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動態去除傾斜聚焦跟蹤的制作方法

文檔序(xu)號(hao):39424745發(fa)布(bu)日期(qi):2024-09-20 22:19閱讀:46來(lai)源:國知局(ju)
動態去除傾斜聚焦跟蹤的制作方法


背景技術:

1、增(zeng)大光(guang)(guang)(guang)學成像(xiang)系統(tong)(tong)的數值孔(kong)徑(jing)(na)改善了(le)光(guang)(guang)(guang)學成像(xiang)分辨率。在測(ce)(ce)序應用中,這減小(xiao)(xiao)了(le)測(ce)(ce)序簇間距并(bing)增(zeng)大了(le)簇密(mi)度,使(shi)得測(ce)(ce)序成本較低。然而,增(zeng)大na還(huan)減小(xiao)(xiao)了(le)景(jing)深(dof)——當(dang)對象沿光(guang)(guang)(guang)學成像(xiang)系統(tong)(tong)的光(guang)(guang)(guang)軸平移時成像(xiang)對象(例如,簇)保(bao)持對焦的距離。

2、隨(sui)(sui)著具(ju)有(you)較高na的(de)(de)光學(xue)(xue)成(cheng)像(xiang)系統繼續(xu)用(yong)于成(cheng)像(xiang)應用(yong)中(zhong)以降低(di)成(cheng)本(ben)(ben)(ben)(例如,降低(di)測序成(cheng)本(ben)(ben)(ben)),確保成(cheng)像(xiang)樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)在其沿光軸平移時將保持對焦變得(de)更加困(kun)難。例如,如圖1a所示,一些(xie)當前的(de)(de)測序器(qi)能夠為整(zheng)個(ge)(ge)樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)建立最佳擬合(he)平面,使得(de)整(zheng)個(ge)(ge)樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)保持在光學(xue)(xue)成(cheng)像(xiang)系統的(de)(de)dof內,從(cong)而去除(chu)樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)傾(qing)斜(xie)(xie)。然而,如圖1b所示,隨(sui)(sui)著光學(xue)(xue)成(cheng)像(xiang)系統的(de)(de)可(ke)用(yong)dof的(de)(de)減少(shao),并(bing)且即(ji)使隨(sui)(sui)著樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)傾(qing)斜(xie)(xie)的(de)(de)全局(ju)調整(zheng),樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)自身(shen)內的(de)(de)局(ju)部(bu)(bu)傾(qing)斜(xie)(xie)也可(ke)能產(chan)生足夠大的(de)(de)dof偏移,從(cong)而導致測序圖像(xiang)的(de)(de)至少(shao)一部(bu)(bu)分(fen)失焦,這導致圖像(xiang)的(de)(de)劣化部(bu)(bu)分(fen)的(de)(de)不良數(shu)據質量和數(shu)據損(sun)失。


技術實現思路

1、本(ben)(ben)公開的具體實(shi)施涉及用于基于樣(yang)本(ben)(ben)的局部形貌使樣(yang)本(ben)(ben)夾持器(qi)在(zai)一個(ge)或多個(ge)方(fang)向上動態(tai)地傾斜以(yi)在(zai)樣(yang)本(ben)(ben)成像期間保持樣(yang)本(ben)(ben)對焦的系統和方(fang)法(fa)。

