用于多功能靜電夾鉗操作的可變電極圖案的制作方法
【專利摘要】一種靜電夾緊系統提供靜電夾鉗(ESC)，其具有夾緊表面以及第一對及第二對電極。所述第一對電極中的每一電極與所述夾緊表面的相應三分之一相關聯，并且所述第二對電極中的每一電極與所述夾緊表面的相應六分之一相關聯。所述第一對及第二對電極中的每一對的外圍區域的寬度朝所述夾緊表面的外圍呈螺旋狀遞減。電源供應器選擇性輸出DC及三相AC箝位電壓。控制器選擇性以DC模式及AC模式操作所述ESC。所述DC模式將所述第一對電極中的一個電極及所述第二對電極中的一個電極電性連接至所述電源供應器的正極端子，并且將所述第一對電極中的另一電極及所述第二對電極中的另一電極電性連接至所述電源供應器的負極端子。所述AC模式將所述電源供應器的第一相端子電性連接至所述第一對電極中的一個電極，將所述電源供應器的第二相端子電性連接至所述第一對電極中的另一電極，并且將所述電源供應器的第三相端子電性連接至所述第二對電極的兩個電極。
【專利說明】
用于多功能靜電夾鉗操作的可變電極圖案
技術領域
[0001]本發明大體上涉及靜電夾鉗，更具體涉及一種靜電夾緊系統，其具有可配置的電極圖案，用于選擇性以AC與DC模式操作。【背景技術】
[0002]在半導體產業中時常利用靜電夾鉗或夾盤(ESC)，用于在基于等離子體或基于真空的諸如離子注入、蝕刻、化學氣相沉積(CVD)等半導體工藝中夾緊工件或基板。照例，半導體處理系統與相關的ESC設計成夾緊工件，這是通過交流電(AC)或直流電(DC)中之一給與 ESC相關聯的電極通電。通常，處理工件的溫度決定使用AC電源還是DC電源。例如，在低處理溫度條件下，可利用DC電源來獲得較AC電源更大的夾緊力。然而，DC電源具有其缺點，諸如在移除DC電源后會產生殘余的夾緊力。
[0003]在較高溫度下，ESC的電阻率隨著處理溫度的增加而降低，可利用AC電源，低壓的 AC電源可能具備優勢。進一步，在這種較高溫度下，利用AC電源可減少解除夾緊的時間。如此，在較高溫度下可利用AC電源來獲得充足的夾緊力。
[0004]然而，照例，ESC具有預定形式或圖案的電極，這些電極是為ESC的AC或DC操作而優化。因此，第一 ESC和電源供應器一般用于AC操作，而第二ESC和電源供應器用于DC操作，其中第一和第二ESC中的每一 ESC都具有為其各自的AC或DC操作而優化的對應電極圖案。在改變ESC時，通常伴隨著成本與系統停機時間的增加，因此對生產具有不良影響。
【發明內容】

[0005]確定需要一種配置成在各種溫度下以不同電源方案操作的ESC及夾緊系統。本發明詳述一種ESC及夾緊系統，其中該ESC能夠進行AC與DC夾緊，適于在高溫及低溫下運行，并且能夠輕易在操作模式間切換，以便對現有技術中的設備提供具成本效益的解決方案。
[0006]本發明通過提供一種用于給具有可選電極圖案的單一 ESC供電的系統、設備及方法，克服了現有技術的局限性。因此，下文介紹
【發明內容】
的簡要概述，以便對本發明的某些方面具有基本了解。該
【發明內容】
部分并非本發明的詳盡綜述。其既非旨在確定本發明的關鍵元件或主要元件，亦非限定本發明的范圍。其目的在于，以簡化形式呈現本發明的某些構思，作為下文【具體實施方式】的引言。
[0007]根據一方面，本發明提供一種靜電夾緊系統，其包括靜電夾鉗，該靜電夾鉗具有與其相關聯的夾緊表面。所述靜電夾鉗包括第一對電極及第二對電極，其中所述第一對電極中的每一電極與所述夾緊表面的相應三分之一相關聯，并且所述第二對電極中的每一電極與所述夾緊表面的相應六分之一相關聯。電源供應器配置成選擇性輸出DC箝位電壓及三相 AC箝位電壓。進一步，控制器配置成選擇性以DC模式及AC模式操作所述靜電夾鉗。
