專利名稱：反應裝置和反應方法
技術領域：
本發明涉及例如用于使氟化合物分解的反應裝置等。
背景技術：
在現在的半導體器件的制造工藝中，有時要為了形成微細圖案而進行蝕刻、清洗。 此時很多情況要使用氟化合物。此外，氟化合物一般較穩定，很多對人體無害，因此此外還作為例如空調的冷卻介質使用。但這些氟化合物，很多是一旦放入到大氣中就會對地球環境產生較大影響。S卩，破壞大氣層的臭氧層，導致臭氧空洞產生。此外，其作為溫室化氣體是導致地球變暖的一個原因。而且，上述氟化合物一般較穩定，很多情況中其影響長期持續存在。因此，為了不對地球環境產生影響，需要使使用過后的氟化合物分解，變成對地球環境無害的狀態后再放入到大氣中。于是，在例如專利文獻1中公開了一種含有氟的化合物的分解處理裝置，其包括 填充有含鋁催化劑的反應器，用于向在反應器中待處理的含有氟與、碳、硫或氮的化合物的氣流中添加水蒸氣的水添加器，以及，將填充在反應器中的催化劑和導入到反應器中的含有氟化合物的氣流中的至少一者加熱到可使氟化合物水解的溫度的加熱機構。此外，在專利文獻2中公開了一種含有氟的化合物氣體的處理裝置，其包括外管、內管、設置在內管內部的催化劑層、和安裝在外管上的加熱器。專利文獻1 日本特開2001-2M926號公報專利文獻2 日本特開2008-U6092號公報

發明內容
發明要解決的課題但包括下述部分的含有氟的化合物的分解處理裝置需要使含有氟化合物的氣體加熱的預熱器，因此能量效率差，裝置體積大。所述部分為填充有含鋁催化劑的反應器，用于向在反應器中待處理的含有氟與、碳、硫或氮的化合物的氣流中添加水蒸氣的水添加器， 以及，將填充在反應器中的催化劑和導入到反應器中的含有氟化合物的氣流中的至少一者加熱到可使氟化合物水解的溫度的加熱機構。而且在預熱器的外壁附近含有氟化合物的氣體的溫度高，隨著距離外壁越來越遠而溫度降低，所以存在反應不均勻的問題。進而，包括外管、內管、設置在內管內部的催化劑層、和安裝在外管上的加熱器的含有氟的化合物氣體的處理裝置不能對含有氟的化合物氣體進行充分預熱，所以同樣難以使處理裝置內部的溫度分布相同，因此也存在反應不均勻的問題。鑒于上述課題，本發明的目的在于，提供一種容易小型化、此外內部的溫度分布更均勻、不易出現反應不均的反應裝置。此外，另一目的是提供可以高效處理被處理氣體的反應方法。解決問題的方法
技術領域：
本發明的反應裝置，其特征在于，包括在內部進行反應的外筒，配置在上述外筒的一端部側，在被處理氣體和處理過的氣體之間進行熱交換的主熱交換部，向主熱交換部供給被處理氣體的管，從主熱交換部取出處理過的氣體的管，以及，與主熱交換部連接，配置在外筒的內部，使被處理氣體向與配置有主熱交換部的端部側遠離開的該外筒的另一端部側流通的內筒。其中，優選被處理氣體含有氟化合物，優選反應是使氟化合物通過含有選自銅Cu、 錫Sn、鉻Cr、鉬Mo、鎢W、釩V中的金屬的化合物中的至少一種、以及氧化鋁和堿土金屬化合物的反應劑進行分解。進而優選反應在上述外筒和上述內筒之間進行。進而，本發明的反應裝置，其特征在于，包括在內部的反應區域進行反應的外筒， 使被處理氣體和處理過的氣體流通，在被處理氣體和處理過的氣體之間進行第1熱交換的雙重管，與雙重管連接，在被處理氣體和處理過的氣體之間進行第2熱交換的熱交換器，以及，與熱交換器連接，配置在外筒的內部，在被處理氣體和反應區域之間進行第3熱交換的內筒。其中，優選還包括配置在內筒的內部和上述外筒的外部的加熱器，更優選還包括安裝在上述內筒的外側的散熱片，進而優選散熱片安裝在反應區域的下半側的位置。此外，本發明的反應方法，其特征在于，使被處理氣體和處理過的氣體在雙重管中流通，在被處理氣體和處理過的氣體之間進行第1熱交換，使被處理氣體和處理過的氣體在與上述雙重管連接的熱交換器中流通，在被處理氣體和處理過的氣體之間進行第2熱交換，使被處理氣體在與熱交換器連接的內筒中流通，在被處理氣體和反應區域之間進行第3 熱交換，在反應區域進行使被處理氣體變為處理過的氣體的反應。其中，優選被處理氣體是含有氟化合物的氣體，并且反應是使該氟化合物分解的反應。發明的效果本發明提供一種容易小型化、此外不易出現反應不均的反應裝置。
