本公開(kai)涉及半導體裝置及其制造方法(fa)，以及包(bao)括半導體裝置的電(dian)子(zi)系統。

背景技術：

1、在要求(qiu)數據存(cun)儲(chu)(chu)的(de)電子系統中，可能(neng)需(xu)要一(yi)種能(neng)夠存(cun)儲(chu)(chu)大(da)容(rong)量數據的(de)半(ban)導(dao)(dao)體(ti)裝(zhuang)置(zhi)。因此(ci)，正在研(yan)究用于增大(da)半(ban)導(dao)(dao)體(ti)裝(zhuang)置(zhi)的(de)數據存(cun)儲(chu)(chu)容(rong)量的(de)方(fang)法。例如，作為用于增大(da)半(ban)導(dao)(dao)體(ti)裝(zhuang)置(zhi)的(de)數據存(cun)儲(chu)(chu)容(rong)量的(de)方(fang)法之一(yi)，提出了(le)一(yi)種包括(kuo)三維(wei)布(bu)置(zhi)的(de)存(cun)儲(chu)(chu)器(qi)單元而(er)非二維(wei)布(bu)置(zhi)的(de)存(cun)儲(chu)(chu)器(qi)單元的(de)半(ban)導(dao)(dao)體(ti)裝(zhuang)置(zhi)。

技術實現思路

1、一個實(shi)施例尋求提供一種能夠提高(gao)可(ke)靠性和生產效率的(de)半導體裝置和制造方法、以(yi)及包括半導體裝置的(de)電子系(xi)統(tong)。

2、一種半導體裝置(zhi)包(bao)括(kuo)：電路(lu)區(qu)，其包(bao)括(kuo)外圍(wei)電路(lu)結構；以及所述(shu)電路(lu)區(qu)上的單元(yuan)區(qu)，其中，所述(shu)單元(yuan)區(qu)包(bao)括(kuo)：單元(yuan)陣列區(qu)；連接區(qu)；

3、柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)堆(dui)疊(die)(die)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)，其(qi)(qi)(qi)包(bao)括多(duo)個(ge)(ge)(ge)柵(zha)(zha)(zha)(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)，其(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)堆(dui)疊(die)(die)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)包(bao)括所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)電(dian)(dian)(dian)路區(qu)上(shang)的(de)(de)(de)上(shang)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)和所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)上(shang)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)與(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)電(dian)(dian)(dian)路區(qu)之(zhi)間的(de)(de)(de)下結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)；多(duo)個(ge)(ge)(ge)溝(gou)道(dao)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)，其(qi)(qi)(qi)在(zai)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)單元陣列(lie)區(qu)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)穿過所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)堆(dui)疊(die)(die)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)；以及多(duo)個(ge)(ge)(ge)柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)接(jie)觸(chu)部分(fen)，其(qi)(qi)(qi)在(zai)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)連(lian)接(jie)區(qu)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)穿過所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)堆(dui)疊(die)(die)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)，其(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)多(duo)個(ge)(ge)(ge)柵(zha)(zha)(zha)(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)包(bao)括所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)上(shang)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)的(de)(de)(de)底(di)部中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)底(di)部柵(zha)(zha)(zha)(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)，其(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)多(duo)個(ge)(ge)(ge)柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)接(jie)觸(chu)部分(fen)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)接(jie)觸(chu)部分(fen)電(dian)(dian)(dian)連(lian)接(jie)至所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)電(dian)(dian)(dian)路區(qu)和所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)多(duo)個(ge)(ge)(ge)柵(zha)(zha)(zha)(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)連(lian)接(jie)柵(zha)(zha)(zha)(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)，并(bing)(bing)且通過所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)接(jie)觸(chu)部分(fen)與(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)多(duo)個(ge)(ge)(ge)柵(zha)(zha)(zha)(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)其(qi)(qi)(qi)余(yu)柵(zha)(zha)(zha)(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)之(zhi)間的(de)(de)(de)絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)圖案與(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)其(qi)(qi)(qi)余(yu)柵(zha)(zha)(zha)(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)電(dian)(dian)(dian)絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)，其(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)單元陣列(lie)區(qu)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)底(di)部柵(zha)(zha)(zha)(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)鄰近(jin)于所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)多(duo)個(ge)(ge)(ge)溝(gou)道(dao)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)溝(gou)道(dao)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)，并(bing)(bing)且其(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)，具有與(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)圖案不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)和/或(huo)材料的(de)(de)(de)底(di)部絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)部分(fen)在(zai)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)上(shang)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)的(de)(de)(de)所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)底(di)部中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)并(bing)(bing)且鄰近(jin)于所(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)接(jie)觸(chu)部分(fen)。

