中文字幕无码日韩视频无码三区

用于光學位置編碼器的位置探測設備的制作方法

文檔序(xu)號:39561892發布日期:2024-09-30 13:36閱讀:93來源:國知(zhi)局(ju)
用于光學位置編碼器的位置探測設備的制作方法

本發明涉及(ji)一(yi)(yi)種(zhong)用(yong)于(yu)光(guang)學位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)編(bian)碼器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)探(tan)(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)設(she)(she)備(bei),其(qi)(qi)具(ju)有用(yong)于(yu)對(dui)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)進(jin)行光(guang)學游(you)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)分(fen)段軌(gui)道(dao)掃描的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)三(san)(san)個(ge)模(mo)(mo)擬(ni)(ni)軌(gui)道(dao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)三(san)(san)個(ge)模(mo)(mo)擬(ni)(ni)信號傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi),特(te)別(bie)是具(ju)有不同(tong)數量(liang)(liang)條(tiao)紋(wen)(wen)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)。本發明的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)進(jin)一(yi)(yi)步(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)主(zhu)題是一(yi)(yi)種(zhong)用(yong)于(yu)確定絕對(dui)位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)學位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)編(bian)碼器(qi)(qi)(qi),其(qi)(qi)具(ju)有光(guang)源、可(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)由(you)(you)光(guang)源照(zhao)亮的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)具(ju)有至少三(san)(san)個(ge)模(mo)(mo)擬(ni)(ni)軌(gui)道(dao)(特(te)別(bie)是具(ju)有不同(tong)數量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)條(tiao)紋(wen)(wen))的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)以(yi)及(ji)位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)探(tan)(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)設(she)(she)備(bei),以(yi)及(ji)一(yi)(yi)種(zhong)用(yong)光(guang)源、可(ke)(ke)(ke)(ke)由(you)(you)光(guang)源照(zhao)亮的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)具(ju)有用(yong)于(yu)掃描測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)三(san)(san)個(ge)模(mo)(mo)擬(ni)(ni)信號傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)探(tan)(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)設(she)(she)備(bei)確定絕對(dui)位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方法(fa),其(qi)(qi)中(zhong)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)至少具(ju)有三(san)(san)個(ge)模(mo)(mo)擬(ni)(ni)軌(gui)道(dao),特(te)別(bie)是具(ju)有不同(tong)數量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)條(tiao)紋(wen)(wen)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi),通(tong)過光(guang)源可(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)照(zhao)亮測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi),并(bing)且利用(yong)模(mo)(mo)擬(ni)(ni)信號傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)可(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)對(dui)模(mo)(mo)擬(ni)(ni)軌(gui)道(dao)進(jin)行光(guang)學游(you)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)分(fen)段軌(gui)道(dao)掃描。這(zhe)種(zhong)位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)探(tan)(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)設(she)(she)備(bei)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)光(guang)學位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)編(bian)碼器(qi)(qi)(qi)可(ke)(ke)(ke)(ke)用(yong)于(yu)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)部件的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)運(yun)動(dong)(dong)。此處,測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)或(huo)位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)探(tan)(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)設(she)(she)備(bei)布(bu)(bu)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)在(zai)部件上,從而使得當部件移動(dong)(dong)時(shi),測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)探(tan)(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)設(she)(she)備(bei)之間(jian)會產生相對(dui)運(yun)動(dong)(dong)。光(guang)學位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)編(bian)碼器(qi)(qi)(qi)可(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)設(she)(she)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)為(wei)透射式(shi),其(qi)(qi)中(zhong)部分(fen)透明的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)布(bu)(bu)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)在(zai)光(guang)源和(he)(he)(he)(he)(he)(he)位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)探(tan)(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)設(she)(she)備(bei)之間(jian),或(huo)者可(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)將(jiang)光(guang)學位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)編(bian)碼器(qi)(qi)(qi)設(she)(she)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)為(wei)反射式(shi),其(qi)(qi)中(zhong)光(guang)源和(he)(he)(he)(he)(he)(he)位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)探(tan)(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)設(she)(she)備(bei)皆(jie)位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)于(yu)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)將(jiang)光(guang)線反射至位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)探(tan)(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)設(she)(she)備(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方向一(yi)(yi)側。測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)具(ju)有模(mo)(mo)擬(ni)(ni)軌(gui)道(dao),每個(ge)軌(gui)道(dao)都具(ju)有亮區(qu)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)暗區(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)周期性圖(tu)案,特(te)別(bie)是形成條(tiao)紋(wen)(wen)圖(tu)案。當測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)移動(dong)(dong)時(shi),位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)探(tan)(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)設(she)(she)備(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)模(mo)(mo)擬(ni)(ni)信號傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)在(zai)光(guang)學掃描過程中(zhong)交替檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)亮區(qu)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)暗區(qu)。通(tong)過對(dui)由(you)(you)此產生的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)正弦/余弦信號進(jin)行分(fen)析運(yun)算,即可(ke)(ke)(ke)(ke)得出測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)。


背景技術:

1、在(zai)(zai)簡單的(de)(de)(de)游(you)標(biao)掃(sao)(sao)描(miao)中,測(ce)(ce)量(liang)標(biao)尺(chi)有兩個(ge)模(mo)擬(ni)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao),一個(ge)主(zhu)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和(he)(he)(he)一個(ge)游(you)標(biao)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao),其條紋圖(tu)案(an)與主(zhu)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)略(lve)有不同,因此(ci)在(zai)(zai)主(zhu)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和(he)(he)(he)游(you)標(biao)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)的(de)(de)(de)條紋圖(tu)案(an)的(de)(de)(de)整個(ge)長度上存在(zai)(zai)例如周(zhou)期(qi)差異,這會導(dao)致它們(men)之(zhi)間的(de)(de)(de)偏移量(liang)沿(yan)著條紋圖(tu)案(an)不斷增加(jia)。主(zhu)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和(he)(he)(he)游(you)標(biao)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)各自分別(bie)通過位(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)探測(ce)(ce)設備的(de)(de)(de)一個(ge)模(mo)擬(ni)信(xin)號(hao)傳(chuan)感器(qi)(qi),即主(zhu)傳(chuan)感器(qi)(qi)和(he)(he)(he)游(you)標(biao)傳(chuan)感器(qi)(qi)進(jin)行光(guang)學掃(sao)(sao)描(miao)。根據由主(zhu)傳(chuan)感器(qi)(qi)和(he)(he)(he)游(you)標(biao)傳(chuan)感器(qi)(qi)的(de)(de)(de)掃(sao)(sao)描(miao)結果生成的(de)(de)(de)主(zhu)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和(he)(he)(he)游(you)標(biao)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)的(de)(de)(de)正(zheng)弦/余弦信(xin)號(hao)的(de)(de)(de)偏移量(liang)可計算(suan)得(de)出位(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)值(zhi),該(gai)位(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)值(zhi)沿(yan)軌(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)僅(jin)出現(xian)(xian)一次,通過該(gai)位(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)值(zhi)可以唯一確定(ding)絕對位(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)。通過游(you)標(biao)掃(sao)(sao)描(miao)實現(xian)(xian)的(de)(de)(de)位(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)分辨率可以低于條紋圖(tu)案(an)的(de)(de)(de)周(zhou)期(qi)長度,但特(te)別(bie)是提供高(gao)位(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)分辨率的(de)(de)(de)條紋圖(tu)案(an)容易受到測(ce)(ce)量(liang)和(he)(he)(he)運(yun)算(suan)誤(wu)差的(de)(de)(de)影響(xiang)。

