激光束照射設備和基板密封方法
【專利摘要】提供了一種用于通過使用激光束照射介于第一基板和第二基板之間的密封劑來密封第一基板和第二基板的激光束設備以及一種基板密封方法，所述激光束設備包括控制器，其中，控制器被構造為使激光束散焦并與密封劑的密封路徑交叉地移動激光束的掃描中心軸。
【專利說明】激光束照射設備和基板密封方法
[0001]本申請要求于2012年12月21日提交到韓國知識產權局的第10_2012_0151344號韓國專利申請的優先權和利益，其全部內容通過引用合并于此。
【技術領域】
[0002]本發明涉及一種激光束照射設備和一種基板密封方法。
【背景技術】
[0003]近來，越來越多地使用便攜式薄型平板顯示裝置。在平板顯示裝置中，電致發光顯示裝置為自發射型顯示裝置，自發射型顯示裝置的視角寬、對比度優異且響應速度快，因此，電致發光顯示裝置已經作為下一代顯示裝置而引起注意。此外，當與非有機發光顯示裝置相比時，有機發光顯示裝置在亮度、驅動電壓和響應速度方面具有更好的特性且可實現多色，其中，有機發光顯示裝置中的發光層由有機材料制成。
[0004]通常的有機發光顯示裝置具有這樣的結構，其中，包括發光層的至少一個有機層布置在一對電極之間。
[0005]根據這種有機發光顯示裝置，當濕氣或氧氣由于電極材料的氧化、脫落等而從周圍環境進入內部時，有機發光裝置(OLED)的壽命縮短、發光效率降低、發光顏色劣化且可發生其他問題。
[0006]因此，當制造有機發光顯示裝置時，通常進行這樣的處理，即，通過將OLED與外部隔離來密封OLED以防止濕氣滲入。作為密封方法，通常使用將非有機薄膜和諸如聚酯(PET)等有機聚合物層疊在有機發光顯示裝置的第二電極上的方法，或者使用這樣的方法，即，在封裝基板內部形成吸濕材料、在封裝基板內部注入氮氣并且以諸如環氧樹脂等密封劑來密封封裝基板的邊緣。
[0007]然而，這些方法不能完全阻擋從外部引入的OLED的破壞因素，諸如，濕氣、氧氣等，因此，將這些方法應用于特別易受濕氣影響的有機發光顯示裝置是不利的。而且，用于實現這些方法的處理也是復雜的。為解決上述問題，已提出了這樣的基板密封方法，即，通過將玻璃料用作密封劑以提高OLED基板與封裝基板之間的粘合性。
[0008]在此情況下，因為通過使用下述結構實現了 OLED基板與封裝基板之間的完全密封，所以可更有效地保護有機發光顯示裝置，其中，所述結構即通過在玻璃基板上涂敷玻璃料來密封有機發光顯示裝置。
[0009]根據用玻璃料密封基板的方法，通過在每個有機發光顯示裝置的密封部上涂敷玻璃料并且在移動激光束照射設備以使玻璃料硬化的同時將激光束照射在每個有機發光顯示裝置的密封部上來密封基板。

【發明內容】

[0010]本發明提供了一種能夠使角部的溫度均衡的激光束照射設備以及一種使用所述激光束照射設備的基板密封方法。[0011]根據本發明的一方面，提供了一種通過使用激光束照射介于第一基板和第二基板之間的密封劑來密封第一基板和第二基板的激光束設備，所述激光束設備包括控制器，其中，控制器被構造為使激光束散焦并與密封劑的密封路徑交叉地移動激光束的掃描中心軸。
[0012]控制器可被構造為當控制器平行于激光束移動激光束設備時使激光束散焦。
[0013]控制器可被構造為控制激光束的掃描速度和功率。
[0014]控制器可被構造為當激光束的掃描速度減小時減小激光束的功率以及當激光束的掃描速度增大時增大激光束的功率。
[0015]控制器可被構造為在密封路徑的角處減小激光束的掃描速度和功率。
[0016]控制器可被構造為在密封路徑的角處操作。
[0017]當控制器在密封路徑的角處操作時，在密封路徑的角處的激光束的強度從密封路徑的第一區域至密封路徑的第二區域逐漸增大。
[0018]第二區域中的激光束的強度可以是第一區域中的激光束的強度的兩倍。
[0019]激光束可包括點光束。
[0020]點光束的直徑可與密封劑的寬度基本相同或者等于或小于密封劑的寬度的兩倍。
