專利名稱：用于把硅片從多盒站裝載及卸入爐子的裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種裝置，此裝置用于把半導體材料的硅片裝載和卸入爐子，例如把硅片裝入一水平擴散爐那樣的化學及熱處理的裝置。
背景技術：
本發明是用于制造半導體元件的工業。
硅片裝在諸塑料盒子里送到凈化房間內，該盒子在一具有25個位置的塑料小盒子里接納25塊硅片，此小盒子稱為筐。小盒子內的諸槽形成不同的位置。在把塑料小盒子傳送到由耐熱材料例如石英或碳化硅制成的舟上后，這些硅片就在水平爐子中被加熱處理。這些石英或碳化硅舟是用手工放在懸臂狀的碳化硅懸臂支架上的。正常的負荷是50圓片的6-8個舟。在凈化室內，通常用傳送機來傳送一個筐或至多兩個筐到同一舟上，因此，舟內裝著置于舟的25個或50個槽內的25片或50片硅片。舟是用人工一級級放在懸臂支架上的，因為水平擴散爐一般包括四個疊置的級，其中最上面的一級離地約2米左右。
用這種方法裝卸有以下諸缺點-使用人工操作會在集成電路的微形圖案上產生微粒，在進入爐子中后，這些微粒會造成電氣缺陷。
-人工操作人員在把舟置于懸臂支架上時會因與耐火材料的摩擦而產生微粒，從而導致電氣缺陷的產生。以及-裝有25-50片、每片150或200毫米硅片的舟重量較大，比較難以把它們裝到擴散爐上面的諸級上去。
還必須指出，用人工將舟放在懸臂支架上進行定位是不規則、可靠的，這不能保證結果的可重復性，因為不能保障在擴散室里的穩定和正確的位置。
最后，由于人工誤差，操作人員有可能把熱處理后的硅片放進壞的小盒子中，在制造半導體的不同步驟中，它不能可靠地和穩定地進行批量生產。
為了避免這些缺點，出現了升降機系統，用以自動地把每只舟裝到預選的各級上去，這些升降機提供的自動傳送系統往往只能傳送一只筐或至多兩只筐。
這種做法有如下的缺點-要放在懸臂支架上的負荷有8-10筐的25個硅片的筐。在裝卸這些筐時，操作人員必須在場為自動傳送遞進負荷。
-此外，供評定熱加工效果用的樣品硅片，必須安放在舟上精確位置，并且要在熱處理之后取出來進行測量。盡管是由升降機進行自動裝載，但操作人員仍需用人工把它們定位在懸臂支架上。
-另一方面，裝滿硅片及裝在懸臂支架上的舟的負荷必須配有石英或碳化硅圓盤的屏蔽舟。
-最后，由于人工失誤，操作人員在熱處理之后，會有可能將熱處理過的硅片返回到壞的筐中，這樣在生產的不同步驟中就亂了套。同樣的問題也會發生在相對于它們在負荷上的位置恢復樣品原位的時候。
發明的概述本發明的目的是通過提供一種新的不用人工操作就能裝卸懸臂支架的裝置而克服上述已有技術的缺點。
為此目的，本發明的自動裝卸要在進行熱處理裝置中進行處理的負荷的新裝置包括至少一個懸臂支架，它適于容納所有要處理的負荷，該負荷是由幾個彼此獨立的負荷件組成的，所述負荷由安排在筐中的一組硅片成批安置，每一裝載件由一硅片組成，而所述熱處理裝置至少由一個擴散爐組成，懸臂支架及其攜帶的負荷送入爐中，負荷因此在此爐高度上分布在石英或其他合適材料的舟中，其特征在于，本發明的裝置包括一多筐自動傳送設備，它在一接收區中接收所要處理的包括幾種負荷件的所有負荷，確保把所有要熱處理的負荷件都從接收區傳送到懸臂支架處，所述負荷包括甄別負荷以及樣品負荷，如果需要，還可以包括一假負荷(模擬的、等效的、坯料的負荷)。在熱處理結束之后，反過來，把所有熱處理過的負荷全部向接收區域傳送，并且，將懸臂支架移向屏蔽負荷、樣品件負荷原來的位置處。傳送中的種種不同操作根據預定的方案進行，所述預定的方案預先錄在與傳送設備電氣相連的一個多任務監控裝置的一個存儲單元中，所述監控裝置至少確保種種不同傳送操作中的監控工作。