2、這些誤差(cha)可以通過(guo)主(zhu)(zhu)(zhu)、游標(biao)和(he)分(fen)(fen)段(duan)(duan)軌道(dao)(dao)(dao)(dao)掃描(miao)(也(ye)稱為(wei)游標(biao)和(he)分(fen)(fen)段(duan)(duan)軌道(dao)(dao)(dao)(dao)掃描(miao))來補償。為(wei)此(ci),具(ju)有(you)(you)分(fen)(fen)段(duan)(duan)軌道(dao)(dao)(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)(de)測量標(biao)尺(chi)額外具(ju)有(you)(you)第三(san)模擬軌道(dao)(dao)(dao)(dao),如例如de?10?2014?103?514a1中所(suo)述。利用位(wei)置(zhi)探(tan)測設備的(de)(de)(de)(de)(de)第三(san)模擬信(xin)(xin)(xin)號(hao)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(分(fen)(fen)段(duan)(duan)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器)對分(fen)(fen)段(duan)(duan)軌道(dao)(dao)(dao)(dao)進行光學(xue)掃描(miao)。由于分(fen)(fen)段(duan)(duan)軌道(dao)(dao)(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)(de)條紋(wen)圖(tu)案與主(zhu)(zhu)(zhu)軌道(dao)(dao)(dao)(dao)和(he)游標(biao)軌道(dao)(dao)(dao)(dao)略(lve)有(you)(you)不(bu)同,在唯一確(que)定(ding)位(wei)置(zhi)值并由此(ci)確(que)定(ding)絕對位(wei)置(zhi)時,也(ye)需要考慮分(fen)(fen)段(duan)(duan)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器的(de)(de)(de)(de)(de)掃描(miao)結(jie)果(guo)生成的(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)段(duan)(duan)軌道(dao)(dao)(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)(de)正弦/余(yu)弦信(xin)(xin)(xin)號(hao)相對于主(zhu)(zhu)(zhu)軌道(dao)(dao)(dao)(dao)和(he)游標(biao)軌道(dao)(dao)(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)(de)正弦/余(yu)弦信(xin)(xin)(xin)號(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)偏移量,從而可以補償簡單游標(biao)掃描(miao)時出現的(de)(de)(de)(de)(de)誤差(cha)。在游標(biao)和(he)分(fen)(fen)段(duan)(duan)軌道(dao)(dao)(dao)(dao)掃描(miao)過(guo)程中,絕對位(wei)置(zhi)是根據(ju)三(san)個正弦/余(yu)弦信(xin)(xin)(xin)號(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)相位(wei)來確(que)定(ding)的(de)(de)(de)(de)(de)。

3、然(ran)而(er),即使(shi)通(tong)過游標和分段軌道掃(sao)描確(que)定(ding)(ding)絕(jue)對(dui)位(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi),仍(reng)然(ran)可(ke)能(neng)(neng)會(hui)(hui)由于例如(ru)(ru)(ru)外(wai)部(bu)干(gan)(gan)(gan)擾因素出現誤(wu)差。特別是(shi)(shi)當(dang)使(shi)用(yong)彼此(ci)之間具有(you)較小偏移(yi)(yi)量(liang)(liang)的(de)高分辨(bian)率模擬(ni)軌道來實現高位(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)分辨(bian)率時,此(ci)類外(wai)部(bu)干(gan)(gan)(gan)擾因素可(ke)能(neng)(neng)會(hui)(hui)在確(que)定(ding)(ding)絕(jue)對(dui)位(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)時導致顯著誤(wu)差。例如(ru)(ru)(ru),外(wai)部(bu)干(gan)(gan)(gan)擾因素可(ke)能(neng)(neng)是(shi)(shi)測(ce)量(liang)(liang)標尺或位(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)探測(ce)設備(bei)受到(dao)污染,這會(hui)(hui)導致輕微的(de)識別錯誤(wu),例如(ru)(ru)(ru)使(shi)得模擬(ni)軌道的(de)條紋圖(tu)案之間的(de)偏移(yi)(yi)量(liang)(liang)變小。如(ru)(ru)(ru)果出現振(zhen)動也同(tong)樣(yang)會(hui)(hui)導致位(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)探測(ce)設備(bei)和測(ce)量(liang)(liang)標尺的(de)相對(dui)位(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)發生(sheng)變化(hua),而(er)這并非由于部(bu)件(jian)的(de)位(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)變化(hua)而(er)產生(sheng)。由于位(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)探測(ce)設備(bei)和測(ce)量(liang)(liang)標尺布(bu)(bu)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)在具有(you)不同(tong)膨(peng)脹系(xi)數的(de)不同(tong)部(bu)件(jian)上,例如(ru)(ru)(ru)布(bu)(bu)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)在軸和殼體上,因此(ci)當(dang)環境或部(bu)件(jian)溫(wen)度變化(hua)時,它們之間可(ke)能(neng)(neng)會(hui)(hui)產生(sheng)與溫(wen)度相關的(de)漂移(yi)(yi)。這些干(gan)(gan)(gan)擾因素會(hui)(hui)導致在確(que)定(ding)(ding)絕(jue)對(dui)位(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)時出現誤(wu)差,從而(er)降低其可(ke)靠(kao)性。

4、因(yin)此(ci),本發明的目的是能夠更為可靠(kao)地(di)確定絕對(dui)位置。


技術實現思路

1、該目的(de)(de)可(ke)以在上文所提及類(lei)型的(de)(de)位置(zhi)探測設備中(zhong)實現,因(yin)為其具有至少(shao)三個(ge)(ge)用于光學(xue)掃(sao)描測量(liang)標尺(chi)的(de)(de)各(ge)個(ge)(ge)數字(zi)化的(de)(de)數字(zi)編碼(ma)軌道以確定絕對位置(zhi)的(de)(de)數字(zi)編碼(ma)傳感器(qi)。

2、利用至少三個數(shu)(shu)字(zi)(zi)(zi)(zi)編(bian)(bian)碼(ma)傳感(gan)器(qi),在(zai)游(you)標(biao)(biao)(biao)和分段軌(gui)(gui)(gui)(gui)道掃(sao)(sao)描(miao)(miao)之外(wai)(wai),還可以(yi)(yi)進行數(shu)(shu)字(zi)(zi)(zi)(zi)編(bian)(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道掃(sao)(sao)描(miao)(miao)以(yi)(yi)識別絕對(dui)位(wei)(wei)置,其圖案相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)比(bi)模擬軌(gui)(gui)(gui)(gui)道沒有(you)偏移量。數(shu)(shu)字(zi)(zi)(zi)(zi)編(bian)(bian)碼(ma)傳感(gan)器(qi)使(shi)(shi)得(de)(de)可以(yi)(yi)從數(shu)(shu)字(zi)(zi)(zi)(zi)編(bian)(bian)碼(ma)傳感(gan)器(qi)的(de)(de)(de)(de)掃(sao)(sao)描(miao)(miao)結果(guo)確(que)(que)定(ding)(ding)數(shu)(shu)字(zi)(zi)(zi)(zi)編(bian)(bian)碼(ma),并在(zai)游(you)標(biao)(biao)(biao)和分段軌(gui)(gui)(gui)(gui)道掃(sao)(sao)描(miao)(miao)的(de)(de)(de)(de)掃(sao)(sao)描(miao)(miao)結果(guo)之外(wai)(wai)使(shi)(shi)用該(gai)數(shu)(shu)字(zi)(zi)(zi)(zi)編(bian)(bian)碼(ma)來確(que)(que)定(ding)(ding)絕對(dui)位(wei)(wei)置。因此,該(gai)位(wei)(wei)置探測設備(bei)使(shi)(shi)得(de)(de)在(zai)確(que)(que)定(ding)(ding)絕對(dui)位(wei)(wei)置時,即使(shi)(shi)模擬軌(gui)(gui)(gui)(gui)道圖案彼(bi)此之間(jian)的(de)(de)(de)(de)偏移量有(you)更大(da)程(cheng)度的(de)(de)(de)(de)增加,模擬軌(gui)(gui)(gui)(gui)道也更不(bu)易出錯(cuo),這樣盡管形成(cheng)了貫穿整個模擬軌(gui)(gui)(gui)(gui)道的(de)(de)(de)(de)重復(fu)圖案,使(shi)(shi)得(de)(de)游(you)標(biao)(biao)(biao)和分段軌(gui)(gui)(gui)(gui)道掃(sao)(sao)描(miao)(miao)在(zai)測量標(biao)(biao)(biao)尺(chi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)幾個位(wei)(wei)點(dian)提供相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)同的(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)置值,而(er)由(you)于(yu)根據額外(wai)(wai)的(de)(de)(de)(de)數(shu)(shu)字(zi)(zi)(zi)(zi)編(bian)(bian)碼(ma)傳感(gan)器(qi)掃(sao)(sao)描(miao)(miao)結果(guo)可用于(yu)確(que)(que)定(ding)(ding)具(ju)有(you)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)同位(wei)(wei)置值的(de)(de)(de)(de)這些(xie)位(wei)(wei)點(dian)之中的(de)(de)(de)(de)唯一絕對(dui)位(wei)(wei)置,所以(yi)(yi)使(shi)(shi)得(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)比(bi)于(yu)僅使(shi)(shi)用偏移量更小的(de)(de)(de)(de)游(you)標(biao)(biao)(biao)和分段軌(gui)(gui)(gui)(gui)道掃(sao)(sao)描(miao)(miao)不(bu)會損失位(wei)(wei)置分辨率。位(wei)(wei)置探測設備(bei)提高了容錯(cuo)能(neng)力,從而(er)提高了在(zai)確(que)(que)定(ding)(ding)絕對(dui)位(wei)(wei)置時的(de)(de)(de)(de)可靠性。