[0021]根據本發明的另一方面，提供了一種基板密封方法，所述基板密封方法包括:將激光束的中心軸與密封路徑的中心線對準；沿密封路徑的中心線掃描激光束，以利用激光束照射密封路徑；使激光束散焦；沿與密封路徑交叉的方向移動激光束的掃描中心線。
[0022]散焦的操作可包括朝向密封路徑的外邊緣移動激光束的掃描中心線。
[0023]基板密封方法還可包括改變激光束的掃描速度。
[0024]基板密封方法還可包括改變激光束的功率。
[0025]基板密封方法還可包括改變激光束的掃描速度和改變激光束的功率。
[0026]改變掃描速度的操作可包括減小激光束的掃描速度，改變功率的操作可包括減小激光束的功率。
[0027]可在密封路徑的角處執行對準、掃描、散焦和移動的操作。
[0028]在密封路徑的角處的激光束的強度可從密封路徑的第一區域至密封路徑的第二區域逐漸增大。
[0029]第二區域中的激光束的強度可以是第一區域中的激光束的強度的兩倍。
[0030]可在密封路徑的角處執行散焦和移動的操作。
[0031]激光束可包括點光束。
[0032]激光束的寬度可比密封路徑的寬度寬。
[0033]基板密封方法還可包括:使激光束聚焦；以及將激光束的掃描中心線與密封路徑的中心線對準。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0034]通過參照附圖來詳述本發明的示例性實施例，本發明的上述及其他特征和方面將變得更明顯，其中:
[0035]圖1為根據本發明的實施例的有機發光顯示裝置的剖視圖，以描述通過使用激光束照射設備來密封有機發光顯示裝置的密封部的方法；[0036]圖2為圖1的密封部的俯視圖；
[0037]圖3為根據本發明的實施例的在直線區域和角區域中的密封部的俯視圖；
[0038]圖4為根據本發明的實施例的在直線區域中的光束的剖視圖；
[0039]圖5為根據本發明的實施例的散焦光束的剖視圖；并且
[0040]圖6為根據本發明的實施例的用于描述在直線區域和角區域中的密封處理的密封部的俯視圖。
【具體實施方式】
[0041]本發明可允許各種變化或變型以及各種形式上的變化，特定實施例將在附圖中示出且將在說明書中被詳細描述。然而，應當理解，特定實施例并未將本發明限制于特定公開形式，而是包括本發明的精神和技術范圍內的每個變型、等同物或替換實施例。在以下描述中，因為公知的功能或構造會以不必要的細節模糊本發明，所以不會詳細描述。
[0042]雖然諸如“第一”和“第二”的術語可用于描述各種元件，但所述元件不應被所述術語所限制。所述術語可用于將特定元件與另一元件區分。
[0043]本申請中使用的術語僅用于描述特定實施例，而無任何意圖來限制本發明。單數表述包括復數表述，除非它們在上下文中清楚地彼此不同。在本申請中，應當理解，諸如“包括”和“具有”的術語用于指示存在所實施的特征、數量、步驟、操作、元件、部分或上述項的組合，但是并不預先排除存在或附加一個或多個其他特征、數量、步驟、操作、元件、部分或上述項的組合的可能性。
[0044]下面，將參照附圖來更充分地描述本發明，在附圖中示出了本發明的示例性實施例。
[0045]圖1為根據本發明的實施例的有機發光顯示裝置的剖視圖，以描述通過使用激光束照射設備(或激光束設備)250來密封有機發光顯示裝置的密封部(或密封劑)240的方法，圖2為圖1的有機發光顯示裝置的俯視圖。
[0046]參照圖1和圖2，有機發光單元(或有機光發射器)230和圍繞有機發光單元230的密封部240布置在第一基板210和第二基板220之間，且通過從激光束照射設備250發射的激光束260來照射密封部240。
[0047]有機發光單元230形成在第一基板210上。第一基板210可以為玻璃材料基板。
[0048]第二基板220為用于封裝在第一基板210上形成的有機發光單元230的封裝基板，且可以為玻璃材料基板，其中，下面將描述的激光束260可透射穿過該玻璃材料基板。
