技術編號:9728776
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。在芯片生產過程中,其中需要對芯片進行深溝腐蝕工藝,腐蝕時,將需要腐蝕的芯片放置在腐蝕提籃中。目前的腐蝕提籃大多數如中國專利授權公告號CN201785494U(授權公告日20 11.04.06 )公開的一種用于制作娃片的花籃機構或中國專利授權公告號〇吧021030321](授權公告日2012.01.04)公開的一種晶片清洗及干燥花籃或中國專利授權公告號0吧031798511](授權公告日2013.09.04)公開的一種可以防止硅片懸浮的花籃,但是上述的花籃均...
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