3、有(you)(you)(you)利地,模(mo)擬(ni)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)各自具(ju)有(you)(you)(you)多(duo)個光電(dian)二(er)(er)極(ji)(ji)(ji)管(guan),特別(bie)是對每個模(mo)擬(ni)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)生成(cheng)(cheng)正(zheng)和負正(zheng)弦信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)和/或余弦信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)。模(mo)擬(ni)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)(de)光電(dian)二(er)(er)極(ji)(ji)(ji)管(guan)(特別(bie)是四個)可(ke)以(yi)掃(sao)描(miao)模(mo)擬(ni)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)上(shang)的(de)(de)(de)相鄰位(wei)點(特別(bie)是四個)。根據模(mo)擬(ni)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)(de)各個光電(dian)二(er)(er)極(ji)(ji)(ji)管(guan)的(de)(de)(de)掃(sao)描(miao)結果,可(ke)以(yi)很容易地生成(cheng)(cheng)正(zheng)和負正(zheng)弦信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)和/或余弦信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)以(yi)確(que)定(ding)位(wei)置。通過(guo)使用高(gao)分(fen)辨率(lv)高(gao)清光電(dian)二(er)(er)極(ji)(ji)(ji)管(guan),可(ke)以(yi)生成(cheng)(cheng)特別(bie)低失真(zhen)的(de)(de)(de)正(zheng)弦信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)和/或余弦信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)。這使得在分(fen)析運算(suan)游標和分(fen)段軌(gui)道(dao)(dao)(dao)掃(sao)描(miao)時能夠進行(xing)更精細的(de)(de)(de)插值(zhi)以(yi)確(que)定(ding)絕對位(wei)置。因(yin)此(ci),具(ju)有(you)(you)(you)高(gao)分(fen)辨率(lv)高(gao)清光電(dian)二(er)(er)極(ji)(ji)(ji)管(guan)的(de)(de)(de)模(mo)擬(ni)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)可(ke)以(yi)與其模(mo)擬(ni)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)圖案具(ju)有(you)(you)(you)更大增加的(de)(de)(de)偏移量(liang)的(de)(de)(de)模(mo)擬(ni)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)一起(qi)使用,而不會降低位(wei)置分(fen)辨率(lv)。

4、模(mo)擬(ni)(ni)信號(hao)(hao)傳感器(qi)的(de)光(guang)電二極管(guan)(特別是四個)優(you)選地(di)布置成使(shi)它們(特別是四個)可以沿著模(mo)擬(ni)(ni)軌道(dao)的(de)路線掃描相鄰位(wei)點。模(mo)擬(ni)(ni)信號(hao)(hao)傳感器(qi)的(de)光(guang)電二極管(guan)可以布置成使(shi)掃描可以相對(dui)于模(mo)擬(ni)(ni)軌道(dao)的(de)條紋(wen)圖(tu)案的(de)條紋(wen)方向(xiang)橫向(xiang)地(di)、特別是成直角地(di)進行。

5、在本(ben)文(wen)中(zhong),已經(jing)證明(ming)如果模擬信號傳(chuan)感器的(de)光電二(er)極管(guan)針對小(xiao)于550nm、特別(bie)是小(xiao)于500nm的(de)波(bo)長進(jin)行優化是有利的(de)。這種(zhong)優化可(ke)以(yi)進(jin)一步提高(gao)模擬信號傳(chuan)感器的(de)分辨(bian)率。

6、在本發明的(de)拓(tuo)展內容中,位置探測(ce)設備(bei)具(ju)有用于光(guang)學掃描測(ce)量標尺的(de)對比參(can)(can)考(kao)軌道的(de)參(can)(can)考(kao)傳(chuan)感(gan)器。使用參(can)(can)考(kao)傳(chuan)感(gan)器,可以從測(ce)量標尺的(de)對比參(can)(can)考(kao)軌道中讀取切(qie)換閾(yu)(yu)值(zhi)。在分析運算數字編(bian)碼傳(chuan)感(gan)器的(de)掃描結果(guo)(guo)時,可以使用切(qie)換閾(yu)(yu)值(zhi)來確定掃描了(le)數字編(bian)碼軌道的(de)亮(liang)區還是暗(an)區。切(qie)換閾(yu)(yu)值(zhi)可以指示采樣結果(guo)(guo)是比特值(zhi)“0”還是“1”。

7、有利地,數字編(bian)碼(ma)傳感(gan)(gan)器是(shi)用于(yu)光學掃(sao)描(miao)格(ge)(ge)雷(lei)碼(ma)形式的數字編(bian)碼(ma)的傳感(gan)(gan)器。使用用于(yu)掃(sao)描(miao)格(ge)(ge)雷(lei)碼(ma)的傳感(gan)(gan)器可以很容易地避免數字編(bian)碼(ma)出錯。

8、在一個(ge)(ge)(ge)有利(li)的(de)(de)(de)(de)(de)實施(shi)例中,位置探(tan)測(ce)設備具有用(yong)于(yu)光學(xue)掃描測(ce)量(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)的(de)(de)(de)(de)(de)一個(ge)(ge)(ge)數(shu)字(zi)(zi)化數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)軌(gui)道(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)四(si)數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)傳感器。通(tong)過第(di)四(si)數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)傳感器可掃描用(yong)于(yu)同步(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)量(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)四(si)數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)軌(gui)道(dao)(dao)。通(tong)過用(yong)于(yu)掃描測(ce)量(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)的(de)(de)(de)(de)(de)四(si)個(ge)(ge)(ge)數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)軌(gui)道(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)(de)四(si)個(ge)(ge)(ge)數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)傳感器,用(yong)于(yu)確定(ding)絕對位置的(de)(de)(de)(de)(de)位置探(tan)測(ce)設備可以與(yu)的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)量(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)一起使用(yong),測(ce)量(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)的(de)(de)(de)(de)(de)片(pian)段(duan)被數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)軌(gui)道(dao)(dao)分(fen)成幾個(ge)(ge)(ge)部分(fen)(特別(bie)是(shi)至(zhi)少(shao)兩個(ge)(ge)(ge)半部)其中測(ce)量(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)的(de)(de)(de)(de)(de)片(pian)段(duan)包(bao)括(kuo)貫穿(chuan)模擬軌(gui)道(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)(de)重復圖案的(de)(de)(de)(de)(de)重復片(pian)段(duan)。

