本(ben)發(fa)明是關于一種晶(jing)圓轉(zhuan)(zhuan)向(xiang)裝置(zhi)，特別是一種將晶(jing)圓的(de)擺放方式由平放或直放之間改變，并將晶(jing)圓從不同載具之間轉(zhuan)(zhuan)換的(de)晶(jing)圓轉(zhuan)(zhuan)向(xiang)裝置(zhi)。

背景技術：

在(zai)(zai)(zai)半導體工(gong)藝(yi)中，需(xu)要對晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)進(jin)行多種加工(gong)工(gong)藝(yi)。在(zai)(zai)(zai)不(bu)同(tong)(tong)工(gong)藝(yi)中，用來承載(zai)(zai)(zai)(zai)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)載(zai)(zai)(zai)(zai)具也(ye)會(hui)不(bu)用，并(bing)且晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)擺放(fang)(fang)(fang)方(fang)(fang)(fang)(fang)式(shi)也(ye)會(hui)不(bu)同(tong)(tong)。當晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)在(zai)(zai)(zai)不(bu)同(tong)(tong)載(zai)(zai)(zai)(zai)具和不(bu)同(tong)(tong)的(de)(de)(de)擺放(fang)(fang)(fang)方(fang)(fang)(fang)(fang)式(shi)之間轉換時，會(hui)使用許(xu)多裝(zhuang)置來讓(rang)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)在(zai)(zai)(zai)二個不(bu)同(tong)(tong)載(zai)(zai)(zai)(zai)具之間安全得(de)(de)(de)轉換。若是需(xu)要將平(ping)(ping)放(fang)(fang)(fang)在(zai)(zai)(zai)平(ping)(ping)臺或流水線機(ji)臺上(shang)(shang)的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)300放(fang)(fang)(fang)置在(zai)(zai)(zai)直(zhi)立擺放(fang)(fang)(fang)式(shi)的(de)(de)(de)載(zai)(zai)(zai)(zai)具上(shang)(shang)時，如圖(tu)(tu)(tu)1所(suo)示，會(hui)需(xu)要先使用機(ji)械臂(bei)400抬起平(ping)(ping)放(fang)(fang)(fang)的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)300，再將平(ping)(ping)放(fang)(fang)(fang)的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)300放(fang)(fang)(fang)入(ru)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)暫(zan)存(cun)(cun)(cun)盒(he)500。當晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)暫(zan)存(cun)(cun)(cun)盒(he)500內放(fang)(fang)(fang)滿晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)300之后(hou)(hou)，如圖(tu)(tu)(tu)2所(suo)示，可(ke)將晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)暫(zan)存(cun)(cun)(cun)盒(he)500旋(xuan)轉，使得(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)暫(zan)存(cun)(cun)(cun)盒(he)500的(de)(de)(de)底部(bu)開口510朝向(xiang)下方(fang)(fang)(fang)(fang)，以(yi)便頂升機(ji)構(gou)600沿著移(yi)(yi)動方(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)m移(yi)(yi)動而(er)穿過底部(bu)開口510，而(er)將晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)暫(zan)存(cun)(cun)(cun)盒(he)500內的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)300舉起。接(jie)著，如圖(tu)(tu)(tu)3所(suo)示，將晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)移(yi)(yi)載(zai)(zai)(zai)(zai)機(ji)構(gou)700和晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)暫(zan)存(cun)(cun)(cun)盒(he)500對齊后(hou)(hou)，使用者可(ke)以(yi)讓(rang)頂升機(ji)構(gou)600升高(gao)以(yi)穿過底部(bu)開口510并(bing)舉起晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)暫(zan)存(cun)(cun)(cun)盒(he)500內的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)300，使得(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)300進(jin)入(ru)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)移(yi)(yi)載(zai)(zai)(zai)(zai)機(ji)構(gou)700內，以(yi)便晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)移(yi)(yi)載(zai)(zai)(zai)(zai)機(ji)構(gou)700的(de)(de)(de)夾具710夾住晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)300。最后(hou)(hou)，如圖(tu)(tu)(tu)4所(suo)示，當夾具710夾住晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)300后(hou)(hou)，夾具710可(ke)以(yi)沿著移(yi)(yi)動方(fang)(fang)(fang)(fang)向(xiang)n移(yi)(yi)動至(zhi)載(zai)(zai)(zai)(zai)具800的(de)(de)(de)上(shang)(shang)方(fang)(fang)(fang)(fang)，并(bing)將直(zhi)立的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)300放(fang)(fang)(fang)置在(zai)(zai)(zai)載(zai)(zai)(zai)(zai)具800上(shang)(shang)，如此一來，即可(ke)順利完成(cheng)載(zai)(zai)(zai)(zai)具之間的(de)(de)(de)轉換，并(bing)且也(ye)順利得(de)(de)(de)讓(rang)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)300的(de)(de)(de)擺放(fang)(fang)(fang)方(fang)(fang)(fang)(fang)式(shi)由平(ping)(ping)放(fang)(fang)(fang)改變為直(zhi)放(fang)(fang)(fang)。

然(ran)而，在上述的(de)轉換載具和(he)(he)改變(bian)擺放(fang)方式的(de)作(zuo)(zuo)業(ye)流(liu)程(cheng)中(zhong)，需要(yao)用(yong)到許多機(ji)(ji)臺(tai)(tai)來(lai)協助移動晶(jing)圓和(he)(he)暫放(fang)晶(jing)圓，因此(ci)該(gai)些機(ji)(ji)臺(tai)(tai)會占用(yong)較大的(de)空間(jian)，并且(qie)作(zuo)(zuo)業(ye)流(liu)程(cheng)時間(jian)也較長。因此(ci)，在工藝機(ji)(ji)臺(tai)(tai)空間(jian)要(yao)求越(yue)來(lai)越(yue)小(xiao)，工藝時間(jian)要(yao)求縮短的(de)情況(kuang)下(xia)，上述的(de)作(zuo)(zuo)業(ye)流(liu)程(cheng)就無法符合(he)使(shi)用(yong)要(yao)求。

