一種鍍膜的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種鍍膜機，包括真空室，所述的真空室內設置有周向旋轉的基座，該基座上設置有多層行星式工件架，該行星式工件架包括底盤、若干片工件片及轉動軸，所述的底盤的中心設置有第一通孔，轉動軸從第一通孔穿過，底盤上設置有若干相互獨立的第二通孔，且各第二通孔繞第一通孔周向分布，各工件片位于相應的第二通孔內，且各工件片可繞第二通孔旋轉，該轉動軸上套設有第一斜齒輪，各工件片上設置有與第一斜齒輪相嚙合的第二斜齒輪；本實用新型在于：該結構的工件片在轉動軸的驅動下，會沿豎直方向轉動，從而帶動被鍍膜物也會豎直方向轉動，在配合軸向轉動的基座，從而實現了被鍍膜物空間上的旋轉，大大提高了鍍膜效果，結構布局合理。
【專利說明】一種鍍膜機
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及機械領域，尤其是一種鍍膜機。
【背景技術】
[0002]鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。
[0003]真空鍍膜是將真空室內材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上，從而形成一層薄膜的技術。而現有的鍍膜機包括真空室、用于使真空罩內部保持真空狀態的真空系統及蒸發源，該蒸發源設置于真空室內部，該真空系統包括輔助泵、擴散泵及機械泵，該機械泵包括泵體、定子及轉子，定子固定連接于泵體內，定子與泵體之間灌滿油，定子內部設置有圓柱狀定子腔，轉子位于該定子腔內，轉子可轉動的連接于定子上，且轉子在定子腔內部做同心轉動，現有的機械泵在真空室內設置沿周向轉動的工件架，該結構的工件架只能使工件在真空室內做周向運動，只能做水平方向上的轉動，無法讓工件達到空間上的旋轉，使工件的鍍膜效果較差，使結構布局不合理；且轉子在定子腔內做同心運動，定子腔內的空氣無法實現劇烈運動，造成氣壓不足。
實用新型內容
[0004]針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種工件鍍膜效果較好、結構布局合理且機械泵制造出的空氣氣壓較大的鍍膜機。
[0005]本實用新型的技術方案是這樣實現的:一種鍍膜機，包括真空室、用于使真空罩內部保持真空狀態的真空系統及蒸發源，該蒸發源設置于真空室內部，該真空系統包括輔助泵、擴散泵及機械泵，該機械泵包括泵體、定子及轉子，所述的定子固定連接于泵體內，定子與泵體之間灌滿油，定子內部設置有圓柱狀定子腔，轉子位于該定子腔內，轉子可轉動的連接于定子上，所述的真空室內設置有周向旋轉的基座，該基座上設置有多層行星式工件架，該行星式工件架包括底盤、若干片工件片及轉動軸，所述的底盤的中心設置有第一通孔，轉動軸從第一通孔穿過，底盤上設置有若干相互獨立的第二通孔，且各第二通孔繞第一通孔周向分布，各工件片位于相應的第二通孔內，且各工件片可繞第二通孔旋轉，該轉動軸上套設有第一斜齒輪，各工件片上設置有與第一斜齒輪相嚙合的第二斜齒輪。
[0006]通過采用上述技術方案，該結構的工件片在轉動軸的驅動下，會沿豎直方向轉動，從而帶動被鍍膜物也會豎直方向轉動，在配合軸向轉動的基座，從而實現了被鍍膜物空間上的旋轉，大大提高了鍍膜效果，結構布局合理。
[0007]本實用新型進一步設置為:所述的轉子在定子腔內做偏心轉動，所述的泵體上設置有進氣口及排氣口，該進氣口與定子腔導通，所述的定子上還設置有排氣閥，該排氣閥與定子腔相連。
[0008]通過采用上述技術方案，通過轉子的偏心轉動，有效的對定子腔內的空氣進行劇烈撞擊，可提高定子腔內空氣的壓力，使機械泵的作用發揮到最大。
[0009]本實用新型還進一步設置為:所述的機械泵還包括有旋片及油分離器，所述的旋片貫穿設置于轉子上，旋片的兩端分別與定子腔的內壁接觸，且旋片可沿轉子徑向來回滑動，該油分離器固定于排氣口處，且位于泵體內部。
[0010]通過采用上述技術方案，在轉子上配合旋片將轉子腔內的氣體進行分隔，瞬間可局部的氣體進行劇烈撞擊，有效的提高了轉子腔內的氣壓，是機械泵的機構更加合理。
[0011]本實用新型還進一步設置為:所述的泵體上還設置有加油口及放油口，且加油口處可拆卸連接有加油塞，放油口處設置有放油塞，且加油口設置于泵體的上部，放油口設置于泵體的下部。
[0012]通過采用上述技術方案，可便于對泵體內的油進行監控，便于操作者增添油量，且通過放油口還可對泵體內油的雜物進行清理，使機械泵在清潔的環境下工作。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型【具體實施方式】中真空室結構示意圖；
