針測機傳輸機構晶圓防滑出保護裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了針測機傳輸機構晶圓防滑出保護裝置，包括承載臺及對應的承載臺蓋，所述承載臺與承載臺蓋之間設置有盛放晶圓的晶舟，所述晶舟側邊開口，所述承載臺上對應晶舟側邊開口位置設置有紅外線偵測裝置以及防滑出裝置，所述紅外線偵測裝置包括紅外發射器及與之配合的接收器，所述紅外發射器設置于所述承載臺上，所述接收器對應設置于所述紅外發射器的正上方，所述防滑出裝置可移動的設置于所述晶舟側邊開口處，所述防滑出裝置與所述紅外線偵測裝置配合。本實用新型的優點在于：本實用新型利用紅外線偵測裝置和防滑出裝置的配合對晶圓進行了有效保護，避免了晶圓滑出后壓破的風險，減少了測試損失，具有良好的經濟價值。
【專利說明】
針測機傳輸機構晶圓防滑出保護裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及半導體元件檢測設備技術領域，具體涉及一種針測機傳輸機構晶圓防滑出保護裝置。
【背景技術】
[0002]半導體的生產和制造在不斷的發展中形成了完善的生產流程。一般是芯片電路設計(為實現某些功能，設計出合理的電路)_晶圓的制造(將電路經過特殊工藝集成在晶圓上)_晶圓的測試(對晶圓上集成的成千上萬顆芯片進行功能測試，淘汰一部分功能缺陷的芯片)_晶圓的切割研磨(將晶圓上通過功能測試的芯片切割取下)_芯片的封裝(把從晶圓上取下的芯片進行封裝，保護其電路不受環境的影響)_成品芯片的測試(對已經封裝好的芯片進行功能測試，淘汰功能缺陷的芯片)。
[0003]半導體生產制造的過程中，晶圓的測試對該芯片的成本控制尤其重要。晶圓的測試可以將功能缺陷的芯片找出，不進入后期較大成本的封裝中，節約了整體的成本，同時也對上一工序一一晶圓的制造提供改良的指導方向。因此晶圓測試是半導體整個制造過程中必不可少的重要環節。晶圓測試設備由手動到半自動，再到現在的全自動針測機，效率、穩定性、安全性都在成倍的提高。
[0004]全自動針測機就外觀而言分為兩大部分:機臺主體部分和晶圓傳輸機構，機臺主體部分為主要操作部分，用于將晶圓與探針卡放置于測試機的測試頭底下進行測試，而晶圓傳輸機構的主要工作是將晶舟內晶圓傳輸至承載盤作測試之用。
[0005]晶圓傳輸機構的工作過程為:1.打開承載臺的上蓋，將裝有晶圓的晶舟放入傳輸機構升降機的承載臺位置，按下按鍵后，使升降機往下降；2.機械手臂伸進晶舟盒抓取晶圓，將晶圓放入針測機主體部分的承載盤上。承載盤通過真空吸住晶圓，同時對晶圓做檢測，晶圓檢測完畢，機械手臂將晶圓從承載盤送回晶舟盒內。
[0006]晶圓在整個制造過程中均勻承載在晶舟盒內，一個晶舟為一批，通常一盒承載25片晶圓。
[0007]測試時將晶舟放于針測機臺晶舟承載臺上；晶舟盒內晶圓平行放在晶舟內，晶舟向內開口。當晶圓向盒外滑出時，此時蓋上承載臺蓋子，支撐氣桿會將滑出的晶圓壓破;另夕卜，升降機將晶圓承載臺往下降時也會有破片風險，造成較大的經濟損失。
【實用新型內容】
[0008]本實用新型針對現有針測機晶圓傳輸機構的不足，提出了一種針測機傳輸機構晶圓防滑出保護裝置，在輸送過程中避免了晶圓從晶舟中滑出所導致的晶圓破損，有效減少了測試損失。
[0009]本實用新型采用以下技術方案解決上述技術問題:針測機傳輸機構晶圓防滑出保護裝置，包括承載臺及對應的承載臺蓋，所述承載臺與承載臺蓋之間設置有盛放晶圓的晶舟，所述晶舟側邊開口，所述承載臺上對應所述晶舟側邊開口位置設置有紅外線偵測裝置以及防滑出裝置，所述紅外線偵測裝置包括紅外發射器及與之配合的接收器，所述紅外發射器設置于所述承載臺上，所述接收器對應設置于所述紅外發射器的正上方，所述防滑出裝置可移動的設置于所述晶舟側邊開口處，所述防滑出裝置與所述紅外線偵測裝置配合。
[0010]其中優化的，所述防滑出裝置包括推板及與所述推板連接的水平氣缸，所述推板設置于所述晶舟側邊開口處，所述水平氣缸驅動所述推板相對晶舟中心進行往復滑移。 [〇〇11]進一步優化，為增強推板對晶圓的抵推作用，所述推板為弧形構件，所述推板的弧形面與所述晶圓側邊相互對應。
[0012]作為對晶圓保護的考慮，所述推板對應所述晶舟側邊的板壁上設置有軟性墊層。
[0013]具體的，所述軟性墊層為海綿層或橡膠層或硅膠層中的任一種。
[0014]采用本實用新型的晶圓防滑出保護方法，包括如下步驟:
[0015]a)監測過程通過紅外線偵測裝置對晶舟側邊開口處進行監測，紅外線偵測裝置產生連續信號，當有晶圓滑出時，紅外線偵測裝置的連續信號被滑出的晶圓阻擋，此時，紅外線偵測裝置向控制器發出晶圓滑出信息；
