濺射設備及其基板承載裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及顯示技術領域，特別是涉及一種濺射設備及其基板承載裝置。
【背景技術】
[0002]目前，在液晶顯示器領域，基板在濺射設備上的傳輸基本依靠基板承載裝置的立式傳輸，其中，如圖1所示，基板承載裝置包括側向托板100、下承托座200和上夾持座300 ;下承托座200和上夾持座300分別設于側向托板100 —面的下部和上部，側向托板100、下承托座200和上夾持座300共同構成一個放置基板400的承載空間；上夾持座300設有多個定位卡夾500，側向托板100沿承載空間的左右兩側設有多個定位卡夾500，用于從上端、左端和右端定位基板。
[0003]使用上述現有技術的基板承載裝置傳輸基板400時，定位卡夾500全部打開，機械手將基板400送入承載空間，放置到下承托板200，然后定位卡夾500閉合，定位卡夾500從基板400的上端、左端和右端定位基板400，從而實現定位夾持，并在運輸線上運輸。但是現有技術的基板承載裝置，裝載基板400過程中，在機械手將基板400放置到下隨手板時，基板400有一個墜落的動作，如果操作時機械手高度太高，基板400與下承托板200碰撞，發生損壞。另外，這種基板承載裝置夾持的基板400在運輸過程中容易晃動，有脫出定位卡夾500掉落的風險。若提高定位卡夾500的夾持力，將容易損壞基板，造成破片的問題。

【發明內容】

[0004](一 )要解決的技術問題
[0005]本發明的目的是提供一種基板承載裝置，避免基板裝載時墜落損壞，并進一步提高基板夾持的穩定性；本發明還提供一種濺射設備。
[0006]( 二)技術方案
[0007]為了解決上述技術問題，本發明提供一種基板承載裝置，包括:側向托板和上夾持座；所述側向托板具有一個承托面，所述上夾持座設于承托面的上側；所述上夾持座設有多個夾持器，用于夾持所述基板；所述承托面的左右兩側分別設有多個定位卡夾，用于從基板的左右兩端定位所述基板。
[0008]其中，該基板承載裝置還包括承托底座，所述承托底座設于所述承托面的下側，且與所述上夾持座相對布置；所述承托底座設有承托單元，用于從下端向上承托所述基板。
[0009]其中，所述承托單元包括多個定位卡夾。
[0010]其中，所述承托單元包括支撐氣缸和支撐板，所述支撐氣缸設于承托底座，所述支撐板設于支撐氣缸的活塞桿。
[0011 ] 其中，所述上夾持座和承托底座均由鋁合金制成。
[0012]其中，所述夾持器包括:轉動驅動器、轉動臂、固定夾板和活動夾板，所述固定夾板設于所述上夾持座，所述活動夾板的上端與所述固定夾板的上端通過鉸鏈相鉸接，所述轉動臂的擺動端與所述活動夾板固定連接，所述轉動臂的驅動端與所述轉動驅動器相連接，所述轉動驅動器通過轉動臂驅動所述活動夾板繞所述鉸鏈轉動，使所述活動夾板與固定夾板閉合或者打開。
[0013]其中，所述轉動驅動器為氣缸，所述氣缸的缸筒鉸接于所述上夾持座，所述氣缸的活塞桿與所述轉動臂的驅動端相鉸接。
[0014]其中，所述轉動驅動器包括伺服電機和可在所述伺服電機驅動下轉動的轉盤，所述轉動臂的驅動端設有滑槽，所述轉盤設有凸軸，所述凸軸可滑動地插設于所述滑槽。
[0015]其中，所述固定夾板和所述活動夾板閉合時相對的一面設有夾持軟墊。
[0016]其中，所述夾持軟墊由毛氈或者橡膠制成。
[0017]本發明還提供一種濺射設備，包括上述所述的基板承載裝置。
[0018](三)有益效果
[0019]本發明提供的濺射設備及其基板承載裝置，在上夾持座設置夾持器，基板在裝載過程中，機械手運送基板到位后，由夾持器夾持且吊掛，基板無墜落動作，減少基板損壞的風險；同時，承托面的下側設有承托底座，承托底座設置承托單元，使基板的六自由度均被限定，提尚基板夾持的穩定性，避免基板掉洛損壞，進一步保證基板運輸的安全性。
【附圖說明】
[0020]圖1為現有技術的基板承載裝置的正視圖；
[0021]圖2為本發明的基板承載裝置實施例1的正視圖；
[0022]圖3為本發明的基板承載裝置實施例1的左視圖；
[0023]圖4為圖3中A部分放大圖；
[0024]圖5為本發明的基板承載裝置實施例2的左視圖；
[0025]圖6為圖5中B部分放大圖；
[0026]圖7為本發明的基板承載裝置實施例2的正視圖。
[0027]圖中，100:側向托板；200:下承托座；300:上夾持座；400:基板；500:定位卡夾；
10:側向托板；20:承托底座；30:上夾持座；40:基板；50:定位卡夾；60:承托單元；61:支撐氣缸；62:支撐板；70:夾持器；71:固定夾板；72:活動夾板；73:鉸鏈；74:轉動臂；75:氣缸；76:伺服電機；77:轉盤；78:凸軸；741:滑槽；712:夾持軟墊。
【具體實施方式】
[0028]下面結合附圖和實施例，對本發明的【具體實施方式】作進一步詳細描述。以下實例用于說明本發明，但不用來限制本發明的范圍。
[0029]如圖2至4所示，本發明提供一種基板承載裝置，包括:側向托板10和上夾持座30。側向托板10具有一個承托面11，如圖2所示，側向托板11的前面作為承托面11，上夾持座30設于承托面11的上側。上夾持座30設有多個夾持器70，用于夾持基板40。如圖2所示，夾持器70的數量為3個，但不限于3個。承托面11的左右兩側分別設有多個定位卡夾50，用于從基板40的左右兩端定位基板40。
[0030]使用時，定位卡夾50和夾持器70均打開，機械手將基板40運送到基板承載裝置，夾持器70首先閉合夾持基板40，然后定位卡夾50閉合，從基板40的左右兩端定位。本發明采用夾持器夾持基板40，將基板40吊掛在基板承載裝置的夾持座上，基板40在裝載到基板承載裝置時，不需要將基板40放下，基板40無下墜的動作，避免基板40損壞。同時，承托面11左右兩側的定位卡夾50從基板40的左右兩端進行定位，基板40的在運輸過程