由于這些特征，在懸臂支架的裝載開始之前，操作人員可以把所有要熱處理的負荷置于接收區域上，在此精確位置，可以有幾批彼此分開的負荷，每批包括放在合適的筐內的、彼此分開地安放的幾個負荷件。在此精確位置的負荷，因此是由幾個可移動的筐所組成，其中每一個筐含有幾個負荷件。用戶可以把每一含有幾個負荷件的幾個筐放置在接收區域。
為了應用于對硅片的處理，筐由合成材料制成，但合成材料不能抵御或忍受熱處理的溫度。
為此，根據本發明的另一個特征，該自動傳送設備首先確保把在合成材料筐中的負荷件傳送到石英舟，當負荷已滿時，把石英舟傳送到懸臂支架上去。
根據本發明的另一個特征，該監控裝置包括一觸摸式的平面屏幕，在此屏幕上，監控裝置顯示不同的參數以及加載操作各種可預見的方案，每一方案確定了舟的位置、產品硅片或坯件(假、模擬或等效負荷、或空白件)的數目、在專用舟上的樣品板的位置、屏蔽舟的自動裝載。這樣，用戶通過觸摸式屏幕，就可以選擇操作方案并開始多筐傳送操作。
根據本發明的另一特征，該多筐自動傳送設備包括-一多筐傳送站，它包括負荷的接收區域，該區域由一水平板的上表面組成，在接收區上，諸筐以預定的方式置于精確的位置，所述接收區域可以接受8-12只筐，每只筐容納25個負荷件。
-一可控升降裝置，具有一夾緊頭系統并與監控裝置電氣連接；-一多筐自動裝卸站，該裝卸站與監控裝置電氣相連；-一用于定位的水平樞轉定向支承件，它也與監控裝置電氣相連；-一個或幾個存儲臺，用于存放空舟；-一個或幾個智能存儲臺，用于存放裝有屏蔽負荷的舟，這些智能存儲臺設置在自動多筐傳送站的上面、可控升降裝置的相鄰處。
在多筐傳送站的負荷接收區域，根據本發明的又一個特征，該接收區域包括幾對用于筐的定位裝置，確定筐的不同位置。按照本發明的又一特征，該定位裝置由傳送站的水平板上的長方形或矩形開口組成，用以形狀配合地接收形成在筐中的垂直定位唇狀邊緣。
根據本發明的又一特征，每一筐中的各負荷件通過其邊緣由自動裝卸站夾緊。對于硅片來說，其處理基本涉及至少它的其中一個大的表面，該自動裝卸站通過它們邊緣夾緊它們。這樣就可以避免它們的大的表面的變動。此站可以依次把加裝在舟上的8-12個筐傳送到提供滿筐和空筐的旋轉支承件上。此外，樣品板可以自動地設置在由監控裝置根據安排方案確定的舟的位置上。
在相應的筐和舟之間傳送的時候，負荷的移動可以分成先作垂直上升移動，此后再在較高的位置作水平移動，以后再垂直下降。此分成三步的傳送移動可以由裝卸站完成，但是根據一較佳實施例，至少筐的負荷件從筐移出或移到筐的垂直傳送移動是由一輔助提升件加以確保的。最好此提升件設置在傳送站的水平板下面，此與每一筐相配合的水平板包括提升件的一個通道開口，而筐則沒有底部，以便使提升件可以壓在負荷件上，確保它們彼此之間的位置不變。
根據本發明的一另一個特征，水平樞轉定向支承件還有一第二提升件。此第二提升件設置在水平支承件下面，后者具有一開口，以允許該提升件通過。此外，每一舟沒有底部，以允許此升起(上升)件通過，此后者可以抵壓在負荷件上，確保它們彼此的位置保持不變。
根據本發明的另一特征，至少提升件之一可以繞一垂直軸線轉1/4圈地移動。這一安排是特別有利的，因為由于此移動，可以大大提高自動傳送站對操作人員的工作環境。因此，現在有可能不依賴于或不受裝卸站的傳送移動和/或升降裝置的移動所需的橫向或縱向位置的約束。現在使用者可以人類系統工程學方式將筐安置于板上，從而操作人員的背部運動降低到最小程度并降低由于不良的背部位置可能產生的對身體健康不利的危險。
