本申請主張2014年6月25日申請的日本特(te)許申請號的優先(xian)權，這里并(bing)入該在先(xian)申請的公開整體(ti)以用于參照(zhao)。

技術領域

本發明涉及光掃(sao)(sao)描(miao)(miao)用(yong)致(zhi)動器和使用(yong)該光掃(sao)(sao)描(miao)(miao)用(yong)致(zhi)動器的光掃(sao)(sao)描(miao)(miao)裝置。

背景技術：

近年來，在內(nei)窺鏡等領域中(zhong)，提出了使光(guang)(guang)纖的(de)(de)前(qian)端部在諧振頻率附近進行振動(dong)(dong)、用(yong)于對(dui)對(dui)象物進行光(guang)(guang)掃描的(de)(de)光(guang)(guang)掃描用(yong)致動(dong)(dong)器(qi)(例如參(can)照(zhao)專(zhuan)利文獻(xian)1和專(zhuan)利文獻(xian)2)。在這些裝置中(zhong)，沿著光(guang)(guang)纖的(de)(de)光(guang)(guang)軸方向配置直(zhi)接(jie)或間接(jie)對(dui)光(guang)(guang)纖施(shi)力(li)的(de)(de)壓(ya)電(dian)(dian)元(yuan)件(jian)，通過對(dui)該壓(ya)電(dian)(dian)元(yuan)件(jian)施(shi)加交流電(dian)(dian)壓(ya)，對(dui)光(guang)(guang)纖的(de)(de)振動(dong)(dong)運(yun)動(dong)(dong)進行驅動(dong)(dong)。

圖(tu)(tu)16是(shi)示出理想的(de)光掃(sao)描用致動(dong)器(qi)(qi)的(de)概略結構的(de)一(yi)例的(de)圖(tu)(tu)，圖(tu)(tu)16(a)是(shi)側(ce)視圖(tu)(tu)，圖(tu)(tu)16(b)是(shi)從光軸方向觀察的(de)剖視圖(tu)(tu)。光掃(sao)描用致動(dong)器(qi)(qi)101包括光纖(xian)102、一(yi)端固定(ding)在(zai)(zai)器(qi)(qi)件(jian)(jian)保持(chi)(chi)器(qi)(qi)具107上且光纖(xian)102在(zai)(zai)長度方向上貫穿插入到中(zhong)心部的(de)長方體的(de)套圈103、配置(zhi)在(zai)(zai)套圈103的(de)4個側(ce)面的(de)壓(ya)電(dian)(dian)(dian)(dian)元(yuan)件(jian)(jian)104a～104d。各壓(ya)電(dian)(dian)(dian)(dian)元(yuan)件(jian)(jian)104a～104d分別包括壓(ya)電(dian)(dian)(dian)(dian)材(cai)料105a～105d和電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)106a～106d，在(zai)(zai)套圈103與電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)106a～106d之間夾持(chi)(chi)配置(zhi)有壓(ya)電(dian)(dian)(dian)(dian)材(cai)料105a～105d。各電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)106a～106d還通過布(bu)線108a～108d而(er)與未圖(tu)(tu)示的(de)驅動(dong)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)連接(jie)。

光(guang)掃(sao)描用致(zhi)動器(qi)101通(tong)過對電(dian)極106a、106c施(shi)(shi)加(jia)交流電(dian)壓(ya)，能(neng)夠使(shi)(shi)光(guang)纖(xian)102的(de)(de)(de)前端部102a在(zai)與光(guang)軸方(fang)向(xiang)z方(fang)向(xiang)正交的(de)(de)(de)y方(fang)向(xiang)上(shang)進行(xing)掃(sao)描。圖(tu)17是(shi)說明圖(tu)16的(de)(de)(de)光(guang)掃(sao)描用致(zhi)動器(qi)的(de)(de)(de)動作的(de)(de)(de)圖(tu)，圖(tu)17(a)是(shi)側視圖(tu)，圖(tu)17(b)是(shi)在(zai)光(guang)軸方(fang)向(xiang)上(shang)進行(xing)觀察的(de)(de)(de)剖視圖(tu)。當設套圈為接(jie)地電(dian)壓(ya)時(shi)，通(tong)過對電(dian)極106a、106c施(shi)(shi)加(jia)正或負電(dian)壓(ya)，壓(ya)電(dian)材料105a、105c在(zai)光(guang)纖(xian)102的(de)(de)(de)光(guang)軸方(fang)向(xiang)上(shang)進行(xing)伸縮(suo)。因此，通(tong)過對壓(ya)電(dian)元件104a、104c施(shi)(shi)加(jia)交流電(dian)壓(ya)，以使(shi)(shi)得一方(fang)在(zai)光(guang)軸方(fang)向(xiang)上(shang)伸長時(shi)、另一方(fang)收縮(suo)，由此能(neng)夠使(shi)(shi)光(guang)纖(xian)的(de)(de)(de)前端102a在(zai)y方(fang)向(xiang)上(shang)進行(xing)振動。

同樣，通過對壓(ya)電元件104b、104d施加交流(liu)電壓(ya)，能夠對x方向的振(zhen)動進行驅動。

現有技術文獻

專利文獻

專(zhuan)利(li)文(wen)獻1：國際公開第2013/069382號(hao)小冊子

專利文獻2：日本特(te)開號公(gong)報

技術實現要素：

發明要解決的課題

但是，在(zai)光(guang)纖(xian)(xian)使(shi)用可見光(guang)用的(de)(de)(de)(de)單模(mo)光(guang)纖(xian)(xian)的(de)(de)(de)(de)情(qing)況(kuang)下，光(guang)纖(xian)(xian)的(de)(de)(de)(de)直徑為100μm左右，用于(yu)對其進(jin)行(xing)驅動(dong)的(de)(de)(de)(de)套圈(quan)或壓(ya)電元件的(de)(de)(de)(de)尺寸也(ye)極小。特別(bie)是在(zai)使(shi)用圖16所示的(de)(de)(de)(de)套圈(quan)的(de)(de)(de)(de)光(guang)掃(sao)描用致動(dong)器中，很難提(ti)高套圈(quan)的(de)(de)(de)(de)加(jia)工(gong)精度(du)，并且，很難準確地將(jiang)壓(ya)電元件粘貼(tie)在(zai)套圈(quan)的(de)(de)(de)(de)側面的(de)(de)(de)(de)中央。因(yin)此，在(zai)圖16所示的(de)(de)(de)(de)截面為正方形的(de)(de)(de)(de)長方體形狀的(de)(de)(de)(de)套圈(quan)103中，很難實現均等地配置(zhi)壓(ya)電元件104a～104d的(de)(de)(de)(de)理想(xiang)結構。

在(zai)實際的(de)(de)(de)(de)(de)光掃(sao)描(miao)用(yong)致動(dong)器中，由于(yu)套(tao)圈等(deng)保(bao)持光纖(xian)(xian)的(de)(de)(de)(de)(de)部件的(de)(de)(de)(de)(de)形狀的(de)(de)(de)(de)(de)誤差或壓電(dian)元件的(de)(de)(de)(de)(de)配置的(de)(de)(de)(de)(de)偏移(yi)等(deng)，即(ji)使在(zai)一個(ge)方向上(shang)對光纖(xian)(xian)施加振動(dong)電(dian)壓，振幅也(ye)不會充分(fen)大，產(chan)生光纖(xian)(xian)前端部的(de)(de)(de)(de)(de)掃(sao)描(miao)軌跡成為(wei)橢圓(yuan)和/或掃(sao)描(miao)軌跡傾斜等(deng)不良情況。

因此，著(zhu)眼于這些(xie)點而完成的(de)(de)本發明的(de)(de)目的(de)(de)在于，提供在部件的(de)(de)加工(gong)精度或安裝位置不(bu)準確的(de)(de)情(qing)況下(xia)(旋轉非對稱的(de)(de)情(qing)況下(xia))、也能(neng)夠得(de)到在諧(xie)振(zhen)頻率附近抑制了不(bu)期(qi)望的(de)(de)變形(xing)和傾(qing)斜的(de)(de)掃(sao)描軌跡的(de)(de)光掃(sao)描用致動器。

