本發(fa)明(ming)涉及高精度運動(dong)平臺，特別涉及一種(zhong)光學透鏡運動(dong)平臺的組裝方法。

背景技術：

1、在(zai)(zai)光(guang)刻(ke)機中(zhong)，照(zhao)明(ming)(ming)(ming)系(xi)(xi)(xi)統(tong)是將激(ji)光(guang)器(qi)出(chu)射的(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)一些調整，為掩(yan)膜提供(gong)高質(zhi)量的(de)(de)(de)(de)(de)(de)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)場，從(cong)而保證(zheng)掩(yan)膜圖形通過(guo)投(tou)影(ying)物高質(zhi)量的(de)(de)(de)(de)(de)(de)成像(xiang)至硅片面(mian)上。均(jun)(jun)(jun)勻的(de)(de)(de)(de)(de)(de)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)場能夠降低(di)光(guang)刻(ke)工藝因(yin)子，提高整個(ge)光(guang)刻(ke)系(xi)(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)辨率。隨著光(guang)刻(ke)技術的(de)(de)(de)(de)(de)(de)不斷(duan)發(fa)展(zhan)，光(guang)刻(ke)對(dui)(dui)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)系(xi)(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)均(jun)(jun)(jun)勻性(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要求也不斷(duan)地提高。現有的(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)刻(ke)機中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)系(xi)(xi)(xi)統(tong)通常是針對(dui)(dui)某個(ge)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)條件(jian)進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)模(mo)擬后,制(zhi)造(zao)單一的(de)(de)(de)(de)(de)(de)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)均(jun)(jun)(jun)一性(xing)補償(chang)(chang)鏡(jing)(jing)頭，并加裝(zhuang)到照(zhao)明(ming)(ming)(ming)系(xi)(xi)(xi)統(tong)中(zhong)，從(cong)而對(dui)(dui)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)均(jun)(jun)(jun)一性(xing)起到補償(chang)(chang)作(zuo)用。但(dan)是該方(fang)法無法同時補償(chang)(chang)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)均(jun)(jun)(jun)一化程(cheng)度不同的(de)(de)(de)(de)(de)(de)多個(ge)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)條件(jian)。而通過(guo)運動(dong)平(ping)(ping)臺能夠調整兩個(ge)光(guang)學透(tou)(tou)鏡(jing)(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)對(dui)(dui)位置(zhi)，進(jin)(jin)(jin)而實時的(de)(de)(de)(de)(de)(de)調整兩片光(guang)學透(tou)(tou)鏡(jing)(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)整體厚度，實現對(dui)(dui)照(zhao)明(ming)(ming)(ming)補償(chang)(chang)進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)實時調節(jie)。但(dan)是，此種光(guang)學透(tou)(tou)鏡(jing)(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)運動(dong)平(ping)(ping)臺的(de)(de)(de)(de)(de)(de)精度要求較高，在(zai)(zai)組裝(zhuang)時輕微的(de)(de)(de)(de)(de)(de)變形或(huo)誤差都有可能導致照(zhao)明(ming)(ming)(ming)補償(chang)(chang)差；另外在(zai)(zai)傳統(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)似設備的(de)(de)(de)(de)(de)(de)組裝(zhuang)中(zhong)，通常將上鏡(jing)(jing)片和(he)下鏡(jing)(jing)片分(fen)別組裝(zhuang)后，再將動(dong)板組件(jian)和(he)定板組件(jian)進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)組裝(zhuang)導致組裝(zhuang)后還需對(dui)(dui)鏡(jing)(jing)片進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)反(fan)復的(de)(de)(de)(de)(de)(de)微調，極大的(de)(de)(de)(de)(de)(de)影(ying)響組裝(zhuang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)效率。因(yin)此，如(ru)何對(dui)(dui)光(guang)學透(tou)(tou)鏡(jing)(jing)運動(dong)平(ping)(ping)臺進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)高精度的(de)(de)(de)(de)(de)(de)組裝(zhuang)是本領域(yu)技術人員需要考慮的(de)(de)(de)(de)(de)(de)問題。

