壓電振動片及壓電振動器的制造方法
【技術領域】
[0001 ] 本發明涉及壓電振動片及壓電振動器。
【背景技術】
[0002]—直以來，在便攜電話或便攜信息終端器中，作為用于時刻源或控制信號等的定時源、參考信號源等的器件，大多采用利用石英等的壓電振動器。作為這種壓電振動器，已知將壓電振動片氣密密封于形成有空腔的封裝件內的壓電振動器。
[0003]作為這樣的壓電振動片，已知具備基部和從基部延伸的一對振動臂及支撐臂的壓電振動片。另外，提出了如下的壓電振動片:支撐臂的基端側的部分以隨著朝向前端側而寬度逐漸變窄的方式以錐狀形成，支撐臂的前端側的部分寬度較寬地形成(參照下述專利文獻1)0
[0004]另外，提出了如下的壓電振動片:支撐臂具備從基部與振動臂的延伸方向平行地延伸的第2直線部、與第2直線部的前端連續地設置并彎曲形成的彎曲部以及與彎曲部的前端連續地設置并與振動臂的延伸方向平行地延伸的第1直線部(參照下述專利文獻2)。
[0005]專利文獻1:日本特開2010 - 87574號公報專利文獻2:日本特開2009 - 118302號公報。

【發明內容】

[0006]發明要解決的課題
然而，在上述專利文獻1所記載的壓電振動片中，在支撐臂的前端側的寬度較寬地形成的部分與基端側的以錐狀形成的部分的邊界部分形成有臺階部，容易在該臺階部產生所謂的蝕刻殘留物。因此，在該臺階部，存在在支撐臂產生缺口或支撐臂折斷這一問題點。
[0007]另外，在上述專利文獻2所記載的壓電振動片中，由于支撐臂彎曲形成，因而存在不能減少從壓電振動片向封裝件側的振動泄漏(振動能量的泄漏)的發生的可能性。
[0008]另外，由于支撐臂的寬度尺寸(一對支撐臂的離開方向的長度)恒定，因而在安裝于封裝件的第1直線部的前端側，還存在不能充分地確保接合面積，安裝強度變得不充分這一問題點。
[0009]因此，本發明是鑒于上述情況而作出的，提供抑制支撐臂部的破損并減少振動泄漏的發生而進一步提高安裝強度的壓電振動片及壓電振動器。
[0010]用于解決課題的方案
為了達成上述目的，本發明采用以下的方案。
[0011]S卩，本發明所涉及的壓電振動片具備:基部；一對振動臂部，從所述基部沿第一方向延伸，沿與所述第一方向相交的第二方向離開而配置；以及支撐臂部，從所述基部沿所述第一方向延伸，所述支撐臂部具有:第一臂部，形成為隨著朝向所述支撐臂部的前端部側，作為沿著所述第二方向的長度的寬度逐漸變窄；和第二臂部，形成為從該第一臂部沿所述第一方向延伸，隨著朝向所述前端部側，所述寬度變寬。
[0012]在這樣構成的壓電振動片中，由于支撐臂部的第一臂部形成為隨著朝向前端部側而寬度逐漸變窄，因而能夠抑制振動泄漏的發生。
[0013]另外，由于支撐臂部的第二臂部形成為隨著朝向前端部側而寬度逐漸變寬，因而能夠增大第二臂部的前端側的面積。因而，由于在第二臂部的前端側安裝于封裝件時，能夠增大安裝面積，因而能夠提高壓電振動片相對于封裝件的安裝強度。
[0014]另外，在容易產生蝕刻殘留物的支撐臂部的基端側，即第一臂部的基端側，其寬度比第一臂部的前端側更寬地形成。因而，由于能夠確保第一臂部的基端側的強度，因而能夠抑制支撐臂部的基端側的破損。另外，如果在支撐臂部形成有臺階部或切口，則容易產生蝕刻殘留物，但支撐臂部形成為，其寬度沿著第一方向逐漸變化。因而，支撐臂部沿著第一方向抑制蝕刻殘留物的產生。
[0015]另外，本發明所涉及的壓電振動片，優選，所述第一臂部及所述第二臂部的兩個側面分別以平面狀形成。
[0016]在這樣構成的壓電振動片中，由于第一臂部及第二臂部的兩個側面分別以平面狀形成，因而能夠簡易地制造支撐臂部。
[0017]另外，本發明所涉及的壓電振動片也可以是，所述支撐臂部具有從所述基部側延伸且前端側與所述第一臂部的基端側連接的延伸臂部，在所述延伸臂部的側面中的基部偵牝形成有異形部。
[0018]在這樣構成的壓電振動片中，形成為朝向第一方向而寬度變窄的第一臂部比延伸臂部更靠近支撐臂部的前端部側而設置。因而，容易產生異形部的支撐臂部的基端側，即延伸臂部形成為，其寬度比第一臂部的前端側更寬，因此能夠抑制支撐臂部的基端側的應力集中所導致的破損。
[0019]另外，本發明所涉及的壓電振動片也可以是，所述支撐臂部具有從所述第二臂部沿所述第一方向延伸且所述寬度恒定的前端臂部。
[0020]在這樣構成的壓電振動片中，與沿著第一方向而寬度變窄的情況相比，由于前端臂部的寬度恒定，因而前端臂部的面積變寬。在本發明中，由于為了安裝而涂敷于前端臂部的導電性粘接劑容易沿著支撐臂部的寬度方向(第二方向)潤濕擴散，因而抑制向第一方向過度潤濕擴散。因而，抑制導電性粘接劑到達沒有必要過度潤濕擴散而涂敷的第一臂部，能夠將前端臂部及第二臂部可靠地安裝于封裝件。