4、一種電(dian)(dian)子系統包(bao)括：主襯底(di)；所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)主襯底(di)上的(de)半(ban)導(dao)體裝(zhuang)置；以(yi)及(ji)電(dian)(dian)連接(jie)至所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)半(ban)導(dao)體裝(zhuang)置的(de)控制器(qi)，其(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)半(ban)導(dao)體裝(zhuang)置包(bao)括具(ju)(ju)有外(wai)圍電(dian)(dian)路(lu)(lu)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)的(de)電(dian)(dian)路(lu)(lu)區(qu)(qu)和(he)(he)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)電(dian)(dian)路(lu)(lu)區(qu)(qu)上的(de)單元(yuan)(yuan)區(qu)(qu)，并(bing)(bing)且(qie)(qie)其(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)單元(yuan)(yuan)區(qu)(qu)包(bao)括：單元(yuan)(yuan)陣(zhen)列區(qu)(qu)；連接(jie)區(qu)(qu)；柵(zha)(zha)極(ji)(ji)堆疊結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)，其(qi)(qi)(qi)包(bao)括多(duo)(duo)(duo)個柵(zha)(zha)電(dian)(dian)極(ji)(ji)，其(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)(zha)極(ji)(ji)堆疊結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)包(bao)括下結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)和(he)(he)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)下結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)上的(de)上結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)；以(yi)及(ji)溝(gou)道結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)，其(qi)(qi)(qi)在所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)單元(yuan)(yuan)陣(zhen)列區(qu)(qu)中(zhong)(zhong)(zhong)穿過所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)(zha)極(ji)(ji)堆疊結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)，其(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)多(duo)(duo)(duo)個柵(zha)(zha)電(dian)(dian)極(ji)(ji)包(bao)括所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)上結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)的(de)底(di)部(bu)(bu)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)底(di)部(bu)(bu)柵(zha)(zha)電(dian)(dian)極(ji)(ji)，其(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)連接(jie)區(qu)(qu)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)柵(zha)(zha)極(ji)(ji)接(jie)觸(chu)部(bu)(bu)分電(dian)(dian)連接(jie)至所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)電(dian)(dian)路(lu)(lu)區(qu)(qu)和(he)(he)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)多(duo)(duo)(duo)個柵(zha)(zha)電(dian)(dian)極(ji)(ji)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)連接(jie)柵(zha)(zha)電(dian)(dian)極(ji)(ji)，并(bing)(bing)且(qie)(qie)通過所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)(zha)極(ji)(ji)接(jie)觸(chu)部(bu)(bu)分與所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)多(duo)(duo)(duo)個柵(zha)(zha)電(dian)(dian)極(ji)(ji)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)其(qi)(qi)(qi)余(yu)柵(zha)(zha)電(dian)(dian)極(ji)(ji)之間的(de)絕緣(yuan)圖案(an)與所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)其(qi)(qi)(qi)余(yu)柵(zha)(zha)電(dian)(dian)極(ji)(ji)電(dian)(dian)絕緣(yuan)，其(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)單元(yuan)(yuan)陣(zhen)列區(qu)(qu)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)底(di)部(bu)(bu)柵(zha)(zha)電(dian)(dian)極(ji)(ji)鄰近于所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)溝(gou)道結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)，并(bing)(bing)且(qie)(qie)其(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)，具(ju)(ju)有與所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)絕緣(yuan)圖案(an)不同的(de)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)和(he)(he)/或(huo)材料的(de)底(di)部(bu)(bu)絕緣(yuan)部(bu)(bu)分在所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)上結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)的(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)底(di)部(bu)(bu)中(zhong)(zhong)(zhong)并(bing)(bing)且(qie)(qie)鄰近于所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)(zha)極(ji)(ji)接(jie)觸(chu)部(bu)(bu)分。