技術實現思路

1、本(ben)發(fa)明目的是：提供一種光(guang)學(xue)透(tou)鏡運(yun)動平臺(tai)的組(zu)裝(zhuang)方法，以(yi)解決現有技術中(zhong)高精度(du)光(guang)學(xue)透(tou)鏡運(yun)動平臺(tai)組(zu)裝(zhuang)精度(du)差(cha)等(deng)問(wen)題。

2、本發明的(de)技術方(fang)案(an)是：一(yi)種(zhong)光學(xue)透鏡運動平(ping)臺(tai)的(de)組(zu)裝方(fang)法(fa)，包括(kuo)以下步(bu)驟：

3、s1、以定板組件的(de)第一端面為基準面并設置(zhi)為水(shui)平面，組裝下鏡片(pian)，并通過第一調節螺栓調節下鏡片(pian)的(de)上端面為水(shui)平；

4、s2、靜置后組(zu)裝(zhuang)直線導(dao)軌和動(dong)板組(zu)件，動(dong)板組(zu)件沿直線導(dao)軌運動(dong)時，第一(yi)端(duan)面(mian)和動(dong)板組(zu)件下端(duan)的第二端(duan)面(mian)平(ping)行(xing)；

5、s3、以下鏡片的上(shang)端(duan)面(mian)為(wei)基(ji)準面(mian)并(bing)設置(zhi)為(wei)水(shui)平(ping)面(mian)，組裝上(shang)鏡片，并(bing)通過第二調(diao)節螺栓調(diao)節上(shang)鏡片的下端(duan)面(mian)為(wei)水(shui)平(ping)。

6、優選的，在步驟s1中，所述動板組件上設(she)置(zhi)有多個(ge)第三調(diao)(diao)節螺栓(shuan)，所述第三調(diao)(diao)節螺栓(shuan)的端部(bu)抵觸直線(xian)導軌，可通(tong)過(guo)旋轉所述第三調(diao)(diao)節螺栓(shuan)調(diao)(diao)節直線(xian)導軌的導向方向，進(jin)而動板組件沿直線(xian)導軌運(yun)動時，所述第一端面與第二端面保持(chi)平行。

7、優選的(de)，在步驟s1中，通(tong)過治(zhi)具(ju)組件(jian)設置第一(yi)(yi)端(duan)面(mian)(mian)(mian)(mian)為水平面(mian)(mian)(mian)(mian)，所(suo)(suo)述治(zhi)具(ju)組件(jian)的(de)下(xia)(xia)端(duan)面(mian)(mian)(mian)(mian)為水平放置，上端(duan)面(mian)(mian)(mian)(mian)為斜(xie)(xie)面(mian)(mian)(mian)(mian)；所(suo)(suo)述治(zhi)具(ju)組件(jian)下(xia)(xia)端(duan)面(mian)(mian)(mian)(mian)與斜(xie)(xie)面(mian)(mian)(mian)(mian)的(de)夾(jia)角和(he)定(ding)(ding)板組件(jian)的(de)下(xia)(xia)端(duan)面(mian)(mian)(mian)(mian)與第一(yi)(yi)端(duan)面(mian)(mian)(mian)(mian)的(de)夾(jia)角相等(deng)，所(suo)(suo)述定(ding)(ding)板組件(jian)的(de)下(xia)(xia)端(duan)面(mian)(mian)(mian)(mian)與斜(xie)(xie)面(mian)(mian)(mian)(mian)連接時，使得所(suo)(suo)述定(ding)(ding)板組件(jian)的(de)上端(duan)面(mian)(mian)(mian)(mian)為水平。

8、優(you)選的(de)，所述定板(ban)組件上設置有貫(guan)穿的(de)第(di)一安裝槽，且底(di)部還設置有承托板(ban)，所述下鏡(jing)片設置在第(di)一安裝槽內且其底(di)部與承托板(ban)連接；

9、所(suo)述第(di)一調(diao)節螺栓設置在承托板上，且所(suo)述第(di)一調(diao)節螺栓的端部(bu)與下鏡(jing)片的底(di)部(bu)連接。