用于解決課題的手段

實現上述(shu)(shu)目的(de)(de)(de)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)掃描用(yong)致動器(qi)的(de)(de)(de)發(fa)明的(de)(de)(de)特征在于(yu)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)光(guang)(guang)掃描用(yong)致動器(qi)具(ju)有(you)：光(guang)(guang)纖(xian)，其具(ju)有(you)以能(neng)夠振(zhen)動的(de)(de)(de)方(fang)(fang)式被支承的(de)(de)(de)前端部；以及壓(ya)電(dian)元件，其通過沿(yan)著所(suo)(suo)述(shu)(shu)光(guang)(guang)纖(xian)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)軸(zhou)方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)進(jin)行(xing)伸縮，產生(sheng)在與所(suo)(suo)述(shu)(shu)光(guang)(guang)軸(zhou)垂直的(de)(de)(de)方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)上對(dui)所(suo)(suo)述(shu)(shu)光(guang)(guang)纖(xian)的(de)(de)(de)所(suo)(suo)述(shu)(shu)前端部進(jin)行(xing)驅動的(de)(de)(de)驅動力，所(suo)(suo)述(shu)(shu)光(guang)(guang)掃描用(yong)致動器(qi)構成為繞所(suo)(suo)述(shu)(shu)光(guang)(guang)纖(xian)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)軸(zhou)旋轉非對(dui)稱或具(ju)有(you)二(er)次旋轉對(dui)稱性，所(suo)(suo)述(shu)(shu)光(guang)(guang)纖(xian)的(de)(de)(de)所(suo)(suo)述(shu)(shu)前端部的(de)(de)(de)諧振(zhen)方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)和所(suo)(suo)述(shu)(shu)壓(ya)電(dian)元件的(de)(de)(de)所(suo)(suo)述(shu)(shu)驅動力的(de)(de)(de)方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)實質上平行(xing)。

所述光(guang)掃(sao)描用致動器(qi)也(ye)可以構(gou)成為繞所述光(guang)纖(xian)的(de)光(guang)軸旋轉非對稱。

所述(shu)壓(ya)(ya)電元件(jian)(jian)(jian)可以包括(kuo)第1壓(ya)(ya)電元件(jian)(jian)(jian)、以及隔著所述(shu)光纖而(er)與所述(shu)第1壓(ya)(ya)電元件(jian)(jian)(jian)對置(zhi)配置(zhi)的第2壓(ya)(ya)電元件(jian)(jian)(jian)和第3壓(ya)(ya)電元件(jian)(jian)(jian)。

優選(xuan)所述(shu)光(guang)掃描用致動器具有(you)保(bao)持所述(shu)光(guang)纖(xian)的套(tao)圈，所述(shu)壓電元件固定在(zai)所述(shu)套(tao)圈的側面。

實現(xian)上(shang)述目的(de)的(de)光(guang)掃(sao)描(miao)(miao)裝置的(de)發(fa)明的(de)特征在于，所(suo)(suo)述光(guang)掃(sao)描(miao)(miao)裝置具(ju)有(you)：上(shang)述任意一項(xiang)所(suo)(suo)述的(de)光(guang)掃(sao)描(miao)(miao)用致動器；光(guang)輸(shu)入部(bu)，其(qi)使來自光(guang)源的(de)照明光(guang)入射到所(suo)(suo)述光(guang)纖(xian)的(de)與所(suo)(suo)述前端(duan)部(bu)相反(fan)的(de)一側的(de)端(duan)部(bu)；光(guang)學系統，其(qi)對(dui)(dui)對(dui)(dui)象物照射從(cong)所(suo)(suo)述光(guang)纖(xian)的(de)所(suo)(suo)述前端(duan)部(bu)射出的(de)光(guang)；以及控制(zhi)部(bu)，其(qi)對(dui)(dui)施加給所(suo)(suo)述壓電元件(jian)的(de)電壓進行控制(zhi)，使所(suo)(suo)述光(guang)纖(xian)的(de)所(suo)(suo)述前端(duan)部(bu)進行掃(sao)描(miao)(miao)以成(cheng)為期望的(de)掃(sao)描(miao)(miao)軌跡。

本發明基于如下(xia)知識和(he)(he)(he)見解：在光(guang)掃(sao)描(miao)用(yong)致(zhi)動(dong)(dong)器中，根據其部件(jian)的(de)(de)(de)形狀(zhuang)和(he)(he)(he)配置而存(cun)(cun)在在使(shi)光(guang)纖的(de)(de)(de)前端部進(jin)行(xing)振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)時容易進(jin)行(xing)諧(xie)振(zhen)(zhen)的(de)(de)(de)固有方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)、即諧(xie)振(zhen)(zhen)方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)，通過使(shi)該諧(xie)振(zhen)(zhen)方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)和(he)(he)(he)對(dui)光(guang)纖進(jin)行(xing)驅動(dong)(dong)的(de)(de)(de)驅動(dong)(dong)力(li)的(de)(de)(de)方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)一致(zhi)，得到(dao)直(zhi)線(xian)的(de)(de)(de)穩定(ding)的(de)(de)(de)掃(sao)描(miao)軌跡。在該諧(xie)振(zhen)(zhen)方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)中存(cun)(cun)在相互正(zheng)(zheng)交的(de)(de)(de)2個(ge)(ge)方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)，在對(dui)光(guang)掃(sao)描(miao)用(yong)致(zhi)動(dong)(dong)器進(jin)行(xing)二維(wei)掃(sao)描(miao)的(de)(de)(de)情況下(xia)，通過使(shi)驅動(dong)(dong)力(li)的(de)(de)(de)方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)與該相互正(zheng)(zheng)交的(de)(de)(de)2個(ge)(ge)諧(xie)振(zhen)(zhen)方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)一致(zhi)，能夠(gou)抑制掃(sao)描(miao)軌跡的(de)(de)(de)變形和(he)(he)(he)傾(qing)斜。

發明效果

根據本(ben)發明，光纖的(de)(de)前端部(bu)的(de)(de)諧(xie)振方(fang)向(xiang)和壓電元(yuan)件產生的(de)(de)驅動力的(de)(de)方(fang)向(xiang)實質上(shang)平行，所以，在部(bu)件的(de)(de)加工精度(du)或(huo)安裝(zhuang)位置(zhi)不準確的(de)(de)情(qing)況下(xia)(旋轉非對稱的(de)(de)情(qing)況下(xia))，也能夠得到在諧(xie)振頻率附近抑制了不期望的(de)(de)變形(xing)和傾(qing)斜的(de)(de)掃描軌(gui)跡。

附圖說明

圖(tu)1是第(di)1實(shi)施(shi)方(fang)式的(de)(de)光掃(sao)描(miao)用致動器的(de)(de)立體圖(tu)。

圖(tu)2是圖(tu)1的光掃描用致動(dong)器的剖(pou)視圖(tu)。

圖(tu)3是示出使用圖(tu)2的光掃描(miao)用致動器的情況下(xia)的基(ji)于仿真的光纖前端部的軌(gui)跡的圖(tu)。

圖4是光掃描用致(zhi)動器的(de)比較(jiao)例的(de)剖視圖。

圖5是(shi)示(shi)出使(shi)用(yong)圖4的(de)(de)比較例的(de)(de)光(guang)掃描用(yong)致動器的(de)(de)情況下的(de)(de)基于仿真的(de)(de)光(guang)纖前端部的(de)(de)軌跡(ji)的(de)(de)圖。

圖(tu)6是第2實施方式的(de)光掃(sao)描用致動器(qi)的(de)剖視圖(tu)。

圖7是第3實施方(fang)式的(de)光(guang)掃描(miao)用致動器(qi)的(de)剖視(shi)圖。

圖8是第4實施方式的光掃描用(yong)致動器的剖視圖。

圖9是第5實施方式的光(guang)掃(sao)描用致動器的剖視圖。

圖10是第6實(shi)施方式的(de)光掃(sao)描(miao)用致動器(qi)(除了(le)光纖以外)的(de)立體圖。

圖11是(shi)說(shuo)明(ming)圖10的光(guang)掃描用致動器的制造過程(cheng)中的壓電材料的形(xing)狀的剖視圖。

圖12是圖10的光掃描(miao)用致動器的剖(pou)視圖。

圖13是示(shi)出作為第7實施方式的光(guang)掃(sao)(sao)描(miao)裝置的一(yi)例的光(guang)掃(sao)(sao)描(miao)型內窺鏡裝置的概略結構的框圖。

圖(tu)14是(shi)概略地示出圖(tu)13的(de)光掃描(miao)型內窺鏡裝置的(de)鏡體的(de)外觀圖(tu)。

圖(tu)15是圖(tu)14的鏡體的前端(duan)部(bu)的剖視圖(tu)。

圖(tu)16是(shi)示出理(li)想的(de)光掃描用致動器的(de)概略(lve)結構的(de)圖(tu)，圖(tu)16(a)是(shi)側視圖(tu)，圖(tu)16(b)是(shi)從光軸(zhou)方向觀察的(de)剖視圖(tu)。