因此，有必要提供(gong)一種新(xin)的機臺(tai)，其可(ke)以將(jiang)(jiang)晶圓的擺放(fang)方式(shi)由平放(fang)或直放(fang)之間(jian)改變，并(bing)將(jiang)(jiang)晶圓從不(bu)同載具之間(jian)轉換，并(bing)且不(bu)會占(zhan)用(yong)過多的空間(jian)和作業(ye)時(shi)間(jian)。

技術實現要素：

本發明的(de)主要目的(de)是在提供一(yi)種(zhong)晶圓轉向裝置，其可以(yi)將晶圓的(de)擺放(fang)方式由平放(fang)或直放(fang)之間改(gai)變，并將晶圓從(cong)不同(tong)載具之間轉換。

為達成上述的(de)目(mu)的(de)，本發明的(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)轉(zhuan)向(xiang)(xiang)(xiang)裝置包括一(yi)(yi)殼(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)、一(yi)(yi)轉(zhuan)向(xiang)(xiang)(xiang)件和一(yi)(yi)晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)具。殼(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)包括一(yi)(yi)殼(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)內置空(kong)間與(yu)一(yi)(yi)殼(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)外(wai)表面(mian)。轉(zhuan)向(xiang)(xiang)(xiang)件連接殼(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)外(wai)表面(mian)，用以(yi)使殼(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)旋轉(zhuan)。晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)具承載(zai)(zai)(zai)于殼(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)內置空(kong)間，用以(yi)收(shou)容(rong)(rong)至(zhi)少一(yi)(yi)晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)。在轉(zhuan)向(xiang)(xiang)(xiang)件使殼(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)旋轉(zhuan)，以(yi)翻(fan)轉(zhuan)收(shou)容(rong)(rong)至(zhi)少一(yi)(yi)晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)的(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)具時，晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)具的(de)擺放(fang)方式會對(dui)應(ying)得由平放(fang)或(huo)直放(fang)之間改變，使得晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)具和至(zhi)少一(yi)(yi)晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)可以(yi)一(yi)(yi)起從殼(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)內置空(kong)間內被取出。

根據本(ben)發明的(de)一實施例，其中殼(ke)(ke)體(ti)更(geng)包括一底板(ban)和(he)三個(ge)側(ce)板(ban)，底板(ban)和(he)三個(ge)側(ce)板(ban)連接而形成殼(ke)(ke)體(ti)內置空(kong)(kong)間，當(dang)晶圓載(zai)具承載(zai)于(yu)殼(ke)(ke)體(ti)內置空(kong)(kong)間時，晶圓載(zai)具的(de)部(bu)分側(ce)面(mian)暴露(lu)于(yu)外。

根據(ju)本發明的一(yi)實施例(li)，其中當(dang)晶(jing)圓載具(ju)承載或取出于(yu)殼體內置空(kong)間(jian)時，可選擇性得沿著兩種(zhong)不同軸向而從殼體內置空(kong)間(jian)進(jin)出。

根據(ju)本發明的一(yi)實施例，其中殼體更包括一(yi)底板(ban)和四(si)個側(ce)(ce)板(ban)，底板(ban)和四(si)個側(ce)(ce)板(ban)連接而形成殼體內(nei)置空(kong)(kong)間(jian)，且(qie)四(si)個側(ce)(ce)板(ban)環繞(rao)式得(de)連接而形成一(yi)開(kai)口(kou)(kou)；其中當晶圓(yuan)載(zai)具(ju)承載(zai)或取出于殼體內(nei)置空(kong)(kong)間(jian)時，晶圓(yuan)載(zai)具(ju)將僅(jin)經(jing)由(you)開(kai)口(kou)(kou)進出。

根據本發明(ming)的一實施例，晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)轉向裝置更包括一晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)限(xian)(xian)位件，晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)限(xian)(xian)位件設于殼體(ti)內，以防止晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)從該開口滑出。

根據本發(fa)明的一(yi)實施(shi)例，晶(jing)圓(yuan)(yuan)轉向裝置更包括一(yi)晶(jing)圓(yuan)(yuan)夾(jia)(jia)持件，晶(jing)圓(yuan)(yuan)夾(jia)(jia)持件設于殼體內(nei)，其中晶(jing)圓(yuan)(yuan)夾(jia)(jia)持件與晶(jing)圓(yuan)(yuan)載具，用以(yi)夾(jia)(jia)持晶(jing)圓(yuan)(yuan)。

根據(ju)本發明的一實施例，其(qi)中(zhong)晶圓(yuan)(yuan)載(zai)具(ju)為半圓(yuan)(yuan)式結構，晶圓(yuan)(yuan)載(zai)具(ju)用以固定(ding)晶圓(yuan)(yuan)的一部份；其(qi)中(zhong)晶圓(yuan)(yuan)夾持(chi)件位(wei)于晶圓(yuan)(yuan)載(zai)具(ju)的旁邊，晶圓(yuan)(yuan)夾持(chi)件用以夾持(chi)晶圓(yuan)(yuan)的另一部份。

根(gen)據本(ben)發(fa)明(ming)的(de)一實施例，晶(jing)(jing)圓(yuan)轉向裝置(zhi)更包括一載具固(gu)定(ding)件，載具固(gu)定(ding)件設于殼(ke)體(ti)內，并(bing)位(wei)于晶(jing)(jing)圓(yuan)載具的(de)旁邊(bian)以卡固(gu)住晶(jing)(jing)圓(yuan)載具。