10、優選的(de)，所述定板(ban)(ban)組(zu)件上設(she)置有第四調節(jie)螺(luo)(luo)栓(shuan)，所述第四調節(jie)螺(luo)(luo)栓(shuan)設(she)置在定板(ban)(ban)組(zu)件的(de)側邊且其端部貫穿(chuan)定板(ban)(ban)組(zu)件與下(xia)(xia)鏡片(pian)連接(jie)，所述第四調節(jie)螺(luo)(luo)栓(shuan)在第一調節(jie)螺(luo)(luo)栓(shuan)調節(jie)之前(qian)對下(xia)(xia)鏡片(pian)預定位。

11、優(you)選的，所(suo)述(shu)下鏡片(pian)組裝后，在所(suo)述(shu)下鏡片(pian)和第一安裝槽(cao)之間(jian)注膠；再次通過第一調節螺(luo)栓進行調整，最后固(gu)化。

12、優選的，在步驟(zou)s3中(zhong)所(suo)述動板組件上(shang)設置有第二安裝(zhuang)槽，所(suo)述上(shang)鏡(jing)片連(lian)接的第二安裝(zhuang)槽內；

13、所述第二調(diao)節螺栓設置有多(duo)個，且整體呈梯形(xing)或(huo)矩(ju)形(xing)排(pai)列設置在動(dong)板組件(jian)的側(ce)方。

14、優選的(de)，所述動板組件上(shang)還設置(zhi)有第(di)五(wu)調(diao)(diao)(diao)節(jie)螺栓，所述第(di)五(wu)調(diao)(diao)(diao)節(jie)螺栓設置(zhi)在第(di)二調(diao)(diao)(diao)節(jie)螺栓相鄰一側，且與第(di)四調(diao)(diao)(diao)節(jie)螺栓為(wei)同側；在所述第(di)二調(diao)(diao)(diao)節(jie)螺栓對上(shang)鏡(jing)片調(diao)(diao)(diao)節(jie)之前，所述第(di)五(wu)調(diao)(diao)(diao)節(jie)螺栓對上(shang)鏡(jing)片預(yu)定位。

15、所述(shu)上鏡片組(zu)裝(zhuang)后(hou)(hou)，在所述(shu)上鏡片和第(di)二安裝(zhuang)槽(cao)之間注膠；再次通過第(di)二調(diao)節螺栓進行調(diao)整，最后(hou)(hou)固化。

16、優選(xuan)的(de)，定板(ban)(ban)(ban)組件上對(dui)稱設置有支撐(cheng)板(ban)(ban)(ban)，所(suo)述支撐(cheng)板(ban)(ban)(ban)設置在動板(ban)(ban)(ban)組件的(de)兩側；所(suo)述支撐(cheng)板(ban)(ban)(ban)的(de)上端連接(jie)有蓋(gai)板(ban)(ban)(ban)，所(suo)述蓋(gai)板(ban)(ban)(ban)設置在動板(ban)(ban)(ban)組件的(de)上端；所(suo)述蓋(gai)板(ban)(ban)(ban)上設置有窗口(kou)(kou)，所(suo)述窗口(kou)(kou)設置在上鏡片的(de)正上方。

17、優選的(de)，所(suo)述(shu)支撐板上(shang)連接有光柵(zha)傳(chuan)感(gan)器，所(suo)述(shu)動板組件(jian)上(shang)連接有與光柵(zha)傳(chuan)感(gan)器配(pei)合的(de)光柵(zha)尺。

18、與現有技術相(xiang)比，本發明(ming)的優點(dian)是：

19、(1)在光學透鏡(jing)運動平(ping)臺的組裝中，通(tong)過放(fang)置一定時間避免各(ge)部件本身應力變形的問(wen)題；定板(ban)組件和動板(ban)組件組裝完成后(hou)，再(zai)組裝上鏡(jing)片，極大的增加(jia)組裝的效率(lv)；在組裝的過程(cheng)中不斷地(di)調整(zheng)水(shui)平(ping)面(mian)，且(qie)以水(shui)平(ping)面(mian)為基(ji)準面(mian)，更易于控制組裝的精度(du)。