2、在(zai)(zai)一(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)實施(shi)方(fang)案中,一(yi)(yi)(yi)種成(cheng)(cheng)(cheng)像(xiang)(xiang)系統(tong)包(bao)括:樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)夾(jia)(jia)持(chi)器(qi)(qi)(qi),該(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)夾(jia)(jia)持(chi)器(qi)(qi)(qi)包(bao)括用(yong)以(yi)(yi)支撐樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)容(rong)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)表面,該(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)容(rong)器(qi)(qi)(qi)具(ju)有(you)多(duo)個(ge)(ge)(ge)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)位(wei)(wei)(wei)置;物(wu)鏡;組(zu)件,該(gai)(gai)組(zu)件包(bao)括物(wu)理地(di)耦(ou)接到該(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)夾(jia)(jia)持(chi)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)或(huo)多(duo)個(ge)(ge)(ge)致(zhi)動器(qi)(qi)(qi),該(gai)(gai)一(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)或(huo)多(duo)個(ge)(ge)(ge)致(zhi)動器(qi)(qi)(qi)用(yong)以(yi)(yi)使(shi)該(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)夾(jia)(jia)持(chi)器(qi)(qi)(qi)在(zai)(zai)該(gai)(gai)多(duo)個(ge)(ge)(ge)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)位(wei)(wei)(wei)置的(de)(de)(de)(de)成(cheng)(cheng)(cheng)像(xiang)(xiang)期間相對于該(gai)(gai)物(wu)鏡傾(qing)斜(xie)(xie),以(yi)(yi)將(jiang)該(gai)(gai)成(cheng)(cheng)(cheng)像(xiang)(xiang)系統(tong)聚焦到當前樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)位(wei)(wei)(wei)置上(shang);第(di)一(yi)(yi)(yi)光源,該(gai)(gai)第(di)一(yi)(yi)(yi)光源用(yong)以(yi)(yi)在(zai)(zai)該(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)容(rong)器(qi)(qi)(qi)上(shang)投(tou)射第(di)一(yi)(yi)(yi)對光斑(ban);和控(kong)制器(qi)(qi)(qi),該(gai)(gai)控(kong)制器(qi)(qi)(qi)用(yong)以(yi)(yi)基(ji)于樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)傾(qing)斜(xie)(xie)來(lai)控(kong)制該(gai)(gai)一(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)或(huo)多(duo)個(ge)(ge)(ge)致(zhi)動器(qi)(qi)(qi)以(yi)(yi)使(shi)該(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)夾(jia)(jia)持(chi)器(qi)(qi)(qi)沿該(gai)(gai)成(cheng)(cheng)(cheng)像(xiang)(xiang)的(de)(de)(de)(de)第(di)一(yi)(yi)(yi)方(fang)向(xiang)或(huo)基(ji)本(ben)(ben)(ben)(ben)上(shang)垂直于該(gai)(gai)第(di)一(yi)(yi)(yi)方(fang)向(xiang)的(de)(de)(de)(de)第(di)二方(fang)向(xiang)傾(qing)斜(xie)(xie),該(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)傾(qing)斜(xie)(xie)從來(lai)自(zi)由圖(tu)像(xiang)(xiang)傳感器(qi)(qi)(qi)在(zai)(zai)該(gai)(gai)多(duo)個(ge)(ge)(ge)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)位(wei)(wei)(wei)置中的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)或(huo)多(duo)個(ge)(ge)(ge)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)(ben)位(wei)(wei)(wei)置處拍(pai)攝(she)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)或(huo)多(duo)個(ge)(ge)(ge)圖(tu)像(xiang)(xiang)的(de)(de)(de)(de)該(gai)(gai)第(di)一(yi)(yi)(yi)對光斑(ban)的(de)(de)(de)(de)第(di)一(yi)(yi)(yi)間隔測(ce)量結果確定。

3、在一(yi)(yi)些具體實(shi)施(shi)中(zhong),該(gai)(gai)第(di)一(yi)(yi)光源(yuan)用以將(jiang)該(gai)(gai)第(di)一(yi)(yi)對(dui)光斑(ban)和第(di)二(er)對(dui)光斑(ban)投射在該(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)容器(qi)上;并且該(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)傾斜從(cong)該(gai)(gai)第(di)一(yi)(yi)間隔測量結果和來自由該(gai)(gai)圖像(xiang)傳感器(qi)在該(gai)(gai)一(yi)(yi)個或多個樣(yang)(yang)本(ben)位(wei)置處拍攝(she)的(de)(de)該(gai)(gai)一(yi)(yi)個或多個圖像(xiang)的(de)(de)該(gai)(gai)第(di)二(er)對(dui)光斑(ban)的(de)(de)第(di)二(er)間隔測量結果確定。

4、在一(yi)些具體實施中,該樣本(ben)傾(qing)斜(xie)至少沿(yan)基(ji)本(ben)上垂直于該第一(yi)成像(xiang)方(fang)向的(de)該第二(er)方(fang)向來(lai)(lai)確定(ding);并且該控制(zhi)器用以基(ji)于該樣本(ben)傾(qing)斜(xie)來(lai)(lai)控制(zhi)該一(yi)個或(huo)多個致動器以使該樣本(ben)夾(jia)持器沿(yan)該第二(er)方(fang)向傾(qing)斜(xie)。