圖(tu)(tu)17是說(shuo)明圖(tu)(tu)16的光(guang)掃描用致動(dong)器的動(dong)作(zuo)的圖(tu)(tu)，圖(tu)(tu)17(a)是側視圖(tu)(tu)，圖(tu)(tu)17(b)是從(cong)光(guang)軸方向觀(guan)察的剖視圖(tu)(tu)。

具體實施方式

下(xia)面(mian)，參照附(fu)圖對本發明(ming)(ming)的實施方(fang)式進行說(shuo)明(ming)(ming)。

(第1實施方式)

圖(tu)(tu)1是第(di)1實施方(fang)(fang)(fang)式(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)掃描用致動器1的(de)(de)(de)(de)(de)立(li)體圖(tu)(tu)。光(guang)掃描用致動器1包(bao)括光(guang)纖2、沿著長度方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)在(zai)(zai)中(zhong)央部具有(you)供(gong)光(guang)纖2貫(guan)穿(chuan)插入的(de)(de)(de)(de)(de)貫(guan)通孔的(de)(de)(de)(de)(de)套圈(quan)3、配置(zhi)在(zai)(zai)套圈(quan)3的(de)(de)(de)(de)(de)4個(ge)側面(mian)的(de)(de)(de)(de)(de)壓(ya)電(dian)元件(jian)4a～4d、保持套圈(quan)3的(de)(de)(de)(de)(de)一端側的(de)(de)(de)(de)(de)器件(jian)保持器具7、對壓(ya)電(dian)元件(jian)4a～4d施加電(dian)壓(ya)的(de)(de)(de)(de)(de)布線8a～8d(8c、8d未(wei)圖(tu)(tu)示)。在(zai)(zai)以(yi)下的(de)(de)(de)(de)(de)附圖(tu)(tu)中(zhong)，設(she)(she)光(guang)纖的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)軸方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)為(wei)z方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)，設(she)(she)與z方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)正交(jiao)且(qie)相互正交(jiao)的(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)為(wei)x方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)和y方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)。并且(qie)，設(she)(she)各圖(tu)(tu)的(de)(de)(de)(de)(de)箭(jian)頭的(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)為(wei)+方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)、與箭(jian)頭相反的(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)為(wei)-方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)來加以(yi)區分。

光(guang)纖2是(shi)將來自未圖示的(de)光(guang)源的(de)光(guang)引導至前端(duan)(duan)部2a的(de)單模光(guang)纖。在(zai)可見光(guang)的(de)情況下，光(guang)纖2的(de)芯徑為10μm左(zuo)右，包層徑為100μm左(zuo)右，例(li)如為125μm。光(guang)纖2貫穿(chuan)插(cha)入到套圈3內，前端(duan)(duan)部2a以能(neng)夠(gou)振動的(de)方式以懸臂狀態支承在(zai)套圈3上。

套(tao)圈3由金屬等導電性(xing)物(wu)質、例如Ni或可伐合(he)金等形(xing)成。圖2是圖1的(de)(de)(de)光(guang)(guang)掃描(miao)用致動器1的(de)(de)(de)與光(guang)(guang)軸(zhou)垂直的(de)(de)(de)面(mian)的(de)(de)(de)剖視(shi)圖。套(tao)圈3的(de)(de)(de)大致寬度例如為100～500μm左右。理想(xiang)情況(kuang)下，套(tao)圈3是截(jie)面(mian)為正方形(xing)的(de)(de)(de)長方體，但是，在(zai)本實(shi)施方式中，由于制造時(shi)的(de)(de)(de)精度的(de)(de)(de)極限，配置有壓電元件4d的(de)(de)(de)側面(mian)傾(qing)斜，截(jie)面(mian)成為梯形(xing)狀(zhuang)。因此(ci)，套(tao)圈3繞光(guang)(guang)纖2的(de)(de)(de)光(guang)(guang)軸(zhou)成為旋轉非對(dui)稱的(de)(de)(de)形(xing)狀(zhuang)。

壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)4a～4d是(shi)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)，配置(zhi)(zhi)在(zai)(zai)套圈(quan)3的(de)4個側(ce)面。如圖1所示，各壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)4a～4d分(fen)別由固定(ding)在(zai)(zai)套圈(quan)3的(de)側(ce)面上的(de)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)材(cai)料(liao)5a～5d、以(yi)及粘接在(zai)(zai)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)材(cai)料(liao)5a～5d的(de)與(yu)套圈(quan)3相反的(de)一側(ce)的(de)面上的(de)電(dian)極(ji)6a～6d構(gou)(gou)成。另外(wai)，在(zai)(zai)圖2以(yi)后的(de)附圖中，壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)僅示出4a～4d，適當省略壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)材(cai)料(liao)5a～5d和(he)電(dian)極(ji)6a～6d等構(gou)(gou)造。壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)材(cai)料(liao)5a～5d具有(you)通過對(dui)(dui)對(dui)(dui)應的(de)電(dian)極(ji)6a～6d與(yu)套圈(quan)3之間施(shi)加(jia)電(dian)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)而在(zai)(zai)光(guang)軸方(fang)向(xiang)上伸長或收縮的(de)特性。當對(dui)(dui)對(dui)(dui)置(zhi)(zhi)的(de)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)施(shi)加(jia)電(dian)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)而使一方(fang)伸長并(bing)使另一方(fang)收縮時，光(guang)纖2隔(ge)著套圈(quan)3向(xiang)收縮的(de)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)側(ce)彎曲(qu)，所以(yi)，光(guang)纖2的(de)前端部2a在(zai)(zai)與(yu)光(guang)軸垂直的(de)方(fang)向(xiang)上被(bei)驅動。另外(wai)，在(zai)(zai)套圈(quan)3的(de)截面為理想的(de)正方(fang)形的(de)形狀的(de)情況下，壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)4a和(he)4c在(zai)(zai)y方(fang)向(xiang)上對(dui)(dui)置(zhi)(zhi)，壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)4b和(he)4d在(zai)(zai)x方(fang)向(xiang)上對(dui)(dui)置(zhi)(zhi)。

布線8a～8d利用焊接等(deng)方(fang)法(fa)與電極(ji)(ji)6a～6d連接，穿過器件保持器具7的(de)(de)(de)內部而與未圖示的(de)(de)(de)驅(qu)動電路(lu)連接。驅(qu)動電路(lu)設(she)套圈3的(de)(de)(de)電壓為接地電壓，對(dui)對(dui)置(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)電極(ji)(ji)6a～6d施加電壓，以得到期望(wang)的(de)(de)(de)掃(sao)描軌跡。此(ci)(ci)時，對(dui)置(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)電極(ji)(ji)6a和(he)電極(ji)(ji)6c成對(dui)兒，進行控制以使得在(zai)(zai)一方(fang)伸長時、另一方(fang)收縮。由此(ci)(ci)，在(zai)(zai)光(guang)纖(xian)2的(de)(de)(de)前(qian)端部2a產生(sheng)大(da)致y方(fang)向的(de)(de)(de)變位。同(tong)樣，通(tong)過對(dui)對(dui)置(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)電極(ji)(ji)6b和(he)6d進行同(tong)樣控制，在(zai)(zai)光(guang)纖(xian)2的(de)(de)(de)前(qian)端部2a產生(sheng)大(da)致x方(fang)向的(de)(de)(de)移位。

如(ru)果壓(ya)電元件4a和(he)4c以及(ji)壓(ya)電元件4b和(he)4d在(zai)相(xiang)互(hu)正(zheng)交(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)方向(xiang)上對光纖2的(de)(de)(de)前(qian)端部(bu)2a進(jin)(jin)行(xing)(xing)驅動，則(ze)通過對電極(ji)(ji)(ji)6a、6c和(he)電極(ji)(ji)(ji)6b、6d施加相(xiang)同頻率(lv)且(qie)相(xiang)位偏移90°、振幅(fu)在(zai)0與最(zui)大值之間逐漸變化的(de)(de)(de)交(jiao)(jiao)流電壓(ya)，來自光纖2的(de)(de)(de)射出(chu)光能夠在(zai)被照射的(de)(de)(de)對象(xiang)物上進(jin)(jin)行(xing)(xing)所(suo)謂的(de)(de)(de)螺旋掃描。并(bing)且(qie)，通過在(zai)電極(ji)(ji)(ji)6a、6c與電極(ji)(ji)(ji)6b、6d之間施加頻率(lv)不同且(qie)振幅(fu)恒定(ding)的(de)(de)(de)交(jiao)(jiao)流電壓(ya)，能夠進(jin)(jin)行(xing)(xing)所(suo)謂的(de)(de)(de)利薩茹(ru)掃描或光柵(zha)掃描。