[0014]圖2是本實用新型【具體實施方式】中行星式工件架結構俯視示意圖
[0015]圖3為本實用新型【具體實施方式】中機械泵結構示意圖。
【具體實施方式】
[0016]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。
[0017]如圖1及圖2所示，本實用新型公開了一種鍍膜機，包括真空室1、用于使真空罩I內部保持真空狀態的真空系統及蒸發源2，該蒸發源2設置于真空室I內部，該真空系統包括輔助泵、擴散泵及機械泵，該機械泵包括泵體6、定子8及轉子7，所述的定子8固定連接于泵體6內，定子8與泵體6之間灌滿油，定子8內部設置有圓柱狀定子腔81，轉子7位于該定子腔81內，轉子7可轉動的連接于定子8上，在本實用新型具體實施例中，所述的真空室I內設置有周向旋轉的基座3，該基座3上設置有多層行星式工件架4，該行星式工件架4包括底盤41、若干片工件片42及轉動軸5，所述的底盤41的中心設置有第一通孔，轉動軸5從第一通孔穿過，底盤41上設置有若干相互獨立的第二通孔411，且各第二通孔411繞第一通孔周向分布，各工件片42位于相應的第二通孔411內，且各工件片42可繞第二通孔411旋轉，該轉動軸5上套設有第一斜齒輪44，各工件片42上設置有與第一斜齒輪相嚙合的第二斜齒輪43，該結構的工件片在轉動軸的驅動下，會沿豎直方向轉動，從而帶動被鍍膜物也會豎直方向轉動，在配合軸向轉動的基座，從而實現了被鍍膜物空間上的旋轉，大大提高了鍍膜效果，結構布局合理。
[0018]如圖3所示，在本實用新型具體實施例中，所述的轉子7在定子腔81內做偏心轉動，所述的泵體6上設置有進氣口 61及排氣口 62，該進氣口 61與定子腔81導通，所述的定子7上還設置有排氣閥11，該排氣閥11與定子腔81相連，通過轉子的偏心轉動，有效的對定子腔內的空氣進行劇烈撞擊，可提高定子腔內空氣的壓力，使機械泵的作用發揮到最大。
[0019]如圖3所示，在本實用新型具體實施例中，所述的機械泵還包括有旋片9及油分離器10，所述的旋片9貫穿設置于轉子7上，旋片9的兩端分別與定子腔81的內壁接觸，且旋片9可沿轉子7徑向來回滑動，該油分離器11固定于排氣口 62處，且位于泵體6內部，在轉子上配合旋片將轉子腔內的氣體進行分隔，瞬間可局部的氣體進行劇烈撞擊，有效的提高了轉子腔內的氣壓，是機械泵的機構更加合理。
[0020]如圖3所示，在本實用新型具體實施例中，所述的泵體6上還設置有加油口及放油口，且加油口處可拆卸連接有加油塞12，放油口處設置有放油塞13，且加油口設置于泵體的上部，放油口設置于泵體的下部，可便于對泵體內的油進行監控，便于操作者增添油量，且通過放油口還可對泵體內油的雜物進行清理，使機械泵在清潔的環境下工作。
[0021]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種鍍膜機，包括真空室、用于使真空罩內部保持真空狀態的真空系統及蒸發源，該蒸發源設置于真空室內部，該真空系統包括輔助泵、擴散泵及機械泵，該機械泵包括泵體、定子及轉子，所述的定子固定連接于泵體內，定子與泵體之間灌滿油，定子內部設置有圓柱狀定子腔，轉子位于該定子腔內，轉子可轉動的連接于定子上，其特征在于:所述的真空室內設置有周向旋轉的基座，該基座上設置有多層行星式工件架，該行星式工件架包括底盤、若干片工件片及轉動軸，所述的底盤的中心設置有第一通孔，轉動軸從第一通孔穿過，底盤上設置有若干相互獨立的第二通孔，且各第二通孔繞第一通孔周向分布，各工件片位于相應的第二通孔內，且各工件片可繞第二通孔旋轉，該轉動軸上套設有第一斜齒輪，各工件片上設置有與第一斜齒輪相嚙合的第二斜齒輪。
2.根據權利要求1所述的鍍膜機，其特征在于:所述的轉子在定子腔內做偏心轉動，所述的泵體上設置有進氣口及排氣口，該進氣口與定子腔導通，所述的定子上還設置有排氣閥，該排氣閥與定子腔相連。
3.根據權利要求2所述的鍍膜機，其特征在于:所述的機械泵還包括有旋片及油分離器，所述的旋片貫穿設置于轉子上，旋片的兩端分別與定子腔的內壁接觸，且旋片可沿轉子徑向來回滑動，該油分離器固定于排氣口處，且位于泵體內部。
4.根據權利要求2或3所述的鍍膜機，其特征在于:所述的泵體上還設置有加油口及放油口，且加油口處可拆卸連接有加油塞，放油口處設置有放油塞，且加油口設置于泵體的上部，放油口設置于泵體的下部。
【文檔編號】C23C14/56GK203855638SQ201420283841
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年5月29日 優先權日:2014年5月29日
【發明者】林理俅 申請人:浙江宇獅包裝材料有限公司