5、在一(yi)些具(ju)體(ti)實施(shi)中,該(gai)(gai)樣(yang)本傾斜沿該(gai)(gai)第(di)一(yi)方(fang)向(xiang)和該(gai)(gai)第(di)二方(fang)向(xiang)來確定(ding);并且該(gai)(gai)控(kong)制器(qi)用以基于該(gai)(gai)樣(yang)本傾斜來控(kong)制該(gai)(gai)一(yi)個或多個致動(dong)器(qi)以使該(gai)(gai)樣(yang)本夾持器(qi)沿該(gai)(gai)第(di)一(yi)方(fang)向(xiang)和該(gai)(gai)第(di)二方(fang)向(xiang)傾斜。

6、在一些具體實施(shi)中,沿該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)二(er)方(fang)向的該(gai)(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)傾(qing)斜由該(gai)(gai)(gai)成像系統通過以(yi)下(xia)步驟確定:至(zhi)少(shao)(shao)基于該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)一間(jian)隔(ge)測量結果來確定第(di)(di)一樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)高(gao)(gao)度;至(zhi)少(shao)(shao)基于該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)二(er)間(jian)隔(ge)測量結果來確定第(di)(di)二(er)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)高(gao)(gao)度;以(yi)及(ji)至(zhi)少(shao)(shao)基于該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)一樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)高(gao)(gao)度和該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)二(er)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)高(gao)(gao)度來計算沿該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)二(er)方(fang)向的該(gai)(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)(ben)傾(qing)斜。

7、在一些具體(ti)實施中,該(gai)(gai)一個(ge)或多個(ge)致動(dong)(dong)器(qi)包括多個(ge)致動(dong)(dong)器(qi);并(bing)且該(gai)(gai)控制(zhi)器(qi)用以控制(zhi)該(gai)(gai)多個(ge)致動(dong)(dong)器(qi)以使該(gai)(gai)樣本夾持(chi)器(qi)的傾斜軸線沿該(gai)(gai)第一成像(xiang)方向居中。

8、在一(yi)些具體(ti)實施中,該(gai)(gai)控(kong)制(zhi)器(qi)用以基(ji)于傾(qing)斜圖(tu)來控(kong)制(zhi)該(gai)(gai)一(yi)個(ge)或(huo)多(duo)(duo)個(ge)致動器(qi)以使該(gai)(gai)樣本夾持(chi)器(qi)沿該(gai)(gai)第(di)一(yi)方(fang)向(xiang)或(huo)該(gai)(gai)第(di)二方(fang)向(xiang)傾(qing)斜,該(gai)(gai)傾(qing)斜圖(tu)從來自由該(gai)(gai)圖(tu)像傳(chuan)感(gan)器(qi)在多(duo)(duo)個(ge)樣本位置處拍攝的(de)(de)多(duo)(duo)個(ge)圖(tu)像的(de)(de)該(gai)(gai)第(di)一(yi)對光斑(ban)的(de)(de)多(duo)(duo)個(ge)間(jian)隔(ge)測量結果確(que)定(ding)。

9、在一(yi)(yi)些具體實施中,該(gai)(gai)控(kong)制器用以(yi)基(ji)于(yu)傾斜(xie)圖(tu)來(lai)(lai)控(kong)制該(gai)(gai)一(yi)(yi)個或多(duo)個致動器以(yi)使(shi)該(gai)(gai)樣(yang)本(ben)臺沿該(gai)(gai)第(di)一(yi)(yi)方向和該(gai)(gai)第(di)二方向傾斜(xie),該(gai)(gai)傾斜(xie)圖(tu)從來(lai)(lai)自由(you)該(gai)(gai)圖(tu)像(xiang)傳感器在多(duo)個樣(yang)本(ben)位置處拍攝(she)的(de)多(duo)個圖(tu)像(xiang)的(de)該(gai)(gai)第(di)一(yi)(yi)對(dui)光斑(ban)的(de)多(duo)個第(di)一(yi)(yi)間(jian)隔測量結果(guo)和該(gai)(gai)第(di)二對(dui)光斑(ban)的(de)多(duo)個第(di)二間(jian)隔測量結果(guo)確(que)定。

