一種環形預熱式氣體燒結爐的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及晶體的技術領域，具體涉及一種環形預熱式氣體燒結爐，適用于晶體的燒結及退火制成。
【背景技術】
[0002]電子學、光學等現代技術應用申所需要的單晶材料，大部分是用熔體生長法制備的。某些堿金屬和堿土金屬的鹵族化合物等，許多晶體早已進入不同規模的工業化生產。
[0003]晶體生長中退火過程是一個相當重要的制程，因為退火制程關系到晶體內應力的釋放及內部微觀缺陷的改善，所使用的高溫燒結爐由于對爐體內的餓溫度控制不穩定，容易造成晶體質量不佳，由于晶體的成本較高，從而導致重大浪費。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型主要解決的技術問題是提供一種環形預熱式氣體燒結爐，適用于晶體的燒結及退火，氣體管道環繞在爐體的周圍并分別與預熱器上下兩端相連接，通過預熱器將氣體管道內的氣體進行預熱，采用循環利用方式進行預熱，氣體經過預熱后進入爐體內，保持爐體內恒溫性，加快了燒結及退火的效率，避免冷氣體直接進入高溫爐的冷熱沖擊，使晶體因為冷熱沖擊而開裂，保證了晶體的質量及完整性。
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型采用的一個技術方案是:提供了一種環形預熱式氣體燒結爐，包括控制臺、固定座、爐體、爐蓋、氣體管道以及預熱器，所述的固定座安裝在控制臺上，所述的爐體安裝在固定座內并凸出于固定座上部的中間位置，所述的爐蓋扣合于爐體的上端，所述的氣體管道環繞在爐體的周圍并分別與預熱器上下兩端相連接。
[0006]在本實用新型一個較佳實施例中，所述的爐蓋上設置有管道孔，所述的氣體管道經過預熱器后連接至爐蓋的管道孔內。
[0007]在本實用新型一個較佳實施例中，所述的爐體和氣體管道內采用惰性氣體。
[0008]在本實用新型一個較佳實施例中，所述的爐體為帶有腔體的圓柱體結構，所述的爐蓋為帶有弧形頂部的圓形結構，其中，所述的爐體的直徑與爐蓋的直徑相對應。
[0009]在本實用新型一個較佳實施例中，所述的控制臺上設置有溫度顯示器、人機界面以及按鈕。
[0010]在本實用新型一個較佳實施例中，所述的環形預熱式氣體燒結爐還包括耐火磚，所述的耐火磚安裝在預熱器的頂部。
[0011]本實用新型的有益效果是:本實用新型的環形預熱式氣體燒結爐，適用于晶體的燒結及退火，氣體管道環繞在爐體的周圍并分別與預熱器上下兩端相連接，通過預熱器將氣體管道內的氣體進行預熱，采用循環利用方式進行預熱，氣體經過預熱后進入爐體內，保持爐體內恒溫性，加快了燒結及退火的效率，避免冷氣體直接進入高溫爐的冷熱沖擊，使晶體因為冷熱沖擊而開裂，保證了晶體的質量及完整性。
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖，其中:
[0013]圖1是本實用新型環形預熱式氣體燒結爐的一較佳實施例的結構示意圖；
[0014]附圖中的標記為:1、控制臺，2、固定座，3、爐體，4、爐蓋，5、氣體管道，6、預熱器，7、耐火磚，11、溫度顯示器，12、人機界面，13、按鈕，41、管道孔。
【具體實施方式】
[0015]下面將對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0016]如圖1所示，本實用新型實施例包括:
[0017]一種環形預熱式氣體燒結爐，包括控制臺1、固定座2、爐體3、爐蓋4、氣體管道5以及預熱器6，所述的固定座2安裝在控制臺I上，所述的爐體3安裝在固定座2內并凸出于固定座2上部的中間位置，所述的爐蓋4扣合于爐體3的上端，所述的氣體管道5環繞在爐體3的周圍并分別與預熱器6上下兩端相連接。