根據本(ben)發明的(de)一(yi)(yi)實(shi)施例(li)，晶圓(yuan)(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)向裝置更(geng)包括(kuo)一(yi)(yi)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)底(di)(di)座，旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)底(di)(di)座連(lian)接殼(ke)體的(de)底(di)(di)部；旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)底(di)(di)座的(de)底(di)(di)座軸向旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)會帶動殼(ke)體旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)至一(yi)(yi)方(fang)向角度(du)，并且轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)向件(jian)也可以旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)殼(ke)體，使得(de)晶圓(yuan)(yuan)載具或(huo)至少一(yi)(yi)晶圓(yuan)(yuan)的(de)擺放方(fang)式(shi)對(dui)應(ying)得(de)由平放或(huo)直放之間改(gai)變。

根據(ju)本發(fa)明的一(yi)實施例，其中(zhong)晶圓的擺放(fang)方式(shi)會隨著殼體的旋轉，而(er)由(you)平放(fang)改變為直放(fang)。

根據(ju)本(ben)發明(ming)的(de)一實施例，其中在(zai)晶(jing)圓從外部以平(ping)放(fang)的(de)方(fang)式，放(fang)入殼(ke)體(ti)內的(de)晶(jing)圓載具之(zhi)后，轉向(xiang)件(jian)使(shi)(shi)殼(ke)體(ti)旋(xuan)轉，使(shi)(shi)得殼(ke)體(ti)旋(xuan)轉至直立，并且使(shi)(shi)得晶(jing)圓承載于(yu)晶(jing)圓載具，且晶(jing)圓及(ji)晶(jing)圓載具的(de)擺放(fang)方(fang)式由(you)平(ping)放(fang)改變為直放(fang)。

根據本(ben)發明的(de)(de)一實施例，其中(zhong)在晶(jing)圓(yuan)從(cong)外部以平放的(de)(de)方(fang)式，放入殼(ke)(ke)體(ti)(ti)內的(de)(de)晶(jing)圓(yuan)載具之(zhi)前，晶(jing)圓(yuan)載具承載進殼(ke)(ke)體(ti)(ti)內置空間，轉向件使殼(ke)(ke)體(ti)(ti)旋(xuan)轉，使得殼(ke)(ke)體(ti)(ti)由直立旋(xuan)轉至平放，以供(gong)晶(jing)圓(yuan)從(cong)外部以平放的(de)(de)方(fang)式放入。

附圖說明

圖1為(wei)現有技術的將晶圓放(fang)入晶圓暫存盒的示(shi)意圖。

圖2為現有技(ji)術的頂(ding)升機構和晶圓暫存盒的示意圖。

圖3為現有(you)技術的頂(ding)升機(ji)(ji)構將晶(jing)圓移動(dong)至晶(jing)圓移載機(ji)(ji)構的示(shi)意圖。

圖4為(wei)現有(you)技術的晶(jing)圓(yuan)移(yi)載機(ji)構將晶(jing)圓(yuan)移(yi)動至載具上(shang)的示意(yi)圖。

圖5為本發明的(de)一實(shi)施例的(de)開口朝向第一方向的(de)晶圓轉向裝置的(de)示意圖。

圖5a為本發明(ming)的(de)一(yi)實施例的(de)另一(yi)態樣的(de)晶圓轉(zhuan)向裝置的(de)示意圖。

圖6為(wei)本(ben)發明的(de)(de)一實施(shi)例(li)的(de)(de)載具(ju)固定(ding)件固定(ding)住晶圓載具(ju)的(de)(de)晶圓轉向裝置(zhi)的(de)(de)示意圖。

圖7為本(ben)發明的一實施例的旋轉后(hou)的晶圓夾(jia)持件的晶圓轉向裝置的示意圖。

圖(tu)8為本發明的一實施例(li)的晶圓移動機構將晶圓放入開口朝向(xiang)第二(er)方向(xiang)的晶圓轉(zhuan)向(xiang)裝(zhuang)置(zhi)的示意(yi)圖(tu)。

圖9為本(ben)發明的一實施(shi)例的晶圓位于晶圓轉向(xiang)裝(zhuang)置內的示意(yi)圖。

圖10為(wei)本發明的一實(shi)施(shi)例的旋轉后(hou)的晶(jing)圓限位件的晶(jing)圓轉向裝置的示意圖。

圖(tu)11為本發明的(de)一實施例的(de)容納著(zhu)晶圓且旋轉至朝(chao)向(xiang)第一方向(xiang)的(de)晶圓轉向(xiang)裝置的(de)示意圖(tu)。

