檢查用探頭的制造方法
【專利摘要】本發明提供一種檢查用探頭的制造方法，使將由異種金屬構成的線材接合而構成的檢查用探頭的接合部位的品質提高。本發明的檢查用探頭的制造方法將在至少一方的前端部形成有檢查用接觸部的第一線材（110）及第二線材（120）接合而構成檢查用探頭，通過向第一線材和所述第二線材的外周面照射不同的能量的激光而進行激光焊接，之后對外周面進行研磨。
【專利說明】檢查用探頭的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及用于進行半導體的電導通檢查的探頭卡等的檢查用探頭的制造方法，特別是使將融點不同的異種金屬的線材焊接而構成的檢查用探頭的接合部的品質提高。
【背景技術】
[0002]作為利用探頭卡、線型探頭、條紋探頭、蛇型探頭等用作檢查用探針的檢查用探頭(探針)，公知的是使用抗蝕性和耐磨損性優異的銥、抗蝕性優異的鉬合金、電氣特性優異的鈀合金等。
[0003]但是，由于銥、鉬合金、鈀合金等貴金屬類的材料價格高，使用這些材料制作檢查用探頭整體的話，成為價格非常高的探頭。
[0004]另外，由于銥是硬且脆的材料，在欲用于整個探頭的情況下，加工困難。另外，在欲將鉬合金及鈀合金用于探頭整體的情況下，難以得到必要的彈性及韌性。
[0005]因此，嘗試在檢查用探頭的前端部使用銥、鉬合金、鈀合金等貴金屬，并且使用彈性、韌性及導電性優異的鎢、錸鎢合金、鈹銅等形成前端部以外的部分(主體部)，將其接合而構成檢查用探頭。
[0006]作為關于這樣的將異種金屬接合的檢查用探頭的現有技術，例如在專利文獻I中記載有，在由鎢構成的探頭主體和由鈀合金構成的前端部的接合面流過大電流，進行電阻焊接。
[0007]另外，在專利文獻2記載有，將由異種材料構成的前端部與鎢等探頭主體的前端部進行超聲波振動接合，之后將包含接合部的前端部加工成尖頭。
[0008]另外，在專利文獻3中記載有如下的探針，即，在由鎢或錸鎢構成的探頭的前端部釬焊有鈦、鎳或它們的合金的異種材料探針。
[0009]另外，在專利文獻4中記載有如下的探頭，S卩，在由鎢構成的探頭部的后端部，通過電阻焊接或激光焊接接合有銅線的異種金屬接合探頭。
[0010]專利文獻1:(日本)特開2000 - 137042號公報
[0011]專利文獻2:(日本)特開2007 — 271472號公報
[0012]專利文獻3:(日本)特開2007 - 147483號公報
[0013]專利文獻4:(日本)特開2000 - 187043號公報
[0014]但是，由于這種檢查用探頭是微細的，難以提高精度、強度、可靠性等接合部的品質。
[0015]例如，在近年來的半導體檢查所使用的垂直式的探頭卡中，使用有直徑35微米?50微米的檢查用探頭。
[0016]在接合這種微細的異種金屬線材的情況下，在專利文獻I記載的釬焊中，在線材與焊料之間難以充分確保界面的面積，在接合強度上產生不足。
[0017]另外，在如專利文獻2所記載地需要流過大電流的電阻焊接、或如專利文獻3所記載地需要在線材間作用較強的軸向力而使端面壓接的超聲波振動接合中，在線材的直徑微細的情況下，難以得到良好的接合部的品質。
[0018]另外，在如專利文獻4所記載地進行了激光焊接的情況下，由于不需要在線材上作用大的電流及壓接力，而且加熱熱量的控制性也優異，因此即使是微細的探頭也能夠得到較優質的接合部的品質。
[0019]但是，在將這樣的異種金屬接合后的探頭的情況下，由于成為接合對象的線材的融點不同的情況較多，因此會產生低融點材料的過熔及高融點材料的熔化不良等造成的焊接品質的降低。
[0020]另外，在將由這樣的異種金屬構成的線材焊接的檢查用探頭的情況下，有時會因為在焊接部位的表面產生收縮而損害接合部位的品質。

【發明內容】

[0021]鑒于上述的問題，本發明的課題在于提供一種檢查用探頭的制造方法，使將由異種金屬構成的線材接合而構成的檢查用探頭的接合部位的品質提高。
[0022]本發明通過如下的解決手段來解決上述的課題。
[0023]本發明第一方面的檢查用探頭的制造方法，將在至少一方的前端部形成有檢查用接觸部的第一線材及第二線材接合而構成檢查用探頭，其中，通過在將所述第一線材和所述第二線材對接的狀態下向接合部位的外周面照射激光而進行激光焊接，并且使由所述激光對所述第一線材和所述第二線材中材料的融點高的一方賦予的能量比對材料的融點低的一方賦予的能量大。
[0024]據此，不像超聲波振動接合或電阻焊接那樣地在第一線材、第二線材上作用大的軸向力等或者流過大電流，能夠通過照射激光而瞬間使第一線材及第二線材熔融并進行焊接，即使是微細的異種金屬接合探頭，也能夠使接合部的品質良好，能夠確保精度、強度、可
靠性等。
[0025]另外，通過使對第一線材和第二線材中材料的融點高的一方賦予的能量比對材料的融點低的一方賦予的能量大，即使在將由融點不同的材料構成的線材接合的情況下，也能夠防止高融點材料的融合不良及低融點材料的過熔，能夠使二者熔融的時刻一致而得到良好的焊接品質。另外，在此所說的能量是指將通過照射激光而直接或間接(例如來自另一方的線材的熱傳導等)地賦予各線材的熱量在從加熱開始至完成的時間內積分后的能量。
[0026]這樣使對各線材賦予的能量不同的情況，例如可通過僅對高融點材料的線材照射激光，低融點材料的線材利用來自高融點材料的線材的導熱進行加熱來實現。
[0027]另外，也可以對高融點材料的線材照射激光進行預加熱，之后向高融點材料及低融點材料的線材的接合部照射激光而進行焊接。
[0028]另外，也可以使向高融點材料的線材照射的激光和向低融點材料的線材照射的激光的能量、照射時間中的一方或雙方不同。激光的能量例如可通過激光焊接機的電壓、頻率、熱量(焦耳)等參數設定進行控制，另外，通過變更激光直徑也可改變單位面積的能量。
[0029]另外，也可以通過使低融點材料的直徑比高融點材料的直徑粗，并通過改變熔融的部位的體積，使所照射的激光的能量、照射時間相同。