[0008]在所述DC模式中，所述控制器將所述第一對電極中的一個電極及所述第二對電極中的一個電極電性連接至所述電源供應器的正極端子，并且將所述第一對電極中的另一電極及所述第二對電極中的另一電極電性連接至所述電源供應器的負極端子。在所述AC模式中，所述控制器將所述電源供應器的第一相端子電性連接至所述第一對電極中的一個電極，將所述電源供應器的第二相端子電性連接至所述第一對電極中的另一電極，并且將所述電源供應器的第三相端子電性連接至所述第二對電極的兩個電極。
[0009]根據一示例性方面，所述第一對電極及所述第二對電極中的每一對都由與所述夾緊表面的中心相關聯的中央區域以及與所述夾緊表面的外圍相關聯的外圍區域定義。例如，所述第一對電極及所述第二對電極中的每一對的所述中央區域及外圍區域都分別彼此相鄰。在一個示例中，所述第一對電極及所述第二對電極中的每一對的所述中央區域大體上呈餅形。在另一示例中，所述第一對電極及所述第二對電極中的每一對的所述外圍區域大體上朝所述夾緊表面的外圍使相應的所述第一對電極及所述第二對電極的寬度遞減。例如，所述第一對電極及所述第二對電極中的每一對的所述外圍區域大體上呈螺旋形。
[0010]根據另一方面，本發明提供一種用于將工件夾緊至ESC的方法，其中基于一個或多個與處理工件相關聯的工藝參數來選擇DC夾緊模式或AC夾緊模式。在AC與DC夾緊模式間的選擇可在將所述工件夾緊至所述ESC之前或期間執行。
[0011]在所述DC夾緊模式中，所述第一對電極中的一個電極及所述第二對電極中的一個電極電性連接至DC電源供應器的正極端子，并且所述第一對電極中的另一電極及所述第二對電極中的另一電極電性連接至所述DC電源供應器的負極端子。在所述AC夾緊模式中，AC 電源供應器的第一相端子電性連接至所述第一對電極中的一個電極，所述AC電源供應器的第二相端子電性連接至所述第一對電極中的另一電極，并且所述AC電源的第三相端子電性連接至所述第二對電極的兩個電極。
[0012]上文的
【發明內容】
部分僅旨在簡要概述本發明某些實施方案的某些特征，其他實施方案可包括上述特征以外的其他特征和/或不同特征。特別地，該
【發明內容】
部分不得理解為限定本申請的保護范圍。因此，為實現前述及有關目的，本發明包括下文所述且特別在權利要求書中所指出的特征。下文內容及附圖詳細闡明本發明的某些說明性實施方案。然而，這些實施方案僅表明采用本發明原理的多種不同方式中的少數幾種。在結合附圖考慮的情況下，由下文對本發明的詳細描述會更清楚理解本發明的其他目的、優點及新穎性特征。【附圖說明】[〇〇13]圖1是根據本發明幾方面的示例性靜電夾緊系統的框圖。
[0014]圖2是根據本發明幾方面的DC夾緊模式的示例性靜電夾緊系統的框圖。
[0015]圖3是根據本發明幾方面的AC夾緊模式的示例性靜電夾緊系統的框圖。
[0016]圖4圖示出根據又一方面的用于靜電夾緊工件的方法流程圖。【具體實施方式】
[0017]本發明大體上針對一種用于以靜電將工件夾緊至靜電夾鉗的系統、設備及方法。 因此，現將參照附圖闡述本發明，其中相同的附圖標記通篇可指相同的元件。應當理解，對這些方面的描述僅供說明，而不得解釋為限定目的。出于解釋目的，在下文中闡明若干具體細節，以便全面理解本發明。然而，本領域技術人員會顯而易知，本發明可在不具備這些具體細節的情況下實施。另外，本發明的范圍不應受到下文參照附圖所述的實施方案或實施例的限制，而僅受所附權利要求書及其等同變化的限制。
