Pecvd鍍膜用防繞鍍臺階框的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及太陽能電池生產的配套工裝，尤其是一種平板PECVD鍍膜用的邊框。
【背景技術】
[0002]目前太陽能電池鍛膜設備中平板PECVD (Plasma Enhanced Chemical VaporD印osit1n等離子體增強化學氣相沉積法)鍍膜時，如圖1所示，在電池背面鍍膜過程中，由于等離子體3在硅片I下方，因此需要采用掛鉤4將硅片I吊掛在等離子體源上方，而此種懸掛方式，硅片I與載板邊框2之間存在縫隙，導致等離子通過縫隙繞鍍到電池片上表面，引起硅片上表面邊緣鍍上一層薄薄的膜，從而導致生產過程中的一些不良問題。

【發明內容】

[0003]針對現有技術中存在的不足，本實用新型提供一種PECVD鍍膜用防繞鍍臺階框，能夠有效阻止等離子體繞鍍至硅片正面邊緣，使得太陽能電池生產中硅片鍍膜不存在饒鍍現象，提高了產品的良率。本實用新型采用的技術方案是:
[0004]一種PECVD鍍膜用防繞鍍臺階框，包括用于承載硅片的載板邊框，所述載板邊框面向硅片的側壁上設有臺階，硅片放置于載板邊框的臺階上，臺階的內側延伸部托住硅片，使得載板邊框與硅片邊緣間沒有連通硅片上方和下方的縫隙。
[0005]進一步地，載板邊框可采用碳纖維材料。
[0006]本實用新型的優點在于:
[0007]I)作為太陽能電池生產的配套工裝之一，其結構設計簡單實用，解決了生產中面臨的技術問題。
[0008]2)使得PECVD鍍膜的良品率大大提高。
[0009]3)相較于原先的掛鉤，不容易對硅片背面造成損壞，更加安全可靠。
【附圖說明】
[0010]圖1為現有技術的框架示意圖。
[0011]圖2為本實用新型的臺階框俯視示意圖。
[0012]圖3為圖2的A-A局部側面示意圖。
【具體實施方式】
[0013]下面結合具體附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。
[0014]如圖2和圖3所示，本實用新型采用臺階框來取代掛鉤，具體結構為:
[0015]一種PECVD鍍膜用防繞鍍臺階框，包括用于承載硅片I的載板邊框2，載板邊框2面向硅片I的側壁上設有臺階201，硅片I放置于載板邊框2的臺階201上，臺階201的內側延伸部托住硅片1，使得載板邊框2與硅片I邊緣間沒有連通硅片上方和下方的縫隙。因此在對硅片I背面進行PECVD鍍膜時，能夠阻止等離子體3繞鍍至硅片I上方。硅片I的正面邊緣就不會存在繞鍍現象。
[0016]圖2所示是該臺階框的整體俯視結構。載板邊框2的材料為碳纖維。近似正方形的開口用于放置硅片I。
【主權項】
1.一種PECVD鍍膜用防繞鍍臺階框，包括用于承載硅片(I)的載板邊框(2)，其特征在于: 所述載板邊框(2)面向硅片(I)的側壁上設有臺階(201)，硅片(I)放置于載板邊框(2)的臺階(201)上，臺階(201)的內側延伸部托住硅片(I)，使得載板邊框(2)與硅片(I)邊緣間沒有連通硅片上方和下方的縫隙。
2.如權利要求1所述的PECVD鍍膜用防繞鍍臺階框，其特征在于: 載板邊框(2)采用碳纖維材料。
【專利摘要】本實用新型提供一種PECVD鍍膜用防繞鍍臺階框，包括用于承載硅片的載板邊框，所述載板邊框面向硅片的側壁上設有臺階，硅片放置于載板邊框的臺階上，臺階的內側延伸部托住硅片，使得載板邊框與硅片邊緣間沒有連通硅片上方和下方的縫隙。進一步地，載板邊框可采用碳纖維材料。本實用新型能夠有效阻止等離子體繞鍍至硅片正面邊緣，使得太陽能電池生產中硅片鍍膜不存在饒鍍現象，提高了產品的良率。本實用新型的優點在于：1）作為太陽能電池生產的配套工裝之一，其結構設計簡單實用，解決了生產中面臨的技術問題。2）使得PECVD鍍膜的良品率大大提高。3）相較于原先的掛鉤，不容易對硅片背面造成損壞，更加安全可靠。
【IPC分類】C23C16-458
【公開號】CN204417589
【申請號】CN201420788733
【發明人】魯科, 喬琦, 陸紅艷, 黃海濤, 陳如龍
【申請人】無錫尚德太陽能電力有限公司
【公開日】2015年6月24日
【申請日】2014年12月12日