[0030]需要說明的是，這種激光的能量可以通過向現有的激光功率計的傳感器部照射激光來進行測定。[0031]本發明第二方面的檢查用探頭的制造方法，在第一方面的基礎上，在進行了所述激光焊接之后對焊接部的外周面進行研磨并且研磨至產品外徑。
[0032]本發明第三方面的檢查用探頭的制造方法，將在至少一方的前端部形成有檢查用接觸部的第一線材及第二線材接合而構成檢查用探頭，其中，通過在將所述第一線材和所述第二線材對接的狀態下向接合部位的外周面照射激光而進行激光焊接，在進行了所述激光焊接之后，對焊接部的外周面進行研磨并且研磨至產品外徑。
[0033]據此，即使是至少一方的線材的外徑比最終的產品外徑大的情況、或在焊接部位產生臺階、收縮等的情況下，也能夠使產品的尺寸精度及表面平滑度良好。
[0034]另外，就這種研磨而言，例如可使用公知的無心研磨等。
[0035]另外，在說明書及權利要求書中，所謂產品外徑是指檢查用探頭作為最終的產品(成品)在檢查中被利用時的該部位的外徑。
[0036]本發明第四方面的檢查用探頭的制造方法，在第一方面至第三方面中的任一方面的基礎上，在所述第一線材及所述第二線材的一方的端面形成凸部，在另一方的端面形成與所述凸部卡合并以所述第一線材和所述第二線材大致同心的方式進行引導的凹部。
[0037]據此，在使第一線材和第二線材對接時容易同心地配置(定心)，能夠簡單地得到聞精度的廣品。
[0038]本發明第五方面的檢查用探頭的制造方法，將在至少一方的前端部形成有檢查用接觸部且由融點不同的材料形成的第一線材及第二線材接合而構成檢查用探頭，其中，在所述第一線材和所述第二線材中材料的融點低的一方的所述接合面，形成由材料的融點比該線材高的材料構成的金屬覆膜，將所述第一線材和所述第二線材對接，加熱并進行焊接。
[0039]據此，即使是因第一線材、第二線材的融點不同而難以直接焊接的情況下，通過在材料的融點低的一方的線材的接合面形成由材料的融點比該線材高的材料構成的金屬覆膜，減小焊接部位的融點的差，也能夠良好地進行焊接。
[0040]本發明第六方面的檢查用探頭的制造方法，在第五方面的基礎上，在所述第一線材的接合面及所述第二線材的接合面的一方形成凸部，并且在另一方形成與所述凸部卡合的凹部，將所述第一線材和所述第二線材以所述凸部及所述凹部卡合的方式對接，加熱并進行焊接。
[0041]據此，通過在第一線材、第二線材的接合面形成凸部及凹部，能夠增大線材與金屬覆膜的界面的面積，同時也能夠增大金屬覆膜與其它線材的焊接面積，因此能夠提高第一線材和第二線材的接合強度。
[0042]此外，由于凸部及凹部作為用于同心配置第一線材和第二線材的導向件而發揮作用，因此能夠確保接合部的精度。
[0043]本發明第七方面的檢查用探頭的制造方法，在第五方面或第六方面的基礎上，所述金屬覆膜由具有比所述第一線材的材料和所述第二線材的材料中融點低的材料更接近融點高的材料的融點的材料，通過濺射、鍍敷、蒸鍍中的任一種形成。
[0044]據此，使焊接部位的融點的差更小，能夠進一步改善焊接品質。
[0045]本發明第八方面的檢查用探頭的制造方法，將在至少一方的前端部形成有檢查用接觸部且由融點不同的材料形成的第一線材及第二線材接合而構成檢查用探頭，其中，在所述第一線材和所述第二線材中材料的融點高的一方的所述接合面，形成由材料的融點比該線材低的材料構成的金屬覆膜，將所述第一線材和所述第二線材對接，加熱并進行焊接。
[0046]據此，即使因第一線材、第二線材的融點不同而難以直接焊接的情況下，通過在材料的融點高的一方的線材的接合面形成由材料的融點比該線材低的材料構成的金屬覆膜并減小焊接部位的融點的差，也能夠良好地進行焊接。
[0047]本發明第九方面的檢查用探頭的制造方法，在第八方面的基礎上，在所述第一線材的接合面及所述第二線材的接合面的一方形成凸部，并且在另一方形成與所述凸部卡合的凹部，將所述第一線材和所述第二線材以所述凸部及所述凹部卡合的方式對接，加熱并進行焊接。
[0048] 據此，通過在第一線材、第二線材的接合面形成凸部及凹部，能夠增大線材與金屬覆膜的界面的面積，同時也能夠增大金屬覆膜與其它線材的焊接面積，因此能夠提高第一線材和第二線材的接合強度。
[0049]另外，凸部及凹部作為用于同心配置第一線材和第二線材的導向件而發揮作用，因此能夠確保接合部的精度。
[0050]本發明第十方面的檢查用探頭的制造方法，在第八方面或第九方面的基礎上，所述金屬覆膜由具有比所述第一線材的材料和所述第二線材的材料中融點高的材料更接近融點低的材料的融點的材料，通過濺射、鍍敷、蒸鍍中的任一種形成。
[0051]據此，使焊接部位的融點的差更小，能夠進一步提聞焊接品質。
[0052]本發明第十一方面的檢查用探頭的制造方法，在第一方面至第十方面中的任一方面的基礎上，所述第一線材及所述第二線材的一方由鎢、鎢合金、銅合金、銀合金、鈀合金、金合金中的任一種形成，另一方由銥或銥合金形成。
[0053]據此，即使作為檢查用探頭的前端部使用抗蝕性、耐磨損性優異但硬且脆的銥或銥合金的情況下，通過使主體部使用彈性、韌性、導電性優異的鎢、鎢合金、銅合金、銀合金、鈀合金、金合金，也能夠提高作為檢查用探頭整體的性能。
[0054]本發明第十二方面的檢查用探頭的制造方法，在第一方面至第十一方面中的任一方面的基礎上，所述第一線材和所述第二線材的至少一方具有比產品外徑大的外徑，在將所述第一線材和所述第二線材焊接后，對包含接合部的外周面進行研磨并且研磨至所述產品外徑。
[0055]據此，即使是在焊接時產生收縮的情況下，也能夠不進行堆焊等而得到一樣的產品外徑的檢查用探頭。
[0056]另外，在說明書、權利要求書等中，所謂產品外徑是指表示檢查用探頭作為最終制品使用時的焊接部位附近的外徑。
[0057]本發明第十三方面的檢查用探頭的制造方法，在第一方面至第十一方面中的任一方面的基礎上，在將所述第一線材和所述第二線材焊接后，在接合部的周圍配置金屬制的環狀部件并使之熔融，填充基于焊接的薄壁部。