[0016]b)保護過程控制器接收到步驟a中紅外線偵測裝置發出的晶圓滑出信息后，向防滑出裝置發出推送指令，所述防滑出裝置將滑出的晶圓推入晶舟中，當紅外線偵測裝置恢復信號連通時，表明晶圓已被推回，控制器向防滑出裝置發出撤回指令，防滑出裝置撤回， 即完成保護作業。
[0017]本實用新型的優點在于:本實用新型利用紅外線偵測裝置和防滑出裝置的配合， 對針測機的傳輸機構進行改良，從而對晶圓進行了有效保護，避免了晶圓滑出后被支撐氣桿或機體壓破的風險，減少了測試損失，具有良好的經濟價值。【附圖說明】[0〇18]圖1為本實用新型的整體結構不意圖；
[0019]圖2為本實用新型實施例中晶圓靜止時的位置關系示意圖；
[0020]圖3為本實用新型實施例中晶圓滑出時的位置關系不意圖；
[0021]圖4為本實用新型實施例中推板推動晶圓時的位置關系示意圖。【具體實施方式】
[0022]如圖1所示，針測機傳輸機構晶圓防滑出保護裝置，包括承載臺5及對應的承載臺蓋1，所述承載臺5和承載臺蓋1通過支撐氣桿3連接，所述承載臺5與承載臺蓋1之間設置有盛放晶圓6的晶舟8,所述晶舟8側邊開口，所述承載臺5上對應所述晶舟8側邊開口位置設置有紅外線偵測裝置以及防滑出裝置，所述紅外線偵測裝置包括紅外發射器4及與之配合的接收器2,所述紅外發射器4設置于所述承載臺5上，所述接收器2對應設置于所述紅外發射器4的正上方，所述防滑出裝置可移動的設置于所述晶舟8側邊開口處，所述防滑出裝置與所述紅外線偵測裝置配合。
[0023]所述防滑出裝置包括推板7及與所述推板7連接的水平氣缸9,所述推板7設置于所述晶舟8側邊開口處，所述水平氣缸9驅動所述推板7相對晶舟8中心進行往復滑移。[〇〇24]為增強推板7對晶圓6的抵推作用，所述推板7設計為弧形構件，所述推板7的弧形面與所述晶圓6側邊相互對應。
[0025]作為對晶圓保護的考慮，所述推板7對應所述晶舟8側邊的板壁上設置有軟性墊層10，所述軟性墊層為海綿層或橡膠層或硅膠層中的任一種。
[0026]本實用新型的工作過程如圖2-4所示:紅外線偵測裝置對晶舟側邊開口處進行監測(如圖2)，當有晶圓滑出時，承載臺上的紅外發射器發出的紅外線被阻擋，頂部的接收器未接收到信號(如圖3)，此時，紅外線偵測裝置通過控制器向防滑出裝置中的水平氣缸發出指令，推動推板將滑出的晶圓片推入晶舟中(如圖4所示)，當紅外線偵測裝置恢復信號連通時，表明晶圓已被推回，推板撤回，完成保護作業。
[0027]本實用新型對晶圓進行了有效保護，避免了晶圓滑出后被支撐氣桿或機體壓破的風險，減少了測試損失，具有良好的經濟實用價值。
[0028]以上所述僅為本實用新型創造的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型創造，凡在本實用新型創造的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型創造的保護范圍之內。
【主權項】
1.針測機傳輸機構晶圓防滑出保護裝置，包括承載臺及對應的承載臺蓋，所述承載臺 與承載臺蓋之間設置有盛放晶圓的晶舟，所述晶舟側邊開口，其特征在于，所述承載臺上對 應所述晶舟側邊開口位置設置有紅外線偵測裝置以及防滑出裝置，所述紅外線偵測裝置包 括紅外發射器及與之配合的接收器，所述紅外發射器設置于所述承載臺上，所述接收器對 應設置于所述紅外發射器的正上方，所述防滑出裝置可移動的設置于所述晶舟側邊開口 處，所述防滑出裝置與所述紅外線偵測裝置配合。2.如權利要求1所述的針測機傳輸機構晶圓防滑出保護裝置，其特征在于，所述防滑出 裝置包括推板及與所述推板連接的水平氣缸，所述推板設置于所述晶舟側邊開口處，所述 水平氣缸驅動所述推板相對晶舟中心進行往復滑移。3.如權利要求2所述的針測機傳輸機構晶圓防滑出保護裝置，其特征在于，所述推板為 弧形構件，所述推板的弧形面與所述晶圓側邊相互對應。4.如權利要求2或3所述的針測機傳輸機構晶圓防滑出保護裝置，其特征在于，所述推 板對應所述晶舟側邊的板壁上設置有軟性墊層。5.如權利要求4所述的針測機傳輸機構晶圓防滑出保護裝置，其特征在于，所述軟性墊 層為海綿層或橡膠層或硅膠層中的任一種。
【文檔編號】H01L21/677GK205595314SQ201620418417
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年5月9日
【發明人】沈順金, 王印璽, 鄭李
【申請人】安徽晶新微電子有限公司