但是，在本實(shi)施方(fang)式中(zhong)(zhong)，套圈3呈旋轉非對稱(cheng)的梯形(xing)形(xing)狀。因此，當在成(cheng)為斜(xie)面的配(pei)置(zhi)有壓(ya)電元(yuan)件(jian)(jian)4d的面(圖2中(zhong)(zhong)為+x方(fang)向的面)的y方(fang)向中(zhong)(zhong)央(yang)配(pei)置(zhi)壓(ya)電元(yuan)件(jian)(jian)4d時(shi)，來(lai)自壓(ya)電元(yuan)件(jian)(jian)4d的驅動力從(cong)X方(fang)向傾斜(xie)，與此同時(shi)，掃描型器(qi)件(jian)(jian)的諧(xie)振方(fang)向也傾斜(xie)。于是，在關注于x軸的情況下，當使驅動頻率接近諧(xie)振頻率附近時(shi)，產(chan)生軌跡成(cheng)為橢圓(yuan)、振幅減小等不良情況。

因此，在本實施方式中，如圖2所示，通過將壓電元件4d配置在套圈3的x方向的寬度變窄的一側(+y側)，使光纖2的前端部2a的諧振方向(D₁)和基于壓電元件4b、4d的驅動力方向(D₂)大致一致。由此，在x方(fang)向上(shang)對光掃描用(yong)致動(dong)(dong)器1進行驅動(dong)(dong)，即使驅動(dong)(dong)頻(pin)率為諧振(zhen)頻(pin)率附近，也能夠得到沒(mei)有傾斜和變形的(de)直(zhi)線的(de)軌跡。

圖(tu)3是示出使用圖(tu)2的(de)(de)光(guang)掃描用致動(dong)器(qi)1的(de)(de)情況下(xia)的(de)(de)基于仿真的(de)(de)光(guang)纖2的(de)(de)前端(duan)(duan)部(bu)2a的(de)(de)軌跡的(de)(de)圖(tu)。對壓電元件4b、4d施加諧振(zhen)頻(pin)率(lv)附近的(de)(de)頻(pin)率(lv)的(de)(de)交流電壓，在(zai)y方向(xiang)上對光(guang)掃描用致動(dong)器(qi)1進行驅(qu)動(dong)，由此(ci)，光(guang)纖2的(de)(de)前端(duan)(duan)部(bu)2a穿過在(zai)y方向(xiang)上直線(xian)振(zhen)動(dong)的(de)(de)軌道。

另一方面，圖4是光掃描用致動器1的比較例的剖視圖，圖5是示出使用圖4的比較例的光掃描用致動器1的情況下的基于仿真的光纖2的前端部2a的軌跡的圖。在該比較例中，將壓電元件4d配置在套圈3的x方向的寬度變寬的一側(-y側)。這樣配置時，光纖2的前端部2a的諧振方向(D₁)和基于壓電元件4b、4d的驅動力方向(D₂)產生(sheng)大幅偏移。因此(ci)，對壓電元(yuan)件4b、4d施加交流(liu)電壓，在y方(fang)向上對光掃描用致動器(qi)1進行驅動時，光纖(xian)2的前端部2a的軌道成為傾斜的橢圓軌道。

在(zai)(zai)本實施方(fang)式(shi)的(de)光(guang)掃描用致動(dong)器1中(zhong)，與(yu)上(shang)述比(bi)較(jiao)例不(bu)同，光(guang)纖前端(duan)部2在(zai)(zai)諧(xie)振(zhen)(zhen)頻(pin)率(lv)附(fu)近(jin)也(ye)在(zai)(zai)壓電元件(jian)4b、4d的(de)驅(qu)動(dong)力(li)方(fang)向(xiang)上(shang)取直線的(de)軌道。因此，根據本實施方(fang)式(shi)，在(zai)(zai)套圈3的(de)加(jia)工精度不(bu)準確的(de)情(qing)況(kuang)下(旋轉(zhuan)非對稱的(de)情(qing)況(kuang)下)，也(ye)能夠得到在(zai)(zai)諧(xie)振(zhen)(zhen)頻(pin)率(lv)附(fu)近(jin)抑(yi)制了不(bu)期望(wang)的(de)變形(xing)和傾斜(xie)的(de)掃描軌跡。并且(qie)，在(zai)(zai)諧(xie)振(zhen)(zhen)頻(pin)率(lv)附(fu)近(jin)也(ye)抑(yi)制了變形(xing)和傾斜(xie)，所以，能夠在(zai)(zai)諧(xie)振(zhen)(zhen)頻(pin)率(lv)的(de)附(fu)近(jin)以較(jiao)大振(zhen)(zhen)幅高效地對光(guang)纖進行驅(qu)動(dong)。

(第2實施方式)

圖(tu)6是(shi)第2實施方(fang)(fang)式的(de)(de)(de)(de)光掃描(miao)用(yong)致(zhi)動器1的(de)(de)(de)(de)與(yu)(yu)光軸(zhou)(zhou)垂直的(de)(de)(de)(de)面(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)剖視圖(tu)。在本實施方(fang)(fang)式中，與(yu)(yu)第1實施方(fang)(fang)式同(tong)(tong)樣(yang)，套(tao)圈3的(de)(de)(de)(de)加工(gong)精(jing)度(du)不(bu)充(chong)分(fen)，所以(yi)，相(xiang)對于(yu)光纖2的(de)(de)(de)(de)光軸(zhou)(zhou)的(de)(de)(de)(de)截面(mian)(mian)形狀(zhuang)成為(wei)梯形。因此(ci)，在套(tao)圈3的(de)(de)(de)(de)成為(wei)斜面(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)配(pei)置有壓(ya)(ya)電(dian)元(yuan)件(jian)4d的(de)(de)(de)(de)面(mian)(mian)(圖(tu)中為(wei)+x側的(de)(de)(de)(de)面(mian)(mian))中，使用(yong)粘(zhan)接(jie)劑9填(tian)充(chong)間隙，固定壓(ya)(ya)電(dian)元(yuan)件(jian)4d以(yi)使其(qi)與(yu)(yu)對置的(de)(de)(de)(de)壓(ya)(ya)電(dian)元(yuan)件(jian)4b平行(xing)。由此(ci)，使光掃描(miao)用(yong)致(zhi)動器1的(de)(de)(de)(de)諧(xie)振方(fang)(fang)向(xiang)和壓(ya)(ya)電(dian)元(yuan)件(jian)4a～4d的(de)(de)(de)(de)驅動力的(de)(de)(de)(de)方(fang)(fang)向(xiang)與(yu)(yu)x方(fang)(fang)向(xiang)一(yi)致(zhi)。此(ci)時，填(tian)充(chong)間隙的(de)(de)(de)(de)材(cai)料(liao)不(bu)限于(yu)粘(zhan)接(jie)劑，并且，優選(xuan)該材(cai)料(liao)的(de)(de)(de)(de)密度(du)與(yu)(yu)套(tao)圈3的(de)(de)(de)(de)密度(du)接(jie)近。其(qi)他(ta)結構(gou)與(yu)(yu)第1實施方(fang)(fang)式相(xiang)同(tong)(tong)，所以(yi)，對相(xiang)同(tong)(tong)或對應的(de)(de)(de)(de)結構(gou)要素標(biao)注相(xiang)同(tong)(tong)參照標(biao)號(hao)并省略說(shuo)明(ming)。

根據本實施(shi)方式(shi)，即使套(tao)圈3的(de)加工(gong)精度不充分，也使用(yong)粘(zhan)接(jie)劑(ji)9填充間(jian)隙(xi)，平行(xing)地配置壓電元件(jian)4b、4d，使光掃描(miao)用(yong)致動器1的(de)諧振方向和壓電元件(jian)4b、4d的(de)驅(qu)動力方向一致，所以，與第1實施(shi)方式(shi)同樣(yang)，能夠得(de)到(dao)在諧振頻率附近抑制(zhi)了不期望的(de)變形和傾斜的(de)掃描(miao)軌跡。

(第3實施方式)