[0058]據此，能夠容易地填充在焊接時產生的收縮而得到一樣的產品外徑的檢查用探頭。
[0059]在該情況下，也可以在環狀部件熔融后，對接合部的外周面進行研磨。
[0060]本發明第十四方面的檢查用探頭的制造方法，在第一方面至第十一方面中的任一方面的基礎上，相對于所述第二線材，所述第一線材形成為較大外徑，且在端面具有插入所述第二線材的孔部，在將所述第二線材插入所述第一線材的所述孔部的狀態下，將所述第一線材和所述第二線材進行激光焊接之后，對所述第一線材的外周面進行研磨并且研磨至產品外徑。
[0061]據此，通過將第一線材的外徑與最終的產品外徑之差設定得比焊接時的收縮量大，能夠不進行收縮部的堆焊等而得到所希望的產品外徑的產品。
[0062]本發明第十五方面的檢查用探頭的制造方法，將在至少一方的前端部形成有檢查用接觸部的第一線材及第二線材接合而構成檢查用探頭，其中，在將所述第一線材的端面和所述第二線材的端面對接的狀態下，將該對接部配置在筒狀部件的內徑側，在通過對所述筒狀部件照射激光而將所述筒狀部件分別與所述第一線材及所述第二線材激光焊接之后，對焊接部的外周面進行研磨并且研磨至產品外徑。
[0063]據此，由于熔融的筒狀部件將在第一線材和第二線材的焊接部位產生的收縮填補，因此即使是作為第一線材、第二線材而使用與最終的產品外徑相同或稍大的外徑的線材的情況下，也不對收縮進行堆焊等后處理，也能夠得到希望的產品外徑的產品。
[0064]本發明第十六方面的檢查用探頭的制造方法，在第十五方面的基礎上，所述第一線材和所述第二線材由融點不同的材料構成，所述筒狀部件的材料具有比所述第一線材的材料和所述第二線材的材料中融點低的材料更接近融點高的材料的融點。
[0065]據此，在筒狀部件熔融時，第一線材和第二線材中材料的融點低的材料也瞬時熔融，因此能夠確保良好的焊接部位的品質。
[0066]本發明第十七方面的檢查用探頭的制造方法，在第一方面至第十六方面中的任一方面的基礎上，在進行了所述激光焊接之后，在焊接部的外周面形成金屬覆膜，之后進行研磨。
[0067]據此，能夠利用金屬覆膜填補焊接中產生的收縮，能夠得到希望的產品外徑的產品O
[0068]本發明第十八方面的檢查用探頭的制造方法，在第一方面至第十七方面中的任一方面的基礎上，在焊接部的外周面進行了研磨之后形成金屬覆膜。
[0069]據此，能夠利用金屬覆膜提高接合部的強度。
[0070]本發明第十九方面的檢查用探頭的制造方法，在第十七方面或十八方面的基礎上，所述金屬覆膜為鎳覆膜。
[0071]本發明第二十方面的檢查用探頭的制造方法，在第十九方面的基礎上，在所述鎳覆膜的表面形成由金、銠、鉬中的至少一種構成的覆膜。
[0072]該情況下，在形成有金覆膜的情況下，能夠提高常溫下的電氣特性。
[0073]另外，在形成有鉬覆膜的情況下，能夠提高高溫下的抗蝕性。
[0074]另外，在形成有銠覆膜的情況下，能夠提高高溫下的抗蝕性和耐磨損性。
[0075]另外，這樣的鎳、金、銠、鉬等覆膜典型的是通過鍍敷來形成，但也可使用例如蒸鍍、濺射等其它的薄膜形成技術。
[0076]如以上說明地，根據本發明，可以提供一種檢查用探頭的制造方法，使將由異種金屬構成的線材接合而構成的檢查用探頭的接合部位的品質提高。
【專利附圖】

【附圖說明】[0077]圖1是表示應用了本發明的檢查用探頭的制造方法的第一實施方式的圖，圖1(a)表示使線材對接前的狀態，圖1 (b)表示使線材對接并進行激光焊接時的狀態，圖1 (C)表示激光焊接后的狀態，圖1 (d)表示完成研磨后的狀態(圖2?圖4中同樣)；
[0078]圖2是表示應用了本發明的檢查用探頭的制造方法的第二實施方式的圖；
[0079]圖3是表示應用了本發明的檢查用探頭的制造方法的第三實施方式的圖；
[0080]圖4是表示應用了本發明的檢查用探頭的制造方法的第四實施方式的圖；
[0081]圖5是表示應用了本發明的檢查用探頭的制造方法的第六實施方式的圖，圖5(a)表示使線材對接前的狀態，圖5 (b)表示使線材對接的狀態，圖5 (c)表示焊接完成后的狀態，圖5 (d)表示研磨完成后的狀態。另外，為了容易理解，圖示出的金屬覆膜比實際厚；
[0082]圖6是表示應用了本發明的檢查用探頭的制造方法的第七實施方式的圖，圖6(a)表示將焊接部插入筒狀部件內的狀態，圖6 (b)表示使筒狀部件熔融的狀態，圖6 (c)表示研磨完成后的狀態。
[0083]標記說明
[0084]100:檢查用探頭(第一實施方式)
[0085]110:第一線材
[0086]120:第二線材
[0087]A:焊接的區域
[0088]S:收縮部
[0089]d:產品外徑
[0090]200:檢查用探頭(第二實施方式)
[0091]210:第一線材
[0092]211:凹部
[0093]220:第二線材
[0094]221:凸部
[0095]300:檢查用探頭(第三實施方式)
[0096]310:第一線材
[0097]310a:孔部
[0098]311:凹部
[0099]320:第二線材
[0100]321:凸部
[0101]400:檢查用探頭(第四實施方式)
[0102]410:第一線材
[0103]420:第二線材
[0104]430:筒狀部件
[0105]500:檢查用探頭(第六實施方式)
[0106]500A:檢查用探頭(第七實施方式)
[0107]510:第一線材
[0108]511:凸部
[0109]520:第二線材[0110]521:凹部
[0111]530:金屬覆膜
[0112]540:筒狀部件
【具體實施方式】
[0113]以下，參照附圖等對應用了本發明的檢查用探頭的制造方法的第一?第七實施方式進行說明。
[0114](第一實施方式)
[0115]第一實施方式的檢查用探頭100將例如由銥構成的第一線材110作為形成有檢查用接觸部的前端部，將例如由錸鎢合金構成的第二線材120作為主體部與其端部接合。