根據本發明的又一特征，升降裝置是一四軸線型的升降裝置，它包括一操作臂，此臂可沿垂直方向和彼此垂直的兩水平方向移動，所述操作臂具有夾緊頭。
根據本發明的又一特征，此升降裝置還與溫度檢測器，力檢測器以及一用于通過一激光器調節懸臂支架的位置的裝置相聯系。
根據本發明的又一特征，自動傳送站具有一自動裝置，用以對容納在每一筐內的硅片進行定位，每一筐包括一定位平面。此裝置設置在自動傳送設備的下面，當硅片還在它們的筐中的時候，它確保硅片的位置不變。此安排(結構)與監控裝置電氣相連并受后者監控。
根據本發明的再一個特點，自動傳送站的水平板可以在水平面上移動，此移動與裝卸站的移動結合在一起，每個筐將逐一定位在此站附近。
根據本發明的另一個特點，諸筐被以行和列的方式安排在水平板上。在這里，此板可移動地安裝在水平導向滑動件上，可在垂直裝卸站的水平移動方向的水平方向上移動。作為一種結構的變化，根據本發明的另一個實施例，諸筐在板上安排成一個圈，此時，此板可繞通過圓的中心的一垂直軸線旋轉而移動。在此結構中，使用者所占據的裝載板的位置，相對于提升件偏移90°的角度。當筐位于某一提升件之上，筐與提升件偏移90度，以及在將筐裝載在水平板上時，這個裝載位就是一個有利于操作者健康的人類系統工程學位置。
根據本發明的此安排的另一個優點是它簡化了自動傳送站的生產。因為不再需要給相關提升件提供在繞垂直軸旋轉中移動的一個自由度。
根據本發明的另一個特點，本裝置具有一組檢測器以檢驗移動順序是否正常行進。溫檢測器還可以檢驗與筐的合成材料相容的舟的溫度。
本發明的其他優點和特征將在閱讀下面結合附圖對作為舉例說明用的實施例的敘述而變得更為明顯。
附圖的簡要說明，附圖中

圖1a是根據本發明的整個裝卸裝置的前視圖；圖1b是從圖1a的左面看過去的視圖，圖中示出了根據本發明的裝卸裝置；圖1c是從圖1a的右面看過去的視圖，圖中示出了根據本發明的裝卸裝置；圖1d根據本發明的裝卸裝置的頂視圖；
圖2和圖3示出了在籃筐和舟之間傳送晶片的自動傳送設備的立體圖。
較佳實施例的詳細描述為了便于描述裝置的不同部分的運動，X方向將代表裝置的縱向，Y將代表橫向，而Z將代表垂直方向。這些軸線清楚地示于圖1a～圖1d中。
在圖1a到圖1d中，示出了根據本發明的對將要在一熱處理裝置中處理的負荷進行自動裝卸的裝置。該裝置由一擴散爐1和幾個構架構成，構架包括一些適于接納所有要熱處理的負荷的石英舟的懸臂支架。該要熱處理的負荷開始是由裝在合成材料的藍或筐5中的晶片或硅片類型要熱處理的負荷件組成的。該懸臂支架每一個都可以在X方向移動以將晶片插入爐子1中。此裝置包括在一接收區域接納所有要熱處理的、由硅片組成的、置于合成材料藍筐中的負荷的多筐自動傳送設備，并確保將要熱處理的所有負荷從接收區域向懸臂支架的傳送，負荷包括屏蔽負荷及樣品件，如果需要也可包括假負荷。在熱處理完成之后，進行反向傳送，即將所有熱處理過的負荷傳向接收區域以及將懸臂支架移向原來的位置，以及移送屏蔽負荷及樣品負荷。傳送的不同操作是按照一個預定的方案進行的，這個方案是預先錄在一多任務監控裝置的存儲單元中的，此監控裝置與所述傳送設備電氣相連(電連接)，該監控裝置至少要確保種種傳送操作的監視和控制。因此，此傳送設備確保了晶片4在筐5和舟6之間的自動傳送。為了能承受加工處理的溫度，起初放在合成材料筐5中的晶片必須傳送到由石英制成的舟6之中。筐和舟可以具有種種不同的形狀。例如，在圖1a中筐是向上敞開的平行六面體的形狀。筐的內部具有凹槽以對晶片進行定位并將晶片保持住。舟可以是向內彎曲形狀的容器，把晶片的底部保持在凹槽內。當然，筐和舟也可以具有別的合適的形狀。例如，筐和舟可以容納25或50塊成排設置的硅片，硅片之間離開幾個微米。