圖7是第3實施方式的光掃描用致動器1的剖視圖。在本實施方式中，示出如下情況：在套圈3上粘貼壓電元件4b的階段，粘貼位置無意地偏移。該情況下，假設與壓電元件4b相比，比壓電元件4b更靠后粘貼的壓電元件4d能夠進行準確的定位。根據圖7的致動器，套圈3的截面形狀實質上成為正方形。另一方面，在關注于x軸方向的壓電元件4b、4d的情況下，-x側的壓電元件4b向-y方向偏移。因此，+x側的壓電元件4d也同樣向-y方向偏移，由此，使光掃描用致動器1的諧振方向(D₁)和壓電元件4b、4d的驅動力方向(D₂)與(yu)x方向大致一致。由此，能(neng)夠得到(dao)在諧振頻(pin)率附(fu)近抑制了不期望(wang)的變(bian)形和傾斜的掃(sao)描軌跡，能(neng)夠高效地使光纖進行振動(dong)。另外，該情(qing)況下，光掃(sao)描用致動(dong)器1也(ye)成為旋轉非對稱。其(qi)他結構與(yu)第1實(shi)施(shi)方式(shi)相同，所以，對相同或對應的結構要素標(biao)注相同參(can)照(zhao)標(biao)號并(bing)省略說明。

在將(jiang)壓(ya)電元(yuan)件4a～4d粘接固(gu)定在套圈(quan)3上時，一個(ge)壓(ya)電元(yuan)件4b不使(shi)用(yong)精(jing)密的(de)定位單元(yuan)而以(yi)自由狀態進行(xing)固(gu)定，在粘貼位置(zhi)從中心偏移(yi)的(de)情(qing)況下(xia)，使(shi)用(yong)夾具等(deng)精(jing)密地(di)調整對置(zhi)的(de)另(ling)一個(ge)壓(ya)電元(yuan)件4d并進行(xing)粘接，由此能(neng)夠(gou)實現本實施方式的(de)光掃(sao)描(miao)用(yong)致動器1。由此，能(neng)夠(gou)使(shi)精(jing)密調整的(de)工序減半，能(neng)夠(gou)削減制造成本。

(第4實施方式)

圖8是第4實施方式的光掃描用致動器1的剖視圖。在該光掃描用致動器1中，y方向上對置的壓電元件4a和4c中的一個壓電元件4a(第1壓電元件)由一枚壓電元件構成，另一個壓電元件4c由x方向上并列排列的2枚z方向較長的壓電元件4c₁、4c₂(第2壓電元件、第3壓電元件)構成。并且，同樣，x方向上對置的壓電元件4b和4d中的一個壓電元件4b由一枚壓電元件構成，另一個壓電元件4d由y方向上并列排列的2枚z方向較長的壓電元件4d₁、4d₂構(gou)成。由此，光掃(sao)描用致(zhi)動器1成為(wei)旋轉非對稱(cheng)。這里，優選套圈3的(de)(de)(de)形狀(zhuang)是截(jie)面(mian)為(wei)正方(fang)(fang)(fang)形的(de)(de)(de)長方(fang)(fang)(fang)體，優選壓(ya)(ya)電元(yuan)件4a位(wei)于套圈3的(de)(de)(de)y方(fang)(fang)(fang)向的(de)(de)(de)面(mian)的(de)(de)(de)中央(yang)、壓(ya)(ya)電元(yuan)件4b位(wei)于套圈3的(de)(de)(de)-x方(fang)(fang)(fang)向的(de)(de)(de)面(mian)的(de)(de)(de)中央(yang)。但是，與上述各實施(shi)方(fang)(fang)(fang)式同(tong)(tong)(tong)樣，很(hen)難提(ti)高它們(men)的(de)(de)(de)形狀(zhuang)和(he)配置(zhi)(zhi)位(wei)置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)精度(du)。其他結(jie)(jie)構(gou)與第1實施(shi)方(fang)(fang)(fang)式相同(tong)(tong)(tong)，所(suo)以，對相同(tong)(tong)(tong)或對應的(de)(de)(de)結(jie)(jie)構(gou)要(yao)素標(biao)注相同(tong)(tong)(tong)參照(zhao)標(biao)號并(bing)省(sheng)略說明。

在本實施方式的光掃描用致動器1中，在套圈3上粘貼x方向的壓電元件4b的階段，在粘貼位置無意地偏移的情況下，通過對對置的2個壓電元件4d₁、4d₂之間的電壓值進行調整，也能夠使光掃描用致動器1的諧振方向D₁和壓電元件4b、4d₁、4d₂的驅動力方向D₂大致(zhi)(zhi)一(yi)致(zhi)(zhi)，能夠(gou)使(shi)驅動(dong)頻率接近(jin)諧振(zhen)頻率附近(jin)，能夠(gou)高效地使(shi)光纖2進(jin)行振(zhen)動(dong)。

例如，如圖8所示，在-x側的壓電元件4b無意地向-y方向偏移的情況下，對+x側的2枚壓電元件4d₁、4d₂中的-y側的壓電元件4d₂施加更大的電壓，對+y側施加較小的電壓。這樣，能夠使光掃描用致動器1的諧振方向D₁和壓電元件4b、4d₁、4d₂的驅動力方向D₂大致一(yi)致，能(neng)夠使(shi)驅動頻率接(jie)近(jin)諧振(zhen)頻率附近(jin)，能(neng)夠高(gao)效(xiao)地使(shi)光纖2進行振(zhen)動。

以上涉及配置在套圈3的x方向的側面的壓電元件4b、4d₁、4d₂，但是，配置在y方向的側面的壓電元件4a、4c₁、4c₂也進行同樣的調整，能夠使諧振方向和壓電元件4a、4c₁、4c₂的驅動力的方向大致一致。并且，在套圈3的形狀存在變形的情況下，通過壓電元件4c₁與壓電元件4c₂之間的電壓的調整以及壓電元件4d₁與壓電元件4d₂之間的(de)電壓的(de)調整，能夠進(jin)行調整以使得諧振頻率和壓電元件(jian)的(de)驅動力方向一致。

因此，根據本實施方式，通過設置配置在供光纖2貫穿插入的套圈3的一面上的一個壓電元件4a和配置在與壓電元件4a對置的面上的2個壓電元件4c₁和4c₂，對施加給2個壓電元件4c₁和4c₂的(de)(de)電壓值進行調整，使諧(xie)振(zhen)頻率和壓電元件(jian)的(de)(de)驅動力(li)方(fang)向一(yi)致，由此，能(neng)夠(gou)得(de)到在諧(xie)振(zhen)頻率附近抑制(zhi)了不期望的(de)(de)變形和傾斜(xie)的(de)(de)x方(fang)向的(de)(de)掃描(miao)軌跡。并且，y方(fang)向的(de)(de)掃描(miao)也(ye)同樣。

(第5實施方式)

圖9是第5實施方(fang)式的(de)光(guang)(guang)掃描(miao)用(yong)致(zhi)動器1的(de)剖視圖。在(zai)該光(guang)(guang)掃描(miao)用(yong)致(zhi)動器1中，與上述(shu)各實施方(fang)式不(bu)同，不(bu)使用(yong)套(tao)圈，利用(yong)粘(zhan)(zhan)接劑9等直(zhi)接在(zai)光(guang)(guang)纖2上粘(zhan)(zhan)接壓電(dian)元(yuan)件(jian)4a～4d。一般情況(kuang)下，平行(xing)地粘(zhan)(zhan)貼在(zai)x方(fang)向(xiang)、y方(fang)向(xiang)上對置的(de)壓電(dian)元(yuan)件(jian)4a～4d是非常(chang)困難的(de)，在(zai)壓電(dian)元(yuan)件(jian)4a～4d從x方(fang)向(xiang)或(huo)y方(fang)向(xiang)傾斜的(de)情況(kuang)下，產生軌(gui)跡(ji)成為(wei)橢圓等不(bu)良情況(kuang)。