[0018]還需指出，附圖用于說明本發明實施方案的某些方面，由此應視為僅供示意性說明。特別地，根據本發明的實施方案，附圖中所示的元件并不一定相互成比例繪制，將附圖中各元件的布置選為可清楚理解相應的實施方案，不得理解為必然表示實施中各組件的實際相對位置。此外，若非特別注明，則本文所述的各實施方案及實施例的特征可相結合。
[0019]還應理解，在以下描述中，在圖中所示或文中所述的功能模塊、裝置、組件、電路元件或其他實際部件或功能部件之間的任何直接連接或耦接亦可通過間接連接或耦接來實施。此外還應理解，在圖中所示的功能模塊或部件在一個實施方案中可作為獨立特征或電路形式實施，在另一實施方案中亦可或可選擇以共同特征或電路來全部或部分實施。舉例而言，幾個功能模塊可作為在共同處理器(如信號處理器)上運行的軟件形式實施。還應理解，若非另有相反規定，則在以下說明書中基于導線所述的任何連接亦可作為無線通信形式實施。
[0020]根據本發明的一方面，圖1圖示出示例性靜電夾緊系統100。靜電夾緊系統100包括靜電夾鉗(ESC)102,其具有夾緊表面104,其中夾緊表面配置成將工件106(以虛線所示)支撐于其上。在本示例中，ESC 102包括第一對電極108A、108B及第二對電極110A、110B，其中第一對電極中的每一電極與夾緊表面的相應三分之一 112相關聯，并且第二對電極中的每一電極與ESC的夾緊表面的相應六分之一 114相關聯。第一對電極108A、108B中與第二對電極110A、110B中的每一電極均由導電材料組成，并且可進一步由絕緣或介電材料封裝和/或覆蓋，在其中界定夾緊表面104。
[0021]在本示例中，第一對電極108A、108B彼此鄰接，并且第二對電極110A、110B彼此鄰接。然而也可涵蓋其他配置，諸如第一對電極108A、108B交錯位于第二對電極110A、110B之間。無論彼此間的相對方位如何，本方面中的第一對電極108A、108B的每一電極代表夾緊表面104的相應三分之一 112,并且第二對電極110A、110B的每一電極與ESC 102的夾緊表面 104的相應六分之一 114。[〇〇22] 根據一個示例，第一對電極108A、108B及第二對電極110A、110B中的每一對均由與夾緊表面104的中心118相關聯的中央區域116以及與夾緊表面的外圍122相關聯的外圍區域120定義。在一個示例中，當垂直于夾緊表面104來看時，中央區域116的面積大于外圍區域120的面積。替選地，當垂直于夾緊表面104來看時，中央區域116的面積小于或等于外圍區域120的面積，其中可基于夾緊要求來選擇面積，諸如在中央區域116或外圍區域120附近需要較大的夾緊力。[〇〇23] 在優選的實施例中，第一對電極108A、108B及第二對電極110A、110B中的每一對的中央區域116及外圍區域120分別彼此相鄰。如此，不需要額外的互連層(未示出)來電性連接第一對電極l〇8A、108B及第二對電極110A、110B的每一對的中央區域116及外圍區域120。 然而應當指出，盡管將第一對電極108A、108B及第二對電極110A、110B中的每一對圖示為彼此相鄰，但第一對電極及第二對電極中的每一對可進一步包括導電互連(未示出)，其電性連接第一對電極及第二對電極中的每一對的中央區域116與外圍區域120。[〇〇24] 根據圖1中所示的示例，第一對電極108A、108B及第二對電極110A、110B中的每一對的中央區域116大體上呈餅形。