置12、第二微調裝置13、及第一彈性緩沖裝置14;
[0072](S4)將固晶夾具10置入固晶機以進彳丁固晶；
[0073](S5)將固晶夾具10由固晶機取出；
[0074](S6)將載板20自固晶夾具10取出；
[0075](S7)將另一待固晶的載板20置入固晶夾具10;
[0076](S8)重復所述步驟(S4)至(S7)，直到待固晶的載板20全數固晶完畢。
[0077]其中，所述步驟(SO)是為先行確保能被調整以匹配所述固晶夾具10尺寸形狀的載板20能被置入所述固晶夾具10，因此先將第一微調裝置12、第二微調裝置13、及第一彈性緩沖裝置14都調到最松，使所述容置槽111可容納的載板外緣尺寸達到最大。所述步驟(SI)則為先將一待固晶的載板20，如各種光源的發光二極體(LED)的一⑶B基板、WCSP制造工藝的排片、載板裸晶、裝有載板的載板等，置入所述容置槽111。此時在所述固晶夾具10尚未被調整至精密地匹配該載板的尺寸形狀等特征時，需先執行所述步驟(S2)以確認該載板的縱軸、橫軸方向匹配所述基座11的縱軸、橫軸方向，包括與所述基座11的縱軸、橫軸方向一致或彼此呈特定角度等，從而確保透過本實用新型提供的固晶夾具10置入相匹配的固晶機時，其待固晶的載板20的縱軸、橫軸方向也將與固晶機系統的縱軸、橫軸方向匹配或一致。此時，即可執行所述步驟(S3)，依據位于所述容置槽111內調整好方向及位置的載板20外緣，分別調整所述第一微調裝置12、所述第二微調裝置13、及所述第一彈性緩沖裝置14。此步驟可進一步包括如下步驟:
[0078](S3.1)暫時固定該載板20位置；
[0079](S3.2)伸出第一微調元件121及第二微調元件131，皆至輕抵于該載板20外緣；
[0080](S3.3)以第一鎖緊元件1222及第二固定元件1322分別固定第一微調元件121及第二微調元件131的伸縮；
[0081 ] (S3.4)調整第一調整元件1422、第二調整元件1432、第三調整元件1442、第四調整元件1452、及第五調整元件1462，直到第一抵接元件141以適當力量抵住該載板20;
[0082](S3.5)放開對該載板20的暫時固定。
[0083]在上述步驟中，所述步驟(S3.1)主要是必須先暫時固定該載板20，以便確保所述步驟(S2)所調整好的位置，這個位置也包括旋轉角度。暫時固定的方法可以是由作業人員用手先壓住該載板20，或以其他機具、治具等先暫時固定該載板20。所述步驟(S3.2)則是分別藉由旋轉等方式伸出所述第一微調元件121及所述第二微調元件131，以調整其突入所述容置槽111的長度，直到所述第一微調元件121及所述第二微調元件131都輕抵于該載板20的一端，此時再以所述步驟(S3.3)分別鎖緊或調整所述第一鎖緊元件1222及所述第二固定元件1322以固定第一微調元件121及第二微調元件131的伸縮，以免第一微調元件121及第二微調元件131在后續過程中移動變化而影響所述固晶夾具10對該載板20的精密固定設置。隨后，所述步驟(S3.4)則是進一步調整所述第一調整元件1422、所述第二調整元件1432、所述第三調整元件1442、所述第四調整元件1452、及所述第五調整元件1462，以調整所述第一彈性元件1421、所述第二彈性元件1431、所述第三彈性元件1441、所述第四彈性元件1451、及所述第五彈性元件1461的彈性，從而確保所述第一抵接元件141以適當力量抵住該載板20的另一端，以達到完整固定該載板20于所述容置槽111的效果。此時再進行所述步驟(S3.5)以放開對該載板20的暫時固定，例如工作人員放開壓住該載板20的手，從而便于進行所述固晶夾具10稍后的操作及應用工作，此時所述固晶夾具10將呈現如圖3所示。
[0084]完成所述步驟(S3)后，所述固晶夾具10已同時具備了快速精確固定與該載板20相同形狀、相同體積、甚至長度相同或略有不同的載板的功能。因此可以接續進行所述步驟
(S4)，將該載板20以所述固晶夾具10送入固晶機進行固晶。完成固晶后，進行所述步驟(S5)將固晶夾具10由固晶機取出，然后進行所述步驟(S6)將載板20自固晶夾具10取出，此時作業人員只要將兩手指分別深入所述第一凹槽1101及所述第二凹槽1102，捏住該載板20兩側后，微往所述第一彈性緩沖裝置14端壓，然后先抬起該載板20的相對端，也就是其抵住所述第一微調裝置12及所述第二微調裝置13端，即可取下該載板20。然后空置的所述固晶夾具10便可再用以固定另一待固晶的載板20，此時進行所述步驟(S7)將另一待固晶的載板20置入固晶夾具10。其作法例如先以待固晶的載板20的一端輕壓所述第一彈性緩沖裝置14，再將另一端放下，使該載板20貼于所述容置槽111，再放開手指。此時該載板20將會被所述第一彈性緩沖裝置14推抵住所述第一微調裝置12及所述第二微調裝置，從而被固定于所述固晶夾具10上，以供置入固晶機中進行固晶作業。如此接續進行所述步驟(S8)，以重復所述步驟(S4)至(S7)，便可持續對待固晶的載板20進行固晶作業。
