一種硅異質結太陽能電池、其退火方法及其制備方法
【技術領域】
[0001] 本發明設及太陽能電池領域，尤其設及一種娃異質結太陽能電池、其退火方法及 其制備方法。
【背景技術】
[0002] 隨著能源在國民經濟中戰略地位的不斷提高和對太陽能利用技術的不斷發展，光 伏發電系統得到了廣泛關注，低成本、高效率是其未來發展的方向。光伏發電系統包括光伏 發電組件和光伏系統平衡部件度alanceOfSystem, 60S)。目前，光伏發電組件中的太陽 能電池W晶娃電池為主，實現晶娃電池高轉換效率的技術主要有：選擇性發射極技術、背接 觸高效技術、金屬穿孔卷繞技術、晶娃異質結技術等。其中，娃異質結太陽能電池技術與其 它技術相比，具備制程溫度低、結構簡單、轉換效率高等優勢。
[0003] 現有的一種娃異質結太陽能電池的制作方法包括：娃片去損傷層，制絨，清洗，非 晶娃薄膜沉積，透明導電氧化物薄膜（Transparent Con化Ctive化ide，TC0)沉積，絲網銀 (Ag)電極印刷，退火。其中，絲網銀電極印刷用于形成銀柵線。退火的作用，一方面，消除在 薄膜沉積過程中因受到轟擊等導致的離子體損傷和應力缺陷，從而降低了缺陷密度（包括 晶體娃/非晶娃薄膜的界面的缺陷態密度、非晶娃薄膜內的缺陷態密度），并降低了娃異質 結太陽能電池中的TCO/非晶娃薄膜，TCO/Ag電極的界面電阻，有利于娃異質結太陽能電池 的開路電壓（Open-circuit voltage, Voc)和填充因子（Fill factor, FF)的提升；另一方 面，對銀漿進行烘干與燒結，使得其中的有機溶劑揮發，從而提高銀漿與TCO的粘結強度， 有利于娃異質結太陽能電池的組件焊接拉力，有機溶劑的揮發也提高了銀柵線的電導率， 即降低娃異質結太陽能電池的電阻損耗，有利于娃異質結太陽能電池的FF的提升。
[0004] 當在娃片上完成上述絲網電極印刷后，現有的一種對該娃片進行退火的方式是： 首先對該娃片在溫度為120攝氏度（°C )至150°C且時長為1分鐘（minute,min)至IOmin 的條件下進行低溫固化，W揮發銀漿中的有機溶劑；然后對該娃片在溫度約200°C且時長 為5min至30min的條件下進行高溫固化，進一步揮發銀漿中的有機溶劑，同時消除薄膜沉 積過程中因受到轟擊等導致的離子體損傷和應力缺陷。
[0005] 在上述退火的過程中，因在200°C運樣的較高溫度下的時間較長，會導致非晶娃薄 膜內的Si-H鍵斷裂，形成深能級缺陷，增加非晶娃薄膜內的缺陷態密度，另外，也會導致P 型非晶娃中棚原子的擴散，降低P型薄膜的有效滲雜，導致娃異質結太陽能電池PN結內建 電場降低，不利于載流子傳輸，降低了非晶娃薄膜的質量；縮短時間則會出現銀漿中的有機 溶劑不能充分揮發的問題。上述的一種對娃片進行退火的方式，實際上難W使得娃異質結 太陽能電池的界面性能、非晶娃薄膜的質量、銀柵線的電阻值均達到最優，不能最大限度提 高娃異質結太陽能電池的轉換效率巧fficiency，EFF)。

【發明內容】

[0006] 本發明實施例的目的是提供一種娃異質結太陽能電池、其退火方法及其制備方 法，用于解決現有的退火方法難W使得娃異質結太陽能電池的界面性能、非晶娃薄膜的質 量、銀柵線的電阻值均達到最優，不能最大限度提高娃異質結太陽能電池的轉換效率。
[0007] 本發明實施例的目的是通過W下技術方案實現的：
[0008] 一種娃異質結太陽能電池的退火方法，包括：
[0009] 采用第一溫度對娃片進行第一時長的加熱處理；其中，第一溫度為120°C至150°C; 第一時長為5min至30min ;