具體實施例方式下面將參照附圖來具體說明本發明的實施方式。圖1是用于說明本實施方式所使用的反應裝置的一例圖。圖1所示的反應裝置10，包括在其內部進行反應的外筒12，使被處理氣體和處理過的氣體流通的雙重管14，與雙重管14連接、配置在外筒12 —端部側、在被處理氣體和處理過的氣體之間進行熱交換的作為主熱交換部的熱交換器16，與作為主熱交換部的熱交換器16連接、配置在外筒12內部、使被處理氣體向與配置有熱交換器16的端部側遠離開的外筒12的另一端部側流通的內筒18。此外，還包括配置在內筒18的內部、使被處理氣體進一步加熱、同時用于向外筒內部的反應區域供給反應所需的熱的作為加熱器的內部加熱器20，配置在外筒12外部、同樣是用于向外筒內部的反應區域供給反應所需的熱的作為加熱器的外部加熱器22，安裝在內筒18的外側、用于使內部加熱器20產生的熱向反應區域均勻傳導的散熱片M，測定溫度、通過圖中未示出的控制裝置來控制反應裝置10的內部溫度的由熱電偶等構成的溫度傳感器^aJ6bJ6c，以及，用于填充反應劑的反應劑投入口 28。
外筒12是反應容器，可以在內部進行預定的反應。本實施方式中，使作為被處理氣體的、含有氟化合物的氣體在外筒12內部流通。并且，在外筒12和內筒18之間填充反應劑，借助該反應劑進行使該氟化合物分解的反應。作為氟化合物，相當于例如氯氟碳類(下文中簡稱為“CFC”)、氫氯氟碳類(下文中簡稱為“HCFC”)、全氟碳類(下文中簡稱為“PFC”)、氫氟碳類(下文中簡稱為“HFC”)、 全氟醚類(下文中簡稱為“PFE”)、氫氟醚類(下文中簡稱為“HFE”)、氟化硫等。更詳細地說，作為CFC 可以列舉出例如 CC1F3、CC12F2、CC13F、C2C13F3、C2C12F4、C2C1F5 等化合物，作為HCFC可以列舉出例如CHClF2、C2HCl2F3等化合物。此外，作為PFC可以列舉出例如CF4、C2F6, C3F8, C4F8 (八氟環丁烷)等化合物，作為HFC可以列舉出例如CH3F、CH2F2, CHF3、C2H2F4等化合物。此外，作為PFE可以列舉出例如CF3OCF3、CF3OCF2CF3等化合物，作為 HFE可以列舉出例如CHF20CHF2、CHF2OCH2CF3^ CH3OCF2CF3等化合物。此外，作為氟化硫可以列舉出例如SF6、S2F10等化合物。這些氟化合物可以是單獨的、或是兩種以上的混合物。此外，氟化合物優選以氦氣、氬氣、氮氣等惰性氣體、或空氣作為載氣被稀釋。在本實施方式中，被處理氣體中的氟化合物的濃度優選為0.01 10體積％。作為反應劑，可以使用含有選自銅(Cu)、錫(Sn)、鉻(Cr)、鉬(Mo)、鎢(W)、釩(V) 中的金屬的化合物中的至少一種、以及氧化鋁和堿土金屬化合物的反應劑。其中，氧化鋁是代表性的酸性物質(固體酸)，單獨使用它就可以使氟化合物分解。但分解生成的氟會使氧化鋁表面氟化，以AlF3的形式中毒，在短時間內使催化劑失去活性。這里，在本實施方式中，含有堿土金屬化合物。這樣可以在比以往更低的反應溫度下使氟化合物分解，使生成的氟作為堿土金屬氟化物被固定。下面將對此進行更具體地說明。首先，本實施方式中氟化合物的分解反應例如以下式表示。