其中，附圖標記為：

現有技術：

晶圓300

機械臂400

晶圓暫存盒500

底部開口510

頂升機構600

晶圓移載機構700

夾具710

載具800

移動方向m、n

本發明：

晶圓轉向裝置1、1a

殼體10、10a

開口11

底板12

側板13、13a

殼體內置空間14、14a

殼體外表面15

轉向件20

晶圓載具30

載具凹槽31

晶圓夾持件40

夾持件凹槽41

晶圓限位件50

載具固定件60

馬達70

旋轉底座80

晶圓100

晶圓移動機構200

第一方向a

第二方向b

旋轉方向r1、r2、r3、r4、r5、r6

放置方向p

具體實施方式

為能(neng)讓貴審(shen)查委(wei)員能(neng)更了解(jie)本發明的(de)技(ji)術內容，特舉(ju)較佳具體實施例說明如下(xia)。

以下請一(yi)(yi)并(bing)參考圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)5至(zhi)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)11關于依據本(ben)發(fa)(fa)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)實(shi)施(shi)(shi)例(li)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)裝(zhuang)置(zhi)。圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)5為(wei)本(ben)發(fa)(fa)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)實(shi)施(shi)(shi)例(li)的(de)(de)(de)(de)開(kai)口朝(chao)向(xiang)第一(yi)(yi)方向(xiang)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)裝(zhuang)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)示(shi)(shi)意(yi)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)；圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)5a為(wei)本(ben)發(fa)(fa)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)實(shi)施(shi)(shi)例(li)的(de)(de)(de)(de)另一(yi)(yi)態樣(yang)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)裝(zhuang)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)示(shi)(shi)意(yi)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)；圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)6為(wei)本(ben)發(fa)(fa)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)實(shi)施(shi)(shi)例(li)的(de)(de)(de)(de)載具(ju)固定(ding)件(jian)固定(ding)住晶(jing)(jing)圓(yuan)載具(ju)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)裝(zhuang)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)示(shi)(shi)意(yi)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)；圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)7為(wei)本(ben)發(fa)(fa)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)實(shi)施(shi)(shi)例(li)的(de)(de)(de)(de)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)后(hou)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)夾持件(jian)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)裝(zhuang)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)示(shi)(shi)意(yi)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)；圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)8為(wei)本(ben)發(fa)(fa)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)實(shi)施(shi)(shi)例(li)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)移動機構將晶(jing)(jing)圓(yuan)放入開(kai)口朝(chao)向(xiang)第二(er)方向(xiang)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)裝(zhuang)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)示(shi)(shi)意(yi)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)；圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)9為(wei)本(ben)發(fa)(fa)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)實(shi)施(shi)(shi)例(li)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)位于晶(jing)(jing)圓(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)裝(zhuang)置(zhi)內(nei)的(de)(de)(de)(de)示(shi)(shi)意(yi)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)；圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)10為(wei)本(ben)發(fa)(fa)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)實(shi)施(shi)(shi)例(li)的(de)(de)(de)(de)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)后(hou)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)限位件(jian)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)裝(zhuang)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)示(shi)(shi)意(yi)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)；圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)11為(wei)本(ben)發(fa)(fa)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)實(shi)施(shi)(shi)例(li)的(de)(de)(de)(de)容(rong)納(na)著晶(jing)(jing)圓(yuan)且旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)至(zhi)朝(chao)向(xiang)第一(yi)(yi)方向(xiang)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)裝(zhuang)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)示(shi)(shi)意(yi)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)。

如圖5和(he)圖8所(suo)示(shi)，在本發明(ming)的一(yi)實施(shi)例(li)之(zhi)中，晶(jing)(jing)圓轉(zhuan)向(xiang)裝(zhuang)置1用(yong)以將(jiang)收容著(zhu)晶(jing)(jing)圓100的晶(jing)(jing)圓載具30的擺放(fang)方式由由平放(fang)或直放(fang)之(zhi)間改(gai)變，并將(jiang)原本平放(fang)的晶(jing)(jing)圓100放(fang)置在晶(jing)(jing)圓載具30上。晶(jing)(jing)圓轉(zhuan)向(xiang)裝(zhuang)置1包括一(yi)殼體10、一(yi)轉(zhuan)向(xiang)件(jian)20、一(yi)晶(jing)(jing)圓載具30、二個(ge)晶(jing)(jing)圓夾(jia)持件(jian)40、二個(ge)晶(jing)(jing)圓限位件(jian)50、二個(ge)載具固定件(jian)60和(he)一(yi)馬達70。

