用于極微焦點x射線管的多級聚焦陰極電子槍的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種電子槍，尤其涉及一種用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍。
【背景技術】
[0002]目前，國內生產的X射線管均為大焦點X射線管，其最小焦點可做到0.3mmX0.3mm ;普遍用于醫療衛生和大功率工藝探傷，安檢等領域。隨著科技領域的不斷發展，出現了表面貼裝(即SMT)技術。使用SMT技術可使電子產品縮小體積40?60%、減輕重量60?80%。但隨之而來的便是傳統的檢測手段，普通焦點X光機等已不能滿足現有生產產品的質量及可靠性的要求，尤其是對元器件內部的缺陷無法查明。這樣就出現了新的檢測手段，微焦點X射線機，這種設備的核心器件是微焦點X射線管，這種光管焦點的大小又取決于陰極電子槍(即光管的陰極組件)，要想做出小焦點的X射線管，就必須要極細的電子流，目前國內還沒有焦點< 300 μπι的X射線管。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍，其能夠產生極微焦點，以解決現有技術中普通焦點X光機存在的上述問題。
[0004]為達此目的，本實用新型采用以下技術方案:
[0005]—種用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍，其包括芯柱、熱子、熱子支撐座、第一級柵、第二級柵和第三級柵，其中，所述芯柱上設置有若干根電極，所述芯柱上的部分電極與所述熱子支撐座相連接，所述熱子安裝于所述熱子支撐座上，所述熱子與所述芯柱上的電極連接，所述第一級柵與所述熱子支撐座相連接，所述第二級柵與所述第一級柵連接，所述第三級柵與所述第二級柵連接。
[0006]特別地，所述芯柱由玻璃制成，其上設置有i^一個電極，其中三個電極與所述熱子支撐座相連接。
[0007]特別地，所述熱子為旁熱式鋇鎢陰極。
[0008]特別地，所述熱子上的兩個電極與所述芯柱上的兩個電極連接。
[0009]特別地，所述熱子支撐座與所述第一級柵采用金屬化陶瓷連接并絕緣。
[0010]特別地，所述第二級柵與所述第一級柵采用金屬化陶瓷連接并絕緣。
[0011]特別地，所述第三級柵與所述第二級柵采用金屬化陶瓷連接并絕緣。
[0012]特別地，所述熱子支撐座、所述第一級柵、第二級柵和第三級柵采用純鉬金屬加工制作。
[0013]本實用新型的有益效果為，與現有技術相比用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍在100KV的高壓電場作用下，熱電子流的在18mm行程處的匯聚焦點可達到5μηι，使焦點5 μπι管電壓為100KV的X射線管成為可能。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型【具體實施方式】I提供的用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍的立體結構示意圖。
[0015]圖中:
[0016]1、玻璃芯柱；2、熱子；3、熱子支撐座；4、第一級柵；5、第二級柵；6、第三級柵。
【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖并通過【具體實施方式】來進一步說明本實用新型的技術方案。
[0018]請參閱圖1所示，圖1是本實用新型【具體實施方式】I提供的用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍的立體結構示意圖。
[0019]本實施例中，一種用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍包括玻璃芯柱1、熱子2、熱子支撐座3、第一級柵4、第二級柵5和第三級柵6，所述玻璃芯柱I上設置有十一根電極，所述玻璃芯柱I上的三個電極與所述熱子支撐座3相連接，所述熱子2為芳熱式鋇鎢陰極，安裝于所述熱子支撐座3上，所述熱子2上的兩個電極與所述玻璃芯柱I上的兩個電極連接。所述熱子支撐座3與所述第一級柵4采用金屬化陶瓷連接并絕緣，所述第二級柵5與所述第一級柵4采用金屬化陶瓷連接并絕緣，所述第三級柵6與所述第二級柵5采用金屬化陶瓷連接并絕緣。
[0020]所述熱子支撐座3、所述第一級柵4、第二級柵5和第三級柵6采用純鉬金屬加工制作。
[0021]上述多級聚焦陰極電子槍的熱子2點亮，發射電子，第一級柵4加負電壓匯聚電子，第二級柵5加1500V高壓加速電子并控制管流，第三級柵6匯聚電子流并在100KV的高壓電場作用下，熱電子流在18mm行程處的匯聚焦點可達到5μπι，使焦點5μπι管電壓為100KV的X射線管成為可能。
[0022]以上實施例只是闡述了本實用新型的基本原理和特性，本實用新型不受上述事例限制，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還有各種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【主權項】
1.一種用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍，其包括芯柱、熱子、熱子支撐座、第一級柵、第二級柵和第三級柵，其特征在于，所述芯柱上設置有若干根電極，所述芯柱上的部分電極與所述熱子支撐座相連接，所述熱子安裝于所述熱子支撐座上，所述熱子與所述芯柱上的電極連接，所述第一級柵與所述熱子支撐座相連接，所述第二級柵與所述第一級柵連接，所述第三級柵與所述第二級柵連接。2.根據權利要求1所述的用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述芯柱由玻璃制成，其上設置有十一個電極，其中三個電極與所述熱子支撐座相連接。3.根據權利要求1所述的用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述熱子為旁熱式鋇鎢陰極。4.根據權利要求1所述的用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述熱子上的兩個電極與所述芯柱上的兩個電極連接。5.根據權利要求1所述的用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述熱子支撐座與所述第一級柵采用金屬化陶瓷連接并絕緣。6.根據權利要求1所述的用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述第二級柵與所述第一級柵采用金屬化陶瓷連接并絕緣。7.根據權利要求1所述的用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述第三級柵與所述第二級柵采用金屬化陶瓷連接并絕緣。8.根據權利要求1所述的用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述熱子支撐座、所述第一級柵、第二級柵和第三級柵采用純鉬金屬加工制作。
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于極微焦點X射線管的多級聚焦陰極電子槍，其包括芯柱、熱子、熱子支撐座、第一級柵、第二級柵和第三級柵，其中，所述芯柱上設置有若干根電極，所述芯柱上的部分電極與所述熱子支撐座相連接，所述熱子安裝于所述熱子支撐座上，所述熱子與所述芯柱上的電極連接，所述第一級柵與所述熱子支撐座相連接，所述第二級柵與所述第一級柵連接，所述第三級柵與所述第二級柵連接。上述多級聚焦陰極電子槍的熱子點亮，發射電子，第一級柵加負電壓匯聚電子，第二級柵加1500V高壓加速電子并控制管流，第三級柵匯聚電子流并在100KV的高壓電場作用下，熱電子流在18mm行程處的匯聚焦點可達到5μm，使焦點5μm管電壓為100KV的X射線管成為可能。
【IPC分類】H01J37/063, H01J37/065
【公開號】CN204885080
【申請號】CN201520421572
【發明人】劉駿, 吳愛軍, 王劉成
【申請人】無錫日聯科技股份有限公司
【公開日】2015年12月16日
【申請日】2015年6月17日