CF4+2CaC03/Al203 — 2CaF2+3C02... (1)C2F6+3CaC03/Al203 — 3CaF2+4C02+C0 — (2)這里的反應溫度根據被處理氣體中含有的氟化合物的種類不同而不同。例如，PFC 在氟化合物中被分類成難分解性的化合物，其中CF4、C2F6等是最難分解性的，要僅僅靠熱分解進行分解，需要1200°c 1400°c的高溫，但根據本實施方式的方法，只要是550°C以上就可以分解。此外，作為HCFC的CHClF2，根據本實施方式的方法，只要是200°C以上的溫度就可以分解。這樣根據氟化合物的種類不同，它們的分解溫度也分布在相當寬的范圍，因而根據該化合物的種類來將反應器設定在最佳溫度是重要的。作為堿土金屬化合物，可以使用堿土金屬的碳酸鹽、氫氧化物或氧化物。其中更優選鎂(Mg)、鈣(Ca)、鍶(Sr)、鋇(Ba)的碳酸鹽，進而優選作為鈣的碳酸鹽的碳酸鈣(CaCO3)。 當反應劑中使用碳酸鈣時，通過與氧化鋁共存，可以將氟化合物分解產生的氟以氟化鈣 (CaF2)的形式固定。由此發揮防止氧化鋁氟化的作用，保持氧化鋁的氟化合物分解功能(活性)。作為對作為反應劑成分之一的、選自銅(Cu)、錫(Sn)、鉻(Cr)、鉬(Mo)、鎢(W)、釩 (V)中的金屬的化合物，具有使氟化合物分解的助催化劑作用。此外，根據氟化合物的種類不同，可以使上述式( 所例示出的反應分解生成的一氧化碳在低氧氣分壓下也可以氧化成二氧化碳。在上述化合物中，優選使用氧化銅(CuO)、氧化錫(SnO2)、氧化釩(V2O5)等氧化物， 更優選使用氧化銅、氧化錫。本實施方式中，氧化鋁和堿土金屬化合物的含量，優選質量比為1 9 1 1。此外，金屬化合物的含量，優選氧化鋁與堿土金屬化合物合計質量的比值為1 99 5 95。本實施方式中，將該反應劑制成粒徑0. 5mm IOmm的粒狀物，填充到在外筒12內側和內筒18的外側之間產生的空間中。作為填充量，相對于該整個空間，優選達到80% 90%的高度。于是，填充了該反應劑的部分成為進行反應的反應區域。作為外筒12所使用的材料，只要對反應時的反應溫度、反應生成物具有耐性即可，沒有特殊限定，優選由不銹鋼等制作。此外，作為外筒12的形狀，沒有特殊限定，從內部的溫度均勻性方面和強度方面來看，優選是內徑IOOmm an的圓柱形狀。雙重管14包括作為內側管的內管Ha和作為外側管的外管14b。并且使被處理氣體在內管1 或外管14b的任一管中流通，在另一管中流通處理過的氣體，同時借助內側管在被處理氣體和處理過的氣體之間進行第1熱交換。這種情況下，使被處理氣體和處理過的氣體對向流通的雙重管14可以作為對向流式雙重管式熱交換器來理解。被處理氣體可以在內管Ha和外管14b中的任一者中流通，但從其熱交換效率方面來看，優選在內管1 中流通。即，如果在外管14b中流通，則由于外管14b與大氣接觸，所以會向大氣放熱。因此，被處理氣體在不易產生放熱的內管14b中流通為宜。此外，處理過的氣體，優選以盡量接近室溫的溫度被放出。從這方面考慮，也優選被處理氣體在內管Ha中流通，處理過的氣體在外管14b中流通。S卩，由于處理過的氣體的熱可以通過外管14b釋放，所以可以降低處理過的氣體的溫度。作為主熱交換部的熱交換器16，配置在外筒12 —端部。并且與雙重管14連接，例如，通過內管14a向熱交換器16供給被處理氣體，通過外管14b從熱交換器16取出處理過的氣體。此外，在熱交換器16中在被處理氣體和處理過的氣體之間進行第2熱交換。在本實施方式中，當外筒12和內筒18使用圓柱形狀的時，熱交換器16是通過將圓環狀的不銹鋼制板重合并焊接而成的，并使被處理氣體和處理過的氣體分別從不同的路徑通過、流通。并且可以使被處理氣體和處理過的氣體以來回曲折對向的方式在熱交換器 16內部流通，并借助圓環狀的板進行熱交換。