在(zai)本發明的(de)(de)(de)一(yi)實施例之中(zhong)，殼(ke)體(ti)(ti)(ti)10包括(kuo)一(yi)開(kai)口11、一(yi)底板(ban)(ban)(ban)12、四(si)個(ge)(ge)側(ce)(ce)(ce)板(ban)(ban)(ban)13、13a、一(yi)殼(ke)體(ti)(ti)(ti)內(nei)置(zhi)(zhi)空(kong)間(jian)(jian)14與一(yi)殼(ke)體(ti)(ti)(ti)外(wai)表(biao)面(mian)(mian)15；在(zai)四(si)個(ge)(ge)側(ce)(ce)(ce)板(ban)(ban)(ban)13、13a中(zhong)，其中(zhong)兩個(ge)(ge)側(ce)(ce)(ce)板(ban)(ban)(ban)13a的(de)(de)(de)寬(kuan)度較短，另(ling)外(wai)兩個(ge)(ge)側(ce)(ce)(ce)板(ban)(ban)(ban)13的(de)(de)(de)寬(kuan)度較長(chang)。底板(ban)(ban)(ban)12和四(si)個(ge)(ge)側(ce)(ce)(ce)板(ban)(ban)(ban)13、13a連接(jie)而(er)(er)(er)(er)形(xing)成(cheng)殼(ke)體(ti)(ti)(ti)內(nei)置(zhi)(zhi)空(kong)間(jian)(jian)14，且四(si)個(ge)(ge)側(ce)(ce)(ce)板(ban)(ban)(ban)13、13a環繞式得(de)連接(jie)而(er)(er)(er)(er)形(xing)成(cheng)開(kai)口11，開(kai)口11用以供(gong)使用者放入或(huo)(huo)取出(chu)晶(jing)圓100。殼(ke)體(ti)(ti)(ti)外(wai)表(biao)面(mian)(mian)15是四(si)個(ge)(ge)側(ce)(ce)(ce)板(ban)(ban)(ban)13、13a朝向外(wai)部的(de)(de)(de)表(biao)面(mian)(mian)。當(dang)晶(jing)圓載具(ju)(ju)(ju)30承(cheng)載或(huo)(huo)取出(chu)于(yu)殼(ke)體(ti)(ti)(ti)內(nei)置(zhi)(zhi)空(kong)間(jian)(jian)14時，晶(jing)圓載具(ju)(ju)(ju)30將(jiang)僅經由開(kai)口11進出(chu)。殼(ke)體(ti)(ti)(ti)10可以旋轉，使得(de)開(kai)口11朝向一(yi)第(di)一(yi)方向a或(huo)(huo)一(yi)第(di)二(er)方向b。然而(er)(er)(er)(er)，晶(jing)圓轉向裝置(zhi)(zhi)1的(de)(de)(de)殼(ke)體(ti)(ti)(ti)10的(de)(de)(de)態樣和側(ce)(ce)(ce)板(ban)(ban)(ban)13、13a的(de)(de)(de)數量(liang)并不以上述為限，如圖5a所示，晶(jing)圓轉向裝置(zhi)(zhi)1a的(de)(de)(de)殼(ke)體(ti)(ti)(ti)10a的(de)(de)(de)側(ce)(ce)(ce)板(ban)(ban)(ban)13、13a數量(liang)為三(san)(san)個(ge)(ge)，在(zai)三(san)(san)個(ge)(ge)側(ce)(ce)(ce)板(ban)(ban)(ban)13、13a中(zhong)，其中(zhong)兩個(ge)(ge)側(ce)(ce)(ce)板(ban)(ban)(ban)13a的(de)(de)(de)寬(kuan)度較短，另(ling)外(wai)一(yi)個(ge)(ge)側(ce)(ce)(ce)板(ban)(ban)(ban)13的(de)(de)(de)寬(kuan)度較長(chang)。底板(ban)(ban)(ban)12和三(san)(san)個(ge)(ge)側(ce)(ce)(ce)板(ban)(ban)(ban)13、13a連接(jie)而(er)(er)(er)(er)形(xing)成(cheng)殼(ke)體(ti)(ti)(ti)內(nei)置(zhi)(zhi)空(kong)間(jian)(jian)14a；當(dang)晶(jing)圓載具(ju)(ju)(ju)30承(cheng)載于(yu)殼(ke)體(ti)(ti)(ti)內(nei)置(zhi)(zhi)空(kong)間(jian)(jian)14a時，晶(jing)圓載具(ju)(ju)(ju)30的(de)(de)(de)部分側(ce)(ce)(ce)面(mian)(mian)暴露于(yu)外(wai)；也就是說，當(dang)晶(jing)圓載具(ju)(ju)(ju)30承(cheng)載或(huo)(huo)取出(chu)于(yu)殼(ke)體(ti)(ti)(ti)內(nei)置(zhi)(zhi)空(kong)間(jian)(jian)14a時，可選擇(ze)性得(de)沿(yan)著兩種不同軸向(第(di)一(yi)方向a或(huo)(huo)第(di)二(er)方向b)而(er)(er)(er)(er)從殼(ke)體(ti)(ti)(ti)內(nei)置(zhi)(zhi)空(kong)間(jian)(jian)14a進出(chu)。

轉(zhuan)向(xiang)(xiang)件(jian)(jian)20連接殼體10的殼體外表(biao)面15，轉(zhuan)向(xiang)(xiang)件(jian)(jian)20用(yong)(yong)以(yi)使(shi)殼體10旋(xuan)轉(zhuan)，使(shi)得開(kai)口11旋(xuan)轉(zhuan)至朝向(xiang)(xiang)第一方向(xiang)(xiang)a或第二(er)方向(xiang)(xiang)b，并(bing)且晶圓100的擺(bai)放(fang)方式會隨(sui)著殼體10的旋(xuan)轉(zhuan)，而由平放(fang)改變為(wei)(wei)直放(fang)，或由直放(fang)改變為(wei)(wei)平放(fang)。馬(ma)(ma)達70連接轉(zhuan)向(xiang)(xiang)件(jian)(jian)20，馬(ma)(ma)達70用(yong)(yong)以(yi)提供(gong)扭力(li)，使(shi)轉(zhuan)向(xiang)(xiang)件(jian)(jian)20旋(xuan)轉(zhuan)，以(yi)使(shi)轉(zhuan)向(xiang)(xiang)件(jian)(jian)20帶動(dong)殼體10旋(xuan)轉(zhuan)。

在(zai)本發明的(de)(de)一(yi)(yi)實施例之中，晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)30為(wei)半圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)式結構，其設(she)于殼(ke)體10的(de)(de)殼(ke)體內(nei)置空(kong)間14內(nei)，晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)30用以(yi)(yi)收(shou)容(rong)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100并固定晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100的(de)(de)一(yi)(yi)部份。晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)30包括復數(shu)(shu)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)凹槽31，復數(shu)(shu)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)凹槽31用以(yi)(yi)在(zai)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100的(de)(de)側(ce)面和底部固定住晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100，以(yi)(yi)穩定得(de)(de)承載(zai)(zai)(zai)(zai)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100。在(zai)轉(zhuan)向件70使(shi)殼(ke)體10旋轉(zhuan)，以(yi)(yi)翻(fan)轉(zhuan)收(shou)容(rong)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100的(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)30時(shi)，晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)30的(de)(de)擺放方(fang)式會對應得(de)(de)由平放或直放之間改變，使(shi)得(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)30和晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100可(ke)以(yi)(yi)一(yi)(yi)起從殼(ke)體內(nei)置空(kong)間14內(nei)被取出。