技術特征：

1.一種光學透鏡運動平臺的組裝方法，其特征在于，包括以下(xia)步驟：

2.根據權利要求1所(suo)(suo)述(shu)的(de)(de)(de)一種光學透(tou)鏡運動(dong)(dong)平(ping)(ping)臺的(de)(de)(de)組(zu)裝方法，其特征在于：在步驟s2中所(suo)(suo)述(shu)動(dong)(dong)板組(zu)件上設(she)置有多個第(di)(di)三(san)調(diao)節(jie)螺栓(shuan)，所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)三(san)調(diao)節(jie)螺栓(shuan)的(de)(de)(de)端部抵觸直線導(dao)軌(gui)，可(ke)通過旋轉所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)三(san)調(diao)節(jie)螺栓(shuan)調(diao)節(jie)直線導(dao)軌(gui)的(de)(de)(de)導(dao)向方向，進而動(dong)(dong)板組(zu)件沿直線導(dao)軌(gui)運動(dong)(dong)時，所(suo)(suo)述(shu)第(di)(di)一端面(mian)與第(di)(di)二端面(mian)保(bao)持平(ping)(ping)行。

3.根據(ju)權利(li)要(yao)求1所(suo)(suo)述的(de)(de)一(yi)種光學透鏡(jing)運(yun)動平(ping)臺的(de)(de)組(zu)(zu)裝方(fang)法，其(qi)特征在于：在步驟s1中，通過治(zhi)(zhi)具組(zu)(zu)件(jian)設(she)置(zhi)第一(yi)端(duan)面(mian)(mian)為(wei)水(shui)平(ping)面(mian)(mian)，所(suo)(suo)述治(zhi)(zhi)具組(zu)(zu)件(jian)的(de)(de)下(xia)端(duan)面(mian)(mian)為(wei)水(shui)平(ping)放置(zhi)，上端(duan)面(mian)(mian)為(wei)斜面(mian)(mian)；所(suo)(suo)述治(zhi)(zhi)具組(zu)(zu)件(jian)下(xia)端(duan)面(mian)(mian)與斜面(mian)(mian)的(de)(de)夾角(jiao)和定板組(zu)(zu)件(jian)的(de)(de)下(xia)端(duan)面(mian)(mian)與第一(yi)端(duan)面(mian)(mian)的(de)(de)夾角(jiao)相等，所(suo)(suo)述定板組(zu)(zu)件(jian)的(de)(de)下(xia)端(duan)面(mian)(mian)與斜面(mian)(mian)連接時(shi)，使得(de)所(suo)(suo)述定板組(zu)(zu)件(jian)的(de)(de)上端(duan)面(mian)(mian)為(wei)水(shui)平(ping)。

4.根(gen)據權利要求3所述的一(yi)(yi)種光學透鏡運動(dong)平(ping)臺的組裝(zhuang)方法，其(qi)特征在(zai)于：所述定板組件(jian)上(shang)設置(zhi)有貫穿的第(di)一(yi)(yi)安(an)裝(zhuang)槽，且底部還設置(zhi)有承托(tuo)(tuo)板，所述下鏡片(pian)設置(zhi)在(zai)第(di)一(yi)(yi)安(an)裝(zhuang)槽內且其(qi)底部與(yu)承托(tuo)(tuo)板連(lian)接；

5.根(gen)據權利要求4所(suo)(suo)述(shu)的一(yi)種光學透(tou)鏡(jing)運動平臺的組(zu)(zu)裝方法，其特(te)征在于(yu)：所(suo)(suo)述(shu)定板組(zu)(zu)件(jian)上設置有第(di)四調(diao)節(jie)螺栓，所(suo)(suo)述(shu)第(di)四調(diao)節(jie)螺栓設置在定板組(zu)(zu)件(jian)的側(ce)邊且其端部貫穿定板組(zu)(zu)件(jian)與(yu)下鏡(jing)片(pian)連接，所(suo)(suo)述(shu)第(di)四調(diao)節(jie)螺栓在第(di)一(yi)調(diao)節(jie)螺栓調(diao)節(jie)之前對下鏡(jing)片(pian)預定位。