[0010] 采用第二溫度對娃片進行第二時長的加熱處理；其中，第二溫度為260°C至350°C; 第二時長為5s至30s。
[0011] 較佳地，第二溫度為300°C至320°C ;第二時長為10s。
[0012] 較佳地，采用第二溫度對娃片進行第二時長的加熱處理之后，該方法還包括：
[0013] 采用第=溫度對娃片進行第=時長的加熱處理；其中，第=溫度為130°C至160°C; 第S時長為IOmin至60min。
[0014] 較佳地，第S時長為30min。
[0015] 較佳地，采用第一溫度對娃片進行第一時長的加熱處理之后，采用第二溫度對娃 片進行第二時長的加熱處理之前，該方法還包括：
[0016] 采用第四溫度對娃片進行第四時長的加熱處理；其中，第四溫度為190°C至200°C; 第四時長為Imin至lOmin。
[0017] 較佳地，第四時長為2min至5min。
[0018] 較佳地，采用第二溫度對娃片進行第二時長的加熱處理時，所采用的加熱方式為 熱板加熱或者紅外加熱。
[0019] 一種娃異質結太陽能電池的制備方法，包括W上任一項所述的娃異質結太陽能電 池的退火方法。
[0020] 一種娃異質結太陽能電池，采用W上所述的娃異質結太陽能電池的制備方法制備 而成。
[0021] 本發明實施例的有益效果如下：
[0022] 本發明實施例提供的一種娃異質結太陽能電池、其退火方法及其制備方法中，采 用第一溫度為120°C至150°C、第一時長為5min至30min的加熱條件，對娃片進行加熱處 理，實現了低溫固化處理，與上述現有的退火方式相比，可W延長低溫固化的時間，W充分 揮發銀漿中的有機溶劑，固化漿料，降低了銀柵線的電阻；然后，采用第二溫度為260°C至 350°C、第二時長為5s至30s的加熱條件，對該娃片進行加熱處理，實現了高溫快速熱處理， 與上述現有的退火的實現方式相比，加熱的溫度提高到260°C至350°C，運樣，較高加熱溫 度可W有效降低晶體娃/非晶娃薄膜的界面的缺陷態密度，和TCO/非晶娃薄膜、TCO/Ag電 極的界面電阻，且較高加熱溫度的時長僅5s至30s，加熱時長非常短，不會導致非晶娃薄膜 內的缺陷態密度的增加，因此，最終得到的娃異質結太陽能電池的界面性能、非晶娃薄膜質 量、銀柵線的電阻值均可W達到最優，從而使得娃異質結太陽能電池的開路電壓和填充因 子較高，最大限度提高了娃異質結太陽能電池的轉換效率。
【附圖說明】
[0023] 圖1為本發明實施例提供的一種娃異質結太陽能電池的退火方法的流程圖；
[0024] 圖2為本發明實施例提供的另一種娃異質結太陽能電池的退火方法的流程圖；
[0025] 圖3為本發明實施例提供的又一種娃異質結太陽能電池的退火方法的流程圖；
[0026] 圖4為本發明實施例提供的再一種娃異質結太陽能電池的退火方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0027] 下面結合附圖和實施例對本發明提供的一種娃異質結太陽能電池、其退火方法及 其制備方法進行更詳細地說明。
[0028] 本發明實施例提供一種娃異質結太陽能電池的退火方法，如圖1所示，該方法至 少包括如下步驟：
[0029] 步驟110 :采用第一溫度對娃片進行第一時長的加熱處理；其中，第一溫度為 120°C至 150°C;第一時長為 5min 至 30min。
[0030] 其中，娃片是指已完成絲網電極印刷的娃片。