如(ru)圖(tu)5至圖(tu)8所示，在(zai)本發(fa)明的一實施例之中，二(er)(er)個(ge)(ge)(ge)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)(jia)持(chi)(chi)件(jian)40設(she)于(yu)殼體10內并(bing)位于(yu)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)具30的旁邊(bian)，晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)(jia)持(chi)(chi)件(jian)40用(yong)以(yi)夾(jia)(jia)持(chi)(chi)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)100的另(ling)一部(bu)份。各(ge)個(ge)(ge)(ge)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)(jia)持(chi)(chi)件(jian)40包括復數(shu)夾(jia)(jia)持(chi)(chi)件(jian)凹(ao)槽(cao)41，復數(shu)夾(jia)(jia)持(chi)(chi)件(jian)凹(ao)槽(cao)41用(yong)以(yi)與(yu)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)具30夾(jia)(jia)持(chi)(chi)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)100的側面。二(er)(er)個(ge)(ge)(ge)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)(jia)持(chi)(chi)件(jian)40和殼體10樞接。當二(er)(er)個(ge)(ge)(ge)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)(jia)持(chi)(chi)件(jian)40分別沿著旋轉方(fang)向r3、r4旋轉時(shi)，各(ge)個(ge)(ge)(ge)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)(jia)持(chi)(chi)件(jian)40的夾(jia)(jia)持(chi)(chi)件(jian)凹(ao)槽(cao)41會由朝向開(kai)口(kou)11轉變為(wei)朝向對方(fang)；此(ci)時(shi)，各(ge)個(ge)(ge)(ge)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)(jia)持(chi)(chi)件(jian)40的夾(jia)(jia)持(chi)(chi)件(jian)凹(ao)槽(cao)41可以(yi)穩定(ding)得(de)夾(jia)(jia)持(chi)(chi)住晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)100的側面。然而，晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)(jia)持(chi)(chi)件(jian)40的數(shu)量(liang)并(bing)不以(yi)兩個(ge)(ge)(ge)為(wei)限，其可以(yi)照設(she)計需求而改變，例如(ru)改變為(wei)一個(ge)(ge)(ge)。

如圖(tu)5、圖(tu)9和圖(tu)10所示(shi)，在本發明的(de)(de)一實施例(li)之中，二個(ge)(ge)晶圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)限(xian)(xian)位件(jian)50設(she)(she)于殼(ke)體(ti)10內并位于晶圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載具30的(de)(de)上方，以(yi)防止(zhi)晶圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100從(cong)開(kai)(kai)口11滑(hua)出(chu)。二個(ge)(ge)晶圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)限(xian)(xian)位件(jian)50和殼(ke)體(ti)10樞接。當晶圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100位于殼(ke)體(ti)10之內，且二個(ge)(ge)晶圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)限(xian)(xian)位件(jian)50分別(bie)沿著(zhu)旋(xuan)轉方向r6、r7旋(xuan)轉時，二個(ge)(ge)晶圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)限(xian)(xian)位件(jian)50可以(yi)限(xian)(xian)制晶圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100移動，以(yi)防止(zhi)晶圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100從(cong)開(kai)(kai)口11滑(hua)出(chu)。然而，晶圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)限(xian)(xian)位件(jian)50的(de)(de)數量并不以(yi)兩個(ge)(ge)為(wei)限(xian)(xian)，其可以(yi)照設(she)(she)計需求(qiu)而改變。

如圖5和(he)圖6所示，在本發明(ming)的(de)(de)一實施例之(zhi)中(zhong)，二(er)個載具固(gu)定件60設(she)于(yu)殼體10內(nei)，并位于(yu)晶(jing)圓(yuan)載具30的(de)(de)旁邊(bian)，以(yi)卡(ka)固(gu)住晶(jing)圓(yuan)載具30。二(er)個載具固(gu)定件60可(ke)分別(bie)沿(yan)著(zhu)旋轉方向r1、r2旋轉，以(yi)卡(ka)固(gu)住晶(jing)圓(yuan)載具30的(de)(de)兩(liang)側，以(yi)達成使晶(jing)圓(yuan)載具30保持穩固(gu)的(de)(de)功(gong)效。然而，載具固(gu)定件60的(de)(de)數(shu)量并不以(yi)兩(liang)個為(wei)限，其可(ke)以(yi)照設(she)計需求(qiu)而改(gai)變(bian)(bian)，例如改(gai)變(bian)(bian)為(wei)一個。

如圖10和圖11所(suo)示(shi)，在本發明的(de)一(yi)實施例之(zhi)中，晶(jing)圓(yuan)(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)(xiang)裝置1包括一(yi)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)底(di)座(zuo)80，旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)底(di)座(zuo)80連接晶(jing)圓(yuan)(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)(xiang)裝置1的(de)殼(ke)(ke)體(ti)10的(de)底(di)部。旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)底(di)座(zuo)80的(de)底(di)座(zuo)軸(zhou)向(xiang)(xiang)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)會(hui)帶動殼(ke)(ke)體(ti)10旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)至所(suo)需的(de)任(ren)一(yi)方(fang)向(xiang)(xiang)角(jiao)度，并且(qie)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)(xiang)件20也可以(yi)使(shi)殼(ke)(ke)體(ti)10旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)，使(shi)得(de)晶(jing)圓(yuan)(yuan)載(zai)具(ju)30或晶(jing)圓(yuan)(yuan)100的(de)擺(bai)放方(fang)式會(hui)對應得(de)由平放或直放之(zhi)間改變(bian)，以(yi)提升(sheng)晶(jing)圓(yuan)(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)(xiang)處理效率(lv)，并且(qie)方(fang)便(bian)晶(jing)圓(yuan)(yuan)載(zai)具(ju)30或晶(jing)圓(yuan)(yuan)100以(yi)適(shi)合的(de)方(fang)向(xiang)(xiang)角(jiao)度和擺(bai)放方(fang)式而(er)進出晶(jing)圓(yuan)(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)向(xiang)(xiang)裝置1。