5、一(yi)(yi)種半導體裝置(zhi)的(de)制(zhi)(zhi)造(zao)方法(fa)，該制(zhi)(zhi)造(zao)方法(fa)包(bao)括：通過在(zai)(zai)包(bao)括外(wai)圍電路結構(gou)的(de)電路區(qu)(qu)上(shang)(shang)交(jiao)替地堆疊(die)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)多個(ge)(ge)(ge)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)和(he)(he)(he)(he)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)多個(ge)(ge)(ge)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)來(lai)形(xing)成(cheng)下結構(gou)；在(zai)(zai)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)下結構(gou)中形(xing)成(cheng)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)溝(gou)(gou)道犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)和(he)(he)(he)(he)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)布(bu)(bu)線(xian)(xian)(xian)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)；在(zai)(zai)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)下結構(gou)上(shang)(shang)形(xing)成(cheng)底(di)(di)部(bu)(bu)(bu)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)；通過至少部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)地去(qu)除(chu)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)底(di)(di)部(bu)(bu)(bu)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)的(de)在(zai)(zai)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)布(bu)(bu)線(xian)(xian)(xian)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)上(shang)(shang)的(de)區(qu)(qu)域(yu)來(lai)形(xing)成(cheng)柵(zha)極去(qu)除(chu)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)；在(zai)(zai)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)底(di)(di)部(bu)(bu)(bu)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)上(shang)(shang)形(xing)成(cheng)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)材(cai)料(liao)，以形(xing)成(cheng)包(bao)括填充所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)極去(qu)除(chu)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)的(de)底(di)(di)部(bu)(bu)(bu)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)和(he)(he)(he)(he)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)底(di)(di)部(bu)(bu)(bu)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)上(shang)(shang)的(de)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)間絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)的(de)底(di)(di)部(bu)(bu)(bu)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)；通過在(zai)(zai)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)底(di)(di)部(bu)(bu)(bu)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)上(shang)(shang)交(jiao)替地堆疊(die)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)多個(ge)(ge)(ge)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)和(he)(he)(he)(he)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)多個(ge)(ge)(ge)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)來(lai)形(xing)成(cheng)上(shang)(shang)結構(gou)；形(xing)成(cheng)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)溝(gou)(gou)道犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)和(he)(he)(he)(he)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)布(bu)(bu)線(xian)(xian)(xian)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)；去(qu)除(chu)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)溝(gou)(gou)道犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)和(he)(he)(he)(he)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)溝(gou)(gou)道犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)、所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)布(bu)(bu)線(xian)(xian)(xian)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)和(he)(he)(he)(he)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)布(bu)(bu)線(xian)(xian)(xian)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)、所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)多個(ge)(ge)(ge)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)、所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)底(di)(di)部(bu)(bu)(bu)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)和(he)(he)(he)(he)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)多個(ge)(ge)(ge)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)；以及形(xing)成(cheng)從中去(qu)除(chu)了所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)溝(gou)(gou)道犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)和(he)(he)(he)(he)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)溝(gou)(gou)道犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)、所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)布(bu)(bu)線(xian)(xian)(xian)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)和(he)(he)(he)(he)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)布(bu)(bu)線(xian)(xian)(xian)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)、所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)多個(ge)(ge)(ge)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)、所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)底(di)(di)部(bu)(bu)(bu)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)和(he)(he)(he)(he)所述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)多個(ge)(ge)(ge)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)犧(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)牲(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)的(de)溝(gou)(gou)道結構(gou)、柵(zha)極接觸部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)和(he)(he)(he)(he)多個(ge)(ge)(ge)柵(zha)電極。

