改良型芯片腐蝕提籃的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及芯片制造的腐蝕提籃，特別涉及一種改良型芯片腐蝕提籃。
【背景技術】
[0002]在芯片生產過程中，其中需要對芯片進行深溝腐蝕工藝，腐蝕時，將需要腐蝕的芯片放置在腐蝕提籃中。目前的腐蝕提籃大多數如中國專利授權公告號CN201785494U(授權公告日20 11.04.06 )公開的一種用于制作娃片的花籃機構或中國專利授權公告號〇吧021030321](授權公告日2012.01.04)公開的一種晶片清洗及干燥花籃或中國專利授權公告號0吧031798511](授權公告日2013.09.04)公開的一種可以防止硅片懸浮的花籃，但是上述的花籃均不能有效防止芯片在花籃內的徑向活動，從而影響芯片生產質量。

【發明內容】

[0003]本發明的目的在于針對現有技術的上述不足和缺陷，提供一種改良型芯片腐蝕提籃，以解決上述問題，
[0004]本發明所解決的技術問題可以采用以下技術方案來實現:
[0005]改良型芯片腐蝕提籃，包括前面板、后面板和一對側面板圍成的籃體，所述前面板和后面板上至少設置一過流孔，其特征在于，還包括:
[0006]一對平行間隔設置在所述籃體底部的水平支撐柱，所述水平支撐柱的兩端分別固定在所述一對側面板的底部內表面，所述水平支撐柱上沿長度方向間隔設置有若干第一芯片卡槽；
[0007]—設置在所述籃體中部的橫壓柱，所述一對側面板的中部設置有一弧形孔，所述橫壓柱的兩端分別滑動設置在所述弧形孔上，所述橫壓柱沿長度方向間隔設置有若干與所述第一芯片卡槽配合的第二芯片卡槽；
[0008]設置在所述一對側面板外側的轉動臂，所述轉動臂的一端通過轉軸旋轉地設置在所述側面板外側上，所述轉動臂的另一端與所述橫壓柱延伸出所述弧形孔的端部連接；
[0009]設置在所述一對側面板外側的轉動定位鉤，當所述橫壓柱轉動到上止點時，所述轉動定位鉤限制所述橫壓柱運動。
[0010]由于采用了如上的技術方案，當芯片的底部固定在第一芯片卡槽時，通過轉動臂帶動橫壓柱轉動，使得橫壓柱運動至上止點，此時第二芯片卡槽卡在芯片的頂部，所以第一芯片卡槽和第二芯片卡槽共同限制芯片的徑向活動，接著通過轉動定位鉤限制橫壓柱運動即可。當需要取出芯片時，只需要外翻轉動定位鉤，解除對橫壓柱的限制，再通過轉動臂帶動橫壓柱運動到下止點，即可將芯片從籃體中取出。本發明能夠有效限制芯片在腐蝕過程中的徑向活動，保證芯片生產質量。
【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1是本發明一種實施例的主視圖(省略轉動定位鉤)。
[0013]圖2是圖1的側視圖。
[0014]圖3是圖1的B-B向剖視圖。
[0015]圖4是圖1的A-A向剖視圖(省略轉動定位鉤)。
【具體實施方式】
[0016]為了使本發明實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面進一步闡述本發明。
[0017]參見圖1至圖4所示的改良型芯片腐蝕提籃，包括前面板110、后面板120和一對側面板130圍成的籃體100，前面板110和后面板120的上部設置一過流孔111、121。
[0018]在籃體100底部設置一對平行間隔的水平支撐柱200，水平支撐柱200的兩端分別焊接在一對側面板130的底部內表面。水平支撐柱200上沿長度方向間隔設置有若干第一芯片卡槽210。
[0019]在籃體100中部設置有一橫壓柱300，一對側面板130的中部設置有一弧形孔131，橫壓柱300的兩端301分別滑動設置在弧形孔131上。橫壓柱300沿長度方向間隔設置有若干與第一芯片卡槽210配合的第二芯片卡槽310。