[0018]上述中，所述的爐體3為帶有腔體的圓柱體結構，所述的爐蓋4為帶有弧形頂部的圓形結構，其中，所述的爐體3的直徑與爐蓋4的直徑相對應。
[0019]進一步的，所述的爐蓋4上設置有管道孔41，所述的氣體管道5經過預熱器6后連接至爐蓋4的管道孔41內從而鍵入爐體3內。其中，所述的爐體4和氣體管道5內采用惰性氣體。
[0020]采用上述方法通過預熱器6將氣體管道內的氣體進行預熱，采用循環利用方式進行預熱，氣體經過預熱后進入爐體3內，保持爐體3內恒溫性。
[0021]再進一步的，所述的環形預熱式氣體燒結爐還包括耐火磚7，所述的耐火磚7安裝在預熱器6的頂部，氣體管道5插入耐火磚7后再通過預熱器6進行氣體預熱。
[0022]在本實用新型中，所述的控制臺I上設置有溫度顯示器11、人機界面12以及按鈕13，用查看爐體內的溫度情況、各種參數的設置以及開啟或關閉環形預熱式氣體燒結爐的運行。
[0023]綜上所述，本實用新型的環形預熱式氣體燒結爐，適用于晶體的燒結及退火，氣體管道5環繞在爐體3的周圍并分別與預熱器6上下兩端相連接，通過預熱器6將氣體管道5內的氣體進行預熱，采用循環利用方式進行預熱，氣體經過預熱后進入爐體3內，保持爐體3內恒溫性，加快了燒結及退火的效率，避免冷氣體直接進入高溫爐的冷熱沖擊，使晶體因為冷熱沖擊而開裂，保證了晶體的質量及完整性。
[0024]以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其它相關的技術領域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內。
【主權項】
1.一種環形預熱式氣體燒結爐，其特征在于，包括控制臺、固定座、爐體、爐蓋、氣體管道以及預熱器，所述的固定座安裝在控制臺上，所述的爐體安裝在固定座內并凸出于固定座上部的中間位置，所述的爐蓋扣合于爐體的上端，所述的氣體管道環繞在爐體的周圍并分別與預熱器上下兩端相連接。
2.根據權利要求1所述的環形預熱式氣體燒結爐，其特征在于，所述的爐蓋上設置有管道孔，所述的氣體管道經過預熱器后連接至爐蓋的管道孔內。
3.根據權利要求1所述的環形預熱式氣體燒結爐，其特征在于，所述的爐體和氣體管道內采用惰性氣體。
4.根據權利要求1所述的環形預熱式氣體燒結爐，其特征在于，所述的爐體為帶有腔體的圓柱體結構，所述的爐蓋為帶有弧形頂部的圓形結構，其中，所述的爐體的直徑與爐蓋的直徑相對應。
5.根據權利要求1所述的環形預熱式氣體燒結爐，其特征在于，所述的控制臺上設置有溫度顯示器、人機界面以及按鈕。
6.根據權利要求1所述的環形預熱式氣體燒結爐，其特征在于，所述的環形預熱式氣體燒結爐還包括耐火磚，所述的耐火磚安裝在預熱器的頂部。
【專利摘要】本實用新型公開了一種環形預熱式氣體燒結爐，包括控制臺、固定座、爐體、爐蓋、氣體管道以及預熱器，所述的固定座安裝在控制臺上，所述的爐體安裝在固定座內并凸出于固定座上部的中間位置，所述的爐蓋扣合于爐體的上端，所述的氣體管道環繞在爐體的周圍并分別與預熱器上下兩端相連接。通過上述方式，本實用新型提供的環形預熱式氣體燒結爐，適用于晶體的燒結氣體管道環繞在爐體的周圍并分別與預熱器上下兩端相連接，通過預熱器將氣體管道內的氣體進行預熱，采用循環利用方式進行預熱，氣體經過預熱后進入爐體內，保持爐體內恒溫性，避免冷氣體直接進入高溫爐的冷熱沖擊，使晶體因為冷熱沖擊而開裂，保證了晶體的質量及完整性。
【IPC分類】C30B33-02, C30B9-00
【公開號】CN204385316
【申請號】CN201420855011
【發明人】陳遠帆, 陳冠廷, 彭志豪
【申請人】蘇州晶特晶體科技有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2014年12月30日