[0021]另外，由于前端臂部的寬度恒定，因而在前端臂部，沿著第一方向均勻地涂敷導電性粘接劑。因而，由于抑制前端臂部中的沿著第一方向的質量的偏差，因而能夠提高安裝強度。
[0022]另外，本發明所涉及的壓電振動片也可以是，所述第一臂部與所述第二臂部的邊界部比所述支撐臂部中的所述第一方向的中間位置更位于所述基部側。
[0023]在這樣構成的壓電振動片中，由于邊界部比支撐臂部的第一方向的中間位置更靠近基部側而配置，因而能夠延長從支撐臂部的前端部至邊界部的距離。因而，即使涂敷于支撐臂部的前端部的導電性粘接劑向第一方向潤濕擴散，也抑制到達邊界部。因而，抑制導電性粘接劑附著于邊界部而經由導電性粘接劑來泄漏振動。
[0024]另外，本發明所涉及的壓電振動片也可以是，所述第一臂部及所述第二臂部的一個側面以朝向所述第一方向延伸的平面狀形成，所述第一臂部的另一側面以隨著朝向前端部側而逐漸接近所述第一臂部的所述一個側面的方式以平面狀形成，所述第二臂部的另一側面以隨著朝向前端部側而逐漸離開所述第二臂部的所述一個側面的方式以平面狀形成。
[0025]在這樣構成的壓電振動片中，由于第一臂部及第二臂部的一個側面以朝向第一方向延伸的平面狀形成，因而能夠簡易地制造支撐臂部。
[0026]另外，本發明所涉及的壓電振動片也可以是，所述第二臂部的所述寬度尺寸沿著所述第一方向的變化率比所述第一臂部的所述寬度尺寸沿著所述第一方向的變化率更大。
[0027]在這樣構成的壓電振動片中，第二臂部的寬度尺寸沿著第一方向的變化率比第一臂部的寬度尺寸沿著第一方向的變化率更大。因而，第二臂部的寬度變寬的變化率大，因此能夠可靠地抑制振動泄漏。
[0028]另外，本發明所涉及的壓電振動器具備:封裝件，具有基底部件和疊合于所述基底部件而接合并在與所述基底部件之間形成有被氣密密封的空腔的蓋部件；和上述任一個所記載的壓電振動片，裝配于所述基底部件中的安裝面，容納于所述空腔的內部。
[0029]在這樣構成的壓電振動器中，由于支撐臂部的第一臂部形成為，隨著朝向前端部偵牝寬度逐漸變窄，因而能夠抑制振動泄漏的發生。
[0030]另外，由于支撐臂部的第二臂部形成為，隨著朝向前端部側，寬度逐漸變寬，因而第二臂部前端部側的面積比沿著第一方向而寬度變窄的情況更寬。因而，在第二臂部的前端側安裝于封裝件時，由于能夠增大安裝面積，因此能夠提高壓電振動片相對于封裝件的安裝強度。
[0031]另外，在容易產生蝕刻殘留物的支撐臂部的基端側，即第一臂部的基端側，其寬度比第一臂部的前端側更寬地形成。因而，能夠確保第一臂部的基端側的強度，因此能夠抑制支撐臂部的基端側的破損。另外，如果在支撐臂部形成有臺階部或切口，則容易產生蝕刻殘留物，但支撐臂部形成為，其寬度沿著第一方向而逐漸變化。因而，支撐臂部能抑制沿著第一方向產生蝕刻殘留物。
[0032]發明效果
依據本發明所涉及的壓電振動片及壓電振動器，能夠抑制支撐臂部的破損，同時，減少振動泄漏的發生，進一步提高安裝強度。
【附圖說明】
[0033]圖1是示出本發明的第一實施方式所涉及的壓電振動器的外觀立體圖。
[0034]圖2是示出本發明的第一實施方式所涉及的壓電振動器的分解立體圖。
[0035]圖3是示出本發明的第一實施方式所涉及的壓電振動器的內部構造的平面圖。
[0036]圖4是圖3中的A — A截面圖。
[0037]圖5是示出構成本發明的第一實施方式所涉及的壓電振動器的壓電振動片的外觀立體圖。
[0038]圖6是示出構成本發明的第一實施方式所涉及的壓電振動器的壓電振動片的(a)平面圖、(b)側面圖。
[0039]圖7是示出構成本發明的第一實施方式的變形例1所涉及的壓電振動器的壓電振動片的(a)平面圖、(b)側面圖。
[0040]圖8是示出構成本發明的第一實施方式的變形例2所涉及的壓電振動器的壓電振動片的(a)平面圖、(b)側面圖。
[0041]圖9是本發明的(a)第二實施方式所涉及的壓電振動片的平面圖、(b)第二實施方式的變形例1所涉及的壓電振動片的平面圖、(c)第二實施方式的變形例2所涉及的壓電振動片的平面圖。
【具體實施方式】
[0042](第一實施方式)
作為本發明的第一實施方式，對壓電振動器進行說明。
[0043]圖1是示出本發明的第一實施方式所涉及的壓電振動器的外觀立體圖。圖2是示出本發明的第一實施方式所涉及的壓電振動器的分解立體圖。圖3是示出本發明的第一實施方式所涉及的壓電振動器的內部構造的平面圖。圖4是圖3中的A — A截面圖。
[0044]在以下所說明的圖1?圖9的說明中，設定XYZ坐標系，參照該XYZ坐標系，同時，說明各部件的位置關系。此時，將壓電振動器1 (參照圖1)的厚度方向設為Z軸方向，將壓電振動器1的長度方向設為Y軸方向，將作為壓電振動器1的寬度方向的與Y軸方向和z軸方向的雙方正交的方向設為X軸方向。
[0045](壓電振動器)
如圖1?4所示，壓電振