專利名稱：一種鍍膜舟的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽能電池技術領域，更具體地說，涉及一種鍍膜舟。
背景技術：
太陽能電池，也稱光伏電池，是一種將太陽的光能直接轉化為電能的半導體器件。由于它是綠色環保產品，不會引起環境污染，而且利用的是可再生資源，所以在當今能源短缺的情形下，太陽能電池是一種有廣闊發展前途的新型能源。常見的太陽能電池片的制作過程中，硅片在經過表面織構化和擴散制結工序后，為了增加太陽能電池片對光能的吸收，并減少載流子復合，會在硅片的表面鍍上鈍化減反射膜。目前鍛膜主要米用的工藝為 PECVD (Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition，等離子體增強化學氣相沉積法)。鍍膜舟是管式PECVD過程中的必要配件，利用鍍膜舟裝載硅片進入PECVD設備中進行鍍膜。在實際應用的過程中發現，采用現有技術的鍍膜舟制作的太陽能電池片邊緣漏電較高，導致電池片光電轉換效率下降。

實用新型內容本實用新型提供一種鍍膜舟，以減輕太陽能電池片邊緣漏電的問題，提高電池片的光電轉換效率。
為實現上述目的，本實用新型實施例提供了如下技術方案:一種鍍膜舟，包括至少一個承載單元，所述承載單元上包括凹槽，所述凹槽的側壁與放置在其內部的硅片的邊緣的距離大于0_，小于或等于2_。優選的，所述凹槽的側壁與放置在其內部的硅片的邊緣的距離為0.5mm 2mm，包
括端點值。優選的，所述凹槽的深度為0.2mm 1mm，包括端點值。優選的，所述承載單元的底部為實心結構。優選的，所述承載單元具有至少一個貫穿所述承載單元底部和所述凹槽底部的開
優選的， 所述開口的數目為一個，所述開口側壁與所述凹槽側壁的距離為15mm 50mm,包括端點值。 優選的，所述鍍膜舟為石墨舟。優選的，所述鍍膜舟還包括，位于所述承載單元側壁上表面的至少3個卡扣，且3個卡扣分別位于所述承載單元的3個側壁上表面。優選的，所述卡扣的端部為探針形。與現有技術相比，本實用新型所提供的技術方案具有以下優點:本實用新型所提供的鍍膜舟，通過在承載單元上設置凹槽，凹槽的側壁與放置在其內部的硅片的邊緣的距離為大于Omm，即硅片能夠放入槽內，并且凹槽側壁與所對應的硅片邊緣距離很小，因此凹槽側壁能夠保護硅片的邊緣，減少了邊緣側面鍍膜，從而降低了由于邊緣側面被鍍膜而引起的太陽能電池邊緣漏電，提高了太陽能電池的轉換效率。進一步的，本實用新型所提供的鍍膜舟的卡扣的端部采用探針形結構，使卡扣與硅片表面的接觸面積減小，卡扣與硅片接觸的區域內氣流更均勻，因此，卡扣對該區域鍍膜均勻性的影響較小，太陽能電池片表面膜層顏色更為均勻，改善了太陽能電池片外觀。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型實施例所提供的鍍膜舟承載單元的俯視圖；圖2為本實用新型實施例所提供鍍膜舟舟片的主視圖；圖3為本實用新型實施例所提供的另外一種鍍膜舟承載單元的俯視圖；圖4為現有技術中鍍膜舟的部分結構圖。
具體實施方式
正如背景技術所述，現有技術中的鍍膜舟制作的太陽能電池片邊緣漏電較高。發明人經研究發現，管式PECVD的鍍膜方式為將硅片正面朝上放置在平面結構的鍍膜舟上進行鍍膜，硅片在鍍膜時正面和邊緣側面暴露在鍍膜的氣氛中，硅片的邊緣側面不可避免的被鍍膜，膜層內含有氫，因此具有一定的導電性的，增加了太陽能電池正背面載流子的復合，即硅片邊緣被鍍膜使太陽 能電池的邊緣漏電增大，進而使太陽能電池片的轉換效率較低；并且，發明人還發現，現有技術中鍍膜時，硅片通過卡扣固定在鍍膜舟上，卡扣通常為圓柱形卡扣，與硅片的接觸面積較大，造成卡扣與硅片的接觸區域(即卡點處)所鍍膜層非常薄，太陽能電池片整體所鍍膜層不均勻，由于膜層的薄厚不同所表現出的顏色也就不同，因此，太陽能電池片卡點區域與非卡點區域的顏色不同，影響了電池片的外觀。基于上述原因，本實用新型提供了一種鍍膜舟，包括至少一個承載單元，所述承載單元上包括凹槽，所述凹槽的側壁與放置在其內部的硅片的邊緣的距離大于0mm，小于或等于 2mm。