9、在(zai)一種結(jie)構性(xing)實施(shi)例(li)中(zhong),建(jian)議數(shu)字編(bian)碼傳感(gan)器(qi)(qi)和/或(huo)參考傳感(gan)器(qi)(qi)是(shi)獨立的光電(dian)二(er)極管。通過將(jiang)獨立的數(shu)字編(bian)碼傳感(gan)器(qi)(qi)和/或(huo)參考傳感(gan)器(qi)(qi)設計為光電(dian)二(er)極管,可以降低位置(zhi)探測(ce)設備的結(jie)構復雜性(xing)。

10、有利(li)地(di),模擬信號(hao)傳感(gan)(gan)器(qi)、參考(kao)傳感(gan)(gan)器(qi)和/或數字(zi)(zi)編碼傳感(gan)(gan)器(qi)具有至(zhi)少一個“人(ren)”字(zi)(zi)形光電二(er)(er)極管(guan)(guan)。在由多個光電二(er)(er)極管(guan)(guan)組成的模擬信號(hao)傳感(gan)(gan)器(qi)中,模擬信號(hao)傳感(gan)(gan)器(qi)的每個光電二(er)(er)極管(guan)(guan)可以(yi)(yi)(yi)被設計(ji)為“人(ren)”字(zi)(zi)形光電二(er)(er)極管(guan)(guan)。傳感(gan)(gan)器(qi)采(cai)用“人(ren)”字(zi)(zi)形光電二(er)(er)極管(guan)(guan)可以(yi)(yi)(yi)使它們能夠相(xiang)互嵌套排列,這樣(yang)可以(yi)(yi)(yi)實現(xian)更高(gao)的空間利(li)用率。

11、進一(yi)步有(you)利的(de)(de)是(shi)(shi)(shi)(shi),數(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)、特(te)別(bie)是(shi)(shi)(shi)(shi)數(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)和參考傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)對于(yu)模擬信號傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)在結(jie)構上(shang)(shang)(shang)分組布(bu)(bu)(bu)置(zhi)(zhi)(zhi)。由于(yu)結(jie)構分組,數(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi),特(te)別(bie)是(shi)(shi)(shi)(shi)與參考傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)一(yi)起,不(bu)僅在電(dian)路上(shang)(shang)(shang)而且在結(jie)構上(shang)(shang)(shang)可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)相(xiang)(xiang)鄰(lin)(lin)分布(bu)(bu)(bu)。結(jie)構上(shang)(shang)(shang)分組的(de)(de)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)使(shi)得能夠使(shi)用具(ju)有(you)彼此相(xiang)(xiang)鄰(lin)(lin)布(bu)(bu)(bu)置(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)數(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)軌道(dao),特(te)別(bie)是(shi)(shi)(shi)(shi)還具(ju)有(you)與這些數(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)軌道(dao)相(xiang)(xiang)鄰(lin)(lin)布(bu)(bu)(bu)置(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)對比參考軌道(dao)的(de)(de)測量(liang)標尺,使(shi)得照射它們的(de)(de)光線強度基(ji)本相(xiang)(xiang)同(tong),并可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)被傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)通過光學掃(sao)描檢(jian)測到。數(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)布(bu)(bu)(bu)置(zhi)(zhi)(zhi)在一(yi)條直線上(shang)(shang)(shang),特(te)別(bie)是(shi)(shi)(shi)(shi)與參考傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)一(yi)起布(bu)(bu)(bu)置(zhi)(zhi)(zhi)。參考傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)布(bu)(bu)(bu)置(zhi)(zhi)(zhi)在數(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)之間(jian)的(de)(de)中間(jian)位(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)。結(jie)構上(shang)(shang)(shang)分組的(de)(de)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)布(bu)(bu)(bu)置(zhi)(zhi)(zhi)在位(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)探測設備(bei)的(de)(de)邊緣(yuan)或中間(jian),特(te)別(bie)是(shi)(shi)(shi)(shi)徑(jing)向向外延(yan)伸。

12、根據本(ben)發明的(de)另一實施例(li),模(mo)擬(ni)(ni)信號(hao)傳(chuan)感器(qi)(qi)在結構上彼(bi)此(ci)分組(zu)(zu)布置。由于結構分組(zu)(zu),模(mo)擬(ni)(ni)信號(hao)傳(chuan)感器(qi)(qi)不僅可(ke)(ke)(ke)以在電路上而(er)且(qie)在結構上相(xiang)鄰分布。結構上分組(zu)(zu)的(de)傳(chuan)感器(qi)(qi)使(shi)得能夠使(shi)用具(ju)有彼(bi)此(ci)相(xiang)鄰布置的(de)模(mo)擬(ni)(ni)軌道的(de)測量標尺,使(shi)得照(zhao)射它們的(de)光(guang)線強度基本(ben)相(xiang)同,并可(ke)(ke)(ke)以被(bei)模(mo)擬(ni)(ni)信號(hao)傳(chuan)感器(qi)(qi)通過(guo)光(guang)學掃描檢(jian)測到(dao)。模(mo)擬(ni)(ni)信號(hao)傳(chuan)感器(qi)(qi)的(de)各個(ge)(ge)光(guang)電二極(ji)(ji)管(guan)可(ke)(ke)(ke)以布置成矩(ju)(ju)(ju)陣(zhen)(zhen),其中(zhong)每個(ge)(ge)模(mo)擬(ni)(ni)信號(hao)傳(chuan)感器(qi)(qi)的(de)各個(ge)(ge)光(guang)電二極(ji)(ji)管(guan)特別地布置在矩(ju)(ju)(ju)陣(zhen)(zhen)的(de)行或列中(zhong)。各個(ge)(ge)模(mo)擬(ni)(ni)信號(hao)傳(chuan)感器(qi)(qi)的(de)全部光(guang)電二極(ji)(ji)管(guan)可(ke)(ke)(ke)以特別地布置在3×4的(de)矩(ju)(ju)(ju)陣(zhen)(zhen)中(zhong)。

13、有(you)利地,模(mo)擬(ni)(ni)信(xin)號傳感器(qi)是(shi)由多個光(guang)(guang)電(dian)二極(ji)管組成的(de)(de)單片(pian)三通(tong)(tong)道(dao)(dao)高(gao)(gao)(gao)清(qing)相(xiang)控(kong)陣(zhen)列,特別(bie)是(shi)用于針對(dui)每(mei)個模(mo)擬(ni)(ni)軌(gui)道(dao)(dao)生成正(zheng)(zheng)和負正(zheng)(zheng)弦(xian)(xian)(xian)信(xin)號和/或(huo)余弦(xian)(xian)(xian)信(xin)號。單片(pian)三通(tong)(tong)道(dao)(dao)高(gao)(gao)(gao)清(qing)相(xiang)控(kong)陣(zhen)列由晶體半導(dao)體材料(liao)基板制(zhi)成。三通(tong)(tong)道(dao)(dao)高(gao)(gao)(gao)清(qing)相(xiang)控(kong)陣(zhen)列(“高(gao)(gao)(gao)清(qing)”即“高(gao)(gao)(gao)清(qing)晰度(du)”)針對(dui)三個模(mo)擬(ni)(ni)軌(gui)道(dao)(dao)的(de)(de)采樣結果分別(bie)具有(you)一個通(tong)(tong)道(dao)(dao)。三通(tong)(tong)道(dao)(dao)高(gao)(gao)(gao)清(qing)相(xiang)控(kong)陣(zhen)列可(ke)以具有(you)相(xiang)互嵌套(tao)的(de)(de)光(guang)(guang)電(dian)二極(ji)管布局,特別(bie)是(shi)由“人”字形光(guang)(guang)電(dian)二極(ji)管制(zhi)成。通(tong)(tong)過這(zhe)種方式,可(ke)以獲得特別(bie)低失真的(de)(de)正(zheng)(zheng)弦(xian)(xian)(xian)/余弦(xian)(xian)(xian)信(xin)號,從(cong)而在插值過程中實現更高(gao)(gao)(gao)的(de)(de)角度(du)精度(du)。