[0049]有機發光單元230可包括至少一個有機發光裝置(0LED:未示出)，其中，包括發光層的至少一個有機層(未不出)布置在第一電極(未不出)和第二電極(未不出)之間。第一電極和第二電極可分別用作注入空穴的陽極和注入電子的陰極。
[0050]OLED可根據薄膜晶體管(TFT)是否控制OLED的驅動而分為無源矩陣(PM)型或有源矩陣(AM)型。當前的實施例適用于AM型和/或PM型中的任何一種。
[0051]密封部240在與圍繞上述有機發光單元230的位置對應的位置處形成在第二基板220 上。
[0052]密封部240可形成閉環以阻擋有機發光單元230與外部濕氣或氧氣間的接觸。
[0053]雖然圖2示出了形成閉環的密封部240的角部中的每個角部由具有曲率的曲線形成,但本發明不限于此。換句話說,密封部240的角部中的每個角部可形成沒有曲率的成直角的形狀。
[0054]當密封部240的角部中的每個角部具有曲率時，在激光束260用激光束照射設備250中的包括光學系統(未不出)的頭部(未不出)持續地且直接地掃描密封部240的同時可以通過激光束260照射密封部240，從而沿著包括密封部240的角部的密封線(或密封路徑)發射激光束260。
[0055]當密封部240的角部中的每個角部成直角時，在用激光束照射設備250的頭部沿著朝向密封部240的第一個角的第一方向掃描密封部240的同時發射激光束260之后，可將布置于第一基板210下方的平臺(未示出)轉動90°。當轉動平臺時，第一基板210和第二基板220也與所述平臺一起轉動。在轉動平臺后，在沿第一方向掃描密封部240的同時用激光束260照射密封部，以便通過激光束260照射密封部240的第二個角。以此方式，可通過在轉動平臺的同時用激光束260照射的方法來密封密封部240。
[0056]在當前實施例中，為了通過確保第一基板210和第二基板220的氣密性以更有效地保護有機發光單元230，可將玻璃料用作密封部240。可通過各種方法(例如，絲網印刷法、筆滴涂法(pen dispensing method)等)將玻璃料形成為具有玻璃料寬度(例如，預定的玻璃料寬度)FW。
[0057]雖然在當前實施例中，通過在第二基板220上形成密封部240并且在第一基板210上形成有機發光單元230來使第一基板210和第二基板220對準，但本發明不限于此。例如，密封部240可形成于其上已經形成有有機發光單元230的第一基板210上、與第二基板220對準并與第二基板220結合。
[0058]此外，雖然圖1和圖2示出了包括一個有機發光單元230的情況，但本發明可適用于這樣的情況，即，在第一基板210和第二基板220之間包括多個有機發光單元230和圍繞所述多個有機發光單元230的多個密封部240。
[0059]激光束照射設備250在密封部240上以具有根據本發明的實施例的束輪廓的點光束(spot beam)的形式發射激光束260，其中，密封部240沿密封線布置于第一基板210和第二基板220之間。點光束的直徑可與密封部240的寬度基本相同，或者可等于或小于密封部240的寬度的兩倍。
[0060]雖然未詳細示出，但激光束照射設備250可包括用于產生激光的激光振蕩器(未不出)、光束均勻器(未不出)、掃描器(未不出)等。
[0061]就激光振蕩器而言，可使用捆式多芯源，即通常用于激光密封的高功率激光源。
[0062]在這種捆式多芯源中，因為每個芯的輸出功率可能稍微有些變化，所以可通過使用光束均勻器來解決這種非均勻性。
[0063]掃描器可包括反射單元或反射器(未示出)、驅動單元或驅動器(未示出)、透鏡單元(未示出)等，其中，反射單元或反射器用于反射由激光振蕩器發射的激光束260以通過激光束260照射密封部240，驅動單元或驅動器用于驅動反射單元，透鏡單元用于會聚所反射的激光束260。