這樣通過使流路來回曲折，可以以較小的容積交換大量的熱。本實施方式中，以被處理氣體和處理過的氣體分別在進行熱交換的部分中在該來回曲折的流路中來回2. 5次的方式構成。優選該來回曲折的流路分別來回1. 5次以上。如果比這還少，則熱交換不充分，有本裝置出口的排氣體溫度變高的趨勢。此外，處理過的氣體可以通過在反應區域的熱交換器16側開放的多個小口徑的孔30進入熱交換器16內部。并且從熱交換器16穿出來的被處理氣體可以通過在內筒18 側面開放的多個洞32進入內筒18內。此外，熱交換器16并不限于上述結構。可以使用螺旋式熱交換器、板式熱交換器、 多重圓管式熱交換器等各種熱交換器。內筒18配置在外筒12內部。并且與熱交換器16連接，使被處理氣體向與配置有熱交換器16的端部側遠離開的外筒12另一端部側流通。被處理氣體在通過該內筒18時，借助內筒18在反應區域之間進行第3熱交換。由此可以進一步加熱被處理氣體。內筒18 在本實施方式中由1根構成，但也可以是2根以上。此外，內筒18的位置，在本實施方式那樣的由1根構成的情況中，優選設置在外筒12中心部。此外，在本實施方式中，內筒18在內部具有內部加熱器20。該內部加熱器20可以使被處理氣體進一步被加熱，同時向外筒內部的反應區域供給反應所需要的熱量。此外，在內筒18的外側安裝了散熱片M。內部加熱器20產生的熱通過內筒18和該散熱片M傳導到反應區域。此外，通過具有該散熱片24，可以使內部加熱器20產生的熱更均勻地向反應區域傳導。這里，當將本實施方式的反應裝置10以熱交換器16所配置的那一側作為下側使用時，散熱片M優選安裝在反應區域的下半側位置，不安裝在上半側部分。即，反應區域的上部容易通過對流使溫度提高，如果在該部分安裝散熱片24，則容易使上側的溫度比下側高。因此，通過安裝在下半側的位置，可以使反應區域的上部和下部的溫度分布更加均勻。此外，散熱片M優選安裝多片。圖2是圖1所示的反應裝置10的II-II剖面圖。在圖2所示的反應裝置10中，在內筒18的外側安裝了 18片散熱片M。通過這樣安裝多片，可以使反應區域的溫度分布更加均勻。這里，散熱片M的片數和長度可以根據反應裝置10中的反應條件來適當選擇。作為內筒18和散熱片M所使用的材料，只要對反應時產生的反應熱、反應生成物具有耐性即可，沒有特殊限定。優選由不銹鋼等制作。此外，作為內筒18的形狀，沒有特殊限定，但從內部溫度的均勻性方面考慮，優選圓柱形。此外，內部加熱器20可以使用例如因科內爾(注冊商標)加熱器。并且可以使用例如3根該因科內爾(注冊商標inconel)加熱器，進行三角形連線，收納在內筒18的內部。此外，在本實施方式中，在外筒12外側具有外部加熱器22。通過具有該外部加熱器，可以從外側供給反應區域的反應所需的熱量。外部加熱器22所發出的熱通過外筒12 傳導到反應區域。并且通過具有外部加熱器22和內部加熱器20兩者，可以從反應區域的外側和內側兩方進行加熱。因此，可以使反應區域的溫度分布更加均勻。外部加熱器M可以使用例如INC0L0Y(注冊商標)加熱器。并且從均勻地供熱方面考慮，優選將該INC0L0Y(注冊商標)加熱器設置在外筒12周圍。此外，為了在維護等時本實施方式的反應裝置容易與控制裝置拆分，優選將加熱器和/或溫度傳感器和控制裝置用例如金屬連接器連接。此外，為了進一步防止向大氣中放熱，更有效對反應區域進行加熱，優選使外筒12 被保溫材料(圖中未示出)覆蓋。作為保溫劑可以使用由例如玻璃布、硅膠布等材料構成的。在上述構成的反應裝置10中，作為被處理氣體的含有氟化合物的氣體首先在雙重管14的內管14b中流通。此時在被處理氣體和處理過的氣體之間進行第1熱交換。接著，進入到與雙重管14連接的熱交換器16內，流到熱交換器16的內部，再次與處理過的氣體之間進行第2熱交換。然后進入與熱交換器16連接的內筒18內。被處理氣體，當在內筒18內流通時，與反應區域之間進行第3熱交換，同時通過內部加熱器20被加熱。在從內
