非晶硅薄膜太陽能pecvd芯片清潔裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種清潔裝置，特別涉及一種非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔
目.ο
【背景技術】
[0002]在非晶硅薄膜太陽能電池生產過程中，由于工藝本身及車間環境等不良因素，從工件架卸出的芯片，不可避免會在芯片的膜面上殘留硅粉或落上異物，在經過PVD沉積背電極時，影響背電極的成膜質量，造成由硅粉等異物導致的透空，進而影響產品的電性能。
[0003]由于PVD膜在非晶硅膜太陽能電池起到增加太陽光的反射及背電極的作用，是整個電池生產技術的關鍵步驟，所以需要把殘留在膜面上的硅粉等異物清潔干凈，減少PVD成膜過程中因硅粉等異物導致的脫膜或透空。然而，目前還沒有比較有效的措施，臨時措施是直接用CDA對膜面進行吹掃，這樣做會有兩個弊端:一方面，對芯片的膜面有損壞；另一方面對潔凈車間的污染，得不償失。因此對芯片膜面硅粉等異物的清潔是PECVD工藝工作中不可忽略的問題。

【發明內容】

[0004]本實用新型要解決的技術問題是如何克服現有技術的上述缺陷，提供一種非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置。
[0005]本實用新型是通過以下技術方案實現的:
[0006]本非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置，安裝于傳動線上方、激光機左側，該清潔裝置包括:
[0007]外殼；
[0008]設于外殼左右兩側的兩個感應器；
[0009]設于外殼下方的支架；
[0010]安裝于外殼左上方的抽風機；
[0011]安裝于外殼內的風刀管；
[0012]安裝于外殼外部、通過管路連接風刀管的吹風機；
[0013]安裝于外殼內、用于控制抽風機和吹風機工作的控制開關。
[0014]作為優化，該清潔裝置內部為弧線結構。
[0015]作為優化，所述感應器為優先級感應器。
[0016]作為優化，所述支架可上下移動，且包括4個支架，分別兩兩設于外殼前、后下方。
[0017]作為優化，所述支架可調0.5-5cm間距。
[0018]作為優化，所述抽風機帶有過濾裝置。
[0019]作為優化，所述吹風機為等離子風機，且位于外殼右側感應器的右邊。
[0020]作為優化，所述風刀管包括旋轉軸、3個進風口和若干個吹風口，所述每個吹風口均呈扇形，所述旋轉軸端部設有旋轉開關。
[0021]作為優化，所述旋轉軸的調節角度為10° -30°。
[0022]本實用新型非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置的有益效果是:
[0023]本實用新型，設計科學、使用方便，可有效降低因硅粉等異物導致PVD成膜質量變差的影響，且不會損壞芯片膜面，減少紅色透空產生的幾率，進而產品的電性能及提高產品良率。具有較好的實際應用價值和推廣價值。
【附圖說明】
[0024]下面結合附圖對本非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置作進一步說明:
[0025]圖1是本非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置的俯視結構示意圖；
[0026]圖2是本非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置的剖視結構示意圖；
[0027]圖3是本非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置的風刀管結構示意圖。
[0028]圖中為傳動線、2為芯片、3為外殼、4為感應器、5為支架、6為抽風機、7為吹風機、8為管路、9為風刀管、9.1為旋轉軸、9.2為進風口、9.3為吹風口、10為控制開關、11為旋轉開關、12為硅粉等異物、13為激光機。
【具體實施方式】
[0029]為使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下參照附圖并舉實施例，對本實用新型進一步詳細說明。
[0030]如圖1-圖3所示，本非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置，安裝于傳動線1上方、激光機13左側，該清潔裝置包括:
[0031]外殼3 ；
[0032]設于外殼3左右兩側的兩個感應器4 ；
[0033]設于外殼3下方的支架5 ;
[0034]安裝于外殼3左上方的抽風機6 ；
[0035]安裝于外殼3內的風刀管9 ;
[0036]安裝于外殼3外部、通過管路8連接風刀管9的吹風機7 ;
[0037]安裝于外殼3內、用于控制抽風機6和吹風機7工作的控制開關10。
[0038]具體的，該清潔裝置內部為弧線結構。如此設計，在等離子風機吹掃時，保證硅粉等異物12沿弧線結構運動，保證更有效的吸收，保證抽風機更有效的抽風。
[0039]具體的，所述感應器4為優先級感應器。如此設計，可保證傳動線1的連續傳動性。
[0040]具體的，所述支架5可上下調0.5-5cm間距，且包括4個支架，分別兩兩設于外殼3前、后下方。如此設計，便于調節該清潔裝置與芯片2的間距，提高使用便利性。