所述裝置還包括-一多筐傳送站3，它具有一負荷的接收區域，該區域由一水平板7的上表面組成，在此板的接收區域上，筐5以預定的方式置于精確的位置。此接收區域可以容納或接受8到12個筐，每個筐可以容納25個負荷件；
-一個可控升降裝置11，它具有一夾緊頭系統17，升降裝置與一監控裝置電氣相連(電連接)；-一多筐自動裝卸站10，電氣地與該監控裝置相連；-一水平樞轉定向支承件8，它電氣地與該監控裝置相連；-幾個存放空舟的存儲臺14；-幾個智能存儲臺15，用于存儲其中裝有屏蔽負荷的舟，這些存儲臺設置在多筐自動傳送站的上方的可控升降裝置鄰近。
該監控裝置包括一觸摸式的平的屏幕，在屏幕上，監控裝置顯示不同的參數以及種種可供選擇的、可以用于加載或裝載操作的方案，每一方案中包括舟的位置，產品硅片或坯件的數目，專用舟上的樣品板的位置，屏蔽舟的自動裝載。因此通過觸摸式屏幕，用戶可以選擇方案并開始多筐傳送的操作。
對于懸臂支架2的裝載操作，該監控裝置控制著升降裝置/操縱裝置11以通過它的夾緊頭17使在相應舟存儲臺14、15中的一空舟6升起并將此舟運送和安放至樞轉定向支承件8上。然后，此監控裝置在自動裝卸站10將容納在筐5之一筐中的一批負荷件升起并把這批負荷件置于舟中。如果該舟的容量可以接受兩批負荷件，則監控裝置控制水平樞轉定向支承件8的旋轉，繞垂直軸線轉半圈，然后再操縱自動裝卸站10以升起容納在另一筐5中的一批負荷件并把這批負荷件置于該舟內。這樣，舟6就裝進了比每一筐的容量為大的負荷。還可以在水平定向支承件8上設置兩只舟6。在此情況下，每一舟的容量等于每一個筐5的容量。在裝載了每一舟之后，該監控裝置控制升降裝置11以使該升降通過它的夾緊頭18抓住舟8，然后把舟8運送并安置在懸臂支架2上。該監控裝置還控制升降裝置11以使它把屏蔽舟裝在懸臂支架2上。前面的各步驟被重復進行直到裝載結束為止。懸臂支架2然后把全部的舟送進爐子1。一旦處理完畢，這些舟就被卸下，并將以同樣操作過程但相反方式把硅片再裝進小盒子內。
懸臂支架的負荷加載的自動化以及參與裝載中的各單元的移動的監控的優點在于諸舟被精確安置在懸臂支架上，此舉保證了結果的可重復性。
在裝載上述舟的操作中，監控裝置可以監控升降裝置11以使它同時能在相互交疊的時間內完成其他任務，例如在懸臂支架上裝載屏蔽舟。
自動傳送站3的板7可以在水平面上移動，從而結合裝卸站10的移動，它可以把每個筐一個個地安置在站的附近。
多筐傳送站的接收區域的板7安排成可同時接受幾個筐5，例如8個到12個，為此目的，根據一第一實施例，此板包括幾個位置，在這些位置上，操作人員可以在其中放置筐。這些位置最好以筐的不同位置的形式，由幾對筐定位裝置來確定。定位裝置可以由橫向站的水平板上的長方形開口組成。這些開口用于形狀配合地接受形成在筐上的垂直定位唇狀邊緣。
根據一第一實施例，諸筐5是沿著行和列安排在板7上的。在此情況下，板是可移動地裝在水平滑動件上以在Y方向上作引導的，此方向與裝卸站10的水平移動方向是垂直的。
作為一種變化形式，諸筐5在板7上安排成一個圓。在這里，板可以繞通過此圓的中心的垂直軸線旋轉方式移動。在此安排中，由使用者占據的裝載該板的位置可以相對于提升件偏移90°，因此，當筐位于某一提升件之上時，如果當筐裝載在板上時，與提升件偏移90°，這種裝載位置就成了與操作人員身體健康有利的位置，即適合于成為人體系統工程學位置。