14、優選地,可(ke)以使用精細光電二極管結構針對(dui)綠光,特別(bie)是針對(dui)小于550nm的(de)波長來優化(hua)單片三(san)通(tong)道高(gao)清相控陣列。

15、特(te)別優選地(di),單片三通道高(gao)清相控陣列可以通過更精細的(de)光電二極管結構針(zhen)對藍光,特(te)別是針(zhen)對小于500nm的(de)波(bo)長進(jin)行優化(hua)。

16、在(zai)本文(wen)開頭提到的類型的光(guang)學位置(zhi)編碼器(qi)中(zhong),為了(le)解決上(shang)述(shu)(shu)問題,提出測量標尺(chi)具有至少三(san)個數字編碼軌道并且位置(zhi)探測設(she)備(bei)(bei)以如上(shang)述(shu)(shu)方式設(she)計,以體現在(zai)位置(zhi)探測設(she)備(bei)(bei)描(miao)述(shu)(shu)中(zhong)所(suo)述(shu)(shu)的優點。

17、每個模擬(ni)軌道可(ke)以具有一系(xi)列(lie)逐(zhu)次排(pai)列(lie)的(de)(de)離(li)散條紋(wen),形成(cheng)條紋(wen)圖(tu)案。這(zhe)些條紋(wen)可(ke)以在橫(heng)向(xiang)于相應模擬(ni)軌道的(de)(de)方向(xiang)上延伸(shen),特別是(shi)沿著測量標尺的(de)(de)半徑的(de)(de)徑向(xiang)方向(xiang)。

18、特別地,位(wei)置編(bian)碼器的光(guang)源可以是led。

19、光(guang)源可以布(bu)置成(cheng)使得位置編碼(ma)器的測量標尺(chi),包括所(suo)有軌(gui)道(dao)都可以被照亮。

20、有利地,光(guang)學位置(zhi)編碼器可以(yi)不設置(zhi)軸承(cheng)(cheng)。光(guang)學位置(zhi)編碼器的(de)(de)補償外部干擾因(yin)(yin)素和(he)/或減少外部干擾因(yin)(yin)素的(de)(de)影響的(de)(de)軸承(cheng)(cheng)可以(yi)很容易地移除。

21、如果光學位置編(bian)碼器(qi)可(ke)以在-40℃至125℃,特別(bie)是高于70℃的溫度范圍內(nei)運行,則是進一(yi)步有利的。

22、光學位置編碼(ma)器在光學游標(biao)和(he)分段軌道掃描過程中優選地具有(you)25比特的(de)分辨率。

23、在一(yi)個有利的(de)實(shi)施例中,位(wei)(wei)置編(bian)碼(ma)(ma)器(qi)(qi)具(ju)有用(yong)于對模擬信號傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)、數字編(bian)碼(ma)(ma)傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)和/或參(can)考(kao)傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)的(de)掃描(miao)結果進行分析運(yun)(yun)算的(de)運(yun)(yun)算單元。還(huan)可以使(shi)用(yong)該運(yun)(yun)算單元來(lai)確(que)定絕對位(wei)(wei)置。

24、另一(yi)實施(shi)例(li)要(yao)求,每個(ge)數字(zi)編碼(ma)軌道(dao)配(pei)有(you)(you)數字(zi)編碼(ma)傳感(gan)器(qi)和/或每個(ge)模(mo)擬(ni)軌道(dao)配(pei)有(you)(you)模(mo)擬(ni)信號(hao)傳感(gan)器(qi)。通過分別將位(wei)置探(tan)測(ce)設備的一(yi)個(ge)傳感(gan)器(qi)分配(pei)給(gei)測(ce)量標尺的一(yi)個(ge)軌道(dao),可以(yi)有(you)(you)效(xiao)且快速地掃描這(zhe)些軌道(dao)以(yi)確定絕對位(wei)置。

25、在一(yi)種結構性實施例中提出模擬(ni)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和/或(huo)數(shu)(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)(ma)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)以圓(yuan)形(xing)展開(kai)。利用(yong)圓(yuan)形(xing)模擬(ni)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)或(huo)數(shu)(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)(ma)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao),可(ke)以很容易地確定絕對位置,特別(bie)是(shi)以絕對角位置的(de)形(xing)式(shi)。特別(bie)地,模擬(ni)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和/或(huo)數(shu)(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)(ma)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)可(ke)以彼此(ci)同心地布置。測量(liang)標尺(chi)優選地具有圓(yuan)形(xing)形(xing)狀。特別(bie)地,測量(liang)標尺(chi)可(ke)以被(bei)設計為圓(yuan)盤(pan)或(huo)扁環。模擬(ni)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和/或(huo)數(shu)(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)(ma)軌(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)可(ke)以沿(yan)著(zhu)如此(ci)設計的(de)測量(liang)標尺(chi)的(de)圓(yuan)周展開(kai)。

26、另一結(jie)構(gou)性實(shi)施例(li)提出模(mo)擬(ni)軌道和/或數(shu)(shu)字編碼(ma)軌道沿直(zhi)線(xian)展開。利用直(zhi)線(xian)模(mo)擬(ni)軌道和/或數(shu)(shu)字編碼(ma)軌道可以(yi)很容易地(di)(di)以(yi)絕對(dui)(dui)平移位置(zhi)(zhi)的方式確定絕對(dui)(dui)位置(zhi)(zhi)。模(mo)擬(ni)軌道和/或數(shu)(shu)字編碼(ma)軌道可以(yi)彼此平行地(di)(di)布置(zhi)(zhi),特別是橫(heng)向于(yu)它們(men)的延(yan)展方向彼此相鄰地(di)(di)布置(zhi)(zhi)。

27、在一個有利的(de)(de)實施例中,測(ce)量(liang)標尺具有對(dui)(dui)比(bi)參(can)考(kao)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)。對(dui)(dui)比(bi)參(can)考(kao)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)可(ke)以(yi)是與數(shu)字編(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)和模(mo)擬軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)分開,但特(te)別是鄰近數(shu)字編(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)布(bu)置的(de)(de)獨立(li)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)。與模(mo)擬軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)和/或(huo)(huo)數(shu)字編(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)一樣(yang),對(dui)(dui)比(bi)參(can)考(kao)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)可(ke)以(yi)是沿圓形或(huo)(huo)直線(xian)(xian)展開的(de)(de)。對(dui)(dui)比(bi)參(can)考(kao)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)可(ke)以(yi)不設(she)(she)(she)計(ji)圖案,特(te)別是設(she)(she)(she)計(ji)為均質的(de)(de)。為了提供切換閾值(zhi),對(dui)(dui)比(bi)參(can)考(kao)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)可(ke)以(yi)如此設(she)(she)(she)計(ji):當在透(tou)射式(shi)布(bu)置中被光(guang)源照射時,其將(jiang)光(guang)線(xian)(xian)透(tou)射至位置探測(ce)設(she)(she)(she)備,或(huo)(huo)者在反(fan)射式(shi)布(bu)置中,其將(jiang)光(guang)線(xian)(xian)反(fan)射至位置探測(ce)設(she)(she)(she)備,其光(guang)線(xian)(xian)強度位于具有相同照明的(de)(de)數(shu)字編(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)透(tou)射或(huo)(huo)反(fan)射的(de)(de)光(guang)線(xian)(xian)強度的(de)(de)最大(da)值(zhi)和最小(xiao)值(zhi)之間。由(you)掃描對(dui)(dui)比(bi)參(can)考(kao)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)產生的(de)(de)信號強度可(ke)以(yi)特(te)別地等(deng)于掃描數(shu)字編(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)時的(de)(de)最大(da)信號強度的(de)(de)50%。

