一種超薄晶圓片吸附搬運機構的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及機械領域，特別涉及一種超薄晶圓片吸附搬運機構。
【背景技術】
[0002]在半導體專用設備制造過程中，實現硅片的自動取、放和自動傳輸是一項關鍵技術。在現代化的生產設備中，常見的對晶片抓取裝置有:夾持式、電磁吸附式、真空吸盤吸附式等。其中夾持式晶片抓取裝置容易造成晶片損壞，電磁吸附式晶片抓取裝置和真空吸盤吸附式晶片抓取裝置結構較為復雜，零件加工難度大，還存在難以控制的問題。

【發明內容】

[0003]本發明提供了一種超薄晶圓片吸附搬運機構，其目的是為了解決抓取裝置容易造成晶片損壞的問題。
[0004]為了達到上述目的，本發明的實施例提供了一種超薄晶圓片吸附搬運機構，包括:
[0005]磁偶式無桿氣缸，包括沿第一方向設置的滑桿；
[0006]沿第二方向設置的安裝板，所述安裝板的第一端滑動地設置在所述滑桿上，通過所述磁偶式無桿氣缸驅動所述安裝板沿所述滑桿移動；
[0007]滑臺連接結構，滑動連接在所述安裝板的第二端上，且所述滑臺連接結構上固定有滑臺；
[0008]驅動機構，與所述滑臺連接結構連接，用于驅動所述滑臺連接結構相對于所述安裝板沿所述第二方向運動；
[0009]吸附裝置，用于吸附超薄晶圓片，設置在所述滑臺上，且所述吸附裝置有多個，包括:
[0010]設置在所述滑臺的上端面的真空導柱；
[0011]通過螺母固定在所述真空導柱上，設置在所述滑臺下端面的軟透明吸嘴，所述多個軟透明吸嘴的吸附底面在同一平面上。
[0012 ]進一步地，所述第一方向與所述第二方向相垂直。
[0013]其中，所述滑臺連接結構包括:
[0014]滑臺固定端，所述滑臺固定端的一側與所述安裝板滑動地連接，所述滑臺固定端的另一側設置有一凹槽；
[0015]滑臺移動端，固定安裝在所述滑臺固定端的凹槽內，且所述驅動機構安裝在所述滑臺固定端和所述滑臺移動端之間。
[0016]其中，所述滑臺包括:
[0017]對稱安裝在所述滑臺移動端的兩側的第一固定板和第二固定板；
[0018]所述第一固定板和所述第二固定板的外側分別水平安裝一吸附裝置安裝板，所述吸附裝置安裝板上設置有多個通孔，用于安裝所述吸附裝置。
[0019]進一步地，所述第一固定板和所述第二固定板相平行，且沿第三方向延伸。
[0020]進一步地，所述第三方向與所述第二方向相垂直;且所述第三方向與所述第一方向相垂直。
[0021 ]其中，所述驅動機構包括至少一氣動元件。
[0022]其中，所述軟透明吸嘴為錐形吸嘴。
[0023]本發明的上述方案的有益效果如下:
[0024]本發明所提供的超薄晶圓片吸附搬運機構采用了磁偶式無桿氣缸和軟透明吸嘴的雙重結構設計，使該裝置整體結構緊湊，安裝簡單，結構可靠、運行平穩。
【附圖說明】
[0025]圖1為本發明的結構示意圖。
[0026]【附圖標記說明】
[0027]1-滑桿;2-安裝板;3-驅動機構;4-真空導柱;5-軟透明吸嘴;6-滑臺固定端;7-滑臺移動端;8-第一固定板;9-第二固定板;10-吸附裝置安裝板。
【具體實施方式】
[0028]為使本發明要解決的技術問題、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。
[0029]本發明針對現有的抓取裝置容易造成晶片損壞的問題，提供了一種超薄晶圓片吸附搬運機構。