本實用新型所提供的鍍膜舟，通過在承載單元上設置凹槽，凹槽的側壁與放置在其內部的硅片的邊緣的距離大于0mm，即硅片能夠放入槽內，并且凹槽側壁與所對應的硅片邊緣距離很小，因此凹槽側壁能夠保護硅片的邊緣，減少了邊緣側面鍍膜，從而降低了由于邊緣側面被鍍膜而引起的太陽能電池邊緣漏電，提高了太陽能電池的轉換效率。以上是本實用新型的核心思想，為使本實用新型的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節以便于充分理解本實用新型，但是本實用新型還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本實用新型內涵的情況下做類似推廣，因此本實用新型不受下面公開的具體實施例的限制。其次，本實用新型結合示意圖進行詳細描述，在詳述本實用新型實施例時，為便于說明，表示裝置結構的示意圖會不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是示例，其在此不應限制本實用新型保護的范圍。此外，在實際制作中應包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。本實用新型提供了一種鍍膜舟，其結構如圖1所示，包括至少一個承載單元101，所述承載單元101上包括凹槽102，所述凹槽102的側壁與放置在其內部的硅片的邊緣的距離大于Omm,小于或等于2mm。凹槽102的側壁與硅片邊緣的距離大于0mm，簡單來說，就是凹槽102的尺寸比硅片的尺寸大，所以硅片能夠順利的放入凹槽102內。需要給硅片的正面鍍膜時，硅片放入凹槽102內后，其背面與凹槽102的底面直接接觸。根據硅片尺寸的不同，凹槽102的尺寸要進行相應的變化，凹槽102尺寸過小，則硅片不容易放入，造成硅片易破裂；凹槽102尺寸過大，則凹槽102側壁對硅片邊緣所起的保護作用不大，造成減少硅片邊緣鍍膜的效果不明顯。本實施例優選的使凹槽102的側壁與放置在其內部的娃片的邊緣的距離為0.5mm 2mm,包括端點值。為了使凹槽102的側壁更好的遮擋硅片邊緣，側壁的高度需要大于硅片的厚度，即凹槽102的深度要略大于硅片的厚度。根據常規硅片的厚度，本實施例優選的使凹槽的深度為0.2mm Imm,包括端點值。
如圖4所示，現有技術中硅片PECVD鍍膜時，直接放置在鍍膜舟402的平面上，硅片需鍍膜的一面和邊緣均暴露在空氣中，硅片的邊緣不可避免的被鍍上薄膜。由于所鍍膜層中含有氫，是具有一定導電性的，所以硅片被鍍膜導致太陽能電池片邊緣漏電比較嚴重，影響電池片的轉換效率。本實施例中，硅片的一面暴露在鍍膜氣氛中，凹槽102的側壁距離硅片邊緣非常近，對硅片的邊緣側面具有一定的遮擋作用，能夠減少硅片邊緣側面被鍍膜，從而減少了由于硅片邊緣側面被鍍膜而導致的邊緣漏電，進而采用本實施例所提供的鍍膜舟鍍膜的太陽能電池片轉換效率提高。所述鍍膜舟的承載單元101還包括，位于凹槽102周圍的至少3個卡扣，且3個卡扣分別位于凹槽102不同邊的一側。由于鍍膜時鍍膜舟是豎直放置在工藝爐管中的，即硅片為豎直狀態進行鍍膜的，所以至少需要3個卡扣用以固定硅片，并且3個卡扣要分別位于凹槽102不同邊的一側，以固定娃片至少3個邊。卡扣包括端部103和固定部104，硅片放入凹槽102后，端部103能夠擋住硅片，使硅片不會脫離凹槽102，起固定硅片的作用。端部103通過固定部104固定在承載單元101上。如圖4所示，現有技術中的卡扣401為圓柱形，硅片鍍膜時，圓柱形的卡扣與硅片表面的接觸面積較大，卡扣會影響周圍氣流，致使接觸區域(即卡點)所鍍膜層較非接觸區域膜層薄，膜層的厚度會影響自身所呈現出的顏色，因此，太陽能電池片卡點處的顏色與非卡點處顏色不同，影響了電池片的外觀。本實施例優選的使卡扣的端部103為探針形，相對于圓柱形，探針形的卡扣與硅片的接觸面積減小，周圍氣流更均勻，鍍膜后所形成的卡點面積減小，即硅片上厚度較薄的薄膜的面積減小，因此，太陽能電池片的表面顏色均勻，外觀有所改善；并且，卡點處較薄膜層面積減小，也使薄膜的鈍化和減反射作用提高，對太陽能電池的轉換效率有提高的作用。為了使硅片能夠順利的放入凹槽102內，卡扣端部103的低端與固定部104所在的平面之間要有一定的縫隙，高度差優選為0.2mm 1mm。本實施例中，為了提高承載單元101的利用率，可以在承載單元101的兩面都設置凹槽102，并在凹槽102的周圍設置用于固定硅片的卡扣，使承載單元101形成兩側對稱的結構。