進一步，在本示例中，第一對電極108A、108B及第二對電極 110A、110B中的每一對的外圍區域120大體上呈螺旋形。如此，第一對電極108A、108B及第二對電極110A、110B中的任一電極皆無需相關的島塊或斑塊將中將區域116連接至外圍區域120,其中不需要互連層，相較于常規的ESC提供更潔凈且架構更簡單的電極。[〇〇25] 在一個示例中，第一對電極108A、108B及第二對電極110A、110B中的每一對的外圍區域120大致界定黃金螺旋，諸如斐波那契螺旋(Fibonacci spiral)。在本示例中，第一對電極108A、108B及第二對電極110A、110B中的每一對的外圍區域120大體上朝向夾緊表面 104的外圍122使相應第一對電極及第二對電極的寬度128遞減。例如，在ESC 102與工件106 之間提供背側氣體的情況下，通過將這些電極108、110螺旋化并將其寬度128在外圍112處窄化，工件的堅固性及保持鄰近電極的至少一部分能夠使工件保持夾緊在外圍處，因此保持ESC與工件之間的背側氣體的密封性。[〇〇26]再度參照圖1，根據另一方面進一步提供電源供應器130,其配置成選擇性輸出DC 箝位電壓及三相AC箝位電壓。進一步提供控制器132,其配置成基于與處理工件相關聯的一個或多個工藝參數，選擇性以DC夾緊模式134(例如圖2所示，亦稱為“DC模式”)及AC夾緊模式136(例如圖3所示，亦稱為“AC模式”)操作ESC 102。例如，在第一組條件中(例如高溫處理、平穩處理等)控制器132配置成以圖3中的AC模式136操作ESC 102,并且進一步配置成在 ESC與工件106之間需要額外的夾緊力時(例如在ESC相關電阻率高的低溫制程期間、在工件移動會影響夾緊的過程期間等)以圖2的DC模式134操作ESC。[〇〇27] 例如，如圖2所示，DC模式134將第一對電極的一個電極(例如電極108A)及第二對電極的一個電極(例如電極110A)電性連接至電源供應器130的正極端子138,并且將第一對電極的另一電極(例如電極108B)及第二對電極的另一電極(例如電極110B)電性連接至電源供應器的負極端子140。因此，在DC模式134中，正極面積142(例如與電極108A和110A相關聯)大體上等于負極面積144(例如與電極108B和110B相關聯)。提供這種相等的正極和負極面積142、144通常可防止電荷施加于工件106上。[〇〇28] 例如，如圖3所示，AC模式136將電源供應器130的第一相端子146電性連接至第一對電極的一個電極(例如電極108A)，將電源供應器130的第二相端子148電性連接至第一對電極的另一電極(例如電極108B )，并且將電源供應器130的第三相端子150電性連接至第二對電極的兩個電極(例如電極11(^、1108)。因此，第一相面積1424(例如與電極1084相關聯)、第二相面積142B(例如與電極108B相關聯)及第三相面積142C(例如與電極110A與110B 相關聯)大體上相等。再者，提供這種相等的第一、第二及第三相面積142A-142C通常可防止電荷施加于工件106上。[〇〇29]因此，本方面提供在AC操作與DC操作之間來回切換的能力，并且這種切換可在各種溫度范圍內獲得最佳操作。例如，圖3的AC模式136的典型優勢在于，可迅速解除夾緊且快速自工件106移除電荷。因此，在可能情況下，AC模式136通常較為理想。然而，若電阻率隨溫度發生變化，則工件106與ESC 102之間的夾緊力會不利地受到高溫影響。為重新獲得充足的夾緊力，控制器132能夠選擇圖2的DC模式134,因為相較于圖3的AC模式136，DC模式可向工件106提供更大的夾緊力。在AC模式136與DC模式134之間的切換可經由與電源供應器130 及控制器132中的一個或多個相關聯的切換電路來達成，并且這種切換電路有利地保持在 ESC 102的配置之外。如此，無需對ESC 102本身作出任何改變，而僅有向電極108、110傳遞的功率會基于所需的AC或DC操作模式而改變。
