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一種表面檢測裝置的制造方法

文檔序號:10421323閱(yue)讀:436來源:國知局(ju)
一種表面檢測裝置的制造方法
【技術領域】
[0001 ]本實用新型涉及一種表面檢測裝置。
【背景技術】
[0002]表面檢測,特別是表面微小缺陷檢測,一直以來都被物體表面的環境灰塵、毛絲等可去除異物所干擾。由于環境灰塵、毛絲等可去除異物在檢測圖像中的特征與表面微小缺陷(如凸凹坑點、劃傷、涂層脫落等)十分接近,幾乎無法正確區分。所以會造成檢測設備的準確度不高,誤判較大,嚴重影響檢測設備的功效。
[0003]如果僅用吹氣清潔的多張相同照明條件下的圖像差異來排除可去除的異物,會由于環境影響、光源的波動、相機的信號噪聲等,造成實際缺陷位置的圖像信號波動,所以容易造成實際缺陷的漏判(因為波動的差異而被排除掉)。
[0004]有鑒于上述的缺陷,本設計人,積極加以研究創新,以期創設一種表面檢測裝置,使其更具有產業上的利用價值。
【實用新型內容】
[0005]為解決上述技術問題,本實用新型的目的是提供一種表面檢測裝置。
[0006]本實用新型的技術方案如下:
[0007]—種表面檢測裝置,其特征在于,包括以下裝置:
[0008]一載臺,用于放置待測物;
[0009]一光源系統,用于給所述待測物提供光源;
[0010]—檢測相機,用于采集光源系統照明下待測物的圖像;
[0011 ] 一吹氣單元,用于對待測物表面吹氣去除異物;
[0012]—控制單元,用于處理檢測相機采集到的圖像,得到對應的表面缺陷及區域。
[0013]進一步的,所述光源系統包含一個或多個不同類型的光源。
[0014]進一步的,所述載臺為平移載臺。
[0015]進一步的,所述載臺為平移載臺、固定在臺、旋轉載臺中的任意一種。
[0016]進一步的,所述檢測相機為線掃描相機或面陣相機。借由上述方案,本實用新型至少具有以下優點:
[0017]本實用新型減少了檢測經驗參數的調整,降低了照明方式的難度和缺陷檢測算法的復雜度,同時大大提高了檢測的準確度。
[0018]上述說明僅是本實用新型技術方案的概述,為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段,并可依照說明書的內容予以實施,以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。
【附圖說明】
[0019]圖1是本實用新型的結構示意圖;
[0020]圖2是本實用新型的流程圖;
[0021]圖3是在相同照明條件下,拍攝的第一張圖像;
[0022]圖4是在相同照明條件下,拍攝的第二張圖像;
[0023]圖5是第一張與第二張的差異圖像。
【具體實施方式】
[0024]下面結合附圖和實施例,對本實用新型的【具體實施方式】作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型,但不用來限制本實用新型的范圍。
[0025]參見圖1,為本實用新型檢測裝置,包括,一載臺I,用于放置待測物2;—光源系統3,用于給所述待測物提供光源;一檢測相機6,用于采集光源系統照明下待測物的圖像;一吹氣單元4,用于對待測物表面吹氣去除異物;一控制單元5,用于處理檢測相機采集到的圖像,得到對應的表面缺陷及區域。待測物2中,一般含有灰塵7、劃傷8、毛絲9、凸點10。
[0026]本實用新型中的光源系統3包含一個或多個不同類型的光源。
[0027]本實用新型中,載臺I可以為平移載臺,檢測相機6為線掃描相機,拍照過程為平移載臺載著待測物2平移往復運動,線掃描相機在光源照明下拍攝多張待測物的圖像,同時吹氣單元4持續對待測物表面吹氣。
[0028]本實用新型中,載臺I可以為為固定載臺,相機為線掃描相機,拍照過程為相機相對固定載臺固定高度做往復運動,線掃描相機在光源照明下拍攝多張待測物的圖像,同時吹氣單元4持續對待測物表面吹氣。
[0029]本實用新型中,載臺I可以為為旋轉載臺,相機為線面陣相機,拍照過程為旋轉載臺在線面陣相機下方主動,線掃描相機在光源照明下拍攝多張待測物的圖像,同時吹氣單元4持續對待測物表面吹氣。
[0030]參見圖2,為本實用新型檢測流程圖,
[0031]本實用新型檢測方法如下:
[0032]將被測物置于載臺并定位,打開光源和相機,以一種或多種照明方式,拍攝多張圖像,同時吹氣單元對被測物表面吹氣,檢測相機采集到多張相同照明條件下的待測物圖像,如圖3和圖4;通過一控制單元得到圖像的表面缺陷及區域;控制單元對相同照明條件下的多張圖像進行差異比較(差異是指對應位置的圖像間的灰階或色彩差異),得到差異區域,圖像的差異區域是指圖像差異區域的中心及其周邊指定寬度范圍以內;設定區域計算的閾值A和一致性的閾值B,通過控制單元對各圖像對所有差異區域進行計算和判斷:比較圖像的同一差異區域計算數值的差異值,若有圖像在此區域的計算數值小于閾值A,則此區域的缺陷不判為缺陷,差異區域的計算數值為原圖在差異區域內各點的灰度平均值或灰度值總和,差異區域計算數值的差異值是區域計算數值的均方差或最大最小差值;比較圖像的同一差異區域計算數值的差異值,若所有圖像在此差異區域的數值均大于等于閾值A,則計算所有圖像在此區域的計算數值的差異值,如果差異值小于等于閾值B判為缺陷,差異值大于閾值B的不判為缺陷。
[0033]如圖5所示,通過對比圖3和圖4,圖3和圖4的差異在圖5中顯示。
[0034]以上所述僅是本實用新型的優選實施方式,并不用于限制本實用新型,應當指出,對于本技術領域的普通技術人員來說,在不脫離本實用新型技術原理的前提下,還可以做出若干改進和變型,這些改進和變型也應視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種表面檢測裝置,其特征在于,包括以下裝置: 一載臺,用于放置待測物; 一光源系統,用于給所述待測物提供光源; 一檢測相機,用于采集光源系統照明下待測物的圖像; 一吹氣單元,用于對待測物表面吹氣去除異物; 一控制單元,用于處理檢測相機采集到的圖像,得到對應的表面缺陷及區域。2.根據權利要求1所述的一種表面檢測裝置,其特征在于:所述光源系統包含一個或多個不同類型的光源。3.根據權利要求1所述的一種表面檢測裝置,其特征在于:所述載臺為平移載臺、固定在臺、旋轉載臺中的任意一種。4.根據權利要求1所述的一種表面檢測裝置,其特征在于:所述檢測相機為線掃描相機或面陣相機。
【專利摘要】本實用新型涉及一種表面檢測裝置,包括一載臺,用于放置待測物;一光源系統,用于給所述待測物提供光源;一檢測相機,用于采集光源系統照明下待測物的圖像;一吹氣單元,用于對待測物表面吹氣去除異物;一控制單元,用于處理檢測相機采集到的圖像,得到對應的表面缺陷及區域。本實用新型減少了檢測經驗參數的調整,降低了照明方式的難度和缺陷檢測算法的復雜度,同時大大提高了檢測的準確度。
【IPC分類】G01N21/88
【公開號】CN205333529
【申請號】CN201520997399
【發明人】張智海, 易永祥
【申請人】蘇州威盛視信息科技有限公司
【公開日】2016年6月22日
【申請日】2015年12月3日
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