6、一(yi)種半(ban)導體裝(zhuang)置包括(kuo)(kuo)(kuo)：包括(kuo)(kuo)(kuo)外圍電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)的(de)(de)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)；以(yi)(yi)及所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)上的(de)(de)單(dan)元區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)，其(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)單(dan)元區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)包括(kuo)(kuo)(kuo)：單(dan)元陣(zhen)列區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)；鄰(lin)近(jin)于(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)單(dan)元陣(zhen)列區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)的(de)(de)連接(jie)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)；柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)堆疊結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)，其(qi)(qi)包括(kuo)(kuo)(kuo)多(duo)(duo)(duo)個(ge)(ge)柵(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)，其(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)堆疊結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)包括(kuo)(kuo)(kuo)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)上的(de)(de)上結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)和所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)上結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)與(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)之(zhi)間的(de)(de)下結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)；多(duo)(duo)(duo)個(ge)(ge)溝(gou)道(dao)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)，其(qi)(qi)在(zai)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)單(dan)元陣(zhen)列區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)穿(chuan)過(guo)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)堆疊結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)；以(yi)(yi)及多(duo)(duo)(duo)個(ge)(ge)柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)接(jie)觸部(bu)分，其(qi)(qi)在(zai)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)連接(jie)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)穿(chuan)過(guo)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)堆疊結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)，其(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)多(duo)(duo)(duo)個(ge)(ge)柵(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)包括(kuo)(kuo)(kuo)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)上結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)的(de)(de)底(di)(di)部(bu)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)底(di)(di)部(bu)柵(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)，其(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)多(duo)(duo)(duo)個(ge)(ge)柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)接(jie)觸部(bu)分中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)接(jie)觸部(bu)分電(dian)(dian)(dian)連接(jie)至所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)和所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)多(duo)(duo)(duo)個(ge)(ge)柵(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)連接(jie)柵(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)，并(bing)(bing)且(qie)通過(guo)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)接(jie)觸部(bu)分與(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)多(duo)(duo)(duo)個(ge)(ge)柵(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)其(qi)(qi)余(yu)(yu)柵(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)之(zhi)間的(de)(de)絕緣(yuan)圖案與(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)其(qi)(qi)余(yu)(yu)柵(zha)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)電(dian)(dian)(dian)絕緣(yuan)，其(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)上結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)的(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)底(di)(di)部(bu)包括(kuo)(kuo)(kuo)鄰(lin)近(jin)于(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)單(dan)元陣(zhen)列區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)多(duo)(duo)(duo)個(ge)(ge)溝(gou)道(dao)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)溝(gou)道(dao)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)的(de)(de)第一(yi)底(di)(di)部(bu)，其(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)上結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)的(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)底(di)(di)部(bu)包括(kuo)(kuo)(kuo)鄰(lin)近(jin)于(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)連接(jie)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)接(jie)觸部(bu)分的(de)(de)第二(er)底(di)(di)部(bu)，并(bing)(bing)且(qie)其(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第一(yi)底(di)(di)部(bu)包括(kuo)(kuo)(kuo)與(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第二(er)底(di)(di)部(bu)不同的(de)(de)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)和/或材料。