[0030]根據本發明的又一示例性方面，圖4圖示出用于將工件夾緊至靜電夾鉗的示例方法200。需指出，盡管在本文中以一系列動作或事件闡述示例性方法，但應理解，本發明不僅限于這類動作或事件的所示次序，根據本發明，某些步驟會以不同順序執行且/或與除本文所述之外的其他步驟同時進行。此外，并非所述各步驟均必須用于實現根據本發明的方法。 此外應理解，所述方法可結合本文所述的系統以及結合文中未示的其他系統來實施。
[0031]圖4的方法200始于動作202,提供具有夾緊表面的靜電夾鉗，諸如圖1至圖3的靜電夾鉗102。例如，在圖4的動作202中提供的靜電夾鉗包括第一對電極及第二對電極，其中第一對電極的每一電極與夾緊表面的相應三分之一相關聯，并且第二對電極的每一電極與夾緊表面的相應六分之一相關聯。[〇〇32]在動作204中，基于與處理工件相關聯的一個或多個工藝參數，選擇DC夾緊模式及 AC夾緊模式中的一個夾緊模式。例如，一個或多個工藝參數包括以下參數中的一個或多個: 工件與靜電夾鉗之間的所需夾緊力以及處理工件的處理溫度。例如，動作204中在DC夾緊模式與AC夾緊模式之間選擇能力的優勢在于，允許圖1的單一ESC在各種工藝條件下操作，諸如工件的各種處理溫度范圍。
[0033]例如，如上所述，若ESC的電阻率隨溫度變化，則AC夾緊力可能潛在受限于高電阻率，這與ESC的低溫相關聯。為在這種低溫操作期間獲得工件與ESC間的夾緊力，在圖4的動作204中選擇DC夾緊模式，并且向ESC輸入DC箝位電壓可操作用于提供比較之下比AC箝位電壓更大的夾緊力。再度指出，在對工件解除夾緊期間提供AC夾緊模式具備優勢的原因在于， AC箝位電壓在自工件移除累積電荷時比DC箝位電壓更加迅速。因此，在多數環境下，AC夾緊模式通常比DC夾緊模式更加理想。然而，當需要額外的夾緊力時(例如，ESC相關的電阻率較高情況下的低溫過程)，如上所述，本發明提供以DC夾緊模式操作相同ESC的能力。[〇〇34]因此，在動作206中，當在動作204中選擇DC夾緊模式時，第一對電極的一個電極及第二對電極中的一個電極電性連接至DC電源供應器的正極端子，并且第一對電極的另一電極及第二對電極中的另一電極電性連接至DC電源供應器的負極端子，如圖2所示。類似地， 在圖4的動作208中，當在動作204中選擇AC夾緊模式時，AC電源供應器的第一相端子電性連接至第一對電極的一個電極，AC電源供應器的第二相端子電性連接至第一對電極的另一電極，并且AC電源供應器的第三相端子電性連接至第二對電極的兩個電極，如圖3所示。[〇〇35]可將工件進一步選擇性夾緊至靜電夾鉗的夾緊表面，這是通過當在DC夾緊模式時經由DC電源供應器而在AC夾緊模式時則經由AC電源供應器向第一對電極及第二對電極施加箝位電壓。本發明進一步涵蓋在動作204中選擇DC夾緊模式及AC夾緊模式中的任一夾緊模式，可在處理及夾緊工件之前或期間執行該夾緊模式。