[0030]如圖1所示，本發明的實施例提供了一種超薄晶圓片吸附搬運機構，包括:磁偶式無桿氣缸，包括沿第一方向設置的滑桿1;沿第二方向設置的安裝板2，所述安裝板2的第一端滑動地設置在所述滑桿1上，通過所述磁偶式無桿氣缸驅動所述安裝板2沿所述滑桿1移動;滑臺連接結構，滑動連接在所述安裝板2的第二端上，且所述滑臺連接結構上固定有滑臺；驅動機構3，與所述滑臺連接結構連接，用于驅動所述滑臺連接結構相對于所述安裝板2沿所述第二方向運動；吸附裝置，用于吸附超薄晶圓片，設置在所述滑臺上，且所述吸附裝置有多個，包括:設置在所述滑臺的上端面的真空導柱4;通過螺母固定在所述真空導柱4上，設置在所述滑臺下端面的軟透明吸嘴5，所述多個軟透明吸嘴5的吸附底面在同一平面上。
[0031]進一步地，所述第一方向與所述第二方向相垂直。
[0032]本發明的上述實施例所述的超薄晶圓片吸附搬運機構所述磁偶式無桿氣缸和滑臺連接結構固定在所述安裝板2上;驅動機構3安裝在所述滑臺連接結構上;所述磁偶式無桿氣缸帶動所述安裝板2沿第一方向運動，所述驅動機構3帶動所述滑臺連接結構沿第二方向運動，從而實現搬運超薄晶圓片的目的;所述滑臺上安裝有8個真空導柱4，分別固定在所述滑臺的上端面，8個軟透明吸嘴5分別固定在所述滑臺的下端面，所述軟透明吸嘴5用來吸附超薄晶圓片，起到緩沖和平衡的作用，防止超薄晶圓片損壞。
[0033]其中，所述滑臺連接結構包括:滑臺固定端6，所述滑臺固定端6的一側與所述安裝板2滑動地連接，所述滑臺固定端6的另一側設置有一凹槽;滑臺移動端7，固定安裝在所述滑臺固定端6的凹槽內，且所述驅動機構3安裝在所述滑臺固定端6和所述滑臺移動端7之間。
[0034]本發明的上述實施例所述的滑臺連接結構包括滑臺固定端6和滑臺移動端7，且所述驅動機構3安裝在所述滑臺固定端6和所述滑臺移動端7之間，所述驅動機構3帶動所述滑臺連接結構在所述安裝板2上沿第二方向運動。
[0035]其中，所述滑臺包括:對稱安裝在所述滑臺移動端7的兩側的第一固定板8和第二固定板9;所述第一固定板8和所述第二固定板9的外側分別水平安裝一吸附裝置安裝板10，所述吸附裝置安裝板10上設置有多個通孔，用于安裝所述吸附裝置。
[0036]進一步地，所述第一固定板8和所述第二固定板9相平行，且沿第三方向延伸。
[0037]本發明的上述實施例所述的滑臺包括第一固定板8和第二固定板9，對稱設置在滑臺移動端7的兩側，所述固定板上向外水平安裝有吸附裝置安裝板10，所述吸附裝置安裝板10上設置有多個通孔，用于安裝所述真空導柱4和所述軟透明吸嘴5。
[0038]進一步地，所述第三方向與所述第二方向相垂直;且所述第三方向與所述第一方向相垂直。
[0039]其中，所述驅動機構3包括至少一氣動元件。
[0040]本發明的上述實施例所述的驅動機構3安裝在所述滑臺連接結構上，包括至少一氣動元件，通過所述氣動元件控制所述滑臺連接結構在所述安裝板2上移動。
[0041 ]其中，所述軟透明吸嘴5為錐形吸嘴。
[0042]本發明的上述實施例所述的超薄晶圓片吸附搬運機構所述磁偶式無桿氣缸和滑臺連接結構固定在所述安裝板2上;驅動機構3安裝在所述滑臺連接結構上;所述磁偶式無桿氣缸帶動所述安裝板2沿第一方向運動，所述驅動機構3帶動所述滑臺連接結構沿第二方向運動，從而實現搬運超薄晶圓片的目的;所述滑臺上安裝有8個真空導柱4，分別固定在所述滑臺的上端面，8個軟透明吸嘴5分別固定在所述滑臺的下端面，所述軟透明吸嘴5用來吸附超薄晶圓片，起到緩沖和平衡的作用，防止超薄晶圓片損壞，同時使該裝置整體結構緊湊，安裝簡單，結構可靠、運行平穩。