[0116]該檢查用探頭例如被用作探頭卡的探針、或線型探頭、條紋探頭等各種探頭。
[0117]檢查用探頭100為全長例如60?150mm的懸臂式探頭卡用的探頭時，可以將例如6?IOmm作為前端部。該情況下,能夠構成為第一線材110和第二線材120的接合部埋入懸臂式探頭卡的探頭固定用樹脂的內部。
[0118]另外，這種材料的組合及用途、形狀、尺寸為一例，可適當變更。
[0119]例如，在為了保持彈性回復力而使中央部分彎曲成S形或使之 < 形彎曲的垂直用探頭的情況下，能夠構成為，在由銅合金線材構成的主體部的下端部或上下端部，作為前端部接合例如0.5?2_左右的銥線材，在銅合金線材的外周面實施金、鎳等的防銹鍍敷。
[0120]錸鎢合金是由例如0.1?30重量％的錸、剩余部分實質上由鎢構成的合金，可以根據錸的含量調節融點。
[0121]銥的融點為2454°C，而鎢單體的融點較高，為3380°C，在將它們焊接的情況下，其焊接品質成為問題，但通過增加錸的含量，可以使融點與銥的融點接近，從而能夠容易地確保焊接品質。
[0122]作為第一線材110及第二線材120，準備直徑比最終的產品外徑d大的材料，將二者接合的端面(接合面)精加工成與各線材的中心軸正交的平面狀。產品外徑d例如為Imm以下，特別是對于外徑在0.1mm以下的微細的產品，本發明非常有用。
[0123]如圖1 (a)所示，以同軸的方式配置這些線材。
[0124]接下來，如圖1 (b)所示，在使第一線材110及第二線材120的端面抵接的狀態下固定于夾具上，在氬等惰性氣體環境下向接合部附近的由虛線表示的區域A的外周面照射激光，使第一線材110及第二線材120熔融而進行激光焊接。
[0125]此時，激光一邊使例如第一線材110及第二線材120依次繞中心軸旋轉，一邊進行脈沖狀的點照射，使焊接部位瞬時熔融。
[0126]由于合適的激光的強度依賴于材質及線徑等，因此適當地設定材質及線徑等。
[0127]另外，進行激光照射時，使第一線材110和第二線材120中材料的融點高的一方與融點低的一方相比，由激光的照射而賦予的能量大。即，在本實施方式的情況下，以融點相對較高的錸鎢合金制的第二線材120比融點相對較低的銥制的第一線材110的能量多的方式照射激光。
[0128]這樣的能量的調節例如可通過僅對高融點材料即第二線材120照射激光，低融點材料即第一線材110利用來自第二線材120側的熱傳導進行加熱來實現。[0129]另外，也可以事前僅對第二線材120進行激光的預照射而進行加熱，之后，對第一線材110及第二線材120照射激光。
[0130]另外，也可以使向第二線材120照射的激光的能量比向第一線材110照射的激光的能量大，或者，也可以使向第二線材120的照射脈沖寬度(時間)比向第一線材110的照射脈沖寬度(時間)大。
[0131]另外，也可以通過使低融點的第一線材110的線徑比高融點的第二線材120的線徑粗，變換熔融的部位的體積，使照射的激光的能量、照射時間相同。
[0132]另外，假如在第一線材110及第二線材120的材料的融點相近，即使對各線材賦予均等的能量也不會造成熔融不良的問題的情況下，能夠使照射的激光的能量、照射時間相同。
[0133]進行激光焊接時，如圖1 (C)所示，焊接部位的外周面部產生相對于其它部分向內徑側凹陷的焊接收縮。
[0134]在設定各線材的母材的外徑及焊接條件時，使該焊接收縮部S的最小徑比產品外徑大。
[0135]接下來，通過例如公知的無心研磨等對包含焊接部的第一線材110及第二線材120的外周面進行研磨(研削)，將外徑精加工成最終的產品外徑d。
[0136]之后，對第一線材110的未圖示的前端部(設于焊接部的相反側且與測定對象物抵接的接觸部)實施尖頭加工等必要的加工，另外，在必要的情況下，對第二線材120實施彎曲加工等，完成檢查用探頭。
[0137]另外，在研磨后的檢查用探頭的包含焊接部的外周面，例如通過鍍鎳等形成金屬覆膜時，由此能夠提高接合部的強度。
[0138]另外，能夠將這樣的鎳鍍層等金屬覆膜作為基底，通過鍍敷形成金、銠、鉬等金屬覆膜。
[0139]在實施了鍍金的情況下，能夠提高常溫的電氣特性。
[0140]在實施了鍍鉬的情況下，能夠提高高溫下的抗蝕性。
[0141]在實施了鍍銠的情況下，能夠提高高溫下的抗蝕性及磨損性。
[0142]另外，對檢查用探頭的整體實施了這樣的鍍敷之后，將由銥等構成的前端部研磨成針狀時，因為此時將鍍敷膜從前端部去除，故而對前端部的性能不造成影響。
[0143]根據以上說明的第一實施方式，可以得到以下的效果。
[0144](I)不像超聲波振動接合及電阻焊接那樣地在第一線材110、第二線材120作用大的軸向力等或流過大電流，能夠通過激光的照射瞬時地使第一線材110及第二線材120熔融而進行焊接，即使是微細的異種金屬接合探頭，也能夠使接合部的品質良好，能夠確保精度、強度、可靠性等。
[0145](2)通過使對第一線材110和第二線材120中材料的融點高的第二線材120賦予的能量比對第一線材110賦予的能量大，即使是將由融點不同的材料構成的線材接合的情況，也能夠防止高融點材料的融合不良及低融點材料的過熔，能夠使二者熔融的時刻一致并得到良好的焊接品質。
[0146](3)通過將第一線材110及第二線材120的外徑與最終的產品外徑d的差設定為比焊接時的收縮量大，可以不進行收縮部S的堆焊等，僅通過研磨加工而得到希望的產品外徑的廣品。
[0147](4)作為檢查用探頭100的前端部，即使是使用有抗蝕性、耐磨性優異但硬且脆的銥的情況，通過使主體部使用彈性、韌性、導電性優異的錸鎢合金，也能夠提高作為檢查用探頭整體的性能。
[0148](5)通過一邊使第一線材110及第二線材120旋轉一邊照射激光，能夠使接合部的應力變形均等化，提高可靠性。
[0149](6)通過在包含焊接部的外周面實施鍍鎳，能夠提高接合部的強度。