[0036]因此，本發明提供一種新穎且具優勢的靜電夾鉗設計，其提供了在三平衡電極AC 操作與雙平衡電極DC操作之間切換的能力，因此相較于常規的ESC，其提供了特定的ESC能夠操作的明顯更加寬泛的溫度范圍。
[0037]雖然已就某些實施方案對本發明加以闡述，但需指出，上述實施方案僅作為實施本發明某些實施方案的實施例，本發明的應用并非局限于這些實施方案。特別關于由上述組件(總成、裝置、電路等)執行的各種功能，若非特別注明，否則用于描述這些組件的術語 (包括提及“構件”)旨在對應于執行所述組件的特定功能(即功能上等同)的任意部件，即便其在結構上不等同于執行本文所述的本發明典型實施方案所公開的結構亦然。另外，雖然僅就多個實施方案中的一種方案公開本發明的特定特征，如若適于或利于任何指定或特定應用，則這一特征可結合其它實施方案的一個或多個其他特征。相應地，本發明不限于上述實施方案，但旨在僅受所附權利要求書及其等同變化的限制。
【主權項】
1.一種靜電夾緊系統，其包括:靜電夾盤，其具有與其相關聯的夾緊表面，其中所述靜電夾鉗包括第一對電極及第二 對電極，其中所述第一對電極中的每一電極與所述夾緊表面的相應三分之一相關聯，并且 所述第二對電極中的每一電極與所述夾緊表面的相應六分之一相關聯；電源供應器，其配置成選擇性輸出DC箝位電壓及三相AC箝位電壓；以及控制器，其配置成選擇性以DC模式及AC模式操作所述靜電夾鉗，其中所述DC模式將所述第一對電極中的一個電極及所述第二對電極中的一個電極電 性連接至所述電源供應器的正極端子，并且將所述第一對電極中的另一電極及所述第二對 電極中的另一電極電性連接至所述電源供應器的負極端子，并且所述AC模式將所述電源供 應器的第一相端子電性連接至所述第一對電極中的一個電極，將所述電源供應器的第二相 端子電性連接至所述第一對電極中的另一電極，并且將所述電源供應器的第三相端子電性 連接至所述第二對電極的兩個電極。2.如權利要求1所述的靜電夾緊系統，其中所述第一對電極及所述第二對電極中的每 一對都由與所述夾緊表面的中心相關聯的中央區域以及與所述夾緊表面的外圍相關聯的 外圍區域定義。3.如權利要求2所述的靜電夾緊系統，其中當垂直于所述夾緊表面來看時，所述中央區 域的面積大于所述外圍區域的面積。4.如權利要求2所述的靜電夾緊系統，其中所述第一對電極及所述第二對電極中的每 一對的所述中央區域及外圍區域都分別彼此相鄰。5.如權利要求2所述的靜電夾緊系統，其中所述第一對電極及所述第二對電極中的每 一對的所述中央區域大體上呈餅形。6.如權利要求5所述的靜電夾緊系統，其中所述第一對電極及所述第二對電極中的每 一對的所述外圍區域大體上呈螺旋形。7.如權利要求6所述的靜電夾緊系統，其中所述第一對電極及所述第二對電極中的每 一對的所述外圍區域大體上朝所述夾緊表面的外圍使相應的所述第一對電極及所述第二 對電極的寬度遞減。8.如權利要求5所述的靜電夾緊系統，其中所述第一對電極彼此鄰接，并且所述第二對 電極彼此鄰接。9.一種靜電夾緊系統，其包括:靜電夾盤，其具有與其相關聯的夾緊表面，其中所述靜電夾鉗包括第一對電極及第二 對電極，其中所述第一對電極中的每一電極與所述夾緊表面的相應三分之一相關聯，并且 所述第二對電極中的每一電極與所述夾緊表面的相應六分之一相關聯，其中所述第一對電 極及所述第二對電極中的每一對都由與所述夾緊表面的中心相關聯的中央區域以及與所 述夾緊表面的外圍相關聯的外圍區域定義，其中所述第一對電極及所述第二對電極中的每 一對的所述中央區域大體上呈餅形，并且所述第一對電極及所述第二對電極中的每一對的 