技術編號：8708936
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。目前太陽能電池鍛膜設備中平板PECVD (Plasma Enhanced Chemical VaporD印osit1n等離子體增強化學氣相沉積法)鍍膜時，如圖1所示，在電池背面鍍膜過程中，由于等離子體3在硅片I下方，因此需要采用掛鉤4將硅片I吊掛在等離子體源上方，而此種懸掛方式，硅片I與載板邊框2之間存在縫隙，導致等離子通過縫隙繞鍍到電池片上表面，引起硅片上表面邊緣鍍上一層薄薄的膜，從而導致生產過程中的一些不良問題。發明內容針對現有技術中存在的不足，本實用...
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