[0150](7)通過以鍍鎳層為基底鍍敷金、銠、鉬中的任一種，能夠提高電氣特性、抗蝕性、耐磨性等。
[0151](第二實施方式)
[0152]接著，對應用了本發明的檢查用探頭的制造方法的第二實施方式進行說明。
[0153]另外，在以下說明的各實施方式中，對與之前的實施方式實質上共同的部位標注最后兩位數字相同的標記并省略重復的說明。
[0154]在第二實施方式中，檢查用探頭200使用在外周面實施了金、鎳等防銹鍍敷的鈹銅合金等銅合金線材作為構成主體部的第二線材220。作為構成前端部的第一線材210，使用與第一實施方式等同樣的銥。第二線材220的材料具有比第一線材210的材料低的融點。
[0155]圖2所示的第二實施方式的檢查用探頭200在第二線材220的端面形成尖頭加工成錐狀的凸部221，在第一線材210的端面形成有與凸部221卡合的錐狀的凹部211。
[0156]這些凸部221及凹部211在激光焊接之前，將第一線材210和第二線材220對接并固定于夾具時，起到引導定心以使二者同心的作用。
[0157]第一線材210側的凹部211例如可通過激光加工、放電加工等而形成。
[0158]第二線材220側的凸部221例如可通過研磨而形成。
[0159]根據以上說明的第二實施方式，不僅可以得到與上述第一實施方式的效果同樣的效果，而且因為容易進行各線材的定心，因此能夠更容易地得到精度高的檢查用探頭。
[0160]另外，插入到第一線材210的凹部211內的第二線材220的凸部221利用來自第一線材210側的導熱而被加熱，因此能夠防止低融點的第二線材220的過熔及高融點的第一線材210的融化不良造成的焊接缺陷。另外，能夠通過調節錐角等來控制各部件的熔融狀態。
[0161](第三實施方式)
[0162]接下來，對應用了本發明的檢查用探頭的制造方法的第三實施方式進行說明。
[0163]在第三實施方式中，檢查用探頭300使用在外周面實施了金、鎳等防銹鍍敷的鈹銅合金等銅合金線材作為構成主體部的第二線材320。作為構成前端部的第一線材310，使用與第一實施方式等同樣的銥。
[0164]另外，在第三實施方式中，第二線材320使用外徑與最終的產品外徑d相同的材料，僅第一線材310使用外徑比產品外徑d大的材料。在第一線材310的端部形成有第二線材320的端部插入的孔部310a。孔部310a的內徑相對于第二線材320的外徑增大不可避免地設置的最低限度的間隙量。
[0165]另外，在第二線材320的端部形成有與第二實施方式的凸部221實質上相同的凸部 321。[0166]在第一線材310的孔部310a的端部(底部)形成有與凸部321卡合的凹部311。
[0167]在第三實施方式中，將第二線材320插入第一線材310的孔部310a直至凸部321和凹部311相接觸，然后固定于夾具上，進行了激光焊接之后，對第一線材310外周面進行無心研磨并且研磨至產品外徑d (第一線材310的外徑)。
[0168]在進行激光焊接時，由于構成第一線材310的銥的融點比構成第二線材的鈹銅合金的融點高，故而僅向第一線材310照射激光，第二線材320利用來自第一線材310的導熱進行加熱并熔融，從而能夠得到良好的焊接品質。
[0169]在以上說明的第三實施方式中，在與上述第一實施方式、第二實施方式實質上相同的效果的基礎上，通過將第一線材310的外徑與最終的產品外徑d的差設定得比焊接時的收縮量大，能夠不進行收縮部的堆焊等而僅通過研磨加工得到希望的產品外徑d的產
品O
[0170]另外，如第一、第二實施方式，無需對構成相對于前端部較長的主體部的第二線材的外周面進行研磨，可以減少研磨加工的工序數。
[0171]另外，通過改變第一線材310的外徑及第二線材320的插入深度，能夠控制從第一線材310向第二線材320的導熱量，能夠防止熔融不良等造成的焊接缺陷。
[0172](第四實施方式)
[0173]接著，對應用了本發明的檢查用探頭的制造方法的第四實施方式進行說明。
[0174]在第四實施方式中，第一線材410、第二線材420使用外徑與最終的產品外徑d相同的材料。
[0175]在第四實施方式中，第一線材410、第二線材420的材質與第一實施方式的第一線材110、第二線材120同樣。
[0176]首先，如圖4 (a)、圖4 (b)所示，將第一線材410和第二線材420對接配置，之后，將該對接部位插入筒狀部件430的內徑側。
[0177]筒狀部件430形成為相對于第一線材410、第二線材420的外徑，內徑增大不可避免地設置的微小的間隙量的圓筒狀。
[0178]另外，筒狀部件430由具有比第一線材410和第二線材420的材料中融點低的一方的材料更接近融點高的一方的材料的融點的材料，優選與融點高一方的材料實質上相同的融點的材料，例如與融點高的一方的線材相同的材料形成。
[0179]接著，如圖4 (b)所示，在由筒狀部件430將第一線材410和第二線材420的對接部位蓋住的狀態下，向筒狀部件430的外周面照射激光，將筒狀部件430和第一線材410、筒狀部件430和第二線材420、及第一線材410的端面和第二線材420的端面之間分別進行激光焊接，成為圖4 (c)的狀態。
[0180]之后，如圖4 (d)所示，將熔融后再凝固的筒狀部件430從第一線材410、第二線材420的外周面突出的部分進行無心研磨。
[0181 ] 在以上說明的第四實施方式中，由于熔融的筒狀部件430將第一線材410和第二線材420的焊接部位產生的收縮填補，故而即使是使用與最終的產品外徑相同的外徑的線材作為第一線材410、第二線材420的情況下，也能夠不對收縮進行堆焊等后處理而得到希望的產品外徑的產品。
[0182]另外，筒狀部件430熔融后，第一線材410和第二線材420中材料的融點低的線材也瞬時熔融，因此能夠確保良好的焊接部位的品質。
[0183](第五實施方式)
[0184]接著，對應用了本發明的檢查用探頭的制造方法的第五實施方式進行說明。