[0064]從透鏡單元輸出的激光束260以具有根據當前實施例的束輪廓的點光束的形式發射在密封部240上。在此情況下，透鏡單元可位于(或設置于)掃描器內部或者單獨位于(或設置于)掃描器下方以朝向密封部240。[0065]雖然未示出，但當激光束照射設備250發射的激光束260的寬度LW比密封部240的寬度FW寬時,激光掩模(未不出)可設置于激光束照射設備250和第二基板220之間，以調整發射在密封部240的寬度FW上的激光束260的寬度LW。
[0066]根據本發明的實施例，圖3為在直線區域10和角區域20中的密封部240的俯視圖，圖4為直線區域10中的光束30的剖視圖。
[0067]將直線區域10中的密封部240分成從密封部240的內邊緣延伸的第五區域Al、從密封線FL向內延伸的第七區域B1、從密封線FL向外延伸的第八區域Cl和從密封部240的外邊緣延伸的第六區域Dl，其中，內邊緣第五區域Al的寬度為密封部240的寬度FW的0.2倍，第七區域BI的寬度為密封部240的寬度FW的0.3倍，第八區域Cl的寬度為密封部240的寬度FW的0.3倍，外邊緣第六區域Dl的寬度為密封部240的寬度FW的0.2倍。
[0068]類似地，將角區域20中的密封部240分成從密封部240的內邊緣延伸的第一區域A2、從密封線FL向內延伸的第三區域B2、從密封線FL向外延伸的第四區域C2和從密封部240的外邊緣延伸的第二區域D2，其中，內邊緣第一區域A2的寬度為密封部240的寬度FW的0.2倍，第三區域B2的寬度為密封部240的寬度FW的0.3倍，第四區域C2的寬度為密封部240的寬度FW的0.3倍，外邊緣第二區域D2的寬度為密封部240的寬度FW的0.2倍。
[0069]首先描述在直線區域10中的密封處理。由于熱沿著密封部240的邊緣部會比從密封部240的中央部更多地向外部泄漏，因此，可以將比密封部240的中央部的能量大的能量提供到密封部240的邊緣部，從而在發射激光束后沿密封部240的橫截面的溫度分布均勻。因此，可以通過強度比密封部240的邊緣部的激光束的強度低30%的激光束照射在密封部240內部的60%的區域。
[0070]換句話說，在直線區域10中，如果假設第五區域Al中的激光束的強度為100%，則第七區域BI和第八區域Cl中的激光束的強度可以為70%，且第六區域Dl中的激光束的強度可以為100%。然而,本發明不限于此。
[0071]參照圖4，光束30具有基本恒定的光束強度(例如，對于全部光束具有基本恒定的光束強度)，且具有關于具有兩個凹陷側的光束中心線LC對稱的形狀的光束輪廓。此外，光束30的中心線長度LO形成為比光束的圓周部的長度LI和長度L2中的每個長度短，其中，長度LI和長度L2平行于光束中心線LC。
[0072]因此，可通過使光束30的凹陷區域的寬度W與密封線的寬度FW基本匹配來密封密封部240。在此情況下，熱通量在密封部240的邊緣部比在密封部240的中央部可具有更大值，其中，所述熱通量是當沿著密封線的中心線FL掃描密封部240時所發射的激光束強度相對于時間的積分值。
[0073]因此，如果將在直線區域10中具有上述光束輪廓的光束30發射在有機發光顯示裝置的密封部240上，則比密封部240的中央部的能量大的能量可提供到密封部240的邊緣部，從而改善玻璃料的橫截面的溫度均勻性。
[0074]然而，在角區域20中，當使用具有如圖4的光束形狀所示的恒定光束強度的光束進行掃描時，發生了這樣的現象，即，角區域20的內區域的溫度遠高于角區域20的外區域的溫度。這種現象的主要原因在于，首先因為角區域20的內半徑小于角區域20的外半徑，其次因為用作散熱器的圓周部在角區域20的外邊緣大于在角區域20的內邊緣。
[0075]因此，由于在角區域20的內區域和外區域中的不均勻溫度，因此會發生諸如由高溫引起的損壞或角區域20內的布線損壞的現象。此外，角區域20的外邊緣不會適當地熔化，從而導致密封寬度下降或發生裂紋。
[0076]因此，參照圖3，在角區域20中，可以將比密封部240內部的能量大的能量提供到密封部240的外部，以使在發射激光束后沿密封部240的橫截面的溫度分布均勻。因此，可在角區域20中發射激光束，使得激光束的強度從角區域20的內部到角區域20的外部逐漸增加。