所述外圍區域大體上呈螺旋形；電源供應器，其配置成選擇性輸出DC箝位電壓及三相AC箝位電壓；以及控制器，其配置成選擇性以DC模式及AC模式操作所述靜電夾鉗，其中所述DC模式將所述第一對電極中的一個電極及所述第二對電極中的一個電極電性連接至所述電源供應器的正極端子，并且將所述第一對電極中的另一電極及所述第二對 電極中的另一電極電性連接至所述電源供應器的負極端子，并且所述AC模式將所述電源供 應器的第一相端子電性連接至所述第一對電極中的一個電極，將所述電源供應器的第二相 端子電性連接至所述第一對電極中的另一電極，并且將所述電源供應器的第三相端子電性 連接至所述第二對電極的兩個電極。10.如權利要求9所述的靜電夾緊系統，其中當垂直于所述夾緊表面來看時，所述中央 區域的面積大于所述外圍區域的面積。11.如權利要求9所述的靜電夾緊系統，其中當垂直于所述夾緊表面來看時，所述中央 區域的面積大致等于所述外圍區域的面積。12.如權利要求9所述的靜電夾緊系統，其中當垂直于所述夾緊表面來看時，所述第一 對電極及所述第二對電極中的每一對的所述中央區域及外圍區域都分別彼此相鄰。13.如權利要求9所述的靜電夾緊系統，其中所述第一對電極及所述第二對電極中的每 一對的所述外圍區域大致界定黃金螺旋。14.如權利要求9所述的靜電夾緊系統，其中所述第一對電極及所述第二對電極中的每 一對的所述外圍區域大體上朝所述夾緊表面的外圍使相應的所述第一對電極及所述第二 對電極的寬度遞減。15.如權利要求9所述的靜電夾緊系統，其中所述第一對電極彼此鄰接，并且所述第二 對電極彼此鄰接。16.—種用于夾緊工件的方法，該方法包括:提供靜電夾盤，其具有與其相關聯的夾緊表面，其中所述靜電夾鉗包括第一對電極及 第二對電極，其中所述第一對電極中的每一電極與所述夾緊表面的相應三分之一相關聯， 并且所述第二對電極中的每一電極與所述夾緊表面的相應六分之一相關聯；基于與處理工件相關聯的一個或多個工藝參數，選擇DC夾緊模式及AC夾緊模式中的一 個夾緊模式；以及當選擇所述DC夾緊模式時，將所述第一對電極中的一個電極及所述第二對電極中的一 個電極電性連接至DC電源供應器的正極端子，并且將所述第一對電極中的另一電極及所述 第二對電極中的另一電極電性連接至所述DC電源供應器的負極端子，并且當選擇AC夾緊模 式時，將AC電源供應器的第一相端子電性連接至所述第一對電極中的一個電極，將所述AC 電源供應器的第二相端子電性連接至所述第一對電極中的另一電極，并且將所述AC電源供 應器的第三相端子電性連接至所述第二對電極的兩個電極。17.如權利要求16所述的方法，其中所述與處理工件相關聯的一個或多個工藝參數包 括工件與靜電夾鉗之間的所需夾緊力以及處理工件的處理溫度中的一個或多個。18.如權利要求16所述的方法，該方法進一步包括:將工件選擇性夾緊至所述靜電夾鉗 的所述夾緊表面是通過當在所述DC夾緊模式時經由所述DC電源供應器而在所述AC夾緊模 式時則經由所述AC電源供應器向所述第一對電極及所述第二對電極施加箝位電壓。19.如權利要求16所述的方法，其中選擇所述DC夾緊模式及AC夾緊模式中的一個夾緊 模式是在處理工件之前執行。20.如權利要求19所述的方法，其中選擇所述DC夾緊模式及AC夾緊模式中的一個夾緊 模式是進一步在處理工件期間執行。
【文檔編號】H01L21/683GK105993069SQ201580007873
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2015年2月6日
【發明人】威廉·戴維斯·李
【申請人】艾克塞利斯科技公司