[0185]在第五實施方式中，作為未圖示的第一線材、第二線材，使用例如具有與產品外徑實質上相同的外徑的銥及鈹銅合金的線材。
[0186]與上述的第一實施方式同樣地進行激光焊接后，在包含焊接部的第一線材、第二線材的外周面實施鍍鎳而形成覆膜。此時，覆膜的厚度形成為比由焊接產生的收縮的深度大。
[0187]之后，通過無心研磨對包含焊接部的第一線材、第二線材的外周面進行研磨并且研磨至收縮消失,精加工成產品外徑。
[0188]根據以上說明的第五實施方式，可以通過鍍鎳提高接合部表面的強度，并且填補焊接產生的收縮，精加工成均一的產品外徑。
[0189]另外，也可以在研磨后的檢查用探頭的表面再次實施鍍鎳，或進一步以該鍍鎳為基底，鍍敷金、銠、鉬等。
[0190]另外，這些金屬覆膜的形成也可以使用例如蒸鍍、濺射等其它的薄膜形成技術。
[0191](第六實施方式)
[0192]第六實施方式的檢查用探頭500是將例如由銥(融點2443°C)構成的第一線材510作為形成有檢查用接觸部的前端部，將例如由鎢(融點3380°C)構成的第二線材520作為主體部而與其端部進行接合的構成。
[0193]該檢查用探頭500被用作例如探頭卡的探針及線型探頭、條紋探頭等各種探頭。
[0194]檢查用探頭500為全長例如60?150mm的懸臂式探頭卡用的探頭時，能夠將例如6?IOmm作為前端部。該情況下,可構成為第一線材510和第二線材520的接合部埋入懸臂式探頭卡的探頭固定用樹脂的內部。
[0195]另外，這種材料的組合及用途、形狀、尺寸為一例，可適當變更。
[0196]例如，在為了保持彈性回復力而使中央部分彎曲成S形，或使之 < 形彎曲的垂直用探頭的情況下，可構成為在由銅合金線材構成的主體部的下端部或上下端部，作為前端部接合例如0.5?2mm左右的銥線材，在銅合金線材的外周面實施了金、鎳等防銹鍍敷。
[0197]如圖5 Ca)等所示，在第一線材510的與第二線材520接合的接合部形成有例如通過研磨等機械加工被尖頭加工成錐狀的凸部511。
[0198]另一方面，在第二線材520的與第一線材510接合的接合部形成有具有與第一線材510的凸部511實質上相同的錐角(側面角)的錐孔狀的凹部521。凹部521例如通過激光加工及放電加工來形成。
[0199]另外，在第一線材510的凸部511的表面形成有金屬覆膜530。
[0200]作為金屬覆膜530的材料，優選具有其融點比銥的融點更接近鎢的融點的材料，特別優選具有與鎢的融點實質上相同的融點的材料。
[0201]在第六實施方式中，作為一個例子，金屬覆膜530由鎢形成。
[0202]這種鎢制造的金屬覆膜530例如可通過濺射、蒸鍍、鍍敷等形成。
[0203]第一線材510及第二線材520如圖5 (b)所示，在金屬覆膜530與第二線材520緊密貼合的狀態下，以凸部511和凹部521卡合的方式對接。[0204]之后，將第一線材510及第二線材520固定于夾具中，在氬等惰性氣體環境下對接合部附近的外周面照射激光，使金屬覆膜530及第二線材520熔融，進行激光焊接。
[0205]此時，激光例如一邊使第一線材510及第二線材520繞中心軸依次旋轉，一邊進行脈沖狀的點照射，使焊接部位瞬時熔融。
[0206]由于合適的激光強度依賴于材質及線徑等，故而適當設定材質及線徑等。
[0207]若進行焊接，如圖5 (C)所示，有時在第一線材510和第二線材520的接合部附近的外周面產生外徑比其它部分局部地減小的所謂的收縮S。
[0208]因此，在第一實施方式中，作為第一線材510及第二線材520的材料，使用外徑比檢查用探頭500的最終的產品外徑d大的材料，在焊接后，例如通過無心研磨，如圖5 Cd)所示，對包含焊接部的外周面進行研磨并且研磨至產品外徑d。
[0209]之后，對第一線材510的未圖示的前端部(設于接合部的相反側且與測定對象物抵接的接觸部)實施尖頭加工等必要的加工，另外，在必要的情況下，對第二線材520實施彎曲加工等，完成檢查用探頭500。
[0210]另外，若在檢查用探頭500的包含焊接部的外周面例如通過鍍鎳等形成金屬覆膜，則由此能夠提高接合部的強度。
[0211]另外，能夠以這樣的鍍鎳等金屬覆膜為基底，通過鍍敷等形成金、銠、鉬等金屬覆膜。
[0212]在實施了鍍金的情況下，能夠提高常溫下的電氣特性。
[0213]在實施了鍍鉬的情況下，能夠提高高溫下的抗蝕性。
[0214]在實施了鍍銠的情況下，能夠提高高溫下的抗蝕性及磨損性。
[0215]另外，若對檢查用探頭500的整體實施了這樣的鍍敷后，將由銥等構成的前端部研磨成針狀，此時從前端部起將鍍敷膜去除，因此不會對前端部的性能造成影響。
[0216]根據以上說明的第六實施方式，能夠得到以下的效果。
[0217](I)即使是像銥及鎢那樣融點大不相同且焊接困難的材料，通過事先在第一線材510的接合面形成由鎢構成的金屬覆膜530，將該金屬覆膜530和第二線材520焊接，也能夠縮小焊接對象物間的融點的差，將第一線材510和第二線材520接合。
[0218](2)通過在第一線材510、第二線材520的接合面形成凸部511及凹部521，能夠增大線材510與金屬覆膜530的界面的面積，同時能夠增大金屬覆膜530與第二線材520的接合面積，能夠提高接合強度。
[0219](3)凸部511及凹部521作為用于同心地配置第一線材510和第二線材520的導向件而發揮作用，由此能夠確保接合部的精度。
[0220](4)即使是使用抗蝕性、耐磨損性優異但硬且脆的銥作為檢查用探頭500的前端部的情況下，通過使主體部使用彈性、韌性、電傳導性優異的鎢，也能夠提高作為檢查用探頭500整體的性能。
[0221](5)使用外徑比產品外徑d大的材料作為第一線材510、第二線材520的材料，在焊接后對包含焊接部的整體進行無心研磨，由此，即使在焊接時產生收縮的情況下，也能夠不進行堆焊而得到一樣的產品外徑的檢查用探頭500。