[0077]即，在直線區域10中，如果假設第五區域Al中的激光束的強度為100%，則第一區域A2、第三區域B2、第四區域C2和第二區域D2中的激光束的強度可以分別為60%、80%、100%、120%。然而，本發明不限于此。
[0078]現在將描述在角區域20中照射具有上述不同強度的激光束的方法。
[0079]圖5為根據本發明的實施例的散焦光束40的剖視圖，圖6為根據本發明的實施例的用于描述在直線區域10和角區域20中的密封處理的密封部240的俯視圖。[0080]參照圖5，散焦光束40的強度向中心軸Z2外逐漸變弱。
[0081]激光束照射設備250可以在將激光束260會聚在玻璃料240或第二基板220上的方法中發射激光束260。因此，可通過沿平行于激光束260的方向移動激光束照射設備250以使激光束260散焦。即，可通過沿垂直于第二基板220的方向移動激光束照射設備250來使激光束260散焦。
[0082]激光束照射設備250可包括用于控制激光束260的焦點和激光束照射設備250的行進方向的控制器(未示出)。因此，在控制器的控制下，激光束260可以散焦。此外，控制器可通過控制激光束照射設備250沿平行于激光束260的方向移動來控制激光束260散焦。作為實施例，可通過將激光束照射設備250沿平行于激光束260的方向提升20mm來使激光束260散焦，在此情況下，圖像尺寸還可增加17%。
[0083]參照圖5，散焦光束40的強度向中心軸Z2外逐漸變弱，并且散焦光束40可具有與高斯函數類似形狀的能量分布。
[0084]散焦光束40可分成包括中心軸Z2的第二區域D2’、圍繞第二區域D2’的第四區域〇2’、圍繞第四區域02’的第三區域B2’以及圍繞第三區域B2’的第一區域A2’。
[0085]光束強度沿第二區域D2’、第四區域C2’、第三區域B2’和第一區域A2’的順序逐漸變弱。此外，第一區域A2’中的光束強度可以為第二區域D2’中的光束強度的50%或更小。
[0086]參照圖6，激光束照射設備250通過掃描直線區域10和角區域20來發射激光束。
[0087]直線區域10中的激光束110移動至角區域20。如上所述，在直線區域10中，激光束110的中心軸113與密封線的中心線FL對準，且通過沿密封線的中心線FL掃描直線區域10來發射激光束110。
[0088]當激光束110的中心軸113到達角區域20的起點Pl時，在向密封線的外邊緣移動激光束120的同時使激光束120散焦。在從角區域20的起點Pl至散焦終點P2移動的同時使激光束120散焦。此外，這種操作由用于控制激光束120的焦點和行進方向的控制器(未示出)控制。如上所述，可通過沿平行于激光束120的中心軸123的方向移動激光束照射設備250來使激光束120散焦。總之，激光束120在散焦終點P2處結束散焦。
[0089]通過沿X軸和y軸移動用于保持激光束照射設備250的子平臺，可將激光束120從角區域20的起點Pl至散焦終點P2移動。在一個實施例中，X軸的移動值可以在從約
0.8mm至約0.9mm的范圍內，且y軸的移動值可以為約0.5mm或更小。因為當激光束照射設備250從直線區域10至角區域20移動時，激光束照射設備250可沿x軸、y軸和z軸移動，所以可通過控制器沿所有X軸、y軸和z軸精確地控制用于保持激光束照射設備250的子平臺的移動。
[0090]完全散焦的激光束130在角區域20中沿密封線的外邊緣移動。即，完全散焦的激光束130從散焦終點P2至聚焦起點P3移動。
[0091]完全散焦的激光束130可具有向中心軸133外逐漸減弱的光束強度，并且可具有與高斯函數類似的形狀的能量分布。因此，在完全散焦的激光束130的中心軸133正沿著角區域20的外邊緣移動的同時，可發射激光束130，以使得激光束130的強度從角區域20的內邊緣到角區域20的外邊緣逐漸增加。