具體結構可參考圖1，鍍膜時承載單元豎直放置，一個承載單元101上的兩個凹槽102可放置兩片硅片，同時對兩片硅片鍍膜。另外，在實際應用中，鍍膜舟是由多個舟片并排組裝而成的，舟片的結構如圖2所示，每個舟片205包括多個承載單元101，每個承載單元上具有一個凹槽102，鍍膜時硅片206放入凹槽102內。本實施例中，承載單元101的底部優選為實心結構，可以使硅片與凹槽102底面接觸的一面(即不需要被鍍膜的一面)被完全遮擋，不會被鍍膜，避免了鍍膜物料不必要的浪費；參考圖3，為了節省制作鍍膜舟的材料，降低成本，承載單元101的底部還可以優選的具有至少一個貫穿承載單元101底部和102凹槽底部的開口 307，簡單來說，就是承載單元101為鏤空的結構。開口 307的數目和尺寸可根據實際情況進行設計，當開口 307為多個時，承載單元101的底部可以設計成網狀結構等；本實施例優選的為開口數目為一個，開口的尺寸要小于放入凹槽內的硅片的尺寸，開口側壁與凹槽側壁的距離優選的為15mm 50mm，包括端點 值。需要說明的是，上述承載單元的結構組合成舟片時，優選的可以另舟片兩端的承載單元為實心結構，中間部分的承載單元為鏤空結構，這樣既可以避免硅片與凹槽接觸的一面不必要的鍍膜，又可以節省鍍膜舟的材料，降低成本。另外，鍍膜舟的材料可以根據實際情況選擇，優選為導電性好和加工易成型的金屬或其它材料，例如不鎊鋼、石墨等；本實施例鍛I吳舟優選的為石墨舟。雖然本實用新型已以較佳實施例披露如上，然而并非用以限定本實用新型。任何熟悉本領域的技術人員，在不脫離本實用新型技術方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術內容對本實用新型技術方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例。因此，凡是未脫離本實用新型技術方案的內容，依據本實用新型的技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實用新型技術方案保護的范圍內。
權利要求1.一種鍍膜舟，其特征在于，包括至少一個承載單元，所述承載單元上包括凹槽，所述凹槽的側壁與放置在其內部的硅片的邊緣的距離大于Omm，小于或等于2mm。
2.根據權利要求1所述的鍍膜舟，其特征在于，所述凹槽的側壁與放置在其內部的硅片的邊緣的距離為0.5mm 2mm,包括端點值。
3.根據權利要求1所述的鍍膜舟，其特征在于，所述凹槽的深度為0.2mm 1mm，包括端點值。
4.根據權利要求1所述的鍍膜舟，其特征在于，所述承載單元的底部為實心結構。
5.根據權利要求1所述的鍍膜舟，其特征在于，所述承載單元具有至少一個貫穿所述承載單元底部和所述凹槽底部的開口。
6.根據權利要求5所述的鍍膜舟，其特征在于，所述開口的數目為一個，所述開口側壁與所述凹槽側壁的距離為15mm 50mm，包括端點值。
7.根據權利要求1所述的鍍膜舟，其特征在于，所述鍍膜舟為石墨舟。
8.根據權利要求1所述的鍍膜舟，其特征在于，還包括，位于所述承載單元側壁上表面的至少3個卡扣，且3個卡扣分別位于所述承載單元的3個側壁上表面。
9.根據權利要求·8所述的鍍膜舟，其特征在于，所述卡扣的端部為探針形。
專利摘要本實用新型提供了一種鍍膜舟，包括至少一個承載單元，承載單元上包括凹槽，凹槽的側壁與放置在其內部的硅片的邊緣的距離大于0mm，小于或等于2mm。本實用新型所提供的鍍膜舟，通過在承載單元上設置凹槽，凹槽的側壁與放置在其內部的硅片的邊緣的距離為大于0mm，即硅片能夠放入槽內，并且凹槽側壁與所對應的硅片邊緣距離很小，因此凹槽側壁能夠保護硅片的邊緣，減少了邊緣側面鍍膜，從而降低了由于邊緣側面被鍍膜而引起的太陽能電池邊緣漏電，有益于提高太陽能電池的轉換效率，進一步的，通過在承載單元上設置探針形卡扣，鍍膜后所形成的卡點面積減小，太陽能電池片的表面顏色均勻，外觀有所改善。
文檔編號H01L21/673GK203103339SQ201320085799
公開日2013年7月31日 申請日期2013年2月25日 優先權日2013年2月25日
發明者余可, 王立建, 蔡岳莑 申請人:浙江昱輝陽光能源江蘇有限公司