[0222](6)通過在包含焊接部的外周面實施鍍鎳，能夠提高接合部的強度。
[0223](7)以鎳鍍層為基底，通過鍍敷金、銠、鉬中的任一種，能夠提高電氣特性、抗蝕性、耐磨損性等。
[0224](第七實施方式)
[0225]接著，對應用了本發明的檢查用探頭的制造方法的第七實施方式進行說明。
[0226]另外，對與上述的第六實施方式實質上共同的部位標注相同的標記并省略說明，主要對不相同的點進行說明。
[0227]在第七實施方式的檢查用探頭500A中，作為第一線材510及第二線材520的材料，使用具有與最終的產品外徑實質上相同的外徑的材料。
[0228]與第一實施方式中的圖5 (a)?圖5 (C)所示的工序同樣地焊接第一線材510及第二線材520。
[0229]之后，第一線材510及第二線材520的焊接部如圖6 Ca)所示地插入由例如鎢形成的圓筒狀的筒狀部件540的內徑側。
[0230]筒狀部件540具有比第一線材510及第二線材520的外徑大的內徑，該增大量為不可避免地設置的間隙量。
[0231]另外，筒狀部件540的軸向上的長度設定為可蓋住在焊接部形成的收縮S的部分。
[0232]接下來，對筒狀部件540的外周面照射激光進行加熱，如圖6 (b)所示，使筒狀部件540熔融，填補焊接部的收縮部。此時，熔融的筒狀部件540分別與第一線材510及第二線材520焊接。
[0233]之后，如圖6 (C)所示，例如通過無心研磨削去熔融的筒狀部件540向產品外徑的更外側突出的部分，根據需要，進行與第六實施方式同樣的表面處理、前端部的尖頭加工等，完成檢查用探頭500A。
[0234]根據以上說明的第七實施方式，在與上述第六實施方式的效果同樣的效果的基礎上，能夠容易地填補在焊接時產生的收縮而得到一樣的產品外徑的檢查用探頭。另外，能夠使用具有與產品外徑實質上相同的外徑的材料作為第一線材510及第二線材520的材料，可以改善材料的成品率。
[0235](變形例)
[0236]本發明不限于以上說明的實施方式，可進行各種變形及變更，這些變形及變更也在本發明的技術性范圍內。
[0237](I)在第一、第四實施方式中，由銥形成第一線材，由錸鎢系合金形成第二線材，在第二、第三、第五實施方式中，由鈹銅合金形成第二線材，但本發明不限定于此，也可應用于將由其它材料構成的線材接合的檢查用探頭的制造。
[0238]例如，檢查用探頭的前端部除了純銥以外，也可由含有銥的例如鉬一銥合金、鈀一銥等銥合金及、鋨等其它種類的金屬形成。另外，也可以使用其它的鉬合金、鈀合金等。
[0239]另外，主體部除了錸鎢系合金、鈹銅合金以外，還可由純鎢、其它的鎢系合金、銀鈀銅合金、鋁系合金、其它的銅合金、鈀合金、金合金、銀合金及其它種類的金屬形成。
[0240](2)在各線材的端面設置凸部及凹部的情況下，它們的形狀不限定于各實施方式的錐形的形狀，也可以是其它的形狀。另外，其制法也沒有特別限定。另外，在各實施方式中，在設有前端部的一側的線材形成有凸部，但也可以與此相反，在另一方(主體側)的線材上形成凸部。該情況下，從確保焊接品質的觀點來看，若在高融點側的線材上設置凹部，則不易使低融點側的線材過熔，或不易產生高融點側的線材的熔融不良，因此優選。[0241 ] (3)在各實施方式中，在焊接部位的外周面進行無心研磨，但研磨的方法沒有特別限定。
[0242](4)在各實施方式中，在檢查用探頭的表面通過鍍敷形成有鎳等金屬覆膜，但形成這種金屬覆膜的方法不限于鍍敷，也可以使用蒸鍍或濺射等其它的薄膜形成技術。
[0243](5)在第六、第七實施方式中，由鎢形成金屬覆膜，但不限于此，可以適當變更金屬覆膜的材質。例如，也可以由具有銥和鎢的融點的中間的融點的錸一鎢合金形成金屬覆膜。
[0244]另外，在第一線材、第二線材的組合與各實施方式的銥一鎢不同的情況下，考慮各線材的材料的融點來決定金屬覆膜的材料即可。
[0245]另外，在各實施方式中，在低融點側的線材的接合面形成有由融點比該線材高的材料構成的金屬覆膜，但也可以取而代之，在高融點側的線材的接合面形成由融點比該線材低的材料構成的金屬覆膜，由此，縮小與低融點側的線材的融點的差，提高焊接品質。該情況下，金屬覆膜的材料的融點優選使用比高融點側的線材的材料的融點更接近低融點側的線材的材料的融點的材料，特別優選使用具有與低融點側的線材實質上相同的融點的材料。
[0246](6)在第六、第七實施方式中，在第一、第二線材上分別形成凸部、凹部之后形成金屬覆膜并進行焊接，但不限于此，也可以在各線材的端面平坦的狀態下，在一方形成金屬覆膜并進行焊接。例如，也可以在高融點側的線材的端面，通過鍍敷形成比該線材融點低的金屬覆膜并進行焊接。
[0247](7)在各實施方式中，將包含焊接部位的檢查用探頭的整體進行研磨并研磨至收縮部的外徑以下，但不限于此，也可以僅對包含焊接部位的一部分進行研磨。例如，也可以在包含焊接部位的長度方向上遍及例如I?2mm的范圍內，以相對于其它部分凹陷例如0.2微米左右的方式進行研磨。該情況下，僅焊接部位附近的產品外徑比其它部分小而形成周向槽，但可知只要相對其它部分不特別小，在實用上強度就沒有問題。據此，相對于將產品整體進行研磨的情況,能夠減少研磨工序數,提高生產性。
【權利要求】
1.一種檢查用探頭的制造方法，將在至少一方的前端部形成有檢查用接觸部的第一線材及第二線材接合而構成檢查用探頭，其特征在于， 通過在將所述第一線材和所述第二線材對接的狀態下向接合部位的外周面照射激光而進行激光焊接，并且使由所述激光對所述第一線材和所述第二線材中材料的融點高的一方賦予的能量比對材料的融點低的一方賦予的能量大。
2.如權利要求1所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 在進行了所述激光焊接之后對焊接部的外周面進行研磨并且研磨至產品外徑。