7筒18通過后，進入反應區域，借助處理劑使被處理氣體中包含的氟化合物分解。通過該反應，被處理氣體變為處理過的氣體。處理過的氣體這次一邊在熱交換器16、雙重管14的外管14b中流通，一邊與被處理氣體之間進行上述第2熱交換、第1熱交換。并且在從雙重管 14通過后被放入大氣中。這樣的反應可以作為具有下述特征的反應方法被理解在雙重管14中使被處理氣體和處理過的氣體流通，在被處理氣體和處理過的氣體之間進行第1熱交換，在與雙重管14連接的熱交換器16中流通被處理氣體和處理過的氣體，使被處理氣體和處理過的氣體之間進行第2熱交換，在與熱交換器16連接的內筒18中流通被處理氣體，在被處理氣體和反應區域之間進行第3熱交換，在反應區域進行使被處理氣體變為處理過的氣體的反應。本實施方式的反應裝置10可以使外筒12和熱交換器16 —體化。此外，用于將被處理氣體和處理過的氣體導入到熱交換器16中的配管是雙重管14。通過具有這樣的結構， 容易使反應裝置10小型化。進而，通過3階段的熱交換即借助雙重管14進行的第1熱交換、借助熱交換器16 進行的第2熱交換、借助內筒18進行的第3熱交換，可以使被處理氣體被充分預熱，甚至在反應區域內也變成充分高的溫度。因此，容易使反應區域溫度分布均勻化。因此，不易出現反應不均。此外，當反應區域溫度分布不均時，有時溫度高的部分的反應劑消耗劇烈。因此，該部分的反應劑壽命結束時，就需要更換所有的反應劑，不經濟。本實施方式的反應裝置10，容易使反應區域溫度分布均勻化，所以不僅不易出現反應不均，而且容易使反應劑的消耗相同，可以延長反應劑的壽命。并且通過進而借助內筒18進行第3熱交換和借助內部加熱器20進行加熱，可以縮小熱交換器16的體積。因此可以使外筒12和內筒18之間的空間增大，能夠填充更多的反應劑，因此可以更高效地進行反應，并且可以處理更多的被處理氣體。外筒12和內筒18之間的空間容積即外筒內部的反應區域，從內部的溫度的均勻性方面和強度方面考慮，優選2升 3000升。特別優選2升 200升。此時連鑄機等的安裝容易，有利于反應裝置10的交換作業。并且從內部的溫度的均勻性和反應效率方面考慮，進而優選40升 200升。通過具有上述結構，可以作為反應溫度為200°C 1000°C的反應裝置使用，并且可以使反應裝置出口的氣體溫度為200°C以下。此外，本實施方式中，作為被處理氣體可以列舉出含有氟化合物的氣體，雖然已經對使該氟化合物分解的反應進行了說明，但并不限于此。作為被處理氣體使用氟化合物以外的氣體時，只要將反應劑變為適合該氣體的反應的反應劑，就可以使用本實施的反應裝置10。例如為了分解除去在半導體制造裝置的吹掃氣體管道、從手術室排出的含有過剩的麻醉氣體中含有的氧化亞氮，可以用于作為反應劑使用固體催化劑的反應等中。實施例作為反應裝置使用圖1和圖2所示的反應裝置10。作為反應劑使用氧化鋁和碳酸鈣質量比為3 7，氧化錫相對于氧化鋁和碳酸鈣的合計重量為3質量％的反應劑。此外， 作為被處理氣體，使作為氟化物氣體的CF4以6000Volppm的濃度以250L/min的流量在反應裝置10內流通。此外，作為載氣使用氮氣。結果，處理過的氣體的CF4的濃度為Oppm，確認可以使CF4分解。此外，此時測定反應裝置10的外部和內部的溫度分布。圖3是說明反應裝置10的溫度分布的圖。圖3中，橫軸表示溫度，縱軸表示反應區域的高度方向位置。并且示出了在各位置中的外部溫度和內部溫度。這里的外部溫度是通過依次改變溫度傳感器^c (參照圖1)的高度方向位置而測出的溫度。此外，內部溫度是通過依次改變溫度傳感參照圖1) 的高度方向位置而測出的溫度。如圖3所示，內部溫度和外部溫度，相對于反應區域的高度方向位置在550°C 580°C的范圍內控制在約30°C以內的溫度差，可知道能夠實現反應區域中均勻的溫度分布。