10、在(zai)一(yi)些具體實施中,該圖像傳(chuan)感器(qi)包括用以(yi)對(dui)該第一(yi)對(dui)光斑進行(xing)(xing)成像的第一(yi)圖像傳(chuan)感器(qi)和(he)用以(yi)對(dui)該第二對(dui)光斑進行(xing)(xing)成像的第二圖像傳(chuan)感器(qi)。

11、在(zai)一些(xie)具(ju)體實施中,該(gai)(gai)成(cheng)(cheng)像(xiang)系統還包(bao)括(kuo)第二(er)光源,其中:該(gai)(gai)第二(er)光源包(bao)括(kuo)行掃(sao)描(miao)(miao)(miao)儀(yi),該(gai)(gai)行掃(sao)描(miao)(miao)(miao)儀(yi)用以在(zai)該(gai)(gai)樣(yang)本容(rong)器(qi)的該(gai)(gai)成(cheng)(cheng)像(xiang)期(qi)間掃(sao)描(miao)(miao)(miao)該(gai)(gai)樣(yang)本;并且該(gai)(gai)成(cheng)(cheng)像(xiang)的該(gai)(gai)方向為該(gai)(gai)行掃(sao)描(miao)(miao)(miao)儀(yi)掃(sao)描(miao)(miao)(miao)該(gai)(gai)樣(yang)本容(rong)器(qi)的方向。

12、在一(yi)些具體(ti)實施中(zhong),該(gai)(gai)(gai)一(yi)個(ge)或多(duo)(duo)個(ge)致動器(qi)包括多(duo)(duo)個(ge)線(xian)(xian)性(xing)致動器(qi);該(gai)(gai)(gai)樣(yang)本(ben)夾持器(qi)是安裝在該(gai)(gai)(gai)多(duo)(duo)個(ge)線(xian)(xian)性(xing)致動器(qi)上(shang)的可移動平臺(tai);并(bing)且該(gai)(gai)(gai)多(duo)(duo)個(ge)線(xian)(xian)性(xing)致動器(qi)用以使該(gai)(gai)(gai)樣(yang)本(ben)夾持器(qi)沿該(gai)(gai)(gai)第一(yi)方(fang)向(xiang)和(he)該(gai)(gai)(gai)第二方(fang)向(xiang)傾斜(xie)。

13、在(zai)一些具體(ti)實施(shi)中(zhong),該線(xian)(xian)性(xing)致動器(qi)中(zhong)的(de)(de)每個線(xian)(xian)性(xing)致動器(qi)包括由傾(qing)斜馬達的(de)(de)螺(luo)桿上下(xia)驅動的(de)(de)托架。

14、在(zai)一些具體實施(shi)中(zhong),該(gai)組件(jian)還包括臺(tai);該(gai)可移動平(ping)臺(tai)安裝在(zai)該(gai)臺(tai)上;并且該(gai)臺(tai)用以使該(gai)樣本夾持器橫向移動。

15、在(zai)一(yi)(yi)(yi)些(xie)具體實施中,一(yi)(yi)(yi)種方法包括:使用成像(xiang)系統(tong)的(de)一(yi)(yi)(yi)個(ge)或(huo)多個(ge)光(guang)(guang)源將第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)對(dui)光(guang)(guang)斑和第(di)(di)(di)二(er)(er)對(dui)光(guang)(guang)斑投射在(zai)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)的(de)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)位(wei)置處(chu);使用該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)成像(xiang)系統(tong)的(de)圖像(xiang)傳(chuan)感器捕獲該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)位(wei)置處(chu)的(de)該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)對(dui)光(guang)(guang)斑和該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)第(di)(di)(di)二(er)(er)對(dui)光(guang)(guang)斑的(de)圖像(xiang);至少基(ji)于該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)圖像(xiang)來(lai)確定該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)對(dui)光(guang)(guang)斑的(de)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)間隔(ge)距(ju)離和該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)第(di)(di)(di)二(er)(er)對(dui)光(guang)(guang)斑的(de)第(di)(di)(di)二(er)(er)間隔(ge)距(ju)離;至少基(ji)于該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)間隔(ge)距(ju)離來(lai)確定第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)高(gao)度(du)(du);至少基(ji)于該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)第(di)(di)(di)二(er)(er)間隔(ge)距(ju)離來(lai)確定第(di)(di)(di)二(er)(er)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)高(gao)度(du)(du);以及至少基(ji)于該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)高(gao)度(du)(du)和該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)第(di)(di)(di)二(er)(er)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)高(gao)度(du)(du)來(lai)計(ji)算(suan)該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)在(zai)該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)位(wei)置處(chu)沿(yan)該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)成像(xiang)系統(tong)的(de)掃描(miao)方向或(huo)基(ji)本(ben)(ben)上垂直于該(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)(gai)掃描(miao)方向的(de)方向的(de)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)傾斜(xie)。