[0043]以上所述是本發明的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發明的保護范圍。
【主權項】
1.一種超薄晶圓片吸附搬運機構，其特征在于，包括: 磁偶式無桿氣缸，包括沿第一方向設置的滑桿； 沿第二方向設置的安裝板，所述安裝板的第一端滑動地設置在所述滑桿上，通過所述磁偶式無桿氣缸驅動所述安裝板沿所述滑桿移動； 滑臺連接結構，滑動連接在所述安裝板的第二端上，且所述滑臺連接結構上固定有滑臺； 驅動機構，與所述滑臺連接結構連接，用于驅動所述滑臺連接結構相對于所述安裝板沿所述第二方向運動； 吸附裝置，用于吸附超薄晶圓片，設置在所述滑臺上，且所述吸附裝置有多個，包括: 設置在所述滑臺的上端面的真空導柱； 通過螺母固定在所述真空導柱上，設置在所述滑臺下端面的軟透明吸嘴，所述多個軟透明吸嘴的吸附底面在同一平面上。2.根據權利要求1所述的超薄晶圓片吸附搬運機構，其特征在于，所述第一方向與所述第二方向相垂直。3.根據權利要求1所述的超薄晶圓片吸附搬運機構，其特征在于，所述滑臺連接結構包括: 滑臺固定端，所述滑臺固定端的一側與所述安裝板滑動地連接，所述滑臺固定端的另一側設置有一凹槽； 滑臺移動端，固定安裝在所述滑臺固定端的凹槽內，且所述驅動機構安裝在所述滑臺固定端和所述滑臺移動端之間。4.根據權利要求3所述的超薄晶圓片吸附搬運機構，其特征在于，所述滑臺包括: 對稱安裝在所述滑臺移動端的兩側的第一固定板和第二固定板； 所述第一固定板和所述第二固定板的外側分別水平安裝一吸附裝置安裝板，所述吸附裝置安裝板上設置有多個通孔，用于安裝所述吸附裝置。5.根據權利要求4所述的超薄晶圓片吸附搬運機構，其特征在于，所述第一固定板和所述第二固定板相平行，且沿第三方向延伸。6.根據權利要求5所述的超薄晶圓片吸附搬運機構，其特征在于，所述第三方向與所述第二方向相垂直;且所述第三方向與所述第一方向相垂直。7.根據權利要求2所述的超薄晶圓片吸附搬運機構，其特征在于，所述驅動機構包括至少一氣動元件。8.根據權利要求1所述的超薄晶圓片吸附搬運機構，其特征在于，所述軟透明吸嘴為錐形吸嘴。
【專利摘要】本發明提供了一種超薄晶圓片吸附搬運機構，包括：磁偶式無桿氣缸，包括沿第一方向設置的滑桿；沿第二方向設置的安裝板，所述安裝板的第一端滑動地設置在所述滑桿上，通過所述磁偶式無桿氣缸驅動所述安裝板沿所述滑桿移動；滑臺連接結構，滑動連接在所述安裝板的第二端上，且所述滑臺連接結構上固定有滑臺；驅動機構，與所述滑臺連接結構連接，用于驅動所述滑臺連接結構相對于所述安裝板沿所述第二方向運動；吸附裝置，用于吸附超薄晶圓片，設置在所述滑臺上，且所述吸附裝置有多個。本發明所提供的超薄晶圓片吸附搬運機構采用了磁偶式無桿氣缸和軟透明吸嘴的雙重結構設計，使該裝置整體結構緊湊，安裝簡單，結構可靠、運行平穩。
【IPC分類】H01L21/677, H01L21/683
【公開號】CN105489543
【申請號】CN201510924064
【發明人】張文斌, 衣忠波, 張景瑞, 賀東葛, 劉宇光
【申請人】北京中電科電子裝備有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2015年12月11日