圖1是說明本實施方式所使用的反應裝置的一例圖。圖2是圖1所示的反應裝置的II-II剖面圖。圖3是用于說明反應裝置的溫度分布的圖。附圖標記說明10...反應裝置、12...外筒、14...雙重管、16...熱交換器、18...內筒、20...內
部加熱器、22...外部加熱器、24...散熱片
權利要求
1.一種反應裝置，其特征在于，包括在內部進行反應的外筒，配置在上述外筒的一端部側，在被處理氣體和處理過的氣體之間進行熱交換的主熱交換部，向上述主熱交換部供給上述被處理氣體的管，從上述主熱交換部取出上述處理過的氣體的管，以及與上述主熱交換部連接，配置在上述外筒的內部，使上述被處理氣體向與配置有上述主熱交換部的端部側遠離開的該外筒的另一端部側流通的內筒。
2.如權利要求1所述的反應裝置，其特征在于，上述被處理氣體含有氟化合物。
3.如權利要求2所述的反應裝置，其特征在于，上述反應是使上述氟化合物通過含有選自銅Cu、錫Sn、鉻Cr、鉬Mo、鎢W、釩V中的金屬的化合物中的至少一種、以及氧化鋁和堿土金屬化合物的反應劑進行分解。
4.如權利要求1 3的任一項所述的反應裝置，其特征在于，上述反應在上述外筒和上述內筒之間進行。
5.一種反應裝置，其特征在于，包括在內部的反應區域進行反應的外筒，使被處理氣體和處理過的氣體流通，在該被處理氣體和該處理過的氣體之間進行第1 熱交換的雙重管，與上述雙重管連接，在上述被處理氣體和上述處理過的氣體之間進行第2熱交換的熱交換器，以及與上述熱交換器連接，配置在上述外筒的內部，在被處理氣體和上述反應區域之間進行第3熱交換的內筒。
6.如權利要求5所述的反應裝置，其特征在于，還包括配置在上述內筒的內部和上述外筒的外部的加熱器。
7.如權利要求5或6所述的反應裝置，其特征在于，還包括安裝在上述內筒的外側的散熱片。
8.如權利要求7所述的反應裝置，其特征在于，上述散熱片安裝在上述反應區域的下半側的位置。
9.一種反應方法，其特征在于，使被處理氣體和處理過的氣體在雙重管中流通，在該被處理氣體和該處理過的氣體之間進行第1熱交換，使被處理氣體和處理過的氣體在與上述雙重管連接的熱交換器中流通，在該被處理氣體和該處理過的氣體之間進行第2熱交換，使被處理氣體在與上述熱交換器連接的內筒中流通，在被處理氣體和反應區域之間進行第3熱交換，在上述反應區域進行使被處理氣體變為處理過的氣體的反應。
10.如權利要求9所述的反應方法，其特征在于，上述被處理氣體是含有氟化合物的氣體，上述反應是使該氟化合物分解的反應。
全文摘要
本發明通過反應裝置10，提供了容易小型化、并且內部溫度分布更加均勻、不易出現反應不均的反應裝置。所述反應裝置10的特征在于，包括在其內部進行反應的外筒12，配置在外筒12一端部側、在被處理氣體和處理過的氣體之間進行熱交換的熱交換器16，向熱交換器16供給被處理氣體的雙重管14的內管14a，從熱交換器16取出處理過的氣體的雙重管14的外管14b，與熱交換器16連接、配置在外筒12內部、使被處理氣體向與配置有熱交換器16的端部側遠離開的外筒12的另一端部側流通的內筒18。
文檔編號B01D53/70GK102281939SQ201080004458
公開日2011年12月14日 申請日期2010年2月25日 優先權日2009年3月4日
發明者早坂裕二 申請人:昭和電工株式會社