16、在一(yi)(yi)些具體實(shi)施中,該(gai)(gai)(gai)方(fang)法(fa)還(huan)包括:基于該(gai)(gai)(gai)樣本的該(gai)(gai)(gai)第一(yi)(yi)傾斜,使用該(gai)(gai)(gai)成(cheng)像(xiang)系統(tong)的一(yi)(yi)個(ge)或多(duo)個(ge)致(zhi)動器使該(gai)(gai)(gai)樣本在基本上垂(chui)直于該(gai)(gai)(gai)成(cheng)像(xiang)系統(tong)的該(gai)(gai)(gai)掃描方(fang)向的該(gai)(gai)(gai)方(fang)向上傾斜。

17、在一(yi)些(xie)具體實施中,計算(suan)該(gai)(gai)(gai)樣本(ben)(ben)的該(gai)(gai)(gai)第(di)一(yi)傾斜包括:至少基(ji)于(yu)該(gai)(gai)(gai)第(di)一(yi)樣本(ben)(ben)高度(du)和(he)該(gai)(gai)(gai)第(di)二樣本(ben)(ben)高度(du)來計算(suan)該(gai)(gai)(gai)樣本(ben)(ben)在該(gai)(gai)(gai)第(di)一(yi)樣本(ben)(ben)位置處(chu)沿該(gai)(gai)(gai)成像(xiang)系(xi)統的該(gai)(gai)(gai)掃描方(fang)向和(he)基(ji)本(ben)(ben)上垂(chui)直于(yu)該(gai)(gai)(gai)掃描方(fang)向的該(gai)(gai)(gai)方(fang)向的該(gai)(gai)(gai)第(di)一(yi)傾斜。

18、在(zai)一些具(ju)體實施中,該(gai)方(fang)法(fa)還包(bao)括(kuo):基(ji)于(yu)該(gai)樣(yang)本(ben)的該(gai)第一傾斜(xie),使(shi)用該(gai)成像(xiang)系統的一個(ge)或多個(ge)致動器(qi)使(shi)該(gai)樣(yang)本(ben)在(zai)該(gai)掃描方(fang)向和基(ji)本(ben)上垂直于(yu)該(gai)掃描方(fang)向的該(gai)方(fang)向上傾斜(xie)。

19、在一(yi)些(xie)具體實施(shi)中(zhong),該(gai)(gai)方法(fa)還包括(kuo):基(ji)于(yu)該(gai)(gai)樣本(ben)(ben)在該(gai)(gai)第一(yi)樣本(ben)(ben)位(wei)(wei)置(zhi)處的該(gai)(gai)第一(yi)傾(qing)斜(xie)以及在該(gai)(gai)樣本(ben)(ben)的附加樣本(ben)(ben)位(wei)(wei)置(zhi)處確(que)定(ding)的該(gai)(gai)樣本(ben)(ben)的附加傾(qing)斜(xie)來生成傾(qing)斜(xie)圖,該(gai)(gai)傾(qing)斜(xie)圖包括(kuo)對應(ying)于(yu)多個樣本(ben)(ben)傾(qing)斜(xie)位(wei)(wei)置(zhi)的多個條(tiao)目(mu),每個條(tiao)目(mu)針(zhen)對對應(ying)樣本(ben)(ben)傾(qing)斜(xie)位(wei)(wei)置(zhi)指(zhi)示使該(gai)(gai)樣本(ben)(ben)沿該(gai)(gai)掃(sao)描(miao)方向(xiang)或基(ji)本(ben)(ben)上垂直于(yu)該(gai)(gai)掃(sao)描(miao)方向(xiang)的方向(xiang)傾(qing)斜(xie)的量。