28、另一(yi)實(shi)施例要求,測(ce)量(liang)標尺(chi)(chi)具有第(di)四(si)數(shu)(shu)字(zi)軌道(dao)。通過至少(shao)四(si)個數(shu)(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)軌道(dao),可以對(dui)測(ce)量(liang)標尺(chi)(chi)實(shi)現更精細的劃(hua)分(fen)來進(jin)行(xing)同步。為了與模擬軌道(dao)同步,可以通過四(si)個數(shu)(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)軌道(dao)唯(wei)一(yi)確(que)定使用模擬信號傳感器和數(shu)(shu)字(zi)編(bian)碼(ma)傳感器掃描測(ce)量(liang)標尺(chi)(chi)的哪(na)一(yi)片段的哪(na)一(yi)半部。

29、在一(yi)(yi)個(ge)(ge)有利的(de)實施例(li)中(zhong)(zhong),數(shu)字(zi)(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)軌(gui)道(dao)(dao)被(bei)作為一(yi)(yi)段(duan)數(shu)字(zi)(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)中(zhong)(zhong)單獨的(de)比(bi)(bi)(bi)特(te)位(wei),特(te)別是(shi)以格雷碼(ma)(ma)(ma)的(de)形式(shi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)。數(shu)字(zi)(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)可以在橫貫(guan)數(shu)字(zi)(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)軌(gui)道(dao)(dao)的(de)方向上展(zhan)開。對于沿著(zhu)測量標尺的(de)位(wei)置,特(te)別是(shi)沿著(zhu)測量標尺的(de)圓周(zhou)的(de)位(wei)置,每個(ge)(ge)數(shu)字(zi)(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)軌(gui)道(dao)(dao)都會(hui)(hui)提(ti)供該段(duan)數(shu)字(zi)(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)的(de)一(yi)(yi)個(ge)(ge)比(bi)(bi)(bi)特(te)值。可以橫貫(guan)各個(ge)(ge)數(shu)字(zi)(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)軌(gui)道(dao)(dao)讀取(qu)數(shu)字(zi)(zi)(zi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)。格雷碼(ma)(ma)(ma)形式(shi)編(bian)碼(ma)(ma)(ma)的(de)優點(dian)是(shi),與(yu)一(yi)(yi)般二進(jin)制(zhi)碼(ma)(ma)(ma)相比(bi)(bi)(bi),不會(hui)(hui)有多個(ge)(ge)比(bi)(bi)(bi)特(te)位(wei)同時改變,在兩(liang)個(ge)(ge)相鄰(lin)位(wei)置上僅會(hui)(hui)有單獨一(yi)(yi)個(ge)(ge)比(bi)(bi)(bi)特(te)位(wei)不同。使用格雷碼(ma)(ma)(ma)可以避免(mian)例(li)如(ru)一(yi)(yi)般二進(jin)制(zhi)碼(ma)(ma)(ma)的(de)幾(ji)個(ge)(ge)比(bi)(bi)(bi)特(te)位(wei)變化時發生的(de)讀取(qu)錯誤。

30、測(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)優選地具(ju)有由(you)(you)模擬(ni)(ni)(ni)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)形(xing)(xing)成(cheng)并沿(yan)(yan)著(zhu)(zhu)測(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)重復(fu),特別是(shi)4次、8次或16次的(de)(de)統一(yi)圖(tu)案(an)(an)(an)(an)。模擬(ni)(ni)(ni)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)的(de)(de)重復(fu)統一(yi)圖(tu)案(an)(an)(an)(an)由(you)(you)彼此平行延伸的(de)(de)各個(ge)模擬(ni)(ni)(ni)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)的(de)(de)模擬(ni)(ni)(ni)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)圖(tu)案(an)(an)(an)(an)形(xing)(xing)成(cheng)。模擬(ni)(ni)(ni)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)圖(tu)案(an)(an)(an)(an)彼此之(zhi)間可以(yi)具(ju)有沿(yan)(yan)著(zhu)(zhu)測(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)逐漸增加的(de)(de)偏移量(liang)(liang),使得(de)在(zai)測(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)上(shang)存在(zai)多(duo)個(ge)位(wei)置,在(zai)這(zhe)些(xie)位(wei)置上(shang)跨整(zheng)個(ge)模擬(ni)(ni)(ni)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)形(xing)(xing)成(cheng)的(de)(de)統一(yi)圖(tu)案(an)(an)(an)(an)是(shi)一(yi)致的(de)(de)。通過游標(biao)(biao)(biao)(biao)和分段(duan)(duan)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)掃(sao)描(miao),測(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)上(shang)的(de)(de)這(zhe)些(xie)位(wei)點提供相同的(de)(de)位(wei)置值(zhi)(zhi)(zhi),額外的(de)(de)數字編碼(ma)傳感器掃(sao)描(miao)結果使得(de)可以(yi)確定這(zhe)些(xie)具(ju)有相同位(wei)置值(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)位(wei)點之(zhi)中的(de)(de)唯一(yi)絕對位(wei)置。通過使用(yong)形(xing)(xing)成(cheng)沿(yan)(yan)著(zhu)(zhu)測(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)重復(fu)的(de)(de)統一(yi)圖(tu)案(an)(an)(an)(an)的(de)(de)模擬(ni)(ni)(ni)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao),特別是(shi)由(you)(you)于沿(yan)(yan)著(zhu)(zhu)測(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)的(de)(de)模擬(ni)(ni)(ni)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)圖(tu)案(an)(an)(an)(an)之(zhi)間的(de)(de)偏移量(liang)(liang)更大程度(du)地增加,光學位(wei)置編碼(ma)器可以(yi)更不(bu)易受(shou)到來自外部干(gan)擾因素的(de)(de)影響而出錯,特別是(shi)更耐溫度(du)變化。由(you)(you)于統一(yi)圖(tu)案(an)(an)(an)(an)的(de)(de)重復(fu),測(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)被分成(cheng)幾個(ge)片(pian)段(duan)(duan),每個(ge)片(pian)段(duan)(duan)的(de)(de)長(chang)度(du)對應(ying)于統一(yi)圖(tu)案(an)(an)(an)(an)的(de)(de)一(yi)個(ge)周期長(chang)度(du)。在(zai)測(ce)量(liang)(liang)標(biao)(biao)(biao)(biao)尺(chi)(chi)(chi)的(de)(de)每個(ge)片(pian)段(duan)(duan)中,游標(biao)(biao)(biao)(biao)和分段(duan)(duan)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)(dao)掃(sao)描(miao)的(de)(de)各個(ge)位(wei)置值(zhi)(zhi)(zhi)都是(shi)唯一(yi)的(de)(de)。

31、有(you)利地,統一圖(tu)(tu)(tu)案在主(zhu)軌道圖(tu)(tu)(tu)案中通過(guo)(guo)256個周(zhou)(zhou)期、游(you)標(biao)軌道圖(tu)(tu)(tu)案中通過(guo)(guo)255個周(zhou)(zhou)期和(he)分(fen)段軌道圖(tu)(tu)(tu)案中通過(guo)(guo)240個周(zhou)(zhou)期形(xing)成,或主(zhu)軌道圖(tu)(tu)(tu)案中通過(guo)(guo)64個周(zhou)(zhou)期、游(you)標(biao)軌道圖(tu)(tu)(tu)案中通過(guo)(guo)63個周(zhou)(zhou)期和(he)分(fen)段軌道圖(tu)(tu)(tu)案中通過(guo)(guo)56個周(zhou)(zhou)期形(xing)成。