3.—種檢查用探頭的制造方法，將在至少一方的前端部形成有檢查用接觸部的第一線材及第二線材接合而構成檢查用探頭，其特征在于， 通過在將所述第一線材和所述第二線材對接的狀態下向接合部位的外周面照射激光而進行激光焊接， 在進行了所述激光焊接之后，對焊接部的外周面進行研磨并且研磨至產品外徑。
4.如權利要求1~3中任一項所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 在所述第一線材及所述第二線材的一方的端面形成凸部，在另一方的端面形成與所述凸部卡合并以所述第一線材和所述第二線材大致同心的方式進行引導的凹部。
5.一種檢查用探頭的制造方法，將在至少一方的前端部形成有檢查用接觸部且由融點不同的材料形成的第一線材及第二線材接合而構成檢查用探頭，其特征在于， 在所述第一線材和所述第二線材中材料的融點低的一方的所述接合面，形成由材料的融點比該線材高的材料構成的金屬覆膜， 將所述第一線材和所述第二線材對接，加熱并進行焊接。
6.如權利要求5所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 在所述第一線材的接合面及所述第二線材的接合面的一方形成凸部，并且在另一方形成與所述凸部卡合的凹部， 將所述第一線材和所述第二線材以所述凸部及所述凹部卡合的方式對接，加熱并進行焊接。
7.如權利要求5或6所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 所述金屬覆膜由具有比所述第一線材的材料和所述第二線材的材料中融點低的材料更接近融點高的材料的融點的材料，通過濺射、鍍敷、蒸鍍中的任一種形成。
8.—種檢查用探頭的制造方法，將在至少一方的前端部形成有檢查用接觸部且由融點不同的材料形成的第一線材及第二線材接合而構成檢查用探頭，其特征在于， 在所述第一線材和所述第二線材中材料的融點高的一方的所述接合面，形成由材料的融點比該線材低的材料構成的金屬覆膜， 將所述第一線材和所述第二線材對接，加熱并進行焊接。
9.如權利要求8所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 在所述第一線材的接合面及所述第二線材的接合面的一方形成凸部，并且在另一方形成與所述凸部卡合的凹部， 將所述第一線材和所述第二線材以所述凸部及所述凹部卡合的方式對接，加熱并進行焊接。
10.如權利要求8或9所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于，所述金屬覆膜由具有比所述第一線材的材料和所述第二線材的材料中融點高的材料更接近融點低的材料的融點的材料，通過濺射、鍍敷、蒸鍍中的任一種形成。
11.如權利要求1~10中任一項所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 所述第一線材及所述第二線材的一方由鎢、鎢合金、銅合金、銀合金、鈀合金、金合金中的任一種形成，另一方由銥或銥合金形成。
12.如權利要求1~11中任一項所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 所述第一線材和所述第二線材的至少一方具有比產品外徑大的外徑， 在將所述第一線材和所述第二線材焊接后，對包含接合部的外周面進行研磨并且研磨至所述產品外徑。
13.如權利要求1~11中任一項所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 在將所述第一線材和所述第二線材焊接后，在接合部的周圍配置金屬制的環狀部件并使之熔融，填充基于焊接的薄壁部。
14.如權利要求1~11中任一項所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 相對于所述第二線材，所述第一線材形成為較大外徑，且在端面具有插入所述第二線材的孔部， 在將所述第二線材插入所述第一線材的所述孔部的狀態下，將所述第一線材和所述第二線材進行激光焊接之后，對所述第一線材的外周面進行研磨并且研磨至產品外徑。`
15.一種檢查用探頭的制造方法，將在至少一方的前端部形成有檢查用接觸部的第一線材及第二線材接合而構成檢查用探頭，其特征在于， 在將所述第一線材的端面和所述第二線材的端面對接的狀態下，將該對接部配置在筒狀部件的內徑側， 在通過對所述筒狀部件照射激光而將所述筒狀部件分別與所述第一線材及所述第二線材激光焊接之后，對焊接部的外周面進行研磨并且研磨至產品外徑。
16.如權利要求15所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 所述第一線材和所述第二線材由融點不同的材料構成， 所述筒狀部件的材料具有比所述第一線材的材料和所述第二線材的材料中融點低的材料更接近融點高的材料的融點。
17.如權利要求1~16中任一項所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 在進行了所述激光焊接之后，在焊接部的外周面形成金屬覆膜，之后進行研磨。
18.如權利要求1~17中任一項所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 在焊接部的外周面進行了研磨之后形成金屬覆膜。
19.如權利要求17或18所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 所述金屬覆膜為鎳覆膜。
20.如權利要求19所述的檢查用探頭的制造方法，其特征在于， 在所述鎳覆膜的表面形成由金、銠、鉬中的至少一種構成的覆膜。
【文檔編號】G01R1/067GK103534599SQ201280012785
【公開日】2014年1月22日 申請日期:2012年1月12日 優先權日:2011年1月13日
【發明者】六角正, 笠原久芳 申請人:株式會社山景工程, 六角正