20、在(zai)一些具體(ti)實施中,該(gai)方法還包括:根據該(gai)傾斜(xie)圖,使(shi)用該(gai)成像系統的(de)一個或多個致動器使(shi)該(gai)樣(yang)本(ben)在(zai)該(gai)多個樣(yang)本(ben)傾斜(xie)位置中的(de)每個樣(yang)本(ben)傾斜(xie)位置處在(zai)基本(ben)上垂直于該(gai)掃描(miao)方向的(de)該(gai)方向上傾斜(xie)。

21、在一(yi)(yi)(yi)些具(ju)體實(shi)施中,該(gai)(gai)(gai)圖(tu)(tu)像傳(chuan)感(gan)器包括第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)圖(tu)(tu)像傳(chuan)感(gan)器和第(di)(di)二(er)(er)圖(tu)(tu)像傳(chuan)感(gan)器;并且該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)樣(yang)本位置處(chu)(chu)的(de)(de)該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)對光斑和該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)二(er)(er)對光斑的(de)(de)該(gai)(gai)(gai)圖(tu)(tu)像包括:由該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)圖(tu)(tu)像傳(chuan)感(gan)器獲(huo)得的(de)(de)該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)樣(yang)本位置處(chu)(chu)的(de)(de)該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)對光斑的(de)(de)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)圖(tu)(tu)像,以及由該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)二(er)(er)圖(tu)(tu)像傳(chuan)感(gan)器獲(huo)得的(de)(de)該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)樣(yang)本位置處(chu)(chu)的(de)(de)該(gai)(gai)(gai)第(di)(di)二(er)(er)對光斑的(de)(de)第(di)(di)二(er)(er)圖(tu)(tu)像。

22、在(zai)一(yi)個(ge)實施方(fang)(fang)案(an)中,一(yi)種(zhong)成(cheng)像(xiang)(xiang)系(xi)統包括:圖像(xiang)(xiang)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi);組(zu)(zu)件,該(gai)(gai)組(zu)(zu)件包括一(yi)個(ge)或多個(ge)致動器(qi)(qi)(qi),用(yong)(yong)以(yi)使樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)夾(jia)持器(qi)(qi)(qi)在(zai)多個(ge)樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)位(wei)置的(de)(de)(de)(de)成(cheng)像(xiang)(xiang)期間傾(qing)斜(xie)(xie),以(yi)將該(gai)(gai)成(cheng)像(xiang)(xiang)系(xi)統聚焦(jiao)到當前(qian)樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)位(wei)置上(shang);光(guang)源(yuan),該(gai)(gai)光(guang)源(yuan)用(yong)(yong)以(yi)將第(di)(di)(di)一(yi)對(dui)光(guang)斑(ban)(ban)和第(di)(di)(di)二(er)對(dui)光(guang)斑(ban)(ban)投射在(zai)安裝在(zai)該(gai)(gai)樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)夾(jia)持器(qi)(qi)(qi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)容器(qi)(qi)(qi)上(shang);和控制(zhi)器(qi)(qi)(qi),該(gai)(gai)控制(zhi)器(qi)(qi)(qi)用(yong)(yong)以(yi)基于(yu)樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)傾(qing)斜(xie)(xie)來(lai)控制(zhi)該(gai)(gai)一(yi)個(ge)或多個(ge)致動器(qi)(qi)(qi)以(yi)使該(gai)(gai)樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)夾(jia)持器(qi)(qi)(qi)沿該(gai)(gai)成(cheng)像(xiang)(xiang)的(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)一(yi)方(fang)(fang)向或基本(ben)(ben)上(shang)垂直于(yu)該(gai)(gai)第(di)(di)(di)一(yi)方(fang)(fang)向的(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)二(er)方(fang)(fang)向傾(qing)斜(xie)(xie),該(gai)(gai)樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)傾(qing)斜(xie)(xie)從由該(gai)(gai)圖像(xiang)(xiang)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)在(zai)該(gai)(gai)多個(ge)樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)位(wei)置中的(de)(de)(de)(de)一(yi)個(ge)或多個(ge)樣(yang)(yang)(yang)本(ben)(ben)位(wei)置處拍攝(she)的(de)(de)(de)(de)該(gai)(gai)第(di)(di)(di)一(yi)對(dui)光(guang)斑(ban)(ban)和該(gai)(gai)第(di)(di)(di)二(er)對(dui)光(guang)斑(ban)(ban)的(de)(de)(de)(de)圖像(xiang)(xiang)確定。