在本發明的(de)(de)一實(shi)施例(li)之中，晶(jing)圓(yuan)轉(zhuan)向(xiang)(xiang)裝(zhuang)置(zhi)(zhi)1和一外部的(de)(de)電(dian)腦電(dian)性(xing)連接。用戶可(ke)以(yi)操作(zuo)電(dian)腦，以(yi)從遠程控制晶(jing)圓(yuan)轉(zhuan)向(xiang)(xiang)裝(zhuang)置(zhi)(zhi)1的(de)(de)各個可(ke)活動的(de)(de)元(yuan)件(jian)(jian)(jian)，如轉(zhuan)向(xiang)(xiang)件(jian)(jian)(jian)20、晶(jing)圓(yuan)夾持(chi)件(jian)(jian)(jian)40、晶(jing)圓(yuan)限(xian)位件(jian)(jian)(jian)50、載具固定件(jian)(jian)(jian)60、馬達70，或是旋轉(zhuan)底座80，以(yi)使晶(jing)圓(yuan)轉(zhuan)向(xiang)(xiang)裝(zhuang)置(zhi)(zhi)1于不同(tong)軸向(xiang)(xiang)間運行。

在半導體工藝中，常會需要將(jiang)(jiang)(jiang)流水線機臺上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)平(ping)(ping)放(fang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100，改變(bian)為直放(fang)并(bing)且(qie)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)移(yi)到晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)具30上，因此(ci)(ci)，使(shi)(shi)用(yong)者可以(yi)(yi)運用(yong)本發(fa)明(ming)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)向裝置(zhi)1來轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)移(yi)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100。首先，如圖(tu)(tu)5所(suo)(suo)示，使(shi)(shi)用(yong)者可以(yi)(yi)先將(jiang)(jiang)(jiang)直立的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)具30放(fang)入(ru)(ru)朝向第(di)一(yi)方(fang)向a的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)殼體10內(nei)。接(jie)著(zhu)(zhu)，如圖(tu)(tu)6所(suo)(suo)示，用(yong)戶(hu)(hu)可以(yi)(yi)操(cao)作(zuo)外(wai)(wai)部(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電腦(nao)，以(yi)(yi)控制(zhi)(zhi)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)向裝置(zhi)1的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)二(er)個載(zai)具固(gu)定件(jian)(jian)(jian)60分別沿(yan)著(zhu)(zhu)旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)方(fang)向r1、r2旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)，以(yi)(yi)卡固(gu)住晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)具30的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)兩側，使(shi)(shi)得(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)具30保(bao)持(chi)穩固(gu)。接(jie)著(zhu)(zhu)，如圖(tu)(tu)7所(suo)(suo)示，用(yong)戶(hu)(hu)可以(yi)(yi)操(cao)作(zuo)外(wai)(wai)部(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電腦(nao)，以(yi)(yi)控制(zhi)(zhi)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)向裝置(zhi)1的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)二(er)個晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)持(chi)件(jian)(jian)(jian)40分別沿(yan)著(zhu)(zhu)旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)方(fang)向r3、r4旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)，使(shi)(shi)各(ge)(ge)個晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)持(chi)件(jian)(jian)(jian)40的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)夾(jia)持(chi)件(jian)(jian)(jian)凹(ao)槽(cao)41由(you)朝向開(kai)口(kou)11轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)變(bian)為朝向對方(fang)；藉此(ci)(ci)，各(ge)(ge)個晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)持(chi)件(jian)(jian)(jian)40的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)夾(jia)持(chi)件(jian)(jian)(jian)凹(ao)槽(cao)41和晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)具30的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)載(zai)具凹(ao)槽(cao)31可以(yi)(yi)穩固(gu)得(de)卡固(gu)住稍后放(fang)入(ru)(ru)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)周圍(wei)。接(jie)著(zhu)(zhu)，如圖(tu)(tu)8和圖(tu)(tu)9所(suo)(suo)示，用(yong)戶(hu)(hu)可以(yi)(yi)操(cao)作(zuo)外(wai)(wai)部(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電腦(nao)，控制(zhi)(zhi)馬達70帶動轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)向件(jian)(jian)(jian)20沿(yan)著(zhu)(zhu)旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)方(fang)向r5旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)，以(yi)(yi)使(shi)(shi)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)向件(jian)(jian)(jian)20帶動殼體10旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)至開(kai)口(kou)11朝向第(di)二(er)方(fang)向b，使(shi)(shi)得(de)殼體10由(you)直立旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)至平(ping)(ping)放(fang)，以(yi)(yi)供晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100從(cong)外(wai)(wai)部(bu)以(yi)(yi)平(ping)(ping)放(fang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)式放(fang)入(ru)(ru)；此(ci)(ci)時(shi)，用(yong)戶(hu)(hu)可以(yi)(yi)操(cao)作(zuo)外(wai)(wai)部(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電腦(nao)以(yi)(yi)控制(zhi)(zhi)一(yi)外(wai)(wai)部(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)移(yi)動機構(gou)200，讓(rang)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)移(yi)動機構(gou)200抬(tai)起(qi)流水線機臺上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)平(ping)(ping)放(fang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100，將(jiang)(jiang)(jiang)平(ping)(ping)放(fang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100從(cong)開(kai)口(kou)11放(fang)入(ru)(ru)殼體10內(nei)部(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)具30里，并(bing)將(jiang)(jiang)(jiang)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100和各(ge)(ge)個晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)持(chi)件(jian)(jian)(jian)40的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)夾(jia)持(chi)件(jian)(jian)(jian)凹(ao)槽(cao)41以(yi)(yi)及晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)具30的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)載(zai)具凹(ao)槽(cao)31互(hu)相卡固(gu)，藉此(ci)(ci)，晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100可以(yi)(yi)穩固(gu)得(de)位于殼體10內(nei)部(bu)。