7、根據(ju)實施例，溝(gou)(gou)道結(jie)構和(he)鄰近于(yu)柵(zha)(zha)極(ji)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)部(bu)(bu)分(fen)的(de)(de)部(bu)(bu)分(fen)具有不(bu)同(tong)的(de)(de)結(jie)構或材料，從而溝(gou)(gou)道結(jie)構和(he)柵(zha)(zha)極(ji)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)部(bu)(bu)分(fen)可分(fen)別滿足(zu)所(suo)需特性。也(ye)就是說，存儲器單(dan)元(yuan)的(de)(de)數(shu)量(liang)可通過將底(di)部(bu)(bu)柵(zha)(zha)電(dian)極(ji)布(bu)置(zhi)在(zai)鄰近于(yu)溝(gou)(gou)道結(jie)構的(de)(de)部(bu)(bu)分(fen)處而被最大(da)化，并且(qie)溝(gou)(gou)道結(jie)構可通過充分(fen)確(que)保溝(gou)(gou)道結(jie)構的(de)(de)底(di)部(bu)(bu)閾值(zhi)大(da)小而穩定連接(jie)(jie)。另(ling)外，底(di)部(bu)(bu)絕(jue)緣(yuan)部(bu)(bu)分(fen)可鄰近于(yu)柵(zha)(zha)極(ji)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)部(bu)(bu)分(fen)布(bu)置(zhi)，以(yi)充分(fen)確(que)保柵(zha)(zha)極(ji)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)部(bu)(bu)分(fen)與底(di)部(bu)(bu)柵(zha)(zha)電(dian)極(ji)之間的(de)(de)絕(jue)緣(yuan)距離，從而有效防止通過偏離或未對準的(de)(de)柵(zha)(zha)極(ji)接(jie)(jie)觸(chu)(chu)部(bu)(bu)分(fen)導致的(de)(de)問題(ti)。

8、另外，如上所述(shu)，能夠符合溝道結(jie)構(gou)和柵極接觸部(bu)分中的所需(xu)特(te)性(xing)的半導體裝置可通(tong)過簡單工藝制造。因此，可提(ti)高半導體裝置的生(sheng)產率和可靠性(xing)。

技術特征：

1.一種半導體裝置，包括：

2.根(gen)據權(quan)利要求1所述的(de)半導體裝(zhuang)置(zhi)，其中，

3.根據權利要(yao)求(qiu)1所述的(de)半導體裝置，其中，

4.根(gen)據(ju)權利要求1所述的半導體裝(zhuang)置，其中(zhong)，

5.根據權利(li)要求1所述(shu)的半(ban)導體裝置，其中，

6.根據權利要求1所述(shu)的(de)半(ban)導體裝置，還包括：

7.根據(ju)權利要求1所(suo)述(shu)的半導(dao)體裝置，其(qi)中，

8.根據權利要(yao)求1所述的半導體裝置，其中，

9.根據(ju)權利要求1所(suo)述的半導體(ti)裝(zhuang)置，其(qi)中，

10.根據權利要(yao)求1所述的半導體(ti)裝置，其中，

11.根據權利要(yao)求1所述的(de)半(ban)導體(ti)裝置，其中，

12.根據權利要求1所述的(de)半導體裝置，其中，

13.根據權利要求1所述的(de)半導(dao)體裝置，其中，

14.根據權(quan)利要求1所述的半(ban)導(dao)體裝置，其中，

15.根據(ju)權利(li)要求1所述的半導體裝置，還包括：

16.根據權利要求1所述的半導體裝置，其中(zhong)，

17.一種電子系(xi)統，包括：

18.一種半導(dao)體裝(zhuang)置(zhi)的制(zhi)造(zao)方法，所述制(zhi)造(zao)方法包括：

19.根據權利要(yao)求18所(suo)述的制造方(fang)法，其(qi)中，

20.根(gen)據權利要求19所(suo)述的制造方法，其(qi)中，

技術總結
提供了一種半導體裝置及其制造方法和一種電子系統。該半導體裝置包括單元區，其中單元區包括：單元陣列區；鄰近于單元陣列區的連接區；包括多個柵電極的柵極堆疊結構，其中柵極堆疊結構包括上結構和下結構；穿過單元陣列區中的柵極堆疊結構的多個溝道結構；以及穿過連接區中的柵極堆疊結構的多個柵極接觸部分，其中，單元陣列區中的底部柵電極在上結構的底部中并且鄰近于多個溝道結構中的溝道結構，并且其中，連接區中的底部絕緣部分在上結構的底部中并且鄰近于多個柵極接觸部分中的柵極接觸部分。

技術研發人員：嚴暻植,金仁鎬,金燦圭,尹柱美,李寧浩,D·鄭,洪源基
受保護的技術使用者：三星電子株式會社
技術研發日：
技術公布日：2024/9/19