32、在本文中,特(te)別(bie)有利的是(shi),通(tong)過(guo)周期性重(zhong)復(fu)的統一(yi)(yi)圖(tu)案將測(ce)量標(biao)尺劃(hua)分(fen)為(wei)和統一(yi)(yi)圖(tu)案的周期長度(du)相等的各(ge)(ge)個(ge)(ge)片段(duan)(duan),特(te)別(bie)是(shi)角(jiao)弧(hu)(hu)段(duan)(duan),特(te)別(bie)優選(xuan)地(di)劃(hua)分(fen)為(wei)90°弧(hu)(hu)段(duan)(duan)、45°弧(hu)(hu)段(duan)(duan)或22.5°弧(hu)(hu)段(duan)(duan)。將測(ce)量標(biao)尺劃(hua)分(fen)為(wei)各(ge)(ge)個(ge)(ge)角(jiao)弧(hu)(hu)段(duan)(duan)使(shi)得(de)可(ke)以很容(rong)易地(di)給(gei)各(ge)(ge)個(ge)(ge)弧(hu)(hu)段(duan)(duan)單(dan)獨分(fen)配一(yi)(yi)個(ge)(ge)編(bian)碼(ma)為(wei)數字編(bian)碼(ma)軌道(dao)中的數字編(bian)碼(ma)的地(di)址。通(tong)過(guo)各(ge)(ge)個(ge)(ge)角(jiao)弧(hu)(hu)段(duan)(duan)的可(ke)讀(du)地(di)址,以及來自(zi)游標(biao)和分(fen)段(duan)(duan)軌道(dao)掃描的角(jiao)弧(hu)(hu)段(duan)(duan)內(nei)的唯一(yi)(yi)位置值,可(ke)以唯一(yi)(yi)確定(ding)絕對位置。

33、在另一結(jie)構性實施例中(zhong),數字編碼傳感器(qi)、特別(bie)是每個單獨的(de)光電(dian)二極管(guan)后方都(dou)接(jie)有一個積分放大器(qi),以(yi)實現節能(neng)閃光。即使在閃光模(mo)式下光源(yuan)對測量標尺進行短暫而強烈的(de)照明,積分放大器(qi)也可以(yi)分析運算掃描(miao)結(jie)果(guo)。以(yi)這(zhe)種方式可以(yi)減少數字編碼傳感器(qi)和(he)/或參考傳感器(qi)對測量標尺的(de)光學掃描(miao)所(suo)需(xu)的(de)時(shi)間和(he)能(neng)量。如此就(jiu)可以(yi)實現使用(yong)電(dian)池(chi)驅動光學位置編碼器(qi),特別(bie)是電(dian)池(chi)驅動多圈運行。

34、進(jin)(jin)一步(bu)有利的(de)(de)(de)是(shi)(shi)(shi),光(guang)源發射(she)(she)波(bo)長(chang)小(xiao)于(yu)550nm、特別(bie)是(shi)(shi)(shi)小(xiao)于(yu)500nm的(de)(de)(de)光(guang)。通過使用波(bo)長(chang)低于(yu)550nm、特別(bie)是(shi)(shi)(shi)低于(yu)500nm的(de)(de)(de)光(guang),可(ke)以(yi)進(jin)(jin)一步(bu)提(ti)高位(wei)置編(bian)碼器的(de)(de)(de)分辨率(lv)。優選(xuan)地,模擬(ni)信號傳(chuan)感(gan)器、數(shu)字編(bian)碼傳(chuan)感(gan)器和參考(kao)傳(chuan)感(gan)器可(ke)以(yi)針對(dui)由光(guang)源發射(she)(she)的(de)(de)(de)主要波(bo)長(chang)進(jin)(jin)行優化,由此可(ke)以(yi)進(jin)(jin)一步(bu)提(ti)高位(wei)置編(bian)碼器的(de)(de)(de)效率(lv)。

35、在一個(ge)有利的實施例(li)中,各模(mo)擬軌(gui)道(dao)(dao)(dao)彼此相鄰(lin)(lin)布置(zhi)(zhi),特(te)別(bie)是(shi)徑向相鄰(lin)(lin)布置(zhi)(zhi)。通過將模(mo)擬軌(gui)道(dao)(dao)(dao)彼此相鄰(lin)(lin)布置(zhi)(zhi),可(ke)以(yi)(yi)提高掃描精度,因為照(zhao)射相鄰(lin)(lin)模(mo)擬軌(gui)道(dao)(dao)(dao)的光線(xian)強度基本(ben)相同。由(you)此也可(ke)以(yi)(yi)避免(mian)由(you)于各個(ge)軌(gui)道(dao)(dao)(dao)的照(zhao)明強度不(bu)同而導致(zhi)的掃描結(jie)果(guo)誤差。在本(ben)文中,已經證(zheng)明特(te)別(bie)有利的是(shi),在相鄰(lin)(lin)模(mo)擬軌(gui)道(dao)(dao)(dao)之間不(bu)布置(zhi)(zhi)另外的軌(gui)道(dao)(dao)(dao),特(te)別(bie)是(shi)不(bu)布置(zhi)(zhi)數(shu)字編碼軌(gui)道(dao)(dao)(dao)和/或對比(bi)參考軌(gui)道(dao)(dao)(dao)。

36、另一實施例要求,數(shu)(shu)(shu)(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)、特(te)(te)別是(shi)(shi)數(shu)(shu)(shu)(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和(he)對(dui)比參(can)(can)考(kao)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)彼此(ci)相(xiang)鄰布(bu)置。通過(guo)將數(shu)(shu)(shu)(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)、特(te)(te)別是(shi)(shi)數(shu)(shu)(shu)(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和(he)對(dui)比參(can)(can)考(kao)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)彼此(ci)相(xiang)鄰布(bu)置,可以提高(gao)掃描精度,因(yin)為照射相(xiang)鄰的(de)(de)數(shu)(shu)(shu)(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao),特(te)(te)別是(shi)(shi)數(shu)(shu)(shu)(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和(he)對(dui)比參(can)(can)考(kao)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)的(de)(de)光線(xian)強度基本相(xiang)同。由此(ci)也(ye)可以避免(mian)由于(yu)各(ge)個軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)的(de)(de)照明(ming)強度不(bu)同而導(dao)致(zhi)的(de)(de)掃描結果(guo)誤差。在本文中(zhong),已(yi)經證(zheng)明(ming)特(te)(te)別有利的(de)(de)是(shi)(shi),在相(xiang)鄰的(de)(de)數(shu)(shu)(shu)(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao),特(te)(te)別是(shi)(shi)數(shu)(shu)(shu)(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)和(he)對(dui)比參(can)(can)考(kao)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)之間(jian)不(bu)布(bu)置另外的(de)(de)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao),特(te)(te)別是(shi)(shi)不(bu)布(bu)置模擬(ni)軌(gui)(gui)(gui)(gui)道(dao)(dao)(dao)。

37、在開(kai)頭提到(dao)的(de)(de)類型的(de)(de)方法中,為解決上述問(wen)題,建(jian)議位(wei)(wei)置探測(ce)(ce)設備具有至少三個(ge)數字編(bian)碼(ma)(ma)傳感器并且(qie)測(ce)(ce)量標尺具有至少三個(ge)數字編(bian)碼(ma)(ma)軌道,數字編(bian)碼(ma)(ma)軌道由這(zhe)些數字編(bian)碼(ma)(ma)傳感器進行光學掃(sao)描,從數字編(bian)碼(ma)(ma)傳感器的(de)(de)掃(sao)描結果(guo)中生成一個(ge),特別(bie)是至少三位(wei)(wei),特別(bie)優選四位(wei)(wei)的(de)(de)數字編(bian)碼(ma)(ma),并用該(gai)數字編(bian)碼(ma)(ma)確定絕對位(wei)(wei)置。