當負荷件4在相應的筐5及舟之間傳送時，此負荷件4的移動可以分成一垂直升高移動，繼之以在一個新的高度作水平移動，再繼之作一個垂直下降移動。此分成三步的移動有可能受裝卸站所影響，但是按照本發明的一個較佳實施例，至少負荷件離開筐或向著筐的垂直移動是由垂直移動的輔助提升件9所確保的。此輔助提升件9設置在傳送站3的水平板7的下面，而與每一筐相應的所述板包括一可以讓該提升件通過的開口，而筐5則無底部。因此所述提升件可以抵壓在負荷件4上，確保它們彼此之間的相對位置保持不變。此提升件的目的是將包含在筐中的硅片負荷上升到一個較高的位置，根據這種位置諸負荷可以被裝卸站10所裝卸。
最好，水平樞轉定向支承件8還有一第二提升件。最好，此第二提升件可保證負荷件朝向舟或離開舟方向的垂直移動并安置在水平支承件的下面，然而后者設一個讓第二提升件通過的開口。此外，每一舟沒有底部以允許當提升件通過時，后者可以抵壓在負荷件上確保維持它們之間的相對位置。
對于可沿Y軸線移動的板，至少諸提升件中的一個提升件可以繞垂直軸線旋轉，即可以繞Z軸線旋轉一圈的1/4。
這種安排是非常有利的，因為由于這種安排，就可以大大地提高自動傳送站的工作環境。這樣就可以不受由裝卸站10傳送移動和/或由升降裝置11的移動所要求的每一筐5的橫向或縱向位置的約束。現在就有可能以最方便操作者的方式把筐定位在板7上，從而把操作者的背部運動減少到最低程度。并且降低由于不良的背部位置而造成傷害的危險。
根據本發明的一個較佳實施例，提升件9由彼此分開的水平推進器13和13’組成，并具有用于保持硅片的諸槽。所述推進器固定于同一個攜載結構上，此攜載結構則固定于與監控裝置電學相連的電動機元件上。
根據本發明的一個較佳實施例，自動傳送站10具有一使裝在每一筐內硅片定位的自動裝置，每一硅片包括一定位平面。此裝置安置在自動傳送站的板的下面，當這些硅片仍在筐中的時候，它確保硅片的定位。此裝置與監控裝置電氣相連并由監控裝置加以控制和轉向。
裝卸站10可沿X軸線在水平方向以及沿Z軸在垂直方向上移動。此站具有夾緊及保持硅片的夾緊件及保持件以供硅片傳送時使用。此夾緊及保持件由兩個爪12及12’組成，每個爪都可以以相反方向旋轉并通過它們的邊緣抓住筐中一系列硅片的底部。每個爪12及12’都具有定位硅片的槽。
水平樞轉定向支承件8接受要裝進待處理負荷的舟或接受在卸出以前的舟。此支持件8可繞Z軸線旋轉安裝，并且至少為裝卸站10提供交替地出現在裝或卸位置中的兩個位置。
該升降裝置11是四軸線型升降裝置，它包括可在垂直方向以及可在彼此垂直的兩個水平方向上移動的操作臂。所述操作臂具有夾緊頭17。從圖中可以看出，該操作臂是可垂直移動地裝在一垂直的引導柱上的，而引導柱本身至少其一端可以在沿X方向延伸的水平引導軌道上移動。該臂也在Y方向上延伸，它被安排成可伸縮地在Y方向移動。夾緊頭17安裝在臂的端部，安排成從下面夾住不同的舟以對它們進行傳送。夾緊頭位于舟的下面，把舟從它的支架上升起，可以把它沿著Y軸線從裝置脫開并把它從一個站移動到另一個站。
此升降裝置還與諸溫度檢測器、力檢測器和一用于通過一激光器調節懸臂支架的位置的裝置相連。
最后，本發明的裝置具有一組檢測器以檢驗傳送是否安排正常順序進行，并有一溫度檢測器用以檢驗舟的溫度是否與筐的合成材料的溫度相容。
權利要求