因(yin)此，根據本實施方(fang)(fang)式，改變y方(fang)(fang)向(xiang)上(shang)對(dui)(dui)(dui)(dui)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)(dian)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)4a、4c以(yi)及x方(fang)(fang)向(xiang)上(shang)對(dui)(dui)(dui)(dui)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)(dian)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)4b、4d的(de)(de)(de)(de)(de)長(chang)度(du)(du)，例如，x方(fang)(fang)向(xiang)上(shang)對(dui)(dui)(dui)(dui)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)(dian)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)4b、4d構成(cheng)為與光纖2的(de)(de)(de)(de)(de)直(zhi)徑(jing)相同的(de)(de)(de)(de)(de)寬(kuan)(kuan)度(du)(du)，y方(fang)(fang)向(xiang)上(shang)對(dui)(dui)(dui)(dui)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)(dian)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)4a、4c構成(cheng)為在光纖2的(de)(de)(de)(de)(de)直(zhi)徑(jing)上(shang)加(jia)上(shang)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)(dian)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)厚度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)2倍(bei)而(er)得到的(de)(de)(de)(de)(de)寬(kuan)(kuan)度(du)(du)。由此，各壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)(dian)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)4a～4d與光纖2接(jie)觸，而(er)且(qie)，壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)(dian)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)4b、4d成(cheng)為被夾(jia)持(chi)在壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)(dian)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)4a、4c的(de)(de)(de)(de)(de)對(dui)(dui)(dui)(dui)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)面之間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)形狀，相互(hu)以(yi)直(zhi)角角度(du)(du)變得穩定。并且(qie)，與壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)(dian)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)4b、4d相比(bi)，壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)(dian)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)4a、4c的(de)(de)(de)(de)(de)寬(kuan)(kuan)度(du)(du)較寬(kuan)(kuan)，所以(yi)，施加(jia)相同電(dian)(dian)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)而(er)產生(sheng)的(de)(de)(de)(de)(de)驅(qu)動力較大，所以(yi)，進(jin)行(xing)調整以(yi)對(dui)(dui)(dui)(dui)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)電(dian)(dian)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)4b、4d施加(jia)相對(dui)(dui)(dui)(dui)較小的(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)壓(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)(ya)。另外，本實施方(fang)(fang)式的(de)(de)(de)(de)(de)光掃描用致動器1具有二(er)次旋轉對(dui)(dui)(dui)(dui)稱性。

通過采用這(zhe)種結構，能(neng)夠(gou)使光掃(sao)描用致(zhi)動器1的(de)諧振(zhen)(zhen)方向和壓電元件4a～4d的(de)驅動力方向大致(zhi)一致(zhi)，能(neng)夠(gou)得(de)到在諧振(zhen)(zhen)頻(pin)率附(fu)近(jin)抑制了不(bu)期望的(de)變形和傾斜的(de)掃(sao)描軌跡。進而，能(neng)夠(gou)使驅動頻(pin)率接近(jin)諧振(zhen)(zhen)頻(pin)率附(fu)近(jin)，能(neng)夠(gou)高(gao)效地使光纖2進行振(zhen)(zhen)動。并(bing)且，與第(di)1實施(shi)方式～第(di)4實施(shi)方式相比，具(ju)有不(bu)需要(yao)套圈這(zhe)樣的(de)優(you)點。

(第6實施方式)

圖(tu)10是(shi)第(di)6實(shi)施方式的(de)光(guang)(guang)掃(sao)描(miao)用(yong)致(zhi)動器11(除(chu)了光(guang)(guang)纖(xian)以外)的(de)立體圖(tu)。并且，圖(tu)11是(shi)說明圖(tu)10的(de)光(guang)(guang)掃(sao)描(miao)用(yong)致(zhi)動器11的(de)制造過程(cheng)中的(de)壓電材料的(de)形狀的(de)剖視(shi)(shi)圖(tu)。進而(er)，圖(tu)12是(shi)圖(tu)10的(de)光(guang)(guang)掃(sao)描(miao)用(yong)致(zhi)動器11的(de)剖視(shi)(shi)圖(tu)。

該光(guang)(guang)(guang)掃描用致動(dong)(dong)器11具有(you)(you)大(da)致圓(yuan)筒(tong)形(xing)的(de)(de)(de)(de)壓(ya)電(dian)(dian)(dian)材(cai)(cai)料12，在(zai)用于將在(zai)長(chang)度方向上延伸(shen)的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)纖貫(guan)穿(chuan)(chuan)插(cha)入到壓(ya)電(dian)(dian)(dian)材(cai)(cai)料12的(de)(de)(de)(de)圓(yuan)筒(tong)的(de)(de)(de)(de)中心的(de)(de)(de)(de)內(nei)腔13的(de)(de)(de)(de)外周(zhou)面(圓(yuan)筒(tong)形(xing)的(de)(de)(de)(de)內(nei)周(zhou)面)設置有(you)(you)中央(yang)(yang)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)14。并且，在(zai)壓(ya)電(dian)(dian)(dian)材(cai)(cai)料12的(de)(de)(de)(de)周(zhou)圍設置有(you)(you)4個(ge)凸(tu)部(bu)(分(fen)離區域)15。進(jin)(jin)而(er)，在(zai)壓(ya)電(dian)(dian)(dian)材(cai)(cai)料12的(de)(de)(de)(de)周(zhou)圍，隔(ge)著(zhu)4個(ge)凸(tu)部(bu)15而(er)沿著(zhu)壓(ya)電(dian)(dian)(dian)材(cai)(cai)料12的(de)(de)(de)(de)外周(zhou)配置有(you)(you)4個(ge)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)16。進(jin)(jin)而(er)，在(zai)一個(ge)凸(tu)部(bu)15與相鄰的(de)(de)(de)(de)一個(ge)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)16之間(jian)夾持(chi)絕緣材(cai)(cai)料17。在(zai)中央(yang)(yang)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)14和各電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)16連接有(you)(you)未圖示的(de)(de)(de)(de)布線，從外部(bu)施加交流電(dian)(dian)(dian)壓(ya)。通過對中央(yang)(yang)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)14與各電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)16之間(jian)施加電(dian)(dian)(dian)壓(ya)，夾持(chi)在(zai)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)16與中央(yang)(yang)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)14之間(jian)的(de)(de)(de)(de)壓(ya)電(dian)(dian)(dian)材(cai)(cai)料12伸(shen)縮，使貫(guan)穿(chuan)(chuan)插(cha)入的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)纖的(de)(de)(de)(de)前端部(bu)進(jin)(jin)行振(zhen)動(dong)(dong)。

這里，首先，在(zai)壓(ya)電(dian)材(cai)(cai)料12上形成凸部(bu)(bu)15，在(zai)包含凸部(bu)(bu)15的壓(ya)電(dian)材(cai)(cai)料12的周(zhou)圍(wei)堆(dui)積導電(dian)性涂層，接著，從光軸(zhou)起以等(deng)距離在(zai)壓(ya)電(dian)材(cai)(cai)料12的周(zhou)向上去除(chu)所(suo)堆(dui)積的涂層的一部(bu)(bu)分以使得凸部(bu)(bu)15露出，形成用(yong)凸部(bu)(bu)15隔開的電(dian)極16，由此(ci)，能夠制(zhi)作這種光掃描用(yong)致動(dong)器11。

但是，在形成凸部15時，如圖11所示，在一部分凸部15a的位置在周向上偏移的情況下，當直接形成電極16時，相對于光掃描用致動器11的諧振方向D₁，基于對置的電極16的驅動力方向D₂產生偏移。

因此，在圖10和圖12所示的光掃描用致動器11中，通過絕緣材料17對凸部15a的位置偏移進行補充，使光掃描用致動器11的諧振方向D₁與通過對置的電極16a和電極16c而在壓電材料12中產生的驅動力方向D₂一致。由(you)此，能夠得到在諧振(zhen)頻(pin)率附近抑制了不(bu)期望的變(bian)形(xing)和傾斜的掃(sao)描(miao)軌跡，能夠高(gao)效地(di)使光(guang)纖進行(xing)振(zhen)動。另外，優選絕(jue)緣材(cai)料(liao)17具有與壓電材(cai)料(liao)12相同(tong)程度的密度。

(第7實施方式)

圖13是(shi)示出作為第7實(shi)施方式的(de)(de)光(guang)掃描(miao)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)的(de)(de)一(yi)例的(de)(de)光(guang)掃描(miao)型(xing)內窺鏡(jing)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)20的(de)(de)概略(lve)結構的(de)(de)框圖。光(guang)掃描(miao)型(xing)內窺鏡(jing)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)20由鏡(jing)體(ti)30、控(kong)制裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)主體(ti)40和顯示器50構成。