[0085]若欲將所述固晶夾具10用于不同形狀尺寸的載板20，則需再以所述步驟^^至
(S3)，重新依據該待固晶的載板20的形狀尺寸再次分別調整所述第一微調裝置12、所述第二微調裝置13、及所述第一彈性緩沖裝置14后，再依據所述步驟(S4)至(S8)快速取放載板20以進行固晶作業。
[0086]本領域的技術人員應理解，上述描述及附圖中所示的本實用新型的實施例只作為舉例而并不限制本實用新型。本實用新型的目的已經完整并有效地實現。本實用新型的功能及結構原理已在實施例中展示和說明，在沒有背離所述原理下，本實用新型的實施方式可以有任何變形或修改。
【主權項】
1.一固晶夾具，其特征在于，包括: 一基座，其具有一容納槽，以用于安置一載板； 至少一微調裝置，其包括一微調元件以及一調節固定器，所述微調元件通過所述調節固定器組裝于所述基座，并且用來調節所述載板的位置。2.如權利要求1所述的固晶夾具，其中所述至少一微調裝置包括兩個微調裝置，以調節所述載板的X、Y方向。3.如權利要求2所述的固晶夾具，其中兩個所述微調裝置位于所述基座縱向方向的同一側。4.如權利要求2所述的固晶夾具，其中兩個所述微調裝置位于所述基座縱向方向的相反兩側，并且分別處于對角位置。5.如權利要求3所述的固晶夾具，其中所述基座橫向方向的兩側還分別形成有用于方便取放所述載板的第一和第二凹槽。6.如權利要求4所述的固晶夾具，其中所述基座橫向方向的兩側還分別形成有用于方便取放所述載板的第一和第二凹槽。7.如權利要求5所述的固晶夾具，其中所述基座縱向方向對應兩個所述微調元件地分別設置有第三和第四凹槽。8.如權利要求6所述的固晶夾具，其中所述基座縱向方向對應兩個所述微調元件地分別設置有第三和第四凹槽。9.如權利要求1至8中任一所述的固晶夾具，其中所述容納槽呈方形或圓形。10.如權利要求1至8中任一所述的固晶夾具，其中各個所述微調元件實施為千分尺。11.如權利要求1至8中任一所述的固晶夾具，其中各個調節固定器包括一輔助固定元件，以及至少一鎖緊元件，所述鎖緊元件穿過所述輔助固定元件以用于鎖緊所述微調元件。12.如權利要求11所述的固晶夾具，其中各個所述輔助固定元件實施為固定金屬塊，各個所述鎖緊元件實施為鎖緊螺栓。13.如權利要求1至8中任一所述的固晶夾具，還包括一個或多個彈性緩沖裝置，其包括一個或多個抵接元件，以及一個或多個彈性緩沖單元，其中各個所述彈性緩沖單元包括一彈性元件和一調整元件，所述抵接元件可滑動地設置于所述容納槽內以抵接于所述載板，其中彈性元件一端連接于所述抵接元件，另一端連接于所述調整元件，所述微調元件連接于所述基座并且位置可調節。14.如權利要求10所述的固晶夾具，還包括至少一彈性緩沖裝置，其包括至少一抵接元件，以及至少一彈性緩沖單元，其中各個所述彈性緩沖單元包括一彈性元件和一調整元件，所述抵接元件可滑動地設置于所述容納槽內以抵接于所述載板，其中彈性元件一端連接于所述抵接元件，另一端連接于所述調整元件，所述微調元件連接于所述基座并且位置可調-K-T O15.如權利要求13所述的固晶夾具，其中所述固晶夾具包括多個所述彈性緩沖裝置，并且所述彈性緩沖裝置位于所述基座縱向方向的同一側。16.如權利要求13所述的固晶夾具，其中所述固晶夾具包括兩個所述彈性緩沖裝置，并且兩個所述彈性緩沖裝置位于所述基座縱向方向的相反兩側，并且分別處于對角位置。17.如權利要求14所述的固晶夾具，其中各個所述彈性元件是彈簧，各個所述調整元件是可調螺栓。18.如權利要求1至8中任一所述的固晶夾具，其中所述載板是待固晶的芯片的基板或光源器件的基板。
【文檔編號】H01L21/687GK205595319SQ201620203003
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年3月16日
【發明人】羅亮亮, 梁潤園, 黃潔瑩, 方濤, 范供齊, 李蕓
【申請人】常州市武進區半導體照明應用技術研究院