23、在一(yi)(yi)(yi)(yi)些具體實施中,該(gai)成(cheng)像系統還包括:行(xing)生(sheng)(sheng)成(cheng)裝置(zhi),該(gai)行(xing)生(sheng)(sheng)成(cheng)裝置(zhi)包括:第(di)(di)(di)二光(guang)源,該(gai)第(di)(di)(di)二光(guang)源用以發射第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)波長的第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)光(guang)束;第(di)(di)(di)三(san)光(guang)源,該(gai)第(di)(di)(di)三(san)光(guang)源用以發射第(di)(di)(di)二波長的第(di)(di)(di)二光(guang)束;和(he)一(yi)(yi)(yi)(yi)個或(huo)多(duo)個行(xing)形成(cheng)光(guang)學器(qi)件(jian),該(gai)一(yi)(yi)(yi)(yi)個或(huo)多(duo)個行(xing)形成(cheng)光(guang)學器(qi)件(jian)用以將(jiang)該(gai)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)光(guang)束成(cheng)形為(wei)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)行(xing)并且將(jiang)該(gai)第(di)(di)(di)二光(guang)束成(cheng)形為(wei)第(di)(di)(di)二行(xing)。

24、在(zai)一(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)實(shi)施(shi)方案中(zhong),一(yi)(yi)種成像系統包括(kuo):光(guang)(guang)源,該(gai)(gai)光(guang)(guang)源用(yong)以將第(di)(di)(di)一(yi)(yi)對(dui)光(guang)(guang)斑(ban)和第(di)(di)(di)二(er)對(dui)光(guang)(guang)斑(ban)投射在(zai)樣(yang)本(ben)上(shang);第(di)(di)(di)一(yi)(yi)圖像傳(chuan)感(gan)器(qi),該(gai)(gai)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)圖像傳(chuan)感(gan)器(qi)用(yong)以在(zai)該(gai)(gai)樣(yang)本(ben)的(de)一(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或(huo)多個(ge)(ge)(ge)(ge)樣(yang)本(ben)位置處(chu)獲得(de)該(gai)(gai)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)對(dui)光(guang)(guang)斑(ban)和該(gai)(gai)第(di)(di)(di)二(er)對(dui)光(guang)(guang)斑(ban)的(de)一(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或(huo)多個(ge)(ge)(ge)(ge)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)圖像;第(di)(di)(di)二(er)圖像傳(chuan)感(gan)器(qi),該(gai)(gai)第(di)(di)(di)二(er)圖像傳(chuan)感(gan)器(qi)用(yong)以獲得(de)該(gai)(gai)樣(yang)本(ben)的(de)一(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或(huo)多個(ge)(ge)(ge)(ge)第(di)(di)(di)二(er)圖像;和控制(zhi)器(qi),該(gai)(gai)控制(zhi)器(qi)用(yong)以至少基(ji)于從該(gai)(gai)一(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或(huo)多個(ge)(ge)(ge)(ge)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)圖像確定的(de)樣(yang)本(ben)傾斜來控制(zhi)該(gai)(gai)成像系統的(de)一(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或(huo)多個(ge)(ge)(ge)(ge)部件,使得(de)該(gai)(gai)樣(yang)本(ben)與該(gai)(gai)第(di)(di)(di)二(er)圖像傳(chuan)感(gan)器(qi)之間的(de)相對(dui)傾斜在(zai)該(gai)(gai)一(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或(huo)多個(ge)(ge)(ge)(ge)樣(yang)本(ben)位置處(chu)保持(chi)基(ji)本(ben)上(shang)相同(tong)。