6.根(gen)據權利要求5所述(shu)(shu)的(de)一(yi)種光學透鏡(jing)運動平臺的(de)組(zu)裝(zhuang)方法(fa)，其(qi)特征在(zai)于：所述(shu)(shu)下鏡(jing)片(pian)組(zu)裝(zhuang)后，在(zai)所述(shu)(shu)下鏡(jing)片(pian)和第(di)(di)一(yi)安裝(zhuang)槽之間注膠；再次通過第(di)(di)一(yi)調節螺栓進行調整(zheng)，最后固化。

7.根據(ju)權利要(yao)求(qiu)5所(suo)述的一種光學透鏡運(yun)動(dong)平臺的組裝(zhuang)(zhuang)方法，其特征在(zai)于：在(zai)步驟(zou)s3中，所(suo)述動(dong)板(ban)組件上設置(zhi)有第二安裝(zhuang)(zhuang)槽，所(suo)述上鏡片連接的第二安裝(zhuang)(zhuang)槽內(nei)；

8.根據權利要求7所(suo)(suo)(suo)述(shu)的一(yi)(yi)種光學透鏡(jing)運動平臺的組裝方法(fa)，其(qi)特征在于：所(suo)(suo)(suo)述(shu)動板組件(jian)上(shang)還設置有第五(wu)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)螺(luo)(luo)栓(shuan)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)第五(wu)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)螺(luo)(luo)栓(shuan)設置在第二調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)螺(luo)(luo)栓(shuan)相鄰一(yi)(yi)側(ce)，且與(yu)第四(si)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)螺(luo)(luo)栓(shuan)為同側(ce)；在所(suo)(suo)(suo)述(shu)第二調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)螺(luo)(luo)栓(shuan)對(dui)上(shang)鏡(jing)片調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)之(zhi)前(qian)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)第五(wu)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)螺(luo)(luo)栓(shuan)對(dui)上(shang)鏡(jing)片預定位。

9.根據權利要求1所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)的一種光(guang)學透鏡運動平臺(tai)的組裝(zhuang)方法，其特(te)征在(zai)于(yu)：所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)定板(ban)組件(jian)上(shang)對稱設置(zhi)有(you)支(zhi)撐板(ban)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)支(zhi)撐板(ban)設置(zhi)在(zai)動板(ban)組件(jian)的兩側；所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)支(zhi)撐板(ban)的上(shang)端(duan)連(lian)接(jie)有(you)蓋(gai)板(ban)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)蓋(gai)板(ban)設置(zhi)在(zai)動板(ban)組件(jian)的上(shang)端(duan)；所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)蓋(gai)板(ban)上(shang)設置(zhi)有(you)窗(chuang)口，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)窗(chuang)口設置(zhi)在(zai)上(shang)鏡片的正上(shang)方。

10.根據權利(li)要求(qiu)8所(suo)述(shu)(shu)(shu)的(de)一種(zhong)光(guang)(guang)學透鏡運動(dong)平(ping)臺的(de)組(zu)裝方法，其特(te)征在(zai)于：所(suo)述(shu)(shu)(shu)支(zhi)撐板上(shang)連接(jie)有光(guang)(guang)柵(zha)傳感(gan)器，所(suo)述(shu)(shu)(shu)動(dong)板組(zu)件上(shang)連接(jie)有與(yu)光(guang)(guang)柵(zha)傳感(gan)器配合的(de)光(guang)(guang)柵(zha)尺(chi)。

技術總結
本發明涉及高精度運動平臺領域，具體為一種光學透鏡運動平臺的組裝方法，其特征在于，包括以下步驟：S1、以定板組件的第一端面為基準面并設置為水平面，組裝下鏡片，并通過第一調節螺栓調節下鏡片的上端面為水平；S2、靜置后組裝直線導軌和動板組件，動板組件沿直線導軌運動時，第一端面和動板組件下端的第二端面平行；S3、以下鏡片的上端面為基準面并設置為水平面，組裝上鏡片，并通過第二調節螺栓調節上鏡片的下端面為水平。定板組件和動板組件組裝完成后，再組裝上鏡片和下鏡片，極大的增加組裝的效率；在組裝的過程中不斷地調整水平面，且以水平面為基準面，更易于控制組裝的精度。

技術研發人員：陳慶生,趙元軍,李中秋
受保護的技術使用者：蘇州盛拓半導體科技有限公司
技術研發日：
技術公布日：2024/9/19