控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置主體(ti)40構(gou)成為包括對(dui)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)掃(sao)描(miao)型內窺(kui)鏡裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置20整體(ti)進(jin)行控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)部(bu)41、發(fa)(fa)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)時刻控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)部(bu)42、激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)器(qi)(qi)(qi)(qi)43R、43G、43B和(he)耦(ou)合(he)器(qi)(qi)(qi)(qi)44(光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)輸入(ru)部(bu))。發(fa)(fa)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)時刻控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)部(bu)42在(zai)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)部(bu)41的(de)(de)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)下，對(dui)射出紅色(se)(se)(se)、綠色(se)(se)(se)和(he)藍色(se)(se)(se)這三原色(se)(se)(se)的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)3個(ge)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)器(qi)(qi)(qi)(qi)43R、43G、43B的(de)(de)發(fa)(fa)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)時刻進(jin)行控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)。作為激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)器(qi)(qi)(qi)(qi)43R、43G、43B，例如可(ke)以使用(yong)DPSS激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)器(qi)(qi)(qi)(qi)(半導體(ti)激(ji)(ji)勵固(gu)體(ti)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)器(qi)(qi)(qi)(qi))或(huo)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)二極管。從激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)器(qi)(qi)(qi)(qi)43R、43G、43B射出的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)通過耦(ou)合(he)器(qi)(qi)(qi)(qi)44進(jin)行合(he)波(bo)，作為白色(se)(se)(se)的(de)(de)照(zhao)明光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)入(ru)射到作為單(dan)模光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)纖的(de)(de)照(zhao)明用(yong)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)纖21。光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)掃(sao)描(miao)型內窺(kui)鏡裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置20的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源的(de)(de)結構(gou)不限于此，可(ke)以使用(yong)一個(ge)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源，也可(ke)以使用(yong)其他的(de)(de)多個(ge)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源。并且，激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)器(qi)(qi)(qi)(qi)43R、43G、43B和(he)耦(ou)合(he)器(qi)(qi)(qi)(qi)44也可(ke)以收納在(zai)利用(yong)信號線而(er)與(yu)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置主體(ti)40連(lian)接的(de)(de)、獨立于控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)(zhuang)置主體(ti)40的(de)(de)殼(ke)體(ti)中。

照明(ming)用(yong)光(guang)(guang)纖21連接(jie)到(dao)鏡體(ti)(ti)30的(de)(de)(de)前(qian)端(duan)部，從(cong)耦合器(qi)44入射(she)(she)到(dao)照明(ming)用(yong)光(guang)(guang)纖21的(de)(de)(de)光(guang)(guang)被(bei)引導至(zhi)鏡體(ti)(ti)30的(de)(de)(de)前(qian)端(duan)部，朝向對(dui)象物(wu)60進(jin)行照射(she)(she)。此時，驅(qu)動(dong)部31進(jin)行振(zhen)動(dong)驅(qu)動(dong)，由(you)此，從(cong)照明(ming)用(yong)光(guang)(guang)纖21射(she)(she)出的(de)(de)(de)照明(ming)光(guang)(guang)能夠在(zai)對(dui)象物(wu)60的(de)(de)(de)觀察表(biao)面上進(jin)行二(er)維掃描。如后所述，驅(qu)動(dong)部31構成為包括本(ben)發明(ming)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)掃描用(yong)致動(dong)器(qi)。并且(qie)，該驅(qu)動(dong)部31由(you)后述控(kong)(kong)制裝置主(zhu)體(ti)(ti)40的(de)(de)(de)驅(qu)動(dong)控(kong)(kong)制部48來控(kong)(kong)制。通過照明(ming)光(guang)(guang)的(de)(de)(de)照射(she)(she)而(er)從(cong)對(dui)象物(wu)60得到(dao)的(de)(de)(de)反射(she)(she)光(guang)(guang)、散射(she)(she)光(guang)(guang)、熒光(guang)(guang)等信號光(guang)(guang)在(zai)由(you)多(duo)個(ge)多(duo)模光(guang)(guang)纖構成的(de)(de)(de)檢測用(yong)光(guang)(guang)纖22的(de)(de)(de)前(qian)端(duan)被(bei)接(jie)收，穿過鏡體(ti)(ti)30內并被(bei)引導至(zhi)控(kong)(kong)制裝置主(zhu)體(ti)(ti)40。

控(kong)(kong)制裝置主體40還具有用于對(dui)信(xin)(xin)號(hao)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)進(jin)行(xing)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)檢測(ce)器45、ADC(模擬-數(shu)字(zi)(zi)轉(zhuan)換(huan)(huan)器)46和(he)(he)圖(tu)像(xiang)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)部(bu)(bu)47。光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)檢測(ce)器45將穿過檢測(ce)用光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)纖(xian)22而(er)來的(de)(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)分(fen)解成(cheng)(cheng)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)成(cheng)(cheng)分(fen)，通過光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)電二極管等將各個光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)成(cheng)(cheng)分(fen)轉(zhuan)換(huan)(huan)為電信(xin)(xin)號(hao)。ADC46將轉(zhuan)換(huan)(huan)為電信(xin)(xin)號(hao)后的(de)(de)(de)圖(tu)像(xiang)信(xin)(xin)號(hao)轉(zhuan)換(huan)(huan)為數(shu)字(zi)(zi)信(xin)(xin)號(hao)，并(bing)將其輸出到圖(tu)像(xiang)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)部(bu)(bu)47。控(kong)(kong)制部(bu)(bu)41根(gen)據(ju)(ju)由驅(qu)動控(kong)(kong)制部(bu)(bu)48施加的(de)(de)(de)振動電壓(ya)的(de)(de)(de)振幅和(he)(he)相(xiang)位(wei)(wei)等信(xin)(xin)息，計算掃(sao)(sao)描路徑上的(de)(de)(de)掃(sao)(sao)描位(wei)(wei)置的(de)(de)(de)信(xin)(xin)息，將其交給圖(tu)像(xiang)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)部(bu)(bu)47。圖(tu)像(xiang)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)部(bu)(bu)47根(gen)據(ju)(ju)從ADC466輸出的(de)(de)(de)數(shu)字(zi)(zi)信(xin)(xin)號(hao)，得到該掃(sao)(sao)描位(wei)(wei)置處(chu)的(de)(de)(de)對(dui)象物60的(de)(de)(de)像(xiang)素(su)數(shu)據(ju)(ju)。圖(tu)像(xiang)處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)部(bu)(bu)47將掃(sao)(sao)描位(wei)(wei)置和(he)(he)像(xiang)素(su)數(shu)據(ju)(ju)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)息依(yi)次存(cun)儲(chu)在(zai)未圖(tu)示的(de)(de)(de)存(cun)儲(chu)器中，在(zai)掃(sao)(sao)描結(jie)束后或(huo)掃(sao)(sao)描中進(jin)行(xing)插(cha)值處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)等必要處(chu)理(li)(li)(li)(li)(li)，生成(cheng)(cheng)對(dui)象物60的(de)(de)(de)圖(tu)像(xiang)并(bing)將其顯示在(zai)顯示器50中。

在上述各(ge)處(chu)理中，控制部(bu)41對發光時刻控制部(bu)42、光檢測器(qi)45、驅動控制48和圖像處(chu)理部(bu)47進行同步控制。

圖14是概略(lve)地示(shi)出鏡體(ti)30的(de)概觀圖。鏡體(ti)30具(ju)有(you)操(cao)作(zuo)部(bu)(bu)32和插入(ru)部(bu)(bu)33。在操(cao)作(zuo)部(bu)(bu)32上(shang)分別連接有(you)來自控制裝置主體(ti)40的(de)照(zhao)明用(yong)(yong)光(guang)纖21、檢測用(yong)(yong)光(guang)纖22和布線(xian)纜線(xian)23。這些照(zhao)明用(yong)(yong)光(guang)纖21、檢測用(yong)(yong)光(guang)纖22和布線(xian)纜線(xian)23穿(chuan)過插入(ru)部(bu)(bu)33內部(bu)(bu)并被引導(dao)至插入(ru)部(bu)(bu)33的(de)前端(duan)部(bu)(bu)34(圖14中的(de)虛線(xian)部(bu)(bu)內的(de)部(bu)(bu)分)。

圖(tu)15是放大示出圖(tu)14的(de)(de)鏡(jing)體(ti)30的(de)(de)插入部(bu)(bu)33的(de)(de)前端部(bu)(bu)34的(de)(de)剖視圖(tu)。前端部(bu)(bu)34構成為包括(kuo)驅動部(bu)(bu)31、投(tou)影(ying)用(yong)(yong)透鏡(jing)35a、35b、穿過(guo)中心部(bu)(bu)的(de)(de)照明用(yong)(yong)光纖(xian)21和穿過(guo)外周部(bu)(bu)的(de)(de)檢測用(yong)(yong)光纖(xian)22。