25、在(zai)一(yi)些具體實施中(zhong),該(gai)一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或多(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)部件(jian)包括耦接(jie)到該(gai)第二圖像(xiang)(xiang)傳感器的一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或多(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)致動器;并且該(gai)控制器用(yong)以至少(shao)基于從該(gai)一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或多(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)第一(yi)圖像(xiang)(xiang)確(que)定的樣(yang)本(ben)(ben)傾(qing)斜來(lai)控制該(gai)一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或多(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)致動器以使(shi)(shi)該(gai)第二圖像(xiang)(xiang)傳感器傾(qing)斜,使(shi)(shi)得該(gai)樣(yang)本(ben)(ben)與該(gai)第二圖像(xiang)(xiang)傳感器之間(jian)的相(xiang)對(dui)傾(qing)斜在(zai)該(gai)一(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或多(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)樣(yang)本(ben)(ben)位置處保(bao)持基本(ben)(ben)上相(xiang)同。

26、在一(yi)(yi)(yi)些具體實施中,該(gai)一(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)或多(duo)個(ge)(ge)部件包括耦(ou)接到容(rong)納該(gai)第(di)二圖像傳感(gan)器(qi)的相(xiang)機的一(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)或多(duo)個(ge)(ge)致(zhi)動器(qi);并且該(gai)控(kong)制(zhi)器(qi)用以(yi)至少(shao)基(ji)于從該(gai)一(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)或多(duo)個(ge)(ge)第(di)一(yi)(yi)(yi)圖像確(que)定的樣本傾斜(xie)來控(kong)制(zhi)該(gai)一(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)或多(duo)個(ge)(ge)致(zhi)動器(qi)以(yi)使該(gai)相(xiang)機傾斜(xie),使得(de)該(gai)樣本與該(gai)第(di)二圖像傳感(gan)器(qi)之間的相(xiang)對(dui)傾斜(xie)在該(gai)一(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)或多(duo)個(ge)(ge)樣本位置(zhi)處保(bao)持(chi)基(ji)本上相(xiang)同。

27、在一(yi)些具體實施中,該(gai)(gai)成像(xiang)(xiang)系統還包括(kuo)在該(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)與(yu)(yu)該(gai)(gai)第(di)二(er)圖(tu)像(xiang)(xiang)傳(chuan)感器(qi)之間(jian)的光路(lu)中的物(wu)鏡;該(gai)(gai)一(yi)個(ge)(ge)(ge)或多個(ge)(ge)(ge)部件包括(kuo)耦接(jie)到該(gai)(gai)物(wu)鏡的一(yi)個(ge)(ge)(ge)或多個(ge)(ge)(ge)致(zhi)動(dong)器(qi);并且該(gai)(gai)控制器(qi)用以至少基(ji)于從該(gai)(gai)一(yi)個(ge)(ge)(ge)或多個(ge)(ge)(ge)第(di)一(yi)圖(tu)像(xiang)(xiang)確定的樣(yang)(yang)本(ben)(ben)傾(qing)(qing)斜來(lai)控制該(gai)(gai)一(yi)個(ge)(ge)(ge)或多個(ge)(ge)(ge)致(zhi)動(dong)器(qi)以使該(gai)(gai)物(wu)鏡傾(qing)(qing)斜,使得該(gai)(gai)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)與(yu)(yu)該(gai)(gai)第(di)二(er)圖(tu)像(xiang)(xiang)傳(chuan)感器(qi)之間(jian)的相(xiang)對傾(qing)(qing)斜在該(gai)(gai)一(yi)個(ge)(ge)(ge)或多個(ge)(ge)(ge)樣(yang)(yang)本(ben)(ben)位置(zhi)處(chu)保持基(ji)本(ben)(ben)上相(xiang)同(tong)。

28、根據以下結合附圖的詳細描述,所公開技術的其他特征和方面將變得顯而易見,附圖以舉例的方式示出了根據所公開的技術的具體實施的特征。
技術實現要素:
并(bing)不旨在限(xian)制本文所述的(de)任何發(fa)明的(de)范(fan)圍,所述范(fan)圍由權利(li)要求(qiu)和等同(tong)物限(xian)定。

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