[0092]參照圖3和圖5，可發射散焦光束40以使得圖5所示的散焦光束40的第二區域02’、第四區域02’、第三區域82’和第一區域A2’分別對應于圖3所示的角區域20的第二區域D2、第四區域C2、第三區域B2和第一區域A2。
[0093]因此，當圖5所示的散焦光束40的第二區域D2’、第四區域C2’、第三區域B2’和第一區域A2’的光束強度相對而言分別為120%、100%,80%和60%時，圖3所示的角區域20的第二區域D2、第四區域C2、第三區域B2和第一區域A2的光束強度可以分別為120%、100%、80%和60%。當然，這種方法適用于完全散焦的激光束130和密封線上的角區域20，其中，以同樣的方式將完全散焦的激光束130發射于角區域20上。
[0094]綜上所述，通過在角區域20中照射激光束260，使得激光束260的強度從角區域20的內邊緣到角區域20的外邊緣逐漸增加，以將比提供到角區域20的內邊緣的能量大的能量提供到角區域20的外邊緣，由此在發射激光束260之后密封部240的橫截面上的溫度分布在角區域20中可以是均勻的。因此，當以根據當前實施例的方法密封顯示裝置時，可提高顯示裝置的固性和粘附強度。
[0095]返回參照圖6，當完全散焦的激光束130的中心軸133到達聚焦起點P3時，激光束130在移動至密封線的中心線FL的同時聚焦。激光束140通過從聚焦起點P3移動至直線區域10的起點P4而聚焦。這種操作由用于控制激光束140的焦點和行進方向的控制器來控制。可通過沿平行于激光束140的中心軸143的方向移動激光束照射設備250以使激光束140聚焦。綜上所述，激光束140在直線區域10的起點P4處結束聚焦處理。
[0096]通過沿X軸和y軸移動用于保持激光束照射設備250的子平臺，激光束140可從聚焦起點P3移動至直線區域10的起點P4。在實施例中，X軸的移動值可以為約0.5mm或更小，y軸的移動值可以在從約0.8mm至約0.9mm的范圍內。因為當激光束照射設備250從角區域20移動至直線區域10時，激光束照射設備250可沿X軸、y軸和z軸移動，所以可由控制器沿所有X軸、y軸和z軸來精確地控制用于保持激光束照射設備250的子平臺的移動。
[0097]完全聚焦的激光束150從直線區域10的起點P4沿直線區域10移動。如上所述，在直線區域10中，激光束150的中心軸153與密封線的中心線FL對準，且通過沿密封線的中心線FL掃描直線區域10來發射激光束150。
[0098]在實施例中，激光束照射設備250的掃描速度可以為約lOmm/s。因此，當以IOmm/S的速度進行掃描時，如果角區域20的曲率半徑為2mm，則掃描一個角區域20需約0.3秒。然而，驅動單元在這樣短的時間內進行上述散焦和軌道變化，可能會超負荷。因此，在角區域20中的掃描速度可小于在直線區域10中的掃描速度。在實施例中，通過將在角區域20中的掃描速度減小至在直線區域10中的掃描速度的1/10，一個角區域20的掃描時間可以為3秒或更多。
[0099]激光束照射設備250的掃描速度可由控制器來控制。
[0100]然而，當如上所述地減小在角區域20中的掃描速度并以現有能量進行密封時，會加入超過需要的熱，從而導致玻璃料線斷裂的問題。因此，當減小在角區域20中的掃描速度時，還可適當地減小激光功率。掃描速度V與激光功率P之間的相關性由等式I表示，其中，C為常數。
[0101]P/√V=C
(1)
[0102]因此，如果將在角區域20中的掃描速度減小至在直線區域10中的掃描速度的10%，則在角區域20中的激光功率可減小至在直線區域10中的激光功率的31.6%。
[0103]然而，參照圖3，角區域20的最外區域(即，第二區域D2)中的激光束的強度可以為直線區域10的外區域(即，第六區域Dl)中的激光束的強度的120%。因此，如果將在角區域20中的掃描速度減小至在直線區域10中的掃描速度的10%，則在角區域20中的激光功率可減小至在直線區域10中的激光功率的37.9%。