38、除游(you)標和(he)(he)分段(duan)軌道掃(sao)描(miao)的(de)掃(sao)描(miao)結(jie)果外,通過數字編碼傳感器的(de)掃(sao)描(miao)結(jie)果生(sheng)成的(de)數字編碼還(huan)提(ti)供了(le)另一(yi)個(ge)掃(sao)描(miao)結(jie)果來確(que)定絕(jue)對(dui)位(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)。因此,該方(fang)法(fa)使得在確(que)定絕(jue)對(dui)位(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)時(shi)(shi),即使模擬軌道圖(tu)案(an)(an)彼此之(zhi)間的(de)偏移(yi)量有更大程度的(de)增加,模擬軌道也更不易出錯(cuo),盡(jin)管這(zhe)樣形成了(le)貫穿整個(ge)模擬軌道的(de)重復(fu)圖(tu)案(an)(an),使得游(you)標和(he)(he)分段(duan)軌道掃(sao)描(miao)在測量標尺(chi)上(shang)的(de)幾(ji)個(ge)位(wei)(wei)(wei)點提(ti)供相(xiang)同的(de)位(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)值,而(er)根(gen)據(ju)數字編碼可以確(que)定具有相(xiang)同位(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)值的(de)這(zhe)些位(wei)(wei)(wei)點之(zhi)中的(de)唯(wei)一(yi)絕(jue)對(dui)位(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi),所以不會(hui)使得相(xiang)比于(yu)僅(jin)使用偏移(yi)量更小(xiao)的(de)游(you)標和(he)(he)分段(duan)軌道掃(sao)描(miao)損失位(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)分辨率。這(zhe)個(ge)方(fang)法(fa)提(ti)高(gao)了(le)容錯(cuo)能力,從而(er)提(ti)高(gao)了(le)在確(que)定絕(jue)對(dui)位(wei)(wei)(wei)置(zhi)(zhi)時(shi)(shi)的(de)可靠(kao)性。

39、有(you)利地,上述類型的光學位(wei)置編碼器用在(zai)確定(ding)絕對位(wei)置的方法中。

40、結合根(gen)據本發明(ming)的(de)(de)位(wei)置探測設(she)備(bei)和根(gen)據本發明(ming)的(de)(de)光(guang)學位(wei)置編碼器(qi)描述(shu)的(de)(de)特(te)征也可以在用(yong)于確定絕對位(wei)置的(de)(de)方法中單獨地或組(zu)合地使用(yong),并(bing)具有以上描述(shu)過的(de)(de)相同優點。

41、在(zai)這種情況下,特別有利(li)的(de)是(shi)(shi),借助數(shu)字編碼(ma)(ma)來確定測(ce)(ce)量(liang)標(biao)(biao)(biao)尺的(de)多個(ge)(ge)、特別是(shi)(shi)4、8或(huo)16個(ge)(ge)片(pian)段(duan)(duan)中的(de)一(yi)(yi)個(ge)(ge)片(pian)段(duan)(duan),其中每個(ge)(ge)片(pian)段(duan)(duan)都具有在(zai)游標(biao)(biao)(biao)和分(fen)(fen)(fen)(fen)段(duan)(duan)軌(gui)道(dao)掃描中提供相(xiang)同位(wei)置值的(de)位(wei)點。通過從數(shu)字編碼(ma)(ma)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)掃描結果確定的(de)數(shu)字編碼(ma)(ma),可(ke)以很容易地確定分(fen)(fen)(fen)(fen)配有該(gai)數(shu)字編碼(ma)(ma)的(de)測(ce)(ce)量(liang)標(biao)(biao)(biao)尺的(de)多個(ge)(ge)片(pian)段(duan)(duan)中的(de)一(yi)(yi)個(ge)(ge)片(pian)段(duan)(duan)。這樣,即(ji)使當模擬軌(gui)道(dao)形成重(zhong)復的(de)統一(yi)(yi)圖案,游標(biao)(biao)(biao)和分(fen)(fen)(fen)(fen)段(duan)(duan)軌(gui)道(dao)掃描在(zai)測(ce)(ce)量(liang)標(biao)(biao)(biao)尺的(de)多個(ge)(ge)位(wei)點上提供相(xiang)同的(de)位(wei)置值,而僅通過游標(biao)(biao)(biao)和分(fen)(fen)(fen)(fen)段(duan)(duan)軌(gui)道(dao)掃描無法確定唯一(yi)(yi)的(de)絕(jue)對位(wei)置時,也可(ke)以確定絕(jue)對位(wei)置。

42、在(zai)這(zhe)種(zhong)情況下,進(jin)一(yi)步有(you)(you)利(li)的(de)(de)是,借助數字(zi)編(bian)碼來確(que)定(ding)測量(liang)標(biao)尺(chi)的(de)(de)多(duo)個(ge)片段(duan)中的(de)(de)半部片段(duan),其中每(mei)個(ge)片段(duan)都具(ju)有(you)(you)在(zai)游標(biao)和(he)分(fen)段(duan)軌(gui)道掃(sao)描(miao)中提供相同(tong)位置值的(de)(de)位點。通過對這(zhe)些片段(duan)進(jin)行額外(wai)的(de)(de)劃分(fen),可以更穩定(ding)和(he)可靠地同(tong)步模擬軌(gui)道和(he)數字(zi)編(bian)碼軌(gui)道的(de)(de)掃(sao)描(miao)結果以確(que)定(ding)絕對位置。例如,對于(yu)具(ju)有(you)(you)45°弧段(duan)的(de)(de)測量(liang)標(biao)尺(chi),每(mei)個(ge)角弧段(duan)也可以額外(wai)分(fen)為(wei)兩個(ge)單(dan)獨尋址的(de)(de)22.5°半部。

43、有利地,通過(guo)參(can)考傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)對測量標尺的(de)(de)(de)對比參(can)考軌道(dao)進(jin)行光(guang)學掃(sao)(sao)(sao)描(miao),并使(shi)用參(can)考傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)掃(sao)(sao)(sao)描(miao)結(jie)果(guo)作為(wei)生成數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)的(de)(de)(de)切(qie)換閾值。對比參(can)考軌道(dao)可以不(bu)具有圖案(an),這樣,無論(lun)參(can)考傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)掃(sao)(sao)(sao)描(miao)時(shi)測量標尺的(de)(de)(de)位置如何,它(ta)都能提供恒(heng)定的(de)(de)(de)掃(sao)(sao)(sao)描(miao)結(jie)果(guo),該結(jie)果(guo)僅取(qu)決于(yu)光(guang)源的(de)(de)(de)照(zhao)明強(qiang)度(du)。由于(yu)該掃(sao)(sao)(sao)描(miao)結(jie)果(guo)只能取(qu)決于(yu)光(guang)源的(de)(de)(de)照(zhao)明強(qiang)度(du),因此適合作為(wei)切(qie)換閾值來確定數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)掃(sao)(sao)(sao)描(miao)結(jie)果(guo)是(shi)(shi)比特值“0”還是(shi)(shi)“1”,即各個數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)掃(sao)(sao)(sao)描(miao)到的(de)(de)(de)是(shi)(shi)相應數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)軌道(dao)的(de)(de)(de)亮(liang)區或(huo)是(shi)(shi)暗區。使(shi)用切(qie)換閾值來生成數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)的(de)(de)(de)方式為(wei),使(shi)得高于(yu)切(qie)換閾值的(de)(de)(de)強(qiang)度(du)的(de)(de)(de)數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)掃(sao)(sao)(sao)描(miao)結(jie)果(guo)被進(jin)一步(bu)處理為(wei)比特值“1”,而低于(yu)切(qie)換閾值的(de)(de)(de)強(qiang)度(du)的(de)(de)(de)數(shu)字(zi)(zi)編(bian)碼(ma)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)掃(sao)(sao)(sao)描(miao)結(jie)果(guo)被進(jin)一步(bu)處理為(wei)比特值“0”。

當前第1頁1 2 
網友(you)詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1