[0020]在一對側面板130外側設置有轉動臂400，轉動臂400的一端通過轉軸410旋轉地設置在側面板130外側上，轉動臂400的另一端與橫壓柱300延伸出弧形孔131的端部連接。
[0021]在一對側面板130外側還設置有轉動定位鉤500，轉動定位鉤500的一端通過轉軸510旋轉地設置在側面板130外側上，轉動定位鉤500的另一端具有勾邊520，當橫壓柱300轉動到上止點時，轉動定位鉤500限制橫壓柱300運動。
[0022]本發明的工作原理如下:
[0023]當芯片600的底部固定在第一芯片卡槽210時，通過轉動臂400帶動橫壓柱300轉動，使得橫壓柱300運動至上止點，此時第二芯片卡槽310卡在芯片600的頂部，所以第一芯片卡槽210和第二芯片卡槽310共同限制芯片600的徑向活動，接著通過轉動定位鉤500限制橫壓柱300運動即可。當需要取出芯片600時，只需要外翻轉動定位鉤500，解除對橫壓柱300的限制，再通過轉動臂400帶動橫壓柱300運動到下止點，即可將芯片600從籃體100中取出。
[0024]本發明能夠有效限制芯片600在腐蝕過程中的徑向活動，保證芯片生產質量。
[0025]以上顯示和描述了本發明的基本原理和主要特征和本發明的優點。本行業的技術人員應該了解，本發明不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本發明的原理，在不脫離本發明精神和范圍的前提下，本發明還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本發明范圍內。本發明要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【主權項】
1.改良型芯片腐蝕提籃，包括前面板、后面板和一對側面板圍成的籃體，所述前面板和后面板上至少設置一過流孔，其特征在于，還包括: 一對平行間隔設置在所述籃體底部的水平支撐柱，所述水平支撐柱的兩端分別固定在所述一對側面板的底部內表面，所述水平支撐柱上沿長度方向間隔設置有若干第一芯片卡槽； 一設置在所述籃體中部的橫壓柱，所述一對側面板的中部設置有一弧形孔，所述橫壓柱的兩端分別滑動設置在所述弧形孔上，所述橫壓柱沿長度方向間隔設置有若干與所述第一芯片卡槽配合的第二芯片卡槽； 設置在所述一對側面板外側的轉動臂，所述轉動臂的一端通過轉軸旋轉地設置在所述側面板外側上，所述轉動臂的另一端與所述橫壓柱延伸出所述弧形孔的端部連接； 設置在所述一對側面板外側的轉動定位鉤，當所述橫壓柱轉動到上止點時，所述轉動定位鉤限制所述橫壓柱運動。
【專利摘要】本發明公開了一種改良型芯片腐蝕提籃，包括前面板、后面板和一對側面板圍成的籃體，一對平行間隔設置在籃體底部的水平支撐柱，水平支撐柱的兩端分別固定在一對側面板的底部內表面，水平支撐柱上沿長度方向間隔設置有若干第一芯片卡槽；一設置在籃體中部的橫壓柱，一對側面板的中部設置有一弧形孔，橫壓柱的兩端分別滑動設置在弧形孔上，橫壓柱沿長度方向間隔設置有若干與第一芯片卡槽配合的第二芯片卡槽；設置在一對側面板外側的轉動臂，轉動臂的一端通過轉軸旋轉地設置在側面板外側上，轉動臂的另一端與橫壓柱延伸出弧形孔的端部連接；設置在一對側面板外側的轉動定位鉤，當橫壓柱轉動到上止點時，轉動定位鉤限制橫壓柱運動。
【IPC分類】H01L21/673
【公開號】CN105489538
【申請號】CN201510974353
【發明人】葛林新
【申請人】上海提牛機電設備有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2015年12月21日