如圖9和圖10所(suo)示，在本發明之中，當(dang)殼體(ti)10內部的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)30裝滿晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100之后，用戶(hu)可(ke)(ke)以(yi)操作外部的(de)(de)(de)(de)電腦(nao)，控(kong)(kong)制二個(ge)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)限(xian)位(wei)件(jian)50分別沿著旋(xuan)轉(zhuan)方(fang)向(xiang)r6、r7旋(xuan)轉(zhuan)；此(ci)時，旋(xuan)轉(zhuan)后的(de)(de)(de)(de)二個(ge)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)限(xian)位(wei)件(jian)50可(ke)(ke)以(yi)限(xian)制晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100移動(dong)，以(yi)防(fang)止晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100從(cong)殼體(ti)10滑出。最(zui)后，如圖5和圖11所(suo)示，用戶(hu)可(ke)(ke)以(yi)操作外部的(de)(de)(de)(de)電腦(nao)，控(kong)(kong)制馬達70帶動(dong)轉(zhuan)向(xiang)件(jian)20沿著旋(xuan)轉(zhuan)方(fang)向(xiang)r8旋(xuan)轉(zhuan)，以(yi)使(shi)(shi)轉(zhuan)向(xiang)件(jian)20帶動(dong)殼體(ti)10旋(xuan)轉(zhuan)至開口11朝向(xiang)第一(yi)方(fang)向(xiang)a，也(ye)就是使(shi)(shi)得(de)殼體(ti)10旋(xuan)轉(zhuan)至直立；藉(jie)此(ci)，晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100會承載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)于(yu)(yu)(yu)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)30上，且(qie)(qie)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100及(ji)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)30的(de)(de)(de)(de)擺放(fang)方(fang)式(shi)會從(cong)平(ping)放(fang)變成直放(fang)，且(qie)(qie)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100會承載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)于(yu)(yu)(yu)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)30上。因(yin)此(ci)，用戶(hu)可(ke)(ke)以(yi)操作外部的(de)(de)(de)(de)電腦(nao)，控(kong)(kong)制二個(ge)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)限(xian)位(wei)件(jian)50和二個(ge)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)持件(jian)40恢復原狀，使(shi)(shi)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)限(xian)位(wei)件(jian)50不(bu)再限(xian)制晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100移動(dong)，并(bing)且(qie)(qie)使(shi)(shi)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)夾(jia)持件(jian)40不(bu)再卡固晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100。如此(ci)一(yi)來，使(shi)(shi)用者即可(ke)(ke)將晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)30以(yi)及(ji)位(wei)于(yu)(yu)(yu)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)30上的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100，從(cong)殼體(ti)10內取出，讓位(wei)于(yu)(yu)(yu)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)30上的(de)(de)(de)(de)直放(fang)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100進行其他的(de)(de)(de)(de)半(ban)導體(ti)工藝。

藉(jie)由(you)本(ben)發(fa)明的(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)轉向(xiang)(xiang)裝(zhuang)置1的(de)(de)(de)(de)(de)設計，可以(yi)讓晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100從外部的(de)(de)(de)(de)(de)機(ji)臺移(yi)(yi)動(dong)到晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)(ju)(ju)30上，并且(qie)將(jiang)(jiang)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100的(de)(de)(de)(de)(de)擺(bai)放(fang)方(fang)(fang)式(shi)由(you)平(ping)放(fang)或直放(fang)之間(jian)改變，以(yi)及(ji)可藉(jie)由(you)旋(xuan)轉底(di)座(zuo)80的(de)(de)(de)(de)(de)底(di)座(zuo)軸向(xiang)(xiang)旋(xuan)轉至所需的(de)(de)(de)(de)(de)任一方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)角度，增加晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)(ju)(ju)30及(ji)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100的(de)(de)(de)(de)(de)進出晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)轉向(xiang)(xiang)裝(zhuang)置1的(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)選擇，以(yi)提(ti)升(sheng)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)轉向(xiang)(xiang)處理效(xiao)率。另外，本(ben)發(fa)明的(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)轉向(xiang)(xiang)裝(zhuang)置1具(ju)(ju)(ju)(ju)有改變晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100的(de)(de)(de)(de)(de)擺(bai)放(fang)方(fang)(fang)式(shi)以(yi)及(ji)將(jiang)(jiang)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100擺(bai)放(fang)于晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)(ju)(ju)30的(de)(de)(de)(de)(de)功效(xiao)，因此(ci)不需要使(shi)(shi)用傳(chuan)(chuan)(chuan)統的(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)暫存盒(he)(he)、頂(ding)升(sheng)機(ji)構(gou)(gou)和晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)移(yi)(yi)載(zai)(zai)(zai)機(ji)構(gou)(gou)，就(jiu)可以(yi)順利得使(shi)(shi)平(ping)放(fang)的(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)100以(yi)直放(fang)的(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)(fang)式(shi)承載(zai)(zai)(zai)于晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)載(zai)(zai)(zai)具(ju)(ju)(ju)(ju)30，如(ru)此(ci)一來，可以(yi)省(sheng)去(qu)傳(chuan)(chuan)(chuan)統的(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)暫存盒(he)(he)、頂(ding)升(sheng)機(ji)構(gou)(gou)和晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)移(yi)(yi)載(zai)(zai)(zai)機(ji)構(gou)(gou)的(de)(de)(de)(de)(de)占用空間(jian)，并且(qie)也(ye)可以(yi)減少使(shi)(shi)用傳(chuan)(chuan)(chuan)統的(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)暫存盒(he)(he)、頂(ding)升(sheng)機(ji)構(gou)(gou)和晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)移(yi)(yi)載(zai)(zai)(zai)機(ji)構(gou)(gou)的(de)(de)(de)(de)(de)作業時(shi)間(jian)。

需(xu)注意的(de)(de)是，上述僅為(wei)實施例(li)，而非限制于實施例(li)。譬(pi)如此不(bu)脫離本(ben)發(fa)明(ming)基本(ben)架(jia)構(gou)者，皆應為(wei)本(ben)專(zhuan)利(li)所主張的(de)(de)權利(li)范圍，而應以(yi)本(ben)發(fa)明(ming)所附權利(li)要求的(de)(de)保護范圍為(wei)準。