驅動(dong)部31構成(cheng)為包(bao)括(kuo)通過安裝環36(相當于圖1的(de)(de)器(qi)(qi)(qi)件保持(chi)器(qi)(qi)(qi)具7)固定在(zai)(zai)(zai)鏡(jing)體30的(de)(de)插(cha)入部33的(de)(de)內(nei)部的(de)(de)致(zhi)動(dong)器(qi)(qi)(qi)管37、以(yi)及配(pei)置在(zai)(zai)(zai)致(zhi)動(dong)器(qi)(qi)(qi)管37內(nei)的(de)(de)第1實(shi)(shi)施(shi)方式(shi)～第6實(shi)(shi)施(shi)方式(shi)的(de)(de)光(guang)掃描(miao)用(yong)(yong)(yong)(yong)致(zhi)動(dong)器(qi)(qi)(qi)1、11中的(de)(de)任(ren)意一方。光(guang)掃描(miao)用(yong)(yong)(yong)(yong)致(zhi)動(dong)器(qi)(qi)(qi)1、11的(de)(de)照明用(yong)(yong)(yong)(yong)光(guang)纖(xian)(xian)(xian)21的(de)(de)前(qian)(qian)端(duan)部以(yi)能夠(gou)振(zhen)動(dong)的(de)(de)方式(shi)被支承，經由投影用(yong)(yong)(yong)(yong)透鏡(jing)35a、35b照射(she)照明光(guang)以(yi)使其大致(zhi)會聚在(zai)(zai)(zai)對象物60上(shang)。另一方面，檢測用(yong)(yong)(yong)(yong)光(guang)纖(xian)(xian)(xian)22配(pei)置成(cheng)穿過插(cha)入部33的(de)(de)外(wai)周部，延伸到前(qian)(qian)端(duan)部34的(de)(de)前(qian)(qian)端(duan)。進而，在(zai)(zai)(zai)檢測用(yong)(yong)(yong)(yong)光(guang)纖(xian)(xian)(xian)22的(de)(de)各(ge)光(guang)纖(xian)(xian)(xian)的(de)(de)前(qian)(qian)端(duan)部具有(you)未圖示的(de)(de)檢測用(yong)(yong)(yong)(yong)透鏡(jing)。

如(ru)上所(suo)述(shu)，使用本(ben)發(fa)明的(de)光掃(sao)(sao)(sao)描(miao)用致(zhi)動(dong)(dong)器(qi)1、11構成，所(suo)以(yi)，根(gen)據本(ben)實施方式的(de)光掃(sao)(sao)(sao)描(miao)型內窺鏡裝置20，根(gen)據驅(qu)動(dong)(dong)控制部(bu)48施加給(gei)驅(qu)動(dong)(dong)部(bu)31(光掃(sao)(sao)(sao)描(miao)用致(zhi)動(dong)(dong)器(qi))的(de)交流(liu)電壓(ya)，能(neng)夠(gou)(gou)(gou)以(yi)在(zai)諧振(zhen)頻(pin)率的(de)附近抑制了(le)不期望(wang)的(de)變形和傾斜的(de)掃(sao)(sao)(sao)描(miao)軌(gui)跡對(dui)對(dui)象物(wu)60進行掃(sao)(sao)(sao)描(miao)。因此，能(neng)夠(gou)(gou)(gou)抑制控制部(bu)41所(suo)具(ju)有的(de)掃(sao)(sao)(sao)描(miao)位(wei)置的(de)信息與(yu)實際的(de)對(dui)象物(wu)60上被照射照明光的(de)位(wei)置的(de)偏移(yi)，所(suo)以(yi)，在(zai)圖(tu)像處理部(bu)47中(zhong)，能(neng)夠(gou)(gou)(gou)生成抑制了(le)變形和傾斜的(de)對(dui)象物(wu)60的(de)圖(tu)像。進而(er)，能(neng)夠(gou)(gou)(gou)在(zai)光掃(sao)(sao)(sao)描(miao)用致(zhi)動(dong)(dong)器(qi)1、11的(de)諧振(zhen)頻(pin)率附近進行驅(qu)動(dong)(dong)，所(suo)以(yi)，能(neng)夠(gou)(gou)(gou)進行更高效的(de)掃(sao)(sao)(sao)描(miao)。

另外，本發(fa)明不限(xian)(xian)于(yu)(yu)上述實(shi)(shi)施(shi)(shi)方(fang)(fang)式(shi)，能夠進(jin)行(xing)若干的(de)變(bian)形或變(bian)更。例(li)如(ru)，上述各實(shi)(shi)施(shi)(shi)方(fang)(fang)式(shi)所(suo)示的(de)尺(chi)寸(cun)(cun)均是(shi)例(li)示，不限(xian)(xian)于(yu)(yu)這些尺(chi)寸(cun)(cun)。在第1～第4實(shi)(shi)施(shi)(shi)方(fang)(fang)式(shi)中，套(tao)(tao)圈(quan)(quan)的(de)形狀(zhuang)為四棱柱(zhu)狀(zhuang)，但(dan)(dan)是(shi)不限(xian)(xian)于(yu)(yu)此。例(li)如(ru)，也可以設套(tao)(tao)圈(quan)(quan)為圓柱(zhu)狀(zhuang)，切掉配(pei)置壓(ya)電(dian)元(yuan)件的(de)部分而形成(cheng)平坦面。同樣，第6實(shi)(shi)施(shi)(shi)方(fang)(fang)式(shi)的(de)壓(ya)電(dian)材料也不限(xian)(xian)于(yu)(yu)圓筒(tong)狀(zhuang)，也可以是(shi)四棱柱(zhu)狀(zhuang)等其他形狀(zhuang)。在各實(shi)(shi)施(shi)(shi)方(fang)(fang)式(shi)中，光(guang)掃描(miao)用致動器的(de)光(guang)纖為單模光(guang)纖，但(dan)(dan)是(shi)不限(xian)(xian)于(yu)(yu)此，也可以是(shi)多模光(guang)纖。

并且(qie)，本發(fa)明的光(guang)掃描(miao)裝置不限于(yu)光(guang)掃描(miao)型內窺鏡裝置，也可以(yi)應用于(yu)光(guang)掃描(miao)型顯微(wei)鏡或光(guang)掃描(miao)型的投影儀裝置。

標號說明

1：光掃描用致動器；2：光纖；2a：前端部；3：套圈；4a～4d、4c₁、4c₂、4d₁、4d₂：壓電(dian)(dian)(dian)元件；5a～5d：壓電(dian)(dian)(dian)材料；6a～6d：電(dian)(dian)(dian)極；7：器(qi)(qi)件保持器(qi)(qi)具；8a、8b：布(bu)線；9：粘接劑；11：光(guang)掃(sao)描用(yong)致(zhi)動(dong)器(qi)(qi)；12：壓電(dian)(dian)(dian)材料；13：內(nei)腔；14：中央電(dian)(dian)(dian)極；15：凸部(bu)(bu)(分離區(qu)域)；16：電(dian)(dian)(dian)極；17：絕(jue)緣材料；20：光(guang)掃(sao)描型(xing)內(nei)窺鏡(jing)裝(zhuang)置(zhi)；21：照明(ming)用(yong)光(guang)纖；22：檢測(ce)(ce)用(yong)光(guang)纖；23：布(bu)線纜線；30：鏡(jing)體；31：驅(qu)動(dong)部(bu)(bu)；32：操作部(bu)(bu)；33：插入部(bu)(bu)；34：前端(duan)部(bu)(bu)；35a、35b：投影用(yong)透鏡(jing)；36：安裝(zhuang)環；37：致(zhi)動(dong)器(qi)(qi)管；40：控(kong)(kong)制(zhi)裝(zhuang)置(zhi)主體；41：控(kong)(kong)制(zhi)部(bu)(bu)；42：發(fa)光(guang)時刻控(kong)(kong)制(zhi)部(bu)(bu)；43R、43G、43B：激光(guang)器(qi)(qi)；44：耦合器(qi)(qi)；45：光(guang)檢測(ce)(ce)器(qi)(qi)；46：ADC；47：圖像處(chu)理(li)部(bu)(bu)；48：驅(qu)動(dong)控(kong)(kong)制(zhi)部(bu)(bu)；50：顯(xian)示器(qi)(qi)；60：對象物；101：光(guang)掃(sao)描用(yong)致(zhi)動(dong)器(qi)(qi)；102：光(guang)纖；1033：套圈(quan)；104a～104d：壓電(dian)(dian)(dian)元件；107：器(qi)(qi)件保持器(qi)(qi)具；108a、108b：布(bu)線。