1.一種用于對要在熱處理單元(1)中進行處理的負荷進行自動裝卸的裝置，該裝置包括至少一個懸臂支架(2)，它用于接受所有要處理的負荷，所述負荷由幾個彼此獨立的負荷件(4)組成，所述負荷由一組硅片或圓片組成，硅片分批安排在筐(5)中，每個負荷件由硅片組成，所述熱處理單元(1)由至少一個擴散爐組成，懸臂支架(2)及其攜帶的負荷進入該擴散爐中，在此高度上的負荷分布在石英舟(6)或其他合適材料的舟中，其特征在于，裝置包括一多筐自動傳送設備，用于在一接收區域接收所有要處理的負荷，負荷由幾個負荷件組成，并確保把所有待處理的負荷從接收區域向懸臂支架(2)的傳送，所述所有負荷包括屏蔽負荷及樣品件，如果需要也可以是一空白或坯料負荷，在熱處理完畢之后，以相反方式，把所有處理過的負荷向接收區域傳送以及將屏蔽負荷及樣品件從懸臂支架(2)朝著它們原來位置傳送，不同的傳送操作均按照一預定的操作方案進行，此預定的方案預錄在與傳送設備電氣相連的一多任務監控裝置的一存儲單元中，所述監控裝置能確保至少對各種操作的監控與控制。
2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，該自動傳送設備首先確保把裝在合成材料制成的筐(5)中的負荷件傳送向石英舟，一旦所有舟都裝滿后，就把諸舟傳送向懸臂支架(2)。
3.如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，該監控裝置包括一觸摸式平面屏幕，在屏幕上，所述監控裝置顯示不同的參數以及有關裝載操作的各種可預見的方案，每一項方案包括舟的位置，產品硅片、空白件或坯件的數量，在專用舟上的樣品板或樣品片的位置，以及屏蔽舟的自動裝載。
4.如前述權利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述多筐自動傳送設備包括一多筐傳送站(3)，包括一負荷接收區，該接收區由水平板(7)的上表面構成，在接收區域上，筐按順序設置在精確的位置上，所述區域用以接收8至12只筐，每只筐容納25個負荷件；-一可控升降裝置(11)，具有一夾緊頭系統并與監控裝置電氣相連；-一多筐自動裝卸站(10)，該裝卸站與監控裝置電氣相連；-一水平樞轉定向支承件(8)，它也與監控裝置電氣相連；-一個或幾個存儲臺(14)，用于存放空舟(6)；-一個或幾個智能存儲臺(15)，用于存放裝有屏蔽負荷的舟，這些智能存儲臺設置在自動多筐傳送站的上面、可控升降裝置的相鄰處。
5.如上述權利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，多筐傳送站(3)的負荷的接收區域包括幾對用于筐(5)的定位裝置，從而可確定筐的不同位置。
6.如權利要求5所述的裝置，其特征在于，該定位裝置由傳送站(3)的水平板(7)上的矩形開口組成，用以形狀配合地接收形成在筐中的垂直定位唇狀邊緣。
7.如上述權利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，當負荷件(4)在相應的筐(5)和舟(6)之間傳送時，它們的移動分成垂直上升移動，繼之以沿上部高度的水平移動，再繼之以一垂直的下降運動。
8.如權利要求7所述的裝置，其特征在于，至少負荷件離開筐(5)或朝著筐的垂直移動是由一輔助的提升件(9)所加以保證的，該輔助提升件設置在傳送設備(3)的水平板(7)之下，此與每一筐成一行的水平板(7)包括一供提升件(9)通過的開口，而筐(5)則無底部，因此所述提升件可抵壓在負荷件上，確保它們彼此之間的位置保持不變。
9.如權利要求7或8所述的裝置，其特征在于，有一第二提升件以確保負荷件朝著舟或離開舟的方向的垂直移動，所述第二提升件設置在水平樞轉定向支承件(8)的下面，后者設有一用于提升件通道開口，而每一舟(6)沒有底部，所以可以讓提升件通過，以便提升件可以抵壓在負荷件上，確保它們彼此之間的相對位置保持不變。