[0041]具體的，所述抽風機6帶有過濾裝置。如此設計，可以保護潔凈車間的潔凈度。
[0042]具體的，所述吹風機7為等離子風機，且位于外殼3右側感應器4的右邊。如此設計，通過采用等離子風機吹掃，可以消除芯片膜面靜電的作用。
[0043]具體的，所述風刀管9包括可調角度為10° -30°的旋轉軸9.1、3個進風口 9.2和16個吹風口 9.3，所述每個吹風口均9.3呈扇形，所述旋轉軸9.1端部設有旋轉開關11。如此設計，可以大面積的把硅粉等異物12清潔干凈。
[0044]工作原理:
[0045]本非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置工作前，首先把4個支架上下調節及壓力值調到工藝所需的參數，再打開控制開關，方可進行芯片膜上硅粉等異物的清理。在工作時，芯片在傳動線傳輸到第一個優先級感應器時，該裝置會進行一個打開的動作，等離子風機及抽風機開關會同時打開，壓縮空氣通過管路進入到裝置的風刀管，由風刀管的扇形吹風口噴出等離子風到芯片的膜面上，把芯片膜面上的硅粉等異物揚起，然后會通過帶有過濾裝置的抽風機排出，當芯片頭端傳輸到第二個優先級感應點時，該裝置會關閉，可以起到節約能源的作用，如果連續的有芯片經過時，裝置會自動打開，進行對芯片膜面上的硅粉等異物吹掃，然后再通過抽風機排出，這樣周而復始運行，保證傳動線的連續傳動性，從而完成該裝置的一切動作。
[0046]本實用新型，設計科學、使用方便，可有效降低因硅粉等異物導致PVD成膜質量變差的影響，且不會損壞芯片膜面，減少紅色透空產生的幾率，進而產品的電性能及提高產品良率。
[0047]上述【具體實施方式】僅是本實用新型的具體個案，并非是對本實用新型作其它形式的限制，任何熟悉本專業的技術人員可能利用上述揭示的技術內容加以變更或改型為等同變化的等效實施方式。但是凡是未脫離本實用新型技術原理的前提下，依據本實用新型的技術實質對以上實施方式所作的任何簡單修改、等同變化與改型，皆應落入本實用新型的專利保護范圍。
【主權項】
1.一種非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置，該清潔裝置安裝于傳動線上方、激光機左側，其特征在于，該清潔裝置包括: 夕卜殼; 設于外殼左右兩側的兩個感應器； 設于外殼下方的支架； 安裝于外殼左上方的抽風機； 安裝于外殼內的風刀管； 安裝于外殼外部、通過管路連接風刀管的吹風機； 安裝于外殼內、用于控制抽風機和吹風機工作的控制開關。
2.如權利要求1所述的非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置，其特征在于:該清潔裝置內部為弧線結構。
3.如權利要求1所述的非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置，其特征在于:所述感應器為優先級感應器。
4.如權利要求1所述的非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置，其特征在于:所述支架可上下移動，且包括4個支架，分別兩兩設于外殼前、后下方。
5.如權利要求4所述的非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置，其特征在于:所述支架可調0.5-5cm間距。
6.如權利要求1所述的非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置，其特征在于:所述抽風機帶有過濾裝置。
7.如權利要求1所述的非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置，其特征在于:所述吹風機為等離子風機，且位于外殼右側感應器的右邊。
8.如權利要求1所述的非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置，其特征在于:所述風刀管包括旋轉軸、3個進風口和若干個吹風口，所述每個吹風口均呈扇形，所述旋轉軸端部設有旋轉開關。
9.如權利要求8所述的非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置，其特征在于:所述旋轉軸的調節角度為10° -30°。
【專利摘要】本實用新型涉及一種非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置。本非晶硅薄膜太陽能PECVD芯片清潔裝置，安裝于傳動線上方，該清潔裝置包括：外殼；設于外殼左右兩側的兩個感應器；設于外殼下方的支架；安裝于外殼左上方的抽風機；安裝于外殼內的風刀管；安裝于外殼外部、通過管路連接風刀管的吹風機；安裝于外殼內、用于控制抽風機和吹風機工作的控制開關。本實用新型，設計科學、使用方便，可有效降低因硅粉等異物導致PVD成膜質量變差的影響，且不會損壞芯片膜面，減少紅色透空產生的幾率，進而產品的電性能及提高產品良率。
【IPC分類】H01L21-02, H01L31-18
【公開號】CN204558508
【申請號】CN201520217738
【發明人】王有峰
【申請人】山東禹城漢能薄膜太陽能有限公司
【公開日】2015年8月12日
【申請日】2015年4月13日