[0104]上述的激光束照射設備250的功率可由控制器來控制。
[0105]根據本發明的一個或多個實施例，當將激光束發射在顯示裝置的玻璃料上時，可提高顯示裝置的固性和粘接強度。
[0106]由于為了便于描述而可能放大或縮小了在附圖中所示的組件，因此，本發明不限于在附圖中所示的組件的大小或形狀，本領域普通技術人員將理解的是，在不脫離由本發明的權利要求及其等同物所限定的本發明的精神和范圍內，可在此作出各種形式和細節上的變化。
【權利要求】
1.一種用于通過使用激光束照射介于第一基板和第二基板之間的密封劑來密封第一基板和第二基板的激光束設備，所述激光束設備包括控制器， 其中，控制器被構造為使激光束散焦并與密封劑的密封路徑交叉地移動激光束的掃描中心軸。
2.如權利要求1所述的激光束設備，其中，控制器被構造為當控制器平行于激光束移動激光束設備時使激光束散焦。
3.如權利要求1所述的激光束設備，其中，控制器被構造為控制激光束的掃描速度和功率。
4.如權利要求3所述的激光束設備，其中，控制器被構造為當激光束的掃描速度減小時減小激光束的功率以及當激光束的掃描速度增大時增大激光束的功率。
5.如權利要求4所述的激光束設備，其中，控制器被構造為在密封路徑的角處減小激光束的掃描速度和功率。
6.如權利要求1所述的激光束設備，其中，控制器被構造為在密封路徑的角處操作。
7.如權利要求6所述的激光束設備，其中，當控制器在密封路徑的角處操作時，在密封路徑的角處的激光束的強度從密封路徑的第一區域到密封路徑的第二區域逐漸增大。
8.如權利要求7所述的激光束設備，其中，第二區域中的激光束的強度是第一區域中的激光束的強度的兩倍。
9.如權利要求1所述的激光束設備，其中，激光束包括點光束。
10.如權利要求9所述的激光束設備，其中，點光束的直徑與密封劑的寬度基本相同或者等于或小于密封劑的寬度的兩倍。
11.一種基板密封方法，所述基板密封方法包括: 將激光束的中心軸與密封路徑的中心線對準； 沿密封路徑的中心線掃描激光束，以利用激光束照射密封路徑； 使激光束散焦；和 沿與密封路徑交叉的方向移動激光束的掃描中心線。
12.如權利要求11所述的基板密封方法，其中，散焦操作包括朝向密封路徑的外邊緣移動激光束的掃描中心線。
13.如權利要求11所述的基板密封方法，所述基板密封方法還包括改變激光束的掃描速度。
14.如權利要求11所述的基板密封方法，所述基板密封方法還包括改變激光束的功率。
15.如權利要求11所述的基板密封方法，所述基板密封方法還包括: 改變激光束的掃描速度；和 改變激光束的功率。
16.如權利要求15所述的基板密封方法，其中，改變掃描速度的操作包括減小激光束的掃描速度，并 且 改變功率的操作包括減小激光束的功率。
17.如權利要求16所述的基板密封方法，其中，在密封路徑的角處執行對準、掃描、散焦和移動的操作。
18.如權利要求17所述的基板密封方法，其中，在密封路徑的角處的激光束的強度從密封路徑的第一區域至密封路徑的第二區域逐漸增大。
19.如權利要求18所述的基板密封方法，其中，第二區域中的激光束的強度為第一區域中的激光束的強度的兩倍。
20.如權利要求11所述的基板密封方法，其中，在密封路徑的角處執行散焦和移動的操作。
21.如權利要求11所述的基板密封方法，其中，激光束包括點光束。
22.如權利要求11所述的基板密封方法，其中，激光束的寬度比密封路徑的寬度寬。
23.如權利要求11所述的基板密封方法，所述基板密封方法還包括: 使激光束聚焦；和 將激光束的掃描中 心線與密封路徑的中心線對準。
【文檔編號】H01L27/32GK103878497SQ201310365910
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2013年8月21日 優先權日:2012年12月21日
【發明者】李廷敏 申請人:三星顯示有限公司