10.如權利要求8或9所述的裝置，其特征在于，至少提升件(9)之一可繞垂直軸線作四分之一圈的旋轉地移動。
11.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，自動傳送站(6)的水平板(7)可在一水平表面上移動，以與裝卸站(10)的移動結合而使每一個筐可以在所述站附近依次被定位。
12.如權利要求11所述的裝置，其特征在于，諸筐按行和列安排在水平板上。
13.如權利要求12所述的裝置，其特征在于，水平板(7)可移動地安裝在水平滑道上，用以在垂直于裝卸站的水平移動的方向上作引導。
14.如權利要求11所述的裝置，其特征在于，筐(5)在板(7)上安排成一個圓，板(7)可繞一經過所述圓的中心的垂直軸線旋轉地移動。
15.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，該自動傳送站(3)具有一使每一筐內的硅片進行自動定位的裝置，每一硅片都具有一定位的平面。
16.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述裝卸站(10)可沿X軸線作水平移動及沿Z軸線作垂直移動，所述裝卸站(10)具有一在傳送時用于諸板夾緊及保持的裝置。
17.如權利要求16所述的裝置，其特征在于，該夾緊裝置是由兩個爪(12)和(12’)構成的，每一個爪由一個相對的旋轉運動所驅動，并且通過邊緣夾緊筐的一系列硅片的底部，爪(12)及(12’)均具有定位硅片的諸槽。
18.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，定位支承件(8)可繞Z軸線旋轉地安裝并且包括至少為裝卸站(10)在裝卸中交替地提供裝或卸的兩個位置。
19.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，該升降操作裝置(11)為一四軸型升降操作裝置，并且包括一可在垂直方向以及根據彼此相互垂直的兩個水平方向移動的操作臂(18)，所述操作臂具有夾緊頭(17)。
20.如權利要求19所述的裝置，其特征在于，該升降裝置(11)具有與之聯系的諸溫度檢測器、力檢測器及由一激光器調節懸臂支架的位置的裝置。
21.如前述權利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，該裝置具有一組檢測器，以檢驗傳送順序是否正常進行，并至少有一個溫度檢測器用于檢驗諸舟的溫度。
全文摘要
本發明涉及一種用于自動裝卸在熱處理裝置(1)，如擴散爐中待進行熱處理的的裝置。所述裝置包括至少一懸臂支架2，用于接收所有進料或負荷以及把負荷送進爐子。所述負荷包括安排在石英舟中的硅片(4)。該裝置包括一多筐自動傳送設備，該設備在一接收區域接收所有負荷并把它們從接收區域傳送到懸臂支架，整個負荷，需要時也可包括假負荷，屏蔽負荷及對照負荷。在處理結束后，以相反的方向，把整個處理過負荷傳送到接收區及將屏蔽負荷及控制或對照負荷從懸臂支架傳送到它們的原來的位置。本裝置的種種操作都按照一預定的操作方案進行。
文檔編號H01L21/677GK1524286SQ02813597
公開日2004年8月25日 申請日期2002年5月14日 優先權日2001年5月14日
發明者Y·佩勒格林, Y 佩勒